GB/T 31058-2014電子工業(yè)用氣體四氟化硅

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T31058—2014

電子工業(yè)用氣體四氟化硅

Gasesforelectronicindustry—Silicontetrafluoride

2014-12-22發(fā)布2015-07-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

電子工業(yè)用氣體四氟化硅

GB/T31058—2014

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

20154

*

書號

:155066·1-51307

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T31058—2014

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位核工業(yè)理化工程研究院華核新技術(shù)開發(fā)公司佛山市華特氣體有限公司綠菱電

:、、

子材料天津有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司貴州大學西南化工研究設計院有限公司

()、、、。

本標準主要起草人鄧建平李于教傅鑄紅湯有倫崔學文方華唐安江周鵬云

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T31058—2014

電子工業(yè)用氣體四氟化硅

1范圍

本標準規(guī)定了四氟化硅的技術(shù)要求試驗方法標志包裝運輸和貯存等內(nèi)容

、、、、。

本標準適用于螢石硫酸法六氟硅酸鹽熱分解法單質(zhì)硅直接氟化法制備的四氟化硅它主要用作

、、。

電子工業(yè)中等離子蝕刻發(fā)光二極管形摻雜離子注入工藝外延沉積擴散的硅源和光導纖維用高純

、P、、

石英玻璃的原料也是生產(chǎn)多晶硅的重要原料

,。

分子式

:SiF4。

相對分子質(zhì)量按年國際原子相對質(zhì)量

:104.0786128(2009)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB5099

氣瓶顏色標志

GB7144

永久氣體充裝規(guī)定

GB14194

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GBl5258

氣瓶警示標簽

GB16804

特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726—2012

氣體分析硫化物的測定火焰光度氣相色譜法

GB/T28727

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險化學品安全管理條例版

(2002)

特種設備安全監(jiān)察條例版

(2009)

3技術(shù)要求

四氟化硅的技術(shù)要求應符合表的要求

1。

表1技術(shù)指標

項目指標

四氟化硅純度體積分數(shù)-2

()/10≥99.9999.999

氫含量體積分數(shù)-6

(H2)()/10<21

氧氬含量體積分數(shù)-6

(+)(O2+Ar)()/10