GB/T 32218-2015真空技術(shù)真空系統(tǒng)漏率測(cè)試方法

ICS23160

J78.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T32218—2015

真空技術(shù)真空系統(tǒng)漏率測(cè)試方法

Vacuumtechnology—Testmethodsforleakratesofvacuumsystem

2015-12-10發(fā)布2017-01-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T32218—2015

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

測(cè)試原理

4…………………1

氦質(zhì)譜法真空系統(tǒng)漏率測(cè)試原理

4.1…………………1

靜態(tài)升壓法真空系統(tǒng)漏率測(cè)試原理

4.2………………2

儀器與設(shè)備

5………………2

檢漏儀和檢漏系統(tǒng)

5.1…………………2

標(biāo)準(zhǔn)漏孔

5.2……………2

真空計(jì)

5.3………………2

氦罩

5.4…………………2

累積閥

5.5………………2

測(cè)試閥

5.6………………2

測(cè)試條件

6…………………2

測(cè)試場(chǎng)地的環(huán)境要求

6.1………………2

氦氣

6.2…………………3

氮?dú)?/p>

6.3…………………3

測(cè)試程序

7…………………3

測(cè)試前準(zhǔn)備

7.1…………………………3

氦質(zhì)譜法真空系統(tǒng)漏率測(cè)試

7.2………………………3

靜態(tài)升壓法真空系統(tǒng)漏率測(cè)試

7.3……………………10

漏率測(cè)試中斷處理

8………………………11

氦質(zhì)譜漏率測(cè)試的中斷處理

8.1………………………11

靜態(tài)升壓法漏率測(cè)試的中斷處理

8.2…………………11

測(cè)試記錄與報(bào)告

9…………………………11

測(cè)試記錄

9.1……………11

測(cè)試報(bào)告

9.2……………12

參考文獻(xiàn)

……………………13

Ⅰ

GB/T32218—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC18)。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位中國(guó)空間技術(shù)研究院蘭州空間技術(shù)物理研究所

:。

本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所湖南維格磁流體股份有限公司安徽皖儀科技股

:、、

份有限公司寧波愛(ài)發(fā)科真空技術(shù)有限公司成都南光機(jī)器有限公司臺(tái)州環(huán)球真空設(shè)備制造有限公司

、、、、

上?；葚S石油化工有限公司沈陽(yáng)真空技術(shù)研究所

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李得天肖祥正陳光奇王榮宗陳聯(lián)孫立臣閆榮鑫言繼春黃文平劉磊

:、、、、、、、、、、

王國(guó)東何小波范林東趙計(jì)春趙偉勝惠澤民王玲玲

、、、、、、。

Ⅲ

GB/T32218—2015

真空技術(shù)真空系統(tǒng)漏率測(cè)試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用氦質(zhì)譜法和升壓法對(duì)真空系統(tǒng)的漏率進(jìn)行測(cè)試的測(cè)試原理儀器與設(shè)備測(cè)試條

、、

件測(cè)試程序漏率測(cè)試中斷處理測(cè)試記錄與測(cè)試報(bào)告

、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空系統(tǒng)以下簡(jiǎn)稱被檢件的漏率測(cè)試

()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)

GB/T3163

工業(yè)氮

GB/T3864—2008

純氦高純氦和超純氦

GB/T4844—2011、

真空技術(shù)質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)

GB/T18193

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T3163。

31

.

有效最小可檢漏率effectiveminimumdetectableleakrate

被檢件與檢漏系統(tǒng)連接后檢漏儀和檢漏系統(tǒng)在具體的工作條件下檢漏儀所能檢出的最小漏孔

,,

漏率

。

注單位為帕立方米每秒3

:(Pa·m/s)。

32

.

累積檢漏accumulationleaktest

將被檢件抽空后關(guān)閉累積閥與抽氣系統(tǒng)隔離當(dāng)被檢件外部施加一定濃度的氦氣后如果被檢件

,。,

上有漏孔在規(guī)定的累積時(shí)間內(nèi)由被檢件上的漏孔漏出的氦氣就會(huì)累積在被檢件內(nèi)使被檢件內(nèi)的氦分

,