GB/T 32386-2015電子工業(yè)用氣體六氟化鎢

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T32386—2015

電子工業(yè)用氣體六氟化鎢

Gasesforelectronicindustry—Tungstenhexaflouride

2015-12-31發(fā)布2016-07-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T32386—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所廈門鎢業(yè)股份有限公司西南化工研究

:、、

設(shè)計(jì)院有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司上海儀盟電子科技有限公司

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人鄭秋艷江海風(fēng)王占衛(wèi)方蘭蘭林竹光王志信方華楊任周鵬云

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T32386—2015

電子工業(yè)用氣體六氟化鎢

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了六氟化鎢的技術(shù)要求試驗(yàn)方法包裝標(biāo)志貯運(yùn)和安全

、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于化學(xué)合成法制取并經(jīng)精制純化的六氟化鎢該產(chǎn)品主要用于電子工業(yè)中金屬鎢化學(xué)

。

氣相沉積工藝鎢材料的制備等

、。

分子式

:WF6。

分子量按年國際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算

:297.8304192(2009)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB5099

氣體分析動(dòng)態(tài)體積法制備校準(zhǔn)用混合氣體第部分滲透法

GB/T5275.1010:

氣瓶顏色標(biāo)志

GB7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB16804

特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)

TJ36-79

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例版

(2002)

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例版

(2009)

3技術(shù)要求

六氟化鎢的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目名稱指標(biāo)

六氟化鎢純度體積分?jǐn)?shù)-2

(WF6)()/10≥99.999.99999.999599.9999

四氟化碳含量體積分?jǐn)?shù)-6

(CF4)()/10≤100.50.50.1

氮含量