標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 33826-2017 玻璃襯底上納米薄膜厚度測(cè)量 觸針式輪廓儀法》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),規(guī)定了使用觸針式輪廓儀測(cè)量玻璃襯底上納米薄膜厚度的方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于厚度在納米級(jí)別的薄膜材料,其主要目的是提供一種精確、可重復(fù)的測(cè)量手段來(lái)確定這些薄膜的實(shí)際厚度。

根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn),測(cè)量過(guò)程首先需要準(zhǔn)備待測(cè)樣品,確保表面清潔無(wú)污染,并且沒(méi)有明顯的劃痕或損傷。接下來(lái),選擇合適的觸針式輪廓儀作為測(cè)試設(shè)備,這種儀器通過(guò)物理接觸的方式沿著樣品表面移動(dòng),記錄下高度變化數(shù)據(jù)。為了保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性,標(biāo)準(zhǔn)中還對(duì)環(huán)境條件如溫度和濕度提出了具體要求,以減少外部因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。

此外,《GB/T 33826-2017》詳細(xì)描述了如何設(shè)置參數(shù)、執(zhí)行掃描以及處理獲取的數(shù)據(jù)。它強(qiáng)調(diào)了校準(zhǔn)的重要性,建議定期檢查并調(diào)整設(shè)備狀態(tài),確保每次測(cè)量都能達(dá)到最佳效果。對(duì)于數(shù)據(jù)處理部分,則介紹了從原始信號(hào)到最終厚度值轉(zhuǎn)換的具體步驟,包括但不限于基線修正、噪聲過(guò)濾等技術(shù)應(yīng)用。

最后,該標(biāo)準(zhǔn)還提供了關(guān)于報(bào)告編寫(xiě)的內(nèi)容指南,包括但不限于測(cè)量日期、所用設(shè)備信息、實(shí)驗(yàn)條件及最終得出的薄膜厚度值等關(guān)鍵要素,以便于其他研究人員能夠復(fù)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)或驗(yàn)證結(jié)果。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2017-05-31 頒布
  • 2017-12-01 實(shí)施
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GB/T 33826-2017玻璃襯底上納米薄膜厚度測(cè)量觸針式輪廓儀法_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

ICS7104099

Q34..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T33826—2017

玻璃襯底上納米薄膜厚度

測(cè)量觸針式輪廓儀法

Measurementofnanofilmthicknessonglasssubstrate—Profilometricmethod

2017-05-31發(fā)布2017-12-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

中華人民共和國(guó)

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

玻璃襯底上納米薄膜厚度

測(cè)量觸針式輪廓儀法

GB/T33826—2017

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20176

*

書(shū)號(hào)

:155066·1-56567

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T33826—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)科學(xué)院提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)納米材料分技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC279/SC1)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院漳州旗濱玻璃有限公司宣城晶瑞新材料有限

:、、

公司冶金工業(yè)信息標(biāo)準(zhǔn)研究院

、。

本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位中國(guó)建材檢驗(yàn)認(rèn)證集團(tuán)股份有限公司中國(guó)建材檢驗(yàn)認(rèn)證集團(tuán)陜西有限公

:、()

司廣東中科華大工程技術(shù)檢測(cè)有限公司哈爾濱量具刃具集團(tuán)有限責(zé)任公司量?jī)x研究所

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人孟政劉靜候英蘭徐勇戴石鋒汪洪梁慧超張繼軍張慶華代錚張衛(wèi)星

:、、、、、、、、、、、

趙晉武郎巖梅

、。

GB/T33826—2017

玻璃襯底上納米薄膜厚度

測(cè)量觸針式輪廓儀法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用觸針式輪廓儀法測(cè)量玻璃襯底上納米薄膜厚度的原理儀器要求試驗(yàn)環(huán)境要求

、、、、

步驟及測(cè)試報(bào)告等

本標(biāo)準(zhǔn)適用于玻璃襯底上厚度在范圍內(nèi)的納米薄膜厚度測(cè)量且薄膜與襯底之

10nm~1000nm,

間存在或可刻蝕出臺(tái)階其他硬質(zhì)平面襯底可參考本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行

。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

硅片平坦表面的表面粗糙度測(cè)量方法

GB/T29505

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

掩模mask

選擇性地阻擋輻照或物質(zhì)穿透的掩蔽模板

32

.

化學(xué)蝕刻chemicaletching

利用表面材料在特定介質(zhì)或特定環(huán)境下與腐蝕液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而移除的技術(shù)

。

4原理

通過(guò)覆蓋掩?;蛘呋瘜W(xué)蝕刻等手段在薄膜表面與玻璃襯底表面之間形成一個(gè)臺(tái)階如圖所示

,1。

觸針式輪廓儀的觸針沿被測(cè)表面從運(yùn)動(dòng)到或從運(yùn)動(dòng)到同時(shí)采集表面輪廓數(shù)據(jù)根據(jù)采集

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