激光誘導晶化非晶硅薄膜表面形貌與光電性能研究課件_第1頁
激光誘導晶化非晶硅薄膜表面形貌與光電性能研究課件_第2頁
激光誘導晶化非晶硅薄膜表面形貌與光電性能研究課件_第3頁
激光誘導晶化非晶硅薄膜表面形貌與光電性能研究課件_第4頁
激光誘導晶化非晶硅薄膜表面形貌與光電性能研究課件_第5頁
已閱讀5頁，還剩14頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

激光誘導晶化非晶硅薄膜表面形貌與光電性能研究xxx課題研究的背景和意義玻璃襯底ITO上低成本制備低溫多晶硅LTPS等離子增強氣相沉積PECVD制備非晶硅薄膜準分子激光晶化ELC非晶硅a-Si薄膜為多晶硅poly-Si薄膜制備有源顯示器件AMLCD和AMOLED的薄膜晶體管TFT溝道通過激光晶化非晶硅薄膜制備具有多晶硅光學薄膜層結構的太陽能電池課題研究的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢2008年S.R.P.Silva等人，通過激光晶化非晶硅PIN結構的n層為納米晶硅作為電池光學薄膜，首次報道最高轉換效率為2.5%2009年C.C.Kuo，通過在線光學測試，成功利用激光晶化來控制晶粒大小，調節(jié)薄膜光通過率和反射率通過控制激光能量晶化非晶硅薄膜，從而控制多晶硅光學薄膜層晶粒大小，來調節(jié)光透過率、反射率和電池轉換效率不同硅基材料光電性能比較多晶硅poly-Si微晶硅uc-Si非晶硅a-Si單晶硅sc-Si納晶硅nc-Si禁帶寬度ev1.21.2~1.71.71.122.3電子遷移率cm2/V*s10e210e110e010e310e2轉換效率18%mitsubishi/15%sanyo20%Kyocera/激光能量熔融a-Si薄膜相變潛熱固態(tài)非晶硅液態(tài)非晶硅固液混合硅密度g/cm32.202.532.33比熱容C(T)J/g*KC(T)=0.952+0.171*T/1685熱傳導K(T)W/cm*KK(T)=4.828*10e-11*(T-900)e3+4.828*10e-9*(T-900)e2+3.714*10e-6*(T-900)+3.714*10e-2熔融潛熱蠅眼整形激光光斑能量分布模擬蠅眼整形激光晶化晶粒金相顯微圖AFM表征的晶粒與晶界分布圖常溫下不同激光能量對應的霍爾電子遷移率和電阻率激光晶化PIN太陽能器件I-V曲線PIN納米晶光學薄膜能帶結構圖創(chuàng)新點首次通過控制激光能量晶化非晶硅薄膜，從而控制多晶硅光學薄膜層晶粒大小，來調節(jié)光透過率、反射率和電池轉換效率。應用于激光誘導晶化非晶硅薄膜太陽能汽車玻璃，具有可見光透過、防紫外光的功效，還可以為蓄電池充電進度計劃2010.1查找文獻2010.2-2010.3熟悉設備，制定實驗方案2010.4-2010.6控制工藝參數(shù)沉積薄膜2010.7-2010.10

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論