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  • 2016-07-11 頒布
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文檔簡介

ICS77.160

H72

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YST1129—2016

鎢鈦合金靶材

Tungstentitaniumalloysputteringtarget

2016-07-11發(fā)布2017-01-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YST1129—2016

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位西安瑞福萊鎢鉬有限公司北京天龍鎢鉬科技股份有限公司廈門虹鷺鎢鉬工業(yè)

:、、

有限公司

。

本標準主要起草人李長亮任吉文劉云飛蘇國平白鋒韓蕊蕊

:、、、、、。

Ⅰ

YST1129—2016

鎢鈦合金靶材

1范圍

本標準規(guī)定了濺射用鎢鈦合金靶坯的要求試驗方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸貯存質(zhì)量證明

、、、、、、、

書及訂貨單或合同等內(nèi)容

()。

本標準適用于鎢鈦合金濺射靶材加工用靶坯

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金密度測定方法

GB/T3850

所有部分鎢化學分析方法

GB/T4324()

金屬平均晶粒度測定方法

GB/T6394

金屬板材超聲板波探傷方法

GB/T8651

金屬材料中氫氧氮碳和硫分析方法通則

GB/T14265、、、

高純鎢化學分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定輝光放電質(zhì)譜法

YS/T901

3要求

3.1分類

3.1.1產(chǎn)品按外形分圓形矩形

、。

3.1.2產(chǎn)品按化學成分分為

WTi-99.9、WTi-99.95、WTi-99.99、WTi-99.995、WTi-99.999。

3.2化學成分

產(chǎn)品的化學成分應符合表的規(guī)定其中鎢鈦含量為減去表中非氣體雜質(zhì)實測含量總和

1,100%。

表1化學成分

牌號

元素

WTi-99.9WTi-99.95WTi-99.99WTi-99.995WTi-99.999

鎢鈦含量質(zhì)量分數(shù)不小于

()/%,99.999.9599.9999.99599.999

合金元素含量余量

W

質(zhì)量分數(shù)

()/

%Ti5~15

Al20151053

非氣體雜質(zhì)含量

質(zhì)量分數(shù)Ca105321

()/%

-6不大于

(×10),Cr151085

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