標(biāo)準(zhǔn)解讀
《YS/T 895-2013 高純錸化學(xué)分析方法 痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定 輝光放電質(zhì)譜法》是一項(xiàng)針對(duì)高純錸材料中痕量雜質(zhì)元素進(jìn)行測(cè)定的標(biāo)準(zhǔn)。該標(biāo)準(zhǔn)采用輝光放電質(zhì)譜(Glow Discharge Mass Spectrometry, GDMS)技術(shù)作為主要檢測(cè)手段,適用于分析包括但不限于鐵、鎳、銅等在內(nèi)的多種金屬及非金屬元素在錸中的含量。通過(guò)此方法能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)錸樣品中低至ppb級(jí)別的雜質(zhì)濃度進(jìn)行精確測(cè)量。
標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了從樣品制備到數(shù)據(jù)分析整個(gè)過(guò)程的操作步驟和技術(shù)要求,其中包括:
- 樣品準(zhǔn)備:需要確保被測(cè)樣品表面清潔無(wú)污染,并且形狀尺寸符合儀器使用需求。
- 測(cè)量條件設(shè)置:根據(jù)待測(cè)元素種類調(diào)整GDMS設(shè)備參數(shù),如功率、壓力等,以獲得最佳信號(hào)強(qiáng)度和分辨率。
- 數(shù)據(jù)處理與校正:利用內(nèi)標(biāo)法或外標(biāo)法對(duì)原始數(shù)據(jù)進(jìn)行歸一化處理,消除基體效應(yīng)帶來(lái)的影響;同時(shí)還需要考慮可能存在的多原子離子干擾問(wèn)題,采取適當(dāng)措施予以排除或修正。
此外,《YS/T 895-2013》還特別強(qiáng)調(diào)了實(shí)驗(yàn)過(guò)程中質(zhì)量控制的重要性,建議定期使用已知成分的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)來(lái)驗(yàn)證方法的有效性和準(zhǔn)確性。對(duì)于初次建立該測(cè)試體系的實(shí)驗(yàn)室來(lái)說(shuō),還需按照相關(guān)指南完成方法確認(rèn)工作,確保其符合預(yù)期性能指標(biāo)。
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....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2013-10-17 頒布
- 2014-03-01 實(shí)施
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YS/T 895-2013高純錸化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法-免費(fèi)下載試讀頁(yè)文檔簡(jiǎn)介
ICS7712099
H63..
中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
YS/T895—2013
高純錸化學(xué)分析方法
痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定
輝光放電質(zhì)譜法
Methodsforchemicalanalysisofhighpurityrhenium—
Determinationoftraceimpurityelementcontent—
Glowdischargemassspectrometry
2013-10-17發(fā)布2014-03-01實(shí)施
中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布
YS/T895—2013
前言
本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口
(SAC/TC243)。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京有色金屬研究總院金川集團(tuán)股份有限公司東方電氣集團(tuán)峨嵋半導(dǎo)體材料
:、、
有限公司
。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李繼東秦芳林王攀峰孫澤明劉英王長(zhǎng)華童堅(jiān)臧慕文文英邱平
:、、、、、、、、、。
Ⅰ
YS/T895—2013
高純錸化學(xué)分析方法
痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定
輝光放電質(zhì)譜法
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純錸中痕量元素含量的測(cè)定方法測(cè)定元素見(jiàn)表
,1。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于高純錸中痕量元素含量的測(cè)定各元素測(cè)定范圍如下硫硒和汞元素的測(cè)定范圍為
。:、
其余元素的測(cè)定范圍為
50μg/kg~5000μg/kg,5μg/kg~5000μg/kg。
2方法原理
試料作為陰極進(jìn)行輝光放電其表面原子被濺射而脫離試樣進(jìn)入輝光放電等離子體中在等離子體
,,
中離子化后被導(dǎo)入質(zhì)譜儀在每一元素同位素質(zhì)量數(shù)處以預(yù)設(shè)的掃描點(diǎn)數(shù)和積分時(shí)間對(duì)相應(yīng)譜峰積
。
分所得面積即為譜峰強(qiáng)度元素含量用式求出無(wú)標(biāo)準(zhǔn)樣品時(shí)計(jì)算機(jī)根據(jù)儀器軟件中的典型相
,,(1)。,“
對(duì)靈敏度因子自動(dòng)計(jì)算出各元素的質(zhì)量分?jǐn)?shù)有標(biāo)準(zhǔn)樣品時(shí)需通過(guò)在與被測(cè)樣品相同的分析條件離
”;,、
子源結(jié)構(gòu)以及測(cè)試條件下對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行獨(dú)立測(cè)定獲得相對(duì)靈敏度因子應(yīng)用該相對(duì)靈敏度因子計(jì)算
,
出各元素的質(zhì)量分?jǐn)?shù)
。
IXA
wX=X·Rew
()RSF(/Re)·IAX·(Re)……(1)
Re·
式中
:
wX待測(cè)元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)單位為微克每千克
()———,(μg/kg);
X在特定輝光放電條件下測(cè)定中X元素的校正系數(shù)
RSF(/Re)———Re;
IX待測(cè)元素X的同位素譜峰強(qiáng)度
———,cps;
I元素的同位素譜峰強(qiáng)度
Re———Re,cps;
AX待測(cè)元素X的同位素豐度
———;
A元素的同位素豐度
Re———Re;
w的質(zhì)量分?jǐn)?shù)定義為9
(Re)———Re1.00×10μg/kg。
3試劑與材料
除非另有說(shuō)明本標(biāo)準(zhǔn)所用的試劑均為優(yōu)級(jí)純所用的水為一級(jí)水
,,。
31硝酸
.(1+1)。
32錸標(biāo)準(zhǔn)樣品被測(cè)元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)在之間
.,50μg/kg~500μg/kg。
33儀器背景監(jiān)控樣品被測(cè)元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)低于被測(cè)試樣的倍以上
.,10。
34氬氣φ
.(≥99.999%)。
35氮?dú)猞?/p>
.(≥99.99%)。
4儀器
41高質(zhì)量分辨率輝光放電質(zhì)譜儀
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