標(biāo)準(zhǔn)解讀
《YS/T 980-2014 高純?nèi)趸夒s質(zhì)含量的測(cè)定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法》是一項(xiàng)針對(duì)高純度三氧化二鎵中雜質(zhì)元素含量分析的標(biāo)準(zhǔn)。該標(biāo)準(zhǔn)主要規(guī)定了使用電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)技術(shù)來(lái)檢測(cè)樣品中的多種微量元素的方法流程,適用于評(píng)估材料純度以及控制生產(chǎn)過(guò)程質(zhì)量。
標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)描述了從樣品準(zhǔn)備到最終結(jié)果報(bào)告的一系列步驟。首先,在樣品制備階段,需要將待測(cè)的高純?nèi)趸壢芙庥谶m當(dāng)?shù)娜軇┲行纬扇芤海⒖赡芨鶕?jù)具體要求進(jìn)行稀釋或其他預(yù)處理以適應(yīng)后續(xù)分析條件。接著是儀器設(shè)置部分,包括選擇合適的ICP-MS參數(shù)如射頻功率、載氣流量等,確保獲得最佳靈敏度和穩(wěn)定性。
在實(shí)際測(cè)量過(guò)程中,通過(guò)與已知濃度的標(biāo)準(zhǔn)溶液比較來(lái)確定未知樣品中各目標(biāo)元素的具體含量。為了保證數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性,還強(qiáng)調(diào)了空白實(shí)驗(yàn)的重要性,即采用同樣的方法對(duì)不含待測(cè)成分的對(duì)照樣進(jìn)行測(cè)試,以此排除外界因素干擾。此外,標(biāo)準(zhǔn)也提到了內(nèi)標(biāo)法的應(yīng)用,通過(guò)添加一定量的非目標(biāo)元素作為參考點(diǎn),幫助校正因基體效應(yīng)或信號(hào)漂移引起的變化,從而提高定量分析的精確性。
整個(gè)分析流程結(jié)束后,按照指定格式整理并記錄下所有相關(guān)數(shù)據(jù),包括但不限于樣品信息、儀器工作條件、所用標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)詳情及最終計(jì)算得出的結(jié)果等。這些內(nèi)容構(gòu)成了完整的檢測(cè)報(bào)告,為用戶提供關(guān)于其產(chǎn)品雜質(zhì)水平的有效反饋。
如需獲取更多詳盡信息,請(qǐng)直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文檔。
....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2014-10-14 頒布
- 2015-04-01 實(shí)施



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YS/T 980-2014高純?nèi)趸夒s質(zhì)含量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法-免費(fèi)下載試讀頁(yè)文檔簡(jiǎn)介
ICS7704030
H17..
中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
YS/T980—2014
高純?nèi)趸夒s質(zhì)含量的測(cè)定
電感耦合等離子體質(zhì)譜法
Determinationofimpuritiesofhighpuritygalliumoxide—
Inductivelycoupledplasma-massspectrmetry
2014-10-14發(fā)布2015-04-01實(shí)施
中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布
YS/T980—2014
前言
本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口
(SAC/TC243)。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位峨嵋半導(dǎo)體材料研究所南京中鍺科技股份有限公司廣東先導(dǎo)稀材股份有限
:、、
公司
。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人劉愛(ài)華孫平種娜鄭孝桃楊海燕朱贊芳陳劼劉心君
:、、、、、、、。
Ⅰ
YS/T980—2014
高純?nèi)趸夒s質(zhì)含量的測(cè)定
電感耦合等離子體質(zhì)譜法
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純?nèi)趸壷须s質(zhì)元素含量的測(cè)定方法
。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于高純?nèi)趸壷锈c鎂鈣鈦釩鉻錳鐵鎳鈷銅鋅錫鉛銦含量的測(cè)定
、、、、、、、、、、、、、、。
各元素測(cè)定范圍為-6-5
(1×10)%~(4×10)%。
2方法提要
試料經(jīng)混酸溶解制備成待測(cè)溶液后用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀進(jìn)行測(cè)定獲得待測(cè)元
,(ICP-MS),
素質(zhì)量數(shù)信號(hào)以雜質(zhì)元素質(zhì)量數(shù)的信號(hào)強(qiáng)度為縱坐標(biāo)雜質(zhì)元素濃度為橫坐標(biāo)繪制標(biāo)準(zhǔn)加入法工作
。,
曲線進(jìn)而計(jì)算所測(cè)樣品中待測(cè)元素的質(zhì)量分?jǐn)?shù)推薦采用附錄所列測(cè)量元素的同位素質(zhì)量數(shù)
,。A。
3試劑和材料
除非另有說(shuō)明在分析中所使用的水均為去離子水電阻率
,,≥18.0MΩ/cm。
31硝酸總雜質(zhì)含量質(zhì)量分?jǐn)?shù)為
.,≤1ng/mL,70%。
32鹽酸總雜質(zhì)含量質(zhì)量分?jǐn)?shù)為
.,≤10ng/mL,65%。
33標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液
.
331混合標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液由含待測(cè)元素組成的混合標(biāo)準(zhǔn)溶液規(guī)格濃度
..:(:GSB04-1767—2004),
為
1000μg/mL。
332鈦標(biāo)準(zhǔn)溶液由國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心提供規(guī)格介質(zhì)為硝酸
..(1000g/mL)(:GF5310),2%
溶液μ
。
333釩標(biāo)準(zhǔn)溶液由國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心提供規(guī)格介質(zhì)為硝酸
..(1000g/mL)(:GF5311),2%
溶液μ
。
334錫標(biāo)準(zhǔn)溶液由國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心提供規(guī)格介質(zhì)為
..(1000g/mL)(:GSB04-1753—2004),
鹽酸溶液μ
3%。
34混合標(biāo)準(zhǔn)溶液的配置分別移取的混合標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液鈦標(biāo)準(zhǔn)溶液釩標(biāo)
.:0.01mL(3.3.1)、(3.3.2)、
準(zhǔn)溶液錫標(biāo)準(zhǔn)溶液于的容量瓶稀釋至刻度此時(shí)混合標(biāo)準(zhǔn)溶液各待測(cè)雜質(zhì)元
(3.3.3)、(3.3.4)100mL,,
素的濃度為
0.1μg/mL。
35氬氣純度
.:>99.999%。
4儀器
電感耦合等離子體質(zhì)譜儀經(jīng)過(guò)優(yōu)化儀器工作條件得出儀器工作參數(shù)參見(jiàn)附錄
:,,B。
5分析步驟
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