第9章有機(jī)電致發(fā)光顯示

第9章電子紙和有機(jī)電致發(fā)光顯示OLED1提綱一、電子紙和有機(jī)電致發(fā)光顯示發(fā)展歷程二、有機(jī)/聚合物電致發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)三、OLED的工作原理四、OLED制作材料五、OLED的工作特性六、OLED的制作工藝七、OLED的驅(qū)動(dòng)技術(shù)八、新型OLED顯示技術(shù)2電子紙兩千多年前我們的祖先發(fā)明了造紙術(shù)，此后紙張就一直是人們用于記錄、傳播和交流信息最重要的一種媒介；但紙張上印刷的內(nèi)容一旦成型便不能更改，而現(xiàn)代電子顯示技術(shù)的發(fā)展讓大家看到了電子顯示介質(zhì)在“信息可刷新特性”方面明顯優(yōu)于傳統(tǒng)紙張的事實(shí)。

其實(shí)早在30多年前就有科學(xué)家提出了“電子紙”的概念，時(shí)至今日，電子紙技術(shù)已有了長(zhǎng)足的發(fā)展，并在很多領(lǐng)域開始得到應(yīng)用。從目前的趨勢(shì)來看，也許在不久的將來電子紙就會(huì)融入大家的工作、學(xué)習(xí)和生活當(dāng)中……3

何為電子紙？

電子紙的學(xué)名叫做ElectronicPaper(簡(jiǎn)稱E-Paper)，也稱數(shù)字紙(DigitalPaper)、類紙顯示器(Paper-LikeDisplay)，是一種視覺效果與紙張相似的電子顯示裝置，具有易于閱讀、便于攜帶和低功耗等特性。采用柔性基板材料制造出來的柔性電子紙，能夠像紙張一樣輕薄、可卷繞或折疊以便于攜帶。目前柔性電子紙可采用塑料、薄型金屬和超薄玻璃基板等。柔性電子紙?jiān)谡w結(jié)構(gòu)上一般可分為“前板”(FrontPlane)和“后板”(BackPlane)兩部分，前板主要指電子紙外層的顯示介質(zhì)部分，后板則主要是指電子紙的驅(qū)動(dòng)電路部分。4亞馬遜Kindle電子書56AmazonKindle（亞馬遜）不僅打開電子書閱讀器市場(chǎng)，也奠定電子紙?jiān)陔娮訒鴳?yīng)用上的主流顯示技術(shù)地位。由于無需背光模塊構(gòu)造，因此Kindle1次充電可使用90小時(shí)，或翻頁(yè)10,000次。即使1天閱讀時(shí)間超過12小時(shí)，Kindle亦可連續(xù)使用超過1星期而不需充電。電子紙目前最主要的一種應(yīng)用是電子書閱讀器(E-BookReader)，這是一種以電子紙為核心部件的便攜式電子設(shè)備，用于閱讀電子圖書報(bào)刊。電子紙還可廣泛用于廣告牌、信用卡、會(huì)員卡、鐘表、電子標(biāo)簽、各種指示器、醫(yī)療器械以及數(shù)碼相框、手機(jī)等便攜式消費(fèi)產(chǎn)品；此外，電子紙目前的市場(chǎng)定位雖不是要取代液晶顯示器，但隨著高亮度、高分辨率和高響應(yīng)速度全彩色電子紙技術(shù)的發(fā)展，其應(yīng)用將很有可能會(huì)擴(kuò)展到電腦顯示器、電視機(jī)等更龐大的應(yīng)用領(lǐng)域。顯然，巨大的商機(jī)正在推動(dòng)著電子紙技術(shù)更快速的發(fā)展，電子紙技術(shù)的發(fā)展速度和應(yīng)用范圍也許比人們?cè)瓉眍A(yù)想的要快得多和寬得多。7電子紙的特性

反射型顯示材料與更高的易讀性我們能夠看到紙上的內(nèi)容是因?yàn)樗鼘h(huán)境光反射到我們的眼睛里：白色部分反射了大量的環(huán)境光；而黑色文字(油墨)則吸收了大量光線，使得文字部分反射光相對(duì)非文字部分大量減少，因此在我們眼睛里就形成了“白底黑字”的感覺。紙張的特點(diǎn)是通過反射環(huán)境光來顯示內(nèi)容且光反射高達(dá)65%，可獲得較高的亮度、對(duì)比度和可視視角(接近180°)。深究下去就會(huì)發(fā)現(xiàn)，按照光產(chǎn)生的方式，電子顯示介質(zhì)可以分為兩種類型，一種是依靠自身光源顯像的“發(fā)散型”(例如LCD顯示器)，另一種是利用環(huán)境光顯像的“反射型”(電子紙)。而前面紙張的例子告訴我們，反射型電子顯示材料要具有更高的閱讀舒適性，而電子紙就是這樣一種靠反射光來工作的顯示材料。8

便攜設(shè)備對(duì)功耗要求異常敏感現(xiàn)在人們?cè)絹碓娇粗乇銛y設(shè)備，但是由電池供電的各種便攜設(shè)備都面臨著續(xù)航能力的問題，所以要想在這個(gè)領(lǐng)域有所作為必然要滿足兩個(gè)條件：低電壓與低功耗。也正因如此，電子紙一般都采用功耗非常低的“雙穩(wěn)態(tài)顯示技術(shù)”。所謂的“雙穩(wěn)態(tài)顯示器件(BistableDisplay)”，就是像素都具有“亮”與“暗”兩種穩(wěn)定顯示狀態(tài)，且在沒有外加電壓時(shí)能保持其顯示內(nèi)容不變。通俗來講，就是雙穩(wěn)態(tài)顯示可以在低耗電或“零功耗”的情況下保持或“記憶”顯示內(nèi)容，只在更新顯示內(nèi)容時(shí)加載瞬間的驅(qū)動(dòng)電壓。9

高亮度、彩色和動(dòng)態(tài)顯示亮度和對(duì)比度是決定電子紙易讀性的關(guān)鍵因素，所以高亮度和高對(duì)比度毫無疑問將是電子紙技術(shù)發(fā)展的一個(gè)重點(diǎn)。彩色顯示具有更豐富、更逼真的視覺效果，高品質(zhì)的彩色電子紙無疑具有更強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力和更大的市場(chǎng)需求，眾多的廠商和研究機(jī)構(gòu)目前都在爭(zhēng)先恐后地努力跨越電子紙彩色化顯示的技術(shù)難關(guān)。動(dòng)態(tài)顯示是電子紙獲得更廣泛應(yīng)用的前提，所以各種新型電子紙技術(shù)都在盡力突破響應(yīng)速度的瓶頸，以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)影像的顯示。10電子紙的前世今生最早的電子紙被稱為“Gyricon”，誕生于1970年聲名顯赫的施樂paloalto研究中心(簡(jiǎn)稱PARC)——這里可是激光打印機(jī)、面向?qū)ο缶幊碳夹g(shù)、計(jì)算機(jī)圖形界面等眾多影響20世紀(jì)歷史發(fā)展進(jìn)程的重大技術(shù)的誕生地。在2000年新世紀(jì)到來的時(shí)候，PARC發(fā)布了Gyricon的樣品，宣告這項(xiàng)新顯示技術(shù)全面進(jìn)入市場(chǎng)。1112Gyricon的核心部分是一片看上去與普通紙張類似的透明膠片，但是在膠片里面分布了高達(dá)百萬(wàn)計(jì)的直徑在100微米左右大小的帶電小球。每個(gè)小球的一面涂上了帶負(fù)電黑色涂料，另一面涂上帶正電的白色涂料。這些小球被密封在透明的充滿潤(rùn)滑油的硅膠片中。在硅膠片的表面構(gòu)造了類似液晶TFT一樣的電路，能夠按照需要在不同的位置施加正電壓或者負(fù)電壓。這樣內(nèi)部泡在潤(rùn)滑油中的帶電小球就會(huì)在電場(chǎng)的作用下發(fā)生旋轉(zhuǎn)，選擇性的將黑色或者白色部分翻轉(zhuǎn)出來，在宏觀上形成需要顯示的文字或者圖案。Gyricon中小球在電場(chǎng)變化時(shí)發(fā)生旋轉(zhuǎn)13而當(dāng)Gyricon斷開電源，已經(jīng)旋轉(zhuǎn)到位的小球便保持之前的旋轉(zhuǎn)排列方式，宏觀上就將顯示內(nèi)容保存下來，像雜志一樣長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定顯示。下圖中就是Gyricon技術(shù)最早的驗(yàn)證模型：在一小片夾有帶電雙色小球的硅膠片下方安置一片透明的X形狀的電極。當(dāng)電極通電后，我們就看到了X的圖案。Gyricon顛覆了電子顯示領(lǐng)域幾十年來的固有特點(diǎn)——自發(fā)光，在環(huán)境光線不足的條件下，Gyricon和一般報(bào)紙雜志一樣不易觀看；但是在明亮的環(huán)境中，Gyricon帶來了報(bào)紙般的清晰、廣視角的閱讀體驗(yàn)，討好閱讀者的眼睛。由于僅在需要改變顯示內(nèi)容的時(shí)候才需要加電，Gyricon能夠最大限度的做到省電。遺憾的是，施樂公司和PARC研究中心因?yàn)橐欢螘r(shí)間高層管理者的短視，始終將全部精力放在復(fù)印機(jī)的研發(fā)和推廣上，其它在現(xiàn)在看來如日中天的技術(shù)漸漸被束之高閣。Gyricon也因?yàn)榈貌坏接辛Φ闹С直婚L(zhǎng)期放在公司的實(shí)驗(yàn)室里，直到上世紀(jì)末才重啟開發(fā)進(jìn)程，嚴(yán)重影響了Gyricon技術(shù)的發(fā)展，很多問題直到現(xiàn)在仍沒有很好解決。14

顯示畫面不夠細(xì)膩。Gyricon顯示會(huì)受帶電小球旋轉(zhuǎn)的約束——如果膠片中小球排列太疏，那么最終畫面連續(xù)性和對(duì)比度將會(huì)下降；而小球又不能排列太緊密，以免影響正常旋轉(zhuǎn)。與此同時(shí)，如果小球尺寸太大，顯示畫面難免有顆粒感；而縮小小球尺寸又受到微細(xì)加工水平的限制，無法快速取得突破。

響應(yīng)時(shí)間太長(zhǎng)。Gyricon變化顏色依靠加電使帶電雙色小球旋轉(zhuǎn)，對(duì)比液晶材料使微小的液晶分子旋轉(zhuǎn)需要幾毫秒，而要靠電壓轉(zhuǎn)動(dòng)100微米固態(tài)小球耗費(fèi)時(shí)間更長(zhǎng)——超過100毫秒，也就是說你看到Gyricon在切換時(shí)的漸變特征并不是什么“特效”，而是實(shí)實(shí)在在的“慢”。

由于以上種種，Gyricon的市場(chǎng)推廣并不成功。反倒是在Gyricon技術(shù)原理的啟發(fā)下，又誕生了很多同類技術(shù)，在快速改進(jìn)性能和降低成本后已經(jīng)進(jìn)入大眾市場(chǎng)，這其中最有名的當(dāng)屬E-Ink公司的E-Ink(電子墨水)技術(shù)。1516E-Ink電子墨水E-Ink技術(shù)和Gyricon最大的區(qū)別就是放棄了可旋轉(zhuǎn)小球的設(shè)計(jì)理念，轉(zhuǎn)而在硅膠片中內(nèi)置了上百萬(wàn)的微型膠囊。每個(gè)微型膠囊中充滿透明潤(rùn)滑液體，并包含了無數(shù)納米級(jí)的黑白小顆粒；黑色的顆粒帶負(fù)電，白色的顆粒帶正電。當(dāng)施加電場(chǎng)的時(shí)候，黑色的顆粒聚集到膠囊表面，而白色顆粒聚集到膠囊底部。這樣整個(gè)膠片看上去也能呈現(xiàn)出文字或者圖案來。由于膠囊不需考慮旋轉(zhuǎn)和保證兩個(gè)半球均勻上色的問題，E-Ink可以將微膠囊做得很緊密，并在膠囊內(nèi)加入顏色性質(zhì)穩(wěn)定的雙色球，以實(shí)現(xiàn)比Gyricon更強(qiáng)的反射亮度、更高的對(duì)比度。不光如此，E-Ink還能實(shí)現(xiàn)單個(gè)膠囊的多級(jí)灰度顯示。如下圖所示，每個(gè)膠囊使用兩套不同的電極控制電路：左邊膠囊的雙電極極性相同，就能實(shí)現(xiàn)全白或者全黑；右邊的膠囊雙電極極性相反，巧妙的實(shí)現(xiàn)了灰色顯示。這樣單個(gè)膠囊就能實(shí)現(xiàn)全黑、全白、黑到白、白到黑四種顯示灰度效果，使得圖像更細(xì)膩平滑。E-Ink電子紙基本原理17元太EInk彩色電子紙預(yù)計(jì)4Q’10量產(chǎn)184,096色SiPix電子紙基本原理19Cupwidth(w)orlength(l):40-200μm2ndelectrodeorreleaseliner1stelectrodefilmCupWallWidth(ww):5-30μmSealing/AdhesiveLayerChargedParticlesDielectricSolventCupheight(h):10-40μmCross-sectionviewofMicrocup?EPD20達(dá)意展出配備投射式電容

觸控面板的電子紙顯示器6吋、SVGA9吋、XGA21將會(huì)在戶外大面積顯示領(lǐng)域無限風(fēng)光的Gyricon電子紙22Gyricon和E-Ink目前幾乎統(tǒng)治了電子紙張的實(shí)際應(yīng)用市場(chǎng)。Gyricon雖然在精細(xì)化顯示方面存在明顯不足，但是相對(duì)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)使其在大面積顯示和內(nèi)容簡(jiǎn)單無需頻繁變化的場(chǎng)合頗有作為，如體育場(chǎng)的比分牌和廣告牌、超級(jí)市場(chǎng)的價(jià)格標(biāo)簽等。不過目前的E-Ink電子紙技術(shù)還在兩大缺陷，即響應(yīng)時(shí)間過慢和色彩單一：

雖然E-Ink電泳的顯示方式大幅提高了響應(yīng)速度，最先進(jìn)的Vizplex技術(shù)已經(jīng)將響應(yīng)時(shí)間降低到20ms等級(jí)。不過熟悉液晶顯示響應(yīng)速度的讀者肯定明白這還遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。使用者仍然會(huì)明顯感覺到內(nèi)容切換時(shí)的遲滯。

無論是Gyricon還是E-Ink，其基礎(chǔ)顯示原理只支持雙色顯示。對(duì)于彩色顯示完全力不從心。23實(shí)現(xiàn)電子紙彩色顯示的有益嘗試為了解決傳統(tǒng)E-Ink電子紙只能顯示黑白兩種顏色的尷尬，E-Ink公司與專業(yè)的濾色片廠商Toppan公司合作開發(fā)了濾色片彩色E-Ink電子紙并展示過其試驗(yàn)樣機(jī)。這種方案一經(jīng)問世便受到一些后板廠商的青睞，例如HP采用可有效降低生產(chǎn)成本的“自對(duì)準(zhǔn)壓印光刻”(SAIL)工藝、三星采用新型“碳納米管”(CNTs)電路后板、LGPhilips采用薄膜電路后板開發(fā)的濾色片彩色E-Ink電子紙，都已展示過樣機(jī)。另外，Bridgestone也展示過濾色片型QR-LPD彩色電子紙。24HP、LG-Philips展示的濾色片型彩色電子紙電子紙與TFTLCD基本差異比較電子紙TFTLCD動(dòng)作畫面性能低動(dòng)畫性能高/高色飽和度反射型/不需背光發(fā)光型/需背光可撓性/輕薄化彎曲不易無充電狀態(tài)畫面可保持無充電狀態(tài)畫面無法保持2526電子紙TFTLCD(以下指大尺寸主要應(yīng)用)SmartCard電子卷標(biāo)外接式儲(chǔ)存裝置27SDメモリーカードを利用する電子ブックリーダー「SDe-BOOK」の試作品。7インチの高精細(xì)低溫ポリシリコンTFT液晶を搭載し、Bluetoothにも対応ケータイWatchホームページケータイWatch編集部k-tai@impress.co.jp

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是否會(huì)擴(kuò)張到電子書閱讀器應(yīng)用？目前AMOLED面板在小尺寸(5吋以下)應(yīng)用價(jià)格是TFTLCD近2倍，6吋以上電子書大小的AMOLED將更貴及更難生產(chǎn)，故短期內(nèi)無介入電子書市場(chǎng)空間。28Softbank941SC

3.3吋、WVGA(800x480)NTTDocomoT-01B

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4.1吋、WVGA(800x480)SamsungS8500Wave3.3吋、WVGA(800×480)HTCDesire3.7吋、WVGA(800x480)一、有機(jī)電致發(fā)光顯示發(fā)展簡(jiǎn)介

有機(jī)電致發(fā)光顯示，又稱為有機(jī)發(fā)光二極管（OrganicLightEmittingDiode，OLED）。

20世紀(jì)初，人們就已經(jīng)發(fā)現(xiàn)了有機(jī)電致發(fā)光現(xiàn)象。

1963年NewYorkUniv.的Pope等第一次發(fā)現(xiàn)有機(jī)材料單晶蒽的電致發(fā)光現(xiàn)象。Anthracene單晶層厚度20，驅(qū)動(dòng)電壓400V2.1982年Vincett的研究小組制備出厚度0.6蒽的薄膜，并觀測(cè)到電致發(fā)光。驅(qū)動(dòng)電壓30V，但是器件的量子效率很低，小于1％總體特點(diǎn)（1）單層器件;（2）驅(qū)動(dòng)電壓高；（3）器件效率低291987年Kodak公司的鄧青云等采用了夾層式的多層器件結(jié)構(gòu)，開創(chuàng)了有機(jī)電致發(fā)光的新的時(shí)代。Appl.Phys.Lett.51(12),21September1987驅(qū)動(dòng)電壓小于10V最大外量子效率1％最大亮度大于1000cd/m2創(chuàng)新點(diǎn)：（1）多功能有機(jī)層的結(jié)構(gòu)；（2）超薄的有機(jī)層厚度75nm60nm鄧青云博士304.

英國(guó)劍橋大學(xué)Cavendish實(shí)驗(yàn)室的FriendRH等人首次采用共軛聚合物聚對(duì)苯撐乙烯（PPV，polyphenylenevinylene)制作了高分子發(fā)光二極管，簡(jiǎn)化了制備工藝，開辟了發(fā)光器件的又一個(gè)新領(lǐng)域聚合物薄膜電致發(fā)光器件。Nature，347，539（1990）5.

1997年，PrincetonUniv.ForrestSR的小組發(fā)現(xiàn)磷光的有機(jī)電致發(fā)光材料，使得有機(jī)電致發(fā)光器件的內(nèi)量子效率可能到達(dá)100％。31

近十多年里,OLED作為一種新型顯示技術(shù)已經(jīng)取得了長(zhǎng)足的發(fā)展，就器件的發(fā)光亮度、發(fā)光效率和壽命而言，OLED器件已經(jīng)基本達(dá)到了實(shí)用的要求。

如發(fā)光效率：>10lm/W；穩(wěn)定性：亮度為100cd/m2時(shí)，工作壽命大于10000小時(shí)；

發(fā)光壽命：綠光器件達(dá)8萬(wàn)小時(shí)，黃光器件達(dá)3萬(wàn)小時(shí)，藍(lán)光器件達(dá)8千小時(shí)；

目前最大尺寸：已經(jīng)超過40英寸。一、有機(jī)電致發(fā)光顯示發(fā)展簡(jiǎn)介32三星研制出40英寸OLED：分辨率:1280×800，對(duì)比度：5000:1，亮度：600cd/m233OLED的特點(diǎn):

（1）全固態(tài)器件,自發(fā)光型,無真空腔,無液態(tài)成分,不怕震動(dòng),使用方便；（2）響應(yīng)速度快（微秒量級(jí)），視角寬（大于160度），工作溫度范圍寬（-40℃～80℃）；（3）有機(jī)電致發(fā)光材料可選范圍廣,容易得到全色顯示;（4）亮度、效率高;（5）直流驅(qū)動(dòng)電壓低、能耗少,可與集成電路驅(qū)動(dòng)相匹配;（6）制作工藝簡(jiǎn)單、成本低;（7）可實(shí)現(xiàn)超薄的大面積平板顯示;（8）良好的機(jī)械加工性能,可做成柔性顯示器。一、有機(jī)電致發(fā)光顯示發(fā)展簡(jiǎn)介34一、有機(jī)電致發(fā)光顯示發(fā)展簡(jiǎn)介35一、有機(jī)電致發(fā)光顯示發(fā)展簡(jiǎn)介OLED的分類：基于有機(jī)小分子的有機(jī)電致發(fā)光器件(OLED)基于有機(jī)聚合物的有機(jī)電致發(fā)光器件(PLED)36

OLED發(fā)展趨勢(shì)：（1）開發(fā)新型OLED有機(jī)材料，以進(jìn)一步提高器件性能；（2）改善生產(chǎn)工藝，提高成品率；（3）研制彩色顯示器及相關(guān)驅(qū)動(dòng)電路；（4）為了實(shí)現(xiàn)大面積顯示，研發(fā)低溫多晶硅TFT方式驅(qū)動(dòng)的OLED顯示器。未來工作方向:(1)壽命及穩(wěn)定性:提高發(fā)光效率和器件的壽命,增加其穩(wěn)定性。(2)全光譜發(fā)光:雖然發(fā)紅、藍(lán)兩色光的材料被不斷報(bào)道,但是同比較成熟的黃綠光材料相比,仍有較大不足,實(shí)現(xiàn)三色顯示還需努力。(3)發(fā)光機(jī)理:進(jìn)一步了解器件的發(fā)光機(jī)理,器件的老化現(xiàn)象、發(fā)光同環(huán)境和溫度的關(guān)系都是研究的焦點(diǎn)。一、有機(jī)電致發(fā)光顯示發(fā)展簡(jiǎn)介37OLED應(yīng)用領(lǐng)域

作為平面顯示的光源，用作液晶顯示器背光源、鐘表背光源等。用于交通安全發(fā)光標(biāo)志、金融證券顯示、汽車發(fā)光牌號(hào)、建筑發(fā)光裝飾、軍用發(fā)光地圖及發(fā)光工藝品等。替代液晶用于制造小屏幕的顯示器件。開發(fā)出屏幕較大的顯示器。一、有機(jī)電致發(fā)光顯示發(fā)展簡(jiǎn)介38一、有機(jī)電致發(fā)光顯示發(fā)展簡(jiǎn)介39尺寸：14.7英吋色彩：26萬(wàn)色點(diǎn)陣：象素1280×720亮度：300cd/m2對(duì)比度：500:1通過白光OLED加濾色膜的方式實(shí)現(xiàn)全彩色一、有機(jī)電致發(fā)光顯示發(fā)展簡(jiǎn)介40二、有機(jī)/聚合物電致發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)（1）單層結(jié)構(gòu)

在器件的正極和負(fù)極間，制作有一種或多種物質(zhì)組成的發(fā)光層。單層器件的發(fā)光層厚度通常在100nm。優(yōu)點(diǎn)：制備方法簡(jiǎn)單。缺點(diǎn)：A.復(fù)合發(fā)光區(qū)靠近金屬電極而靠近金屬電極處缺陷多，非輻射復(fù)合幾率大，而且該處的高電場(chǎng)容易產(chǎn)生發(fā)光淬滅；

B.由于兩種載流子注入不平衡，載流子的復(fù)合幾率比較低，因而影響器件的發(fā)光效率。單層EL器件結(jié)構(gòu)圖41（2）雙層器件結(jié)構(gòu)柯達(dá)公司首先提出了雙層有機(jī)膜結(jié)構(gòu)，有效地解決電子和空穴的復(fù)合區(qū)遠(yuǎn)離電極和平衡載流子注入速率問題，使有機(jī)EL的研究進(jìn)入了一個(gè)新階段。他們的器件結(jié)構(gòu)也叫DL-A型雙層結(jié)構(gòu)。主要特點(diǎn):

發(fā)光層材料具有電子傳輸性，需要加入一層空穴傳輸材料去調(diào)節(jié)空穴和電子注入到發(fā)光層的速率，這層空穴傳輸材料還起著阻擋電子的作用，使注入的電子和空穴在發(fā)光層處發(fā)生復(fù)合。DL-A型雙層EL器件結(jié)構(gòu)圖二、有機(jī)/聚合物電致發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)42DL-B型雙層EL器件結(jié)構(gòu)圖

如果發(fā)光層材料具有空穴傳輸性質(zhì)，就需要使用DL-B型雙層結(jié)構(gòu)，即需要加入電子傳輸層以調(diào)節(jié)載流子的注入速率，使注入的電子和空穴是在發(fā)光層處復(fù)合。二、有機(jī)/聚合物電致發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)43三層EL器件結(jié)構(gòu)圖（3）三層器件結(jié)構(gòu)由空穴傳輸層（HTL）、電子傳輸層（ETL）和將電能轉(zhuǎn)化成光能的發(fā)光層組成。HTL負(fù)責(zé)調(diào)節(jié)空穴的注入速度和注入量,ETL負(fù)責(zé)調(diào)節(jié)電子的注入速度和注入量。優(yōu)點(diǎn):使三層功能層各行其職，對(duì)于選擇材料和優(yōu)化器件結(jié)構(gòu)性能十分方便，是目前有機(jī)EL器件中最常采用的器件結(jié)構(gòu)之一。

二、有機(jī)/聚合物電致發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)44多層EL器件結(jié)構(gòu)圖（4）多層器件結(jié)構(gòu)可提高OLED的發(fā)光亮度和發(fā)光效率。主要形式：A.在兩電極內(nèi)側(cè)加緩沖層，以增加電子和空穴的注入量；B.為提高器件的發(fā)光效率，使用了空穴阻擋層HBL。二、有機(jī)/聚合物電致發(fā)光器件的結(jié)構(gòu)45三、OLED的工作原理46

三、OLED的工作原理eheeeehhhhhq=qV-bibiCA陽(yáng)極有機(jī)層陰極

OLED器件發(fā)光過程

1)載流子注入

2)載流子傳輸

3)激子的形成

4)輻射發(fā)光襯底透明陽(yáng)極金屬陰極有機(jī)層eheh復(fù)合光發(fā)射DC電源47?

熱發(fā)射注入器件電流可表示為：式中（2）載流子傳輸將注入至有機(jī)層的載流子運(yùn)輸至復(fù)合界面處。衡量有機(jī)薄膜載流子傳輸能力的一個(gè)主要指標(biāo)是載流子遷移率。目前所使用有機(jī)小分子空穴傳輸材料的遷移率一般在10cm2/V.s左右，而電子傳輸材料的遷移率相對(duì)低兩個(gè)數(shù)量級(jí)。E—電場(chǎng)強(qiáng)度；B—指前因子；?

隧穿注入器件電流可表示為：三、OLED的工作原理（1）載流子注入

48三、OLED的工作原理熒光和磷光材料

熒光：?jiǎn)尉€態(tài)；磷光：三線態(tài)

單線態(tài)－單線態(tài)“重原子效應(yīng)”三線態(tài)－單線態(tài)（3）激子復(fù)合和輻射發(fā)光49四、OLED制作材料有機(jī)小分子材料包括：

空穴傳輸材料、電子傳輸材料、發(fā)光材料。（1）空穴傳輸材料應(yīng)滿足的要求

?具有良好的空穴傳輸特性，即空穴遷移率高；

?具有較低的電子親和能，有利于空穴注入；

?激發(fā)能量高于發(fā)光層的激發(fā)能量；

?不能與發(fā)光層形成激基復(fù)合物；

?具有良好的成膜性和較高的玻璃化溫度，熱穩(wěn)定性好，可以用真空蒸發(fā)法形成致密的薄膜，不易結(jié)晶。

50常用的空穴傳輸材料分子結(jié)構(gòu)

TPD是最早應(yīng)用的空穴材料之一，但由于其熱穩(wěn)定性較差（Tg=65°C），導(dǎo)致器件的穩(wěn)定性較差，壽命較短。為提高熱穩(wěn)定性，將TPD分子中的甲苯基換成萘基得到了NPD，NPD的熱穩(wěn)定性有了很大提高（Tg=96°C），空穴遷移率也有所提高，是目前應(yīng)用最廣的有機(jī)小分子空穴傳輸材料。星型三芳胺空穴傳輸材料具有很高的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度，并能形成高質(zhì)量的無定型膜，是比較理想的空穴傳輸材料。四、OLED制作材料51（2）電子傳輸材料應(yīng)滿足的要求

?具有良好的電子傳輸特性，即電子遷移率高；

?具有較高的電子親和能，易于由陰極注入電子；

?相對(duì)較高的電離能，有利于阻擋空穴；

?不能與發(fā)光層形成激基復(fù)合物；

?成膜性和熱穩(wěn)定性良好，不易結(jié)晶。四、OLED制作材料52（3）小分子發(fā)光材料應(yīng)滿足的要求

?具有高效率的熒光量子效率；

?具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性，不與電極和載流子傳輸材料發(fā)生反應(yīng)；

?易形成致密的非晶態(tài)膜，不易結(jié)晶；

?具有適當(dāng)?shù)陌l(fā)光波長(zhǎng)；

?具有一定的載流子傳輸能力。

發(fā)光材料按分子結(jié)構(gòu)特性分為有機(jī)小分子熒光材料和有機(jī)金屬配合物材料，前者種類最多，典型的小分子熒光有機(jī)電致發(fā)光材料如DCM發(fā)紅光，香豆素C540發(fā)綠光。四、OLED制作材料53

另外，還有摻雜用小分子熒光材料如Rubrene。

有機(jī)配合物是最早使用的有機(jī)電致發(fā)光材料，具有優(yōu)良的載流子傳輸特性和成膜性能，典型的有8-羥基喹啉鋁（Alq3）及鈹?shù)慕j(luò)合物Bebq2。四、OLED制作材料54（4）聚合物發(fā)光材料1990年，劍橋大學(xué)的J.A.Burroughes等人首次報(bào)道了用聚合物薄膜制備的電致發(fā)光材料研究。聚合物發(fā)光材料的特性:

?當(dāng)短波光照射時(shí)，在390nm～780nm的可見光范圍內(nèi)，聚合物粉末或溶液具有高效率的熒光；

?具有較高的導(dǎo)電率，呈現(xiàn)良好的半導(dǎo)體特性；

?具有良好的成膜特性，在幾百甚至幾十納米的薄膜內(nèi)基本無針孔；

?穩(wěn)定性強(qiáng)，一般都具有良好的機(jī)械加工性能。

四、OLED制作材料55共軛聚合物用于電致發(fā)光的優(yōu)點(diǎn):

?可通過旋涂的方法制成大面積薄膜;

?可以通過化學(xué)結(jié)構(gòu)的改變或修飾來調(diào)節(jié)共軛聚合物的電子結(jié)構(gòu)、發(fā)光顏色;

?雖然聚合物的導(dǎo)電率很低,但是發(fā)光層的厚度很薄(10nm～100nm),所以在很低的外電壓下,加在聚合物薄膜上的電場(chǎng)強(qiáng)度也足以產(chǎn)生使器件發(fā)光所要求的電流密度。缺點(diǎn)：穩(wěn)定性不夠；壽命不長(zhǎng)；發(fā)光效率低；成膜技術(shù)不成熟。四、OLED制作材料56（5）三線態(tài)電致發(fā)光材料在有機(jī)電致發(fā)光器件中，能量轉(zhuǎn)移方式：?jiǎn)尉€態(tài)單線態(tài)；三線態(tài)三線態(tài)；單線態(tài)三線態(tài)；三線態(tài)單線態(tài)。對(duì)于熒光材料，它只能通過單線態(tài)單線態(tài)能量轉(zhuǎn)移的方式來利用形成的單線態(tài)激子，因此其最高內(nèi)量子效率為20%，最高外量子效率為5%。對(duì)于磷光材料，它即能通過三線態(tài)三線態(tài)能量轉(zhuǎn)移的方式來利用形成的三線態(tài)激子，又能通過單線態(tài)單線態(tài)能量轉(zhuǎn)移方式，然后經(jīng)過單線態(tài)三線態(tài)的系間竄越來利用形成的三線態(tài)激子，因此其最高內(nèi)量子效率可達(dá)100%，最高外量子效率為25%。四、OLED制作材料57目前三線態(tài)發(fā)光材料的不足之處：（1）室溫磷光材料較少，材料的選擇范圍不大；（2）存在三線態(tài)三線態(tài)淬滅，及磷光壽命長(zhǎng)易使發(fā)光飽和，導(dǎo)致高電流密度下磷光器件的效率下降；（3）環(huán)境氧對(duì)三線態(tài)有很強(qiáng)的淬滅作用，影響器件的發(fā)光強(qiáng)度和壽命。四、OLED制作材料58五、OLED的工作特性1、發(fā)光顏色有機(jī)和聚合物發(fā)光顏色的特點(diǎn)：（1）發(fā)光顏色覆蓋從紫外到紅外整個(gè)波段。只要改變發(fā)色團(tuán)的化學(xué)結(jié)構(gòu)或發(fā)色團(tuán)上取代基種類和位置，就可實(shí)施顏色調(diào)控；（2）色純差。有機(jī)和聚合物的吸收光譜和發(fā)射光譜一般都是寬帶光譜，譜峰的半高寬度大約在100~200nm之間，這是有機(jī)分子的振動(dòng)能級(jí)與電子能級(jí)互相疊加的結(jié)果。相對(duì)于無機(jī)發(fā)光材料，色純度要差的多；（3）形成基激復(fù)合物和發(fā)生能量轉(zhuǎn)移。59五、OLED的工作特性（1）分別制備紅、綠、藍(lán)三原色的發(fā)光中心，然后調(diào)節(jié)三種顏色不同程度的組合，產(chǎn)生彩色。（2）首先制備發(fā)白光的器件，然后通過彩色濾光膜得到三原色，重新組合三原色從而實(shí)現(xiàn)彩色顯示。OLED實(shí)現(xiàn)彩色顯示的方法：60（3）

首先制備發(fā)藍(lán)光的器件，然后通過藍(lán)光激發(fā)其它層材料分別得到紅光和綠光，從而進(jìn)一步得到彩色顯示。（4）

首先制備發(fā)白光或近于白光的器件，然后通過微腔共振結(jié)構(gòu)的調(diào)諧，得到不同波長(zhǎng)的單色光，然后再獲得彩色顯示。61(655nm)

(470nm)

（5）采用堆疊結(jié)構(gòu)，將采用透明電極的紅、綠、藍(lán)發(fā)光器件縱向堆疊，從而實(shí)現(xiàn)彩色顯示。五、OLED的工作特性62五、OLED的工作特性O(shè)LED器件的效率：內(nèi)量子效率：激子復(fù)合產(chǎn)生的光子數(shù)/注入的的電子空穴對(duì)數(shù)外量子效率：射出器件的光子數(shù)/注入的的電子空穴對(duì)數(shù)載流子復(fù)合系數(shù)單線態(tài)激子的形成概率單線態(tài)激子的輻射衰減效率從OLED的工作過程可以得到其外量子效率可以表示為63影響OLED發(fā)光效率的主要因素:(1)取決于電荷的平衡注入，為提高OLED的量子效率，由陽(yáng)極注入有機(jī)發(fā)光體的空穴數(shù)應(yīng)和陰極注入的電子數(shù)相等。(2)載流子遷移率。載流子從注入到復(fù)合有一個(gè)沿電場(chǎng)方向的遷移擴(kuò)散過程，為了提高形成激子的效率

，正負(fù)載流子的遷移率都應(yīng)該較大，并且兩者相差較小。（3）激子輻射衰減效率。有機(jī)發(fā)光材料的ph可以達(dá)到80%~100%，而聚合物發(fā)光材料的ph一般在達(dá)到20%左右。五、OLED的工作特性64（4）單態(tài)激子形成概率。在通常情況下，電子被空穴束縛，每產(chǎn)生一個(gè)單重態(tài)激子同時(shí)產(chǎn)生3個(gè)三重態(tài)激子，s=25%，因此即使注入到器件的電子全部被空穴束縛，且全部的單態(tài)激子均輻射產(chǎn)生光子，25%將是OLED的極限量子效率。由于三重態(tài)激子的躍遷受量子自旋守恒定律的限制,不能發(fā)光，75%的激子白白被熱耗掉。（5）能量轉(zhuǎn)移。當(dāng)兩種發(fā)色團(tuán)并存時(shí)一種發(fā)色團(tuán)的激發(fā)態(tài)可以將能量傳遞給另一種發(fā)色團(tuán)使之激發(fā)。對(duì)于前一種激子，這是“淬滅”；對(duì)于后一種發(fā)色團(tuán)，這是額外的激發(fā)，因而使其發(fā)光效率大幅度提高。五、OLED的工作特性653、壽命和失效機(jī)制OLEDs失效的表現(xiàn)形式：（1）恒定電流工作條件下，亮度、效率逐漸下降。五、OLED的工作特性（2）OLEDs在一定濕度、溫度的大氣環(huán)境中存放一定時(shí)間，發(fā)光亮度、效率衰減直至發(fā)光消失。這一過程體現(xiàn)出的是OLEDs的存貯壽命。（3）不管是存貯，還是工作，所有失效的OLED都出現(xiàn)大量的不發(fā)光區(qū)域——黑斑。66（1）短路現(xiàn)象。由于有機(jī)薄膜不均勻致密，從而有貫穿有機(jī)層的微型導(dǎo)電通道形成。（2）黑斑的形成。熱效應(yīng)——有機(jī)薄層的熱不穩(wěn)定性導(dǎo)致了黑點(diǎn)的形成；有機(jī)聚合物材料的化學(xué)不穩(wěn)定性——有機(jī)分子易受到氧和水的侵蝕，喪失發(fā)光能力；金屬陰極的不穩(wěn)定性——金屬陰極被氧化；金屬陰極有機(jī)層界面處化學(xué)反應(yīng)——水、氧和鋁三者所發(fā)生的電化學(xué)反應(yīng)會(huì)釋放出微量氣體，造成金屬陰極從有機(jī)層剝離開來。（3）雜質(zhì)的影響

雜質(zhì)是捕獲載流子和激子非輻射衰減（生熱）的中心，又可以引起內(nèi)部電場(chǎng)的局部畸變，因而是器件老化和蛻變得重要原因。OLED失效機(jī)制:五、OLED的工作特性67六、OLED的制作工藝OLED器件的典型結(jié)構(gòu)及制作工藝流程68一、ITO表面處理工藝目的：ITO的不均勻性將導(dǎo)致有機(jī)層不均勻，從而易形成局部強(qiáng)電場(chǎng)引起OLED中黑斑的產(chǎn)生。平整的ITO表面場(chǎng)強(qiáng)均勻，減小短路的危險(xiǎn)，提高OLED的穩(wěn)定性。早在1987年，鄧青云就指出，在沉積有機(jī)層之前，ITO表面必須進(jìn)行仔細(xì)的清洗，否則不能得到穩(wěn)定的OLED器件。六、OLED的制作工藝69ITO膜表面形態(tài)對(duì)OLED器件的性能:粗糙的ITO膜表面將使光線產(chǎn)生漫反射,減小出射光效率,降低OLED的外量子效率。OLED加電壓時(shí),粗糙表面會(huì)影響OLED的內(nèi)電場(chǎng)分布。ITO表面的尖峰將導(dǎo)致局部高電場(chǎng),高電場(chǎng)將使激子解離成為正負(fù)載流子,致使發(fā)光強(qiáng)度降低;而且高電場(chǎng)將加速有機(jī)材料的惡化,以至降低OLED的穩(wěn)定性。六、OLED的制作工藝70ITO膜是有機(jī)物膜進(jìn)行淀積的基底,ITO膜的表面形態(tài)將影響有機(jī)膜的成膜的吸附性、內(nèi)應(yīng)力和結(jié)晶度。由于粗糙的表面將不利于有機(jī)分子之間內(nèi)聚形成晶體,因而粗糙的表面易于形成不定形結(jié)構(gòu)的有機(jī)物薄膜。對(duì)于不定形結(jié)構(gòu)的有機(jī)物來說,結(jié)晶有機(jī)物的出現(xiàn)將增加電子與晶格碰撞的可能性,這將降低OLED器件的發(fā)光效率和能量效率。六、OLED的制作工藝711、ITO清洗目的：除去表面上物理附著的污物和化學(xué)附著的有機(jī)物等。方法：化學(xué)清洗法、超聲波清洗法、真空烘烤法化學(xué)清洗法清洗劑：乙醇、丙酮、氯仿、四氯化碳等。作用：去除油、潤(rùn)滑脂、脂肪及其它有機(jī)污染物。超聲波清洗作用：去除不溶性污物。六、OLED的制作工藝72真空烘烤法方法：在真空室（真空度為10-4Pa）中，將基片加熱至200C。作用：去除基片表面吸附的氣體和雜質(zhì)。2、預(yù)處理目的：提高ITO的功函數(shù)，改善ITO表面平整度。方法：酸堿處理、紫外線—臭氧處理、含O2等離子體處理。其中，以O(shè)2等離子體處理效果最好。六、OLED的制作工藝73二、有機(jī)膜的制備

蒸鍍工藝的三個(gè)基本過程：（1）加熱蒸發(fā)過程，即由凝聚相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀啵ü滔嗷蛞合鄽庀啵┑南嘧冞^程。（2）氣化原子或分子在蒸發(fā)源與基片之間的輸送，即這些粒子在環(huán)境氣氛中的飛行過程。（3）蒸發(fā)原子或分子在基片表面上的沉積過程。包括蒸氣凝聚、成核、核生長(zhǎng)、形成連續(xù)薄膜的階段。

真空室內(nèi)殘余氣體對(duì)有機(jī)膜成膜質(zhì)量的影響：（1）水汽可與新生態(tài)金屬膜發(fā)生反應(yīng)，生成氧化物而釋放氫氣。（2）真空度高，可降低金屬陰極的功函數(shù)。真空蒸發(fā)沉積設(shè)備六、OLED的制作工藝74三、金屬電極的制備一般采用真空加熱蒸發(fā)法制備。四、保護(hù)膜的制備和封裝保護(hù)膜的選擇：與金屬電極的附著性良好；抗H2O、O2侵蝕；強(qiáng)度好；易形成均勻、平整的薄膜。

多層膜封裝的OLED截面圖六、OLED的制作工藝75封裝干燥劑：（1）在封裝玻璃上蒸鍍CaO和BaO干燥劑膜；（2）在封裝玻璃上粘貼CaO和BaO干燥劑。封裝：涂光固化環(huán)氧樹脂膠。六、OLED的制作工藝76七、OLED的驅(qū)動(dòng)技術(shù)OLED驅(qū)動(dòng)特點(diǎn)：在大于某一閾值的外加電場(chǎng)作用下，空穴和電子以電流的形式分別從陽(yáng)極和陰極注入到夾在陽(yáng)極和陰極間的有機(jī)薄膜發(fā)光層，兩者結(jié)合并生成激子，發(fā)生輻射復(fù)合而導(dǎo)致發(fā)光。發(fā)光強(qiáng)度與注入的電流成正比，注入到顯示器中的每個(gè)顯示像素的電流可以單獨(dú)控制。有機(jī)電致發(fā)光顯示驅(qū)動(dòng)器的功能就是提供這種電流信號(hào)。

77OLED具有二極管特性，因此原則上其為單向直流驅(qū)動(dòng)，但是，由于有機(jī)發(fā)光薄膜具有很明顯的電容特性，為了提高顯示器件的刷新頻率，對(duì)不發(fā)光的像素對(duì)應(yīng)的電容進(jìn)行快速放電，目前很多驅(qū)動(dòng)電路采用正向恒流反向恒壓的驅(qū)動(dòng)模式。OLED像素上所加的正向電壓大于發(fā)光的閾值電壓時(shí)，像素將發(fā)光顯示；當(dāng)正向電壓小于閾值電壓時(shí)，像素不產(chǎn)生電光效應(yīng)而不顯示；當(dāng)正向電壓在閾值電壓附近時(shí)，會(huì)有微弱的光發(fā)出。七、OLED的驅(qū)動(dòng)技術(shù)78七、OLED的驅(qū)動(dòng)技術(shù)靜態(tài)驅(qū)動(dòng)S2(-5V)M1M2M3A1A2A3S112379點(diǎn)陣顯示屏動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)的電路控制圖動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)行掃描和列數(shù)據(jù)波形信號(hào)示意圖動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)行控制電路信號(hào)列控制電路信號(hào)行掃描信號(hào)（陰極）列數(shù)據(jù)信號(hào)（陽(yáng)極）V1V20V3V4選中單元電壓：V2-V3Vt；非選單元電壓：V4-V10；半選單元電壓：V4-V30；V2-V10反向恒壓的目的：抑制交叉效應(yīng)，減小相鄰單元間的串?dāng)_。80灰度的實(shí)現(xiàn)方法：（1）幅值控制法在輸出數(shù)據(jù)的列驅(qū)動(dòng)器中加入輸出的電信號(hào)幅值的控制。使有機(jī)電致發(fā)光顯示產(chǎn)生灰度的變化。（2）空間灰度調(diào)制（3）時(shí)間灰度調(diào)制

幀灰度調(diào)制脈寬灰度調(diào)制七、OLED的驅(qū)動(dòng)技術(shù)脈沖1脈沖2脈沖3脈沖4像素選中脈沖最高級(jí)灰度數(shù)據(jù)寬度（4級(jí)灰度）2級(jí)灰度1級(jí)灰度81有源驅(qū)動(dòng)OLED1、有源驅(qū)動(dòng)與無源驅(qū)動(dòng)的比較（1）結(jié)構(gòu)不同無源驅(qū)動(dòng)矩陣的像素由陰極和陽(yáng)極單純基板構(gòu)成，陽(yáng)極和陰極的交叉部分可以發(fā)光。有源驅(qū)動(dòng)的每個(gè)像素配備具有開關(guān)功能的低溫多晶硅薄膜晶體管，而且每個(gè)像素配備一個(gè)電荷存儲(chǔ)電容，外圍驅(qū)動(dòng)電路和顯示陣列整個(gè)系統(tǒng)集成在同一玻璃基板上。七、OLED的驅(qū)動(dòng)技術(shù)82（2）驅(qū)動(dòng)方式不同無源矩陣的驅(qū)動(dòng)方式為多路動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)，這種驅(qū)動(dòng)方式受掃描電極數(shù)的限制，占空比系數(shù)是無源驅(qū)動(dòng)的重要參數(shù)。有源矩陣OLED具有存儲(chǔ)效應(yīng)，可進(jìn)行100%負(fù)載驅(qū)動(dòng)，這種驅(qū)動(dòng)不受掃描電極數(shù)的限制，可以對(duì)各像素獨(dú)立進(jìn)行選擇性調(diào)節(jié)。（3）有源矩陣可以實(shí)現(xiàn)高亮度和高分辨率無源矩陣由于有占空比的限制的問題，非選擇時(shí)顯示很快消失，為了使顯示屏達(dá)到一定的亮度，掃描時(shí)每列的亮度應(yīng)為屏的平均亮度乘以列數(shù)。七、OLED的驅(qū)動(dòng)技術(shù)83（4）有源矩陣可以實(shí)現(xiàn)高效率和低功耗（5）有源矩陣易于實(shí)現(xiàn)彩色化無源矩陣的驅(qū)動(dòng)方式為多路驅(qū)動(dòng)，難以對(duì)低亮度的紅色和藍(lán)色象素獨(dú)立進(jìn)行調(diào)控，而有源驅(qū)動(dòng)可以對(duì)不同象素獨(dú)立進(jìn)行灰度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)，因此OLED更有利于彩色化的實(shí)現(xiàn)。（6）有源矩陣易于提高器件的集成度和小型化（7）有源矩陣易于實(shí)現(xiàn)大面積顯示七、OLED的驅(qū)動(dòng)技術(shù)84低溫多晶硅TFT技術(shù)硅基TFT非晶硅TFT多晶硅TFT單晶硅TFT高溫多晶硅TFT低溫多晶硅TFT七、OLED的驅(qū)動(dòng)技術(shù)非晶硅TFT載流子遷移率較低，一般不適合于OLED。單晶硅TFT雖然載流子遷移率高，但制備大面積單晶硅TFT很困難。因此，它一般用于硅基微顯示OLED上。多晶硅TFT低溫多晶硅TFT具有較高的遷移率，且在較低溫度下制備，因此易于把外圍驅(qū)動(dòng)電路和顯示陣列整個(gè)系統(tǒng)集成在同一玻璃基板上。85低溫多晶硅薄膜制備方法：（1）金屬誘導(dǎo)側(cè)向晶化（MILC）利用Ni等金屬薄膜側(cè)向誘導(dǎo)非晶硅薄膜晶化的方法。優(yōu)點(diǎn)：晶化溫度小于500°C，屬于低溫晶化；易于實(shí)現(xiàn)大面積晶化的均勻