大學(xué)物理學(xué)-等厚干涉的簡單應(yīng)用_第1頁
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文檔簡介

大學(xué)物理學(xué)1*等厚條紋待測工件平晶

請問:此待測工件表面上,有一條凹紋還是一條凸紋?這條紋方向是怎么樣的(平行于或垂直于側(cè)棱)?答:凸紋,是垂直于側(cè)棱。若平行于側(cè)棱,等厚干涉條紋是什么樣子的?16-3-4

等厚干涉的簡單應(yīng)用1.檢查光學(xué)表明2*

例:有一個(gè)玻璃劈尖放在空氣中,劈尖夾角=810-5

用單色光垂直照射,=589.3nm,測得條紋間距l(xiāng)=2.4mm。求此玻璃的折射率.解:根據(jù)可得3*

例:制造半導(dǎo)體元件時(shí),常常要精確測定硅片上氧化硅薄膜的厚度,這時(shí)可把氧化硅薄膜的一部分腐蝕掉,使其形成辟尖,利用等厚度條紋測其厚度。已知Si的折射率為3.42,SiO的折射率為1.5,入射光波長為589.3nm,觀察到7條暗紋。問SiO薄膜的厚度e是多少?解:可得=(2×6+1)×589.3×10-9/(4×1.5)=1.28×10-6m=1.28μm兩束反射光都有半波損失注意:第0級條紋的位置4*h待測塊規(guī)λ標(biāo)準(zhǔn)塊規(guī)平晶校驗(yàn)塊規(guī)1.精密測長度待測樣品石英環(huán)λ平晶干

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