2022-2023等離子體控制技術(shù)行業(yè)市場(chǎng)分析與趨勢(shì)分析報(bào)告

匯報(bào)人：林俊琬匯報(bào)時(shí)間：2022-12-212022-2023等離子體控制技術(shù)行業(yè)市場(chǎng)分析與趨勢(shì)分析報(bào)告CONTENTS目錄01020304行業(yè)規(guī)模及格局行業(yè)環(huán)境分析行業(yè)現(xiàn)狀分析行業(yè)發(fā)展概述05行業(yè)未來發(fā)展01行業(yè)發(fā)展概述行業(yè)定義什么是等離子體控制技術(shù)在溫度不斷升高的狀態(tài)下，物質(zhì)獲得能量供應(yīng)后將從固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)，再由液態(tài)過渡為氣態(tài)。若溫度繼續(xù)升高時(shí)，氣體獲得更多能量后其分子將分離成原子，原子核周圍的電子將和原子分離產(chǎn)生正電荷離子和負(fù)電荷電子，即發(fā)生電離現(xiàn)象。電離可促使氣體進(jìn)入高能的等離子狀態(tài)，因此帶電離子的氣體被稱為等離子體。等離子體是物質(zhì)的狀態(tài)之一，等離子態(tài)的物質(zhì)具有類似氣體的流動(dòng)性和擴(kuò)散性。由于等離子體是由帶電的離子組成的物質(zhì)，因此也具有導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性。等離子體控制技術(shù)是指控制等離子體電流、形狀、位置及密度的相關(guān)技術(shù):（1）等離子體電流、形狀和位置的控制原理是采用羅氏線圈、磁探針和磁通環(huán)作為傳感器，將獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行復(fù)雜的擬合和位置反演，從而獲得等離子體電流、形狀和位置的實(shí)時(shí)信息。在反演過程中再通過控制算法與目標(biāo)值進(jìn)行比較，得到反饋，并將反饋通過控制命令輸入到執(zhí)行器后，對(duì)線圈電流進(jìn)行控制，線圈電流的改變會(huì)引起作用到等離子體上的磁場(chǎng)的改變，進(jìn)而可操控等離子體和線圈以及等離子體周圍的被動(dòng)結(jié)構(gòu)的相互作用從而實(shí)現(xiàn)對(duì)等離子電流、形狀和密度的控制；（2）等離子體密度的控制原理是通過激光干涉技術(shù)測(cè)量出實(shí)時(shí)等離子體密度后，采用PID控制器和常規(guī)壓電閥送氣技術(shù)，控制注入主等離子體的氣體分子量，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)等離子體密度的控制。在等離子體輔助制造工業(yè)中，等離子體控制技術(shù)可控制等離子體的電流、形狀、位置和密度，具有可控性、靈活性、刻蝕均勻性和各向異性等特點(diǎn)，被廣泛用在離子體聚合表面改性、半導(dǎo)體、危廢處理、金屬材料等領(lǐng)域。根據(jù)溫度的不同，等離子體可分為高溫等離子體和低溫等離子體兩類:（1）高溫等離子體是指溫度高于10,000°C的等離子體。高溫等離子體的粒子溫度高達(dá)106K-108K，原子、分子等中性粒子有足夠能量進(jìn)行碰撞，且粒子之間碰撞頻繁，各種微粒的溫度基本相同，如太陽核心和核聚變等離子體均屬于高溫等離子體。目前高溫等離子體僅用于受控?zé)岷司圩冊(cè)囼?yàn)中。（2）低溫等離子體是在低壓條件下，粒子之間碰撞少，導(dǎo)致電子溫度高于氣體溫度的一類等離子體。根據(jù)等離子體中粒子和電子溫度是否處于熱平衡狀態(tài)，低溫等離子體又可進(jìn)一步細(xì)分為熱等離子體和冷等離子體兩種類型:①熱等離子體是稠密氣體在常壓或高壓下通過電弧放電或高頻放電而產(chǎn)生的。熱等離子體的電子和離子處于熱平衡狀態(tài)，電子溫度和離子溫度都可達(dá)到幾千攝氏度且各自溫度差不大；②冷等離子體是稀薄氣體在低壓下通過激光、射頻電源或微波電源輝光放電而產(chǎn)生的。冷等離子體的電子和離子不處于熱平衡狀態(tài)，離子溫度在103-104K之間，但電子溫度可達(dá)到上萬攝氏度。目前低溫等離子應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，可應(yīng)用于半導(dǎo)體、有害物質(zhì)處理、新型化學(xué)物質(zhì)和材料制造等領(lǐng)域。行業(yè)發(fā)展歷程全球等離子體控制技術(shù)行業(yè)發(fā)展至今可分為萌芽期、初步發(fā)展期、快速發(fā)展期三個(gè)階段()?？焖侔l(fā)展期（21世紀(jì)至今）初步發(fā)展期（20世紀(jì)30年代-20世紀(jì)90年代）萌芽期（19世紀(jì)30年代-20世紀(jì)20年代）全球等離子體行業(yè)研究起步于1830年，英國物理學(xué)家邁克爾法拉第及愛爾蘭物理學(xué)家湯姆孫等人相繼發(fā)現(xiàn)了氣體放電現(xiàn)象。1835年，邁克爾法拉第在研究低氣壓放電時(shí)通過低壓放電管觀察到氣體的輝光放電現(xiàn)象。1879年，英國物理學(xué)家克魯克斯在研究真空放電管中的放電過程之后，發(fā)現(xiàn)了氣體放電管中的電離氣體，提出了“物質(zhì)第四態(tài)”的存在，為后繼等離子體物理研究奠定了基礎(chǔ)。1929年，美國朗繆爾和湯克斯首次將“等離子體（Plasma）”一詞引入物理學(xué)，用以表示物質(zhì)第四態(tài)，即等離子體或電漿。1935年至1952年，蘇聯(lián)物理學(xué)家博戈留博夫和英國理論物理學(xué)家玻恩通過劉維爾定理得到不封閉的BBGKY方程組系列，利用BBGKY方程組可延伸得到弗拉索夫方程等，這為等離子體動(dòng)力論奠定了理論基礎(chǔ)。20世紀(jì)50年代以后，英國、美國、蘇聯(lián)等國家積極投入到受控?zé)岷朔磻?yīng)的研究中，等離子體物理學(xué)逐步開始發(fā)展。與此同時(shí)，一批受控核聚變的實(shí)驗(yàn)裝置陸續(xù)研發(fā)生產(chǎn)。1957年，英國J.D勞孫提出了受控?zé)岷朔磻?yīng)實(shí)現(xiàn)能量增益的條件，推動(dòng)了磁流體力學(xué)和等離子體動(dòng)力學(xué)的發(fā)展。20世紀(jì)70年代初期，在全球工業(yè)技術(shù)快速發(fā)展的浪潮下，低溫等離子體下游材料表面的改性領(lǐng)域得到發(fā)展。隨著等離子體應(yīng)用技術(shù)在工業(yè)領(lǐng)域的推廣，等離子體切割、焊接、等離子化工等領(lǐng)域進(jìn)一步得到發(fā)展，全球等離子體技術(shù)的應(yīng)用需求得到增長，行業(yè)進(jìn)入初步發(fā)展階段進(jìn)入21世紀(jì)后，全球高科技行業(yè)發(fā)展迅速，美國、日本、荷蘭、德國等國家在全球范圍內(nèi)掀起了等離子技術(shù)應(yīng)用的研發(fā)熱潮，國外等離子技術(shù)行業(yè)得到較快突破，發(fā)展較為成熟，尤其在半導(dǎo)體材料制備及新材料制備領(lǐng)域。在“中國制造2025”計(jì)劃推行的背景下，中國等離子體技術(shù)行業(yè)研究加快。當(dāng)前中國等離子體技術(shù)在各領(lǐng)域的應(yīng)用仍處于起步發(fā)展階段，各相關(guān)行業(yè)可成熟應(yīng)用等離子體技術(shù)的企業(yè)數(shù)量稀少。在等離子設(shè)備方面，中國等離子體技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域相關(guān)設(shè)備器材主要從美國、日本等國家進(jìn)口，等離子體技術(shù)在半導(dǎo)體器件制備方面的應(yīng)用成熟度仍與美國、日本及歐洲等國家存在差距，關(guān)鍵等離子體設(shè)備對(duì)外依存度高。與國外相比，中國在等離子核聚變領(lǐng)域研究具有領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，中國中科院、西南物理研究院等科研機(jī)構(gòu)都在積極研究等離子體核聚變應(yīng)用行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中國等離子體控制技術(shù)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈由上至下可分為上游零部件供應(yīng)商，中游等離子體控制技術(shù)應(yīng)用相關(guān)設(shè)備制造商及下游應(yīng)用領(lǐng)域刻蝕設(shè)備、PVD、CVD、等離子清洗機(jī)MOCVD、其他應(yīng)用設(shè)備等離子體控制技術(shù)行業(yè)中游等離子體控制技術(shù)行業(yè)上游傳感器、可編程控制器、射頻電源、真空電容器、其他零部件等離子體控制技術(shù)行業(yè)下游等離子體聚合物表面改性、半導(dǎo)體、危害處理、金屬材料、其他應(yīng)用領(lǐng)域行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游中國等離子體控制技術(shù)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游為零部件供應(yīng)商，包括傳感器、可編程控制器、射頻電源、真空電容器等供應(yīng)商。（1）傳感器、可編程控制器傳感器、可編程控制器是等離子體控制技術(shù)的核心配件，用于獲取等離子體電流、位置和形狀大小信息，提高等離子體控制技術(shù)執(zhí)行控制的水平。①在傳感器領(lǐng)域，目前中國傳感器企業(yè)數(shù)量稀少，知名企業(yè)代表包括歌爾股份有限公司、美新半導(dǎo)體有限公司等，其制造工藝、技術(shù)以及經(jīng)驗(yàn)與全球頭部企業(yè)存在差距；②在可編程控制器領(lǐng)域，中國可編程控制器企業(yè)多以組裝和代加工業(yè)務(wù)為主，缺乏核心制造技術(shù)，致使中國可編程控制器設(shè)備不具備市場(chǎng)競爭力?，F(xiàn)階段，可編程控制器市場(chǎng)主要被德國西門子股份有限公司、博世集團(tuán)，法國施耐德電氣有限公司，美國通用電氣公司、日本株式會(huì)社日立制造所、松下電氣產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社等廠商所占據(jù)，中國對(duì)國外廠商的可編程控制器設(shè)備依賴程度高。（2）射頻電源、真空電容器射頻電源、真空電容器也是等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備的核心零部件。①在射頻電源領(lǐng)域，射頻電源屬于等離子體的配套電源，應(yīng)用于中游射頻濺鍍，PECVD，反應(yīng)離子蝕刻中。現(xiàn)階段，中國本土等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備使用的射頻電源已達(dá)到國外同類電源技術(shù)性能（輸出功率、頻率、阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)）先進(jìn)水平，但中國本土等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備使用的射頻電源在自動(dòng)化程度上，與國外廠商的射頻電源還存在差距。此外國外廠商等離子體設(shè)備已基本裝備自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，但中國的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)仍需人工手動(dòng)匹配?？梢?，中國在等離子體控制技術(shù)設(shè)備中應(yīng)用的射頻電源自動(dòng)化水平較弱；②在真空電容器領(lǐng)域，真空電容器是應(yīng)用于中游等離子體的沉積和刻蝕設(shè)備中。由于真空電容器具有高制造工藝和技術(shù)壁壘，全球真空電容器市場(chǎng)長期被日本、美國廠商壟斷，致使中國真空電容器主要依靠進(jìn)口。整體而言，中國等離子體控制技術(shù)上游供應(yīng)鏈體系尚未成熟，中國等離子體控制設(shè)備核心零部件的生產(chǎn)能力較弱，對(duì)國外廠商的等離子體控制設(shè)備核心零部件依賴程度高，致使行業(yè)上游供應(yīng)商溢價(jià)能力低，等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備整體造價(jià)仍普遍高昂。行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中游中國等離子體控制技術(shù)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的中游為等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備制造商，參與主體為專業(yè)從事刻蝕、PVD、CVD、等離子清洗機(jī)、MOCVD設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及相關(guān)服務(wù)的企業(yè)。由于等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備存在技術(shù)門檻高的特點(diǎn)，目前全球等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備制造商主要以美國、日本企業(yè)為主。以半導(dǎo)體設(shè)備為例，半導(dǎo)體晶圓制造工序繁多，涉及到大量設(shè)備的使用，其中等離子刻蝕設(shè)備、CVD、PVD和清洗機(jī)設(shè)備與等離子體控制技術(shù)密切相關(guān)。全球半導(dǎo)體刻蝕和CVD設(shè)備市場(chǎng)主要以LAM、TEL、AMAT三大外資品牌為主，市場(chǎng)集中度達(dá)到86.2%。PVD設(shè)備市場(chǎng)則被AMAT、Evatec、Ulvac等外資制造商所占據(jù)，這三家制造商已占據(jù)整體PVD設(shè)備市場(chǎng)份額的90%以上。在半導(dǎo)體制造過程中，刻蝕、離子注入、薄膜生長都需要用到清洗設(shè)備，而這類設(shè)備市場(chǎng)主要以AMAT和Maltson為主?，F(xiàn)階段，國外設(shè)備廠商研發(fā)的刻蝕、CVD、PVD設(shè)備技術(shù)已達(dá)到14或7納米以下的先進(jìn)制程，而中國半導(dǎo)體設(shè)備制造商技術(shù)節(jié)點(diǎn)在65、45、28、14納米，差距明顯。受益于國家“02專項(xiàng)”政策的實(shí)施，中國等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備企業(yè)在引進(jìn)和吸收國外半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)的基礎(chǔ)之上積極加強(qiáng)布局，中國在刻蝕、CVD、PVD及清洗機(jī)設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)方面取得了發(fā)展與進(jìn)步，這四類半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程得到了有效推動(dòng)。以北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡稱“北方華創(chuàng)”）、盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司（以下簡稱“盛美半導(dǎo)體”）、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微半導(dǎo)體”）等為代表的半導(dǎo)體設(shè)備制造商已具備刻蝕、CVD、PVD、清洗機(jī)設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)能力。其中北方華創(chuàng)是中國本土刻蝕機(jī)和PVD設(shè)備的領(lǐng)導(dǎo)者，現(xiàn)階段北方華創(chuàng)自主研發(fā)的應(yīng)用于14納米先進(jìn)制程的等離子刻蝕機(jī)和PVD設(shè)備打破了海外相關(guān)廠商的壟斷，填補(bǔ)了中國刻蝕機(jī)和PVD設(shè)備行業(yè)的空白，極大地推動(dòng)了中國等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程的加快。在MOCVD領(lǐng)域，MOCVD設(shè)備是半導(dǎo)體化合物材料制備的關(guān)鍵設(shè)備，亦是LED和功率器芯片生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備，MOCVD設(shè)備約占LED芯片生產(chǎn)總成本的50%。MOCVD市場(chǎng)長期被美國Veeco、德國ALXTRON所壟斷，但在國家政策支持下，以中微半導(dǎo)體、三安光電股份有限公司、中晟光電設(shè)備（上海）股份有限公司為代表的中國本土MOCVD設(shè)備廠商積極攻關(guān)技術(shù)難點(diǎn)，研發(fā)生產(chǎn)出了國產(chǎn)化MOCVD設(shè)備。綜上所述，受技術(shù)和制造工藝水平低等因素影響，中國等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備與國外產(chǎn)商相比，市場(chǎng)競爭力不強(qiáng)。未來，在國家政策支持和推動(dòng)下，中國等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備國產(chǎn)進(jìn)程將加快，中國本土等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備制造商發(fā)展空間將逐步增大，在高端產(chǎn)品領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)業(yè)務(wù)布局的制造商的溢價(jià)能力將逐漸提高。行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈下游中國等離子體控制技術(shù)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈下游應(yīng)用領(lǐng)域眾多，包括等離子體聚合表面改性、半導(dǎo)體制造、危廢處理、金屬材料制備等行業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域。在“中國制造2025”進(jìn)程持續(xù)深化的大背景下，行業(yè)終端應(yīng)用領(lǐng)域產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化程度低，制造工藝復(fù)雜，致使下游應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Φ入x子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備性能的要求差異較大，如不同產(chǎn)品形狀規(guī)格會(huì)涉及到不同的等離子體控制技術(shù)。與此同時(shí)，伴隨著消費(fèi)升級(jí)、應(yīng)用終端產(chǎn)品更新迭代速度加快，下游應(yīng)用領(lǐng)域企業(yè)對(duì)等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備提出了更高的產(chǎn)品要求，等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備制造商需具備更強(qiáng)的設(shè)計(jì)能力，針對(duì)客戶提供的應(yīng)用情景、技術(shù)參數(shù)方面的需求進(jìn)行設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和交付，以滿足下游應(yīng)用終端領(lǐng)域企業(yè)的定制化需求。由此可見，等離子體控制技術(shù)應(yīng)用終端領(lǐng)域企業(yè)具有強(qiáng)大的議價(jià)能力。02行業(yè)環(huán)境分析政策環(huán)境1《關(guān)于印發(fā)“十二五”國家戰(zhàn)略性信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃的通知》提出實(shí)施集成電路、信息平板顯示創(chuàng)新發(fā)展工程，推動(dòng)智能傳感器、新型電力電子器件以及金屬有機(jī)源化學(xué)氣相沉積（MOCVD）裝備等產(chǎn)業(yè)化?！吨袊圃?025》確將新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)列入大力推動(dòng)發(fā)展的十大重點(diǎn)領(lǐng)域之一，著力提升集成電路行業(yè)及行業(yè)專業(yè)設(shè)備技術(shù)水平，突破中國高端工業(yè)制造技術(shù)，形成關(guān)鍵制造裝備供貨能力。《“十三五”國家科技創(chuàng)新規(guī)劃》指出要攻克14納米刻蝕設(shè)備、薄膜設(shè)備等高端制造裝備及核心零部件，研發(fā)14納米邏輯與存儲(chǔ)芯片成備工藝及相關(guān)系統(tǒng)封測(cè)技術(shù)，形成14納米裝備和工藝等較完整的產(chǎn)業(yè)鏈。行業(yè)經(jīng)濟(jì)環(huán)境從2017-2022年以來，我國國內(nèi)生產(chǎn)總值呈現(xiàn)上漲的趨勢(shì)，同比增速處于持續(xù)正增長的態(tài)勢(shì)，其中2021年國內(nèi)生產(chǎn)總值為1143670億元，同比2020年增長了184%。2022年1-9月我國國內(nèi)生產(chǎn)總值為870269億元，同比增長了6.2%。在疫情得到有效控制的情形下，我國經(jīng)濟(jì)開始逐漸復(fù)蘇，之前受疫情影響而停滯的各個(gè)行業(yè)，也開始恢復(fù)運(yùn)行，常態(tài)化增長趨勢(shì)基本形成，未來中國等離子體控制技術(shù)行業(yè)的發(fā)展必然有很大的上升空間。行業(yè)社會(huì)環(huán)境中國當(dāng)前的環(huán)境下，挑戰(zhàn)與危機(jī)并存，中國正面臨著最好的發(fā)展機(jī)遇期，在風(fēng)險(xiǎn)中尋求機(jī)遇，抓住機(jī)遇，不斷壯大自己。自改革開放以來，政治體系日趨完善、法治化進(jìn)程也逐步趨近完美，市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)體系也在不斷蓬勃發(fā)展；雖在一些方面上弊端漏洞仍存，但在整體上，我國總體發(fā)展穩(wěn)中向好，宏觀環(huán)境穩(wěn)定繁榮，二十一世紀(jì)的華夏繁榮美好，對(duì)于青年人來說，也是機(jī)遇無限的時(shí)代。改革開放以來，我國經(jīng)濟(jì)不斷發(fā)展，幾度趕超世界各國，一躍而上，成為GDP總量僅次于美國的唯一一個(gè)發(fā)展中國家。但同時(shí)我們也應(yīng)看到其中的不足之處，最基本的問題便是就業(yè)問題，我國人口基數(shù)大，在改革開放后，人才的競爭更顯得尤為激烈，大學(xué)生面對(duì)畢業(yè)后的就業(yè)情況、失業(yè)人士一直困擾著我國發(fā)展過程中，對(duì)于國家來說，促進(jìn)社會(huì)就業(yè)公平問題需持續(xù)關(guān)注并及時(shí)解決；對(duì)于個(gè)人來說提前做好職業(yè)規(guī)劃、人生規(guī)劃也是人生發(fā)展的重中之重。行業(yè)社會(huì)環(huán)境傳統(tǒng)等離子體控制技術(shù)行業(yè)市場(chǎng)門檻低、缺乏統(tǒng)一行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，服務(wù)過程沒有專業(yè)的監(jiān)督等問題影響行業(yè)發(fā)展?；ヂ?lián)網(wǎng)與電烙鐵的結(jié)合，縮減中間環(huán)節(jié),為用戶提供高性價(jià)比的服務(wù)。90后、00后等各類人群，逐步成為等離子體控制技術(shù)行業(yè)的消費(fèi)主力。行業(yè)驅(qū)動(dòng)因素0102國務(wù)院發(fā)布政策、十四五規(guī)劃、政府報(bào)告、領(lǐng)導(dǎo)講話等都有對(duì)等離子體控制技術(shù)行業(yè)做了一些綱領(lǐng)性的指導(dǎo)，合理的解讀能夠?yàn)樾袠I(yè)做了好的發(fā)展指引。優(yōu)勢(shì)競爭，長期盈利，依托中國，布局全球，立足核心能力，全力獲取顯著競爭優(yōu)勢(shì)，創(chuàng)造得到廣泛認(rèn)可、深入人心的價(jià)值，通過成為“難以替代者”品牌致勝，涌現(xiàn)一批市場(chǎng)競爭力突出的全球性與區(qū)域性中國品牌，以持續(xù)正現(xiàn)金流實(shí)現(xiàn)長期盈利，這才是行業(yè)企業(yè)的發(fā)展之道。消費(fèi)電子領(lǐng)域是等離子體控制技術(shù)應(yīng)用的關(guān)鍵領(lǐng)域，消費(fèi)電子的大力發(fā)展推動(dòng)了等離子體控制技術(shù)行業(yè)的快速發(fā)展。以智能手機(jī)為例，手機(jī)芯片是集成電路細(xì)分門類，集成電路芯片制造離不開等離子體控制技術(shù)的應(yīng)用。智能手機(jī)中包含十幾種芯片，如應(yīng)用處理器AP、基帶芯片、射頻芯片、存儲(chǔ)芯片、攝像頭芯片、顯示/觸屏芯片、指紋識(shí)別芯片、電源管理芯片、連接芯片等，其性能是決定手機(jī)設(shè)備中通信信號(hào)質(zhì)量、手機(jī)運(yùn)算存儲(chǔ)的重要因素。隨著中國5G通信的逐步啟動(dòng)，智能手機(jī)芯片也在不斷升級(jí)，智能手機(jī)芯片數(shù)量的增加將擴(kuò)大集成電路產(chǎn)品需求。作為集成電路制造環(huán)節(jié)的必備技術(shù)，等離子體控制技術(shù)的應(yīng)用需求比例將進(jìn)一步提升。在智能手機(jī)不斷迭代升級(jí)的趨勢(shì)下，智能手機(jī)芯片對(duì)于等離子體控制技術(shù)的市場(chǎng)需求將持續(xù)增長。等離子體控制技術(shù)作為工業(yè)制造重要的技術(shù)支撐，當(dāng)前在全球范圍內(nèi)仍處于發(fā)展階段，其發(fā)展對(duì)于工業(yè)制造行業(yè)及下游終端用戶具有重要意義。為推動(dòng)工業(yè)制造發(fā)展，中國政府出臺(tái)了一系列相關(guān)政策支持等離子體控制技術(shù)行業(yè)發(fā)展政策支持消費(fèi)電子需求激增行業(yè)驅(qū)動(dòng)因素20304國務(wù)院發(fā)布政策、十四五規(guī)劃、政府報(bào)告、領(lǐng)導(dǎo)講話等都有對(duì)等離子體控制技術(shù)行業(yè)做了一些綱領(lǐng)性的指導(dǎo)，合理的解讀能夠?yàn)樾袠I(yè)做了好的發(fā)展指引。優(yōu)勢(shì)競爭，長期盈利，依托中國，布局全球，立足核心能力，全力獲取顯著競爭優(yōu)勢(shì)，創(chuàng)造得到廣泛認(rèn)可、深入人心的價(jià)值，通過成為“難以替代者”品牌致勝，涌現(xiàn)一批市場(chǎng)競爭力突出的全球性與區(qū)域性中國品牌，以持續(xù)正現(xiàn)金流實(shí)現(xiàn)長期盈利，這才是行業(yè)企業(yè)的發(fā)展之道。在市場(chǎng)發(fā)展中，行業(yè)企業(yè)為爭取競爭優(yōu)勢(shì)，尤其是大中型企業(yè)，越來越重視自主研發(fā)實(shí)力，在企業(yè)科研方面投入逐年增長，企業(yè)科研服務(wù)市場(chǎng)逐步打開，未來科研用檢測(cè)試劑的服務(wù)主體趨于多元化2014年中國國務(wù)院頒布《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》，提出要建立國家產(chǎn)業(yè)基金以推動(dòng)中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。2014年9月，國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金（以下簡稱“大基金”）正式成立。截至2017年，大基金募集規(guī)格已達(dá)到1,387億元，有效帶動(dòng)了地方集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金的發(fā)展，社會(huì)各類風(fēng)險(xiǎn)投資和股權(quán)投資基金逐漸進(jìn)入集成電路領(lǐng)域，推動(dòng)中國半導(dǎo)體行業(yè)迅速發(fā)展。中國在半導(dǎo)體領(lǐng)域的等離子刻蝕、PVD、CVD、清洗設(shè)備上均已實(shí)現(xiàn)自主化生產(chǎn)?？梢?，強(qiáng)有力的資本支持縮短了半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的研發(fā)周期，助力等離子體控制技術(shù)在半導(dǎo)體制造上實(shí)現(xiàn)跨越。產(chǎn)業(yè)基金和資本的支持行業(yè)競爭促進(jìn)行業(yè)正向發(fā)展03行業(yè)規(guī)模及格局行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模隨著半導(dǎo)體晶圓尺寸規(guī)模不斷縮小，制造工藝難度提升，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的需求逐步增長，全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)迎來了發(fā)展機(jī)遇，銷售規(guī)模由2014年的379億美元增長至2018年的620億美元，年復(fù)合增長率為14%。隨著半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)產(chǎn)能不斷擴(kuò)大及半導(dǎo)體行業(yè)下游終端需求上升，研究院全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)銷售規(guī)模在2023年將達(dá)到1,062億美元。晶圓制造環(huán)節(jié)中，刻蝕、離子注入、薄膜生長、金屬化工藝都需要用到等離子刻蝕、CVD、PVD和清洗機(jī)設(shè)備，晶圓處理設(shè)備投資在整體半導(dǎo)體設(shè)備投資中的占比達(dá)到82%。半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域是等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備市場(chǎng)的重要細(xì)分應(yīng)用領(lǐng)域，晶圓制造的7道工藝環(huán)節(jié)中有4道工藝環(huán)節(jié)應(yīng)用到等離子體控制技術(shù)相關(guān)設(shè)備，等離子體控制設(shè)備市場(chǎng)與半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)具有高度相關(guān)性，等離子體控制技術(shù)行業(yè)的整體發(fā)展與半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)息息相關(guān)。未來五至十年內(nèi)，半導(dǎo)體行業(yè)下游終端需求將加速釋放，半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模有望進(jìn)一步擴(kuò)大，進(jìn)而刺激等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備滲透率持續(xù)提升?，F(xiàn)階段，中國是全球半導(dǎo)體的主要消費(fèi)市場(chǎng)，占全球半導(dǎo)體銷售規(guī)模的30%。與此同時(shí)，全球半導(dǎo)體產(chǎn)能逐步向中國轉(zhuǎn)移，中國半導(dǎo)體產(chǎn)能將會(huì)加速釋放。因此，等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備在中國具有廣闊發(fā)展前景。行業(yè)制約因素高端產(chǎn)品發(fā)展落后在中低端產(chǎn)品領(lǐng)域，仍然有較大比例的產(chǎn)品依賴于進(jìn)口渠道。此外，等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)缺乏創(chuàng)新研發(fā)能力以及仿制能力，加重下游消費(fèi)端對(duì)進(jìn)口科研用檢測(cè)試劑的依賴，不利于等離子體控制技術(shù)行業(yè)的發(fā)展設(shè)備對(duì)外依存度高貿(mào)易保護(hù)主義提高行業(yè)投資門檻自2002年起，中國政府先后出臺(tái)了多項(xiàng)政策，鼓勵(lì)中國企業(yè)進(jìn)行海外投資，實(shí)現(xiàn)中國產(chǎn)業(yè)技術(shù)升級(jí)和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化。近年來，中國企業(yè)積極參與到海外投資并購浪潮中，海外投資并購可助力企業(yè)獲得先進(jìn)技術(shù)和管理經(jīng)驗(yàn)，擴(kuò)大企業(yè)市場(chǎng)規(guī)模，進(jìn)而提高企業(yè)的競爭力。在“中國制造2025”的驅(qū)動(dòng)下，能源、電信、微電子、半導(dǎo)體行業(yè)成為中國企業(yè)青睞的海外投資并購領(lǐng)域，主要原因是中國在這些行業(yè)起步晚，缺乏先進(jìn)技術(shù)和自主創(chuàng)新能力。國外廠商由于擁有先進(jìn)的設(shè)備制造技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)，在高端設(shè)備市場(chǎng)具有明顯的競爭優(yōu)勢(shì)。等離子體控制技術(shù)應(yīng)用相關(guān)設(shè)備屬于高新技術(shù)制造領(lǐng)域，且由于中美貿(mào)易摩擦的加深，中國企業(yè)在等離子體控制技術(shù)應(yīng)用相關(guān)設(shè)備投資或?qū)⑹艿紺FIUS更加嚴(yán)格的監(jiān)管和審查，或?qū)⒊蔀橹萍s中國等離子體控制技術(shù)行業(yè)發(fā)展的因素之一。國外等離子體控制技術(shù)行業(yè)起步較早，等離子體控制技術(shù)應(yīng)用相關(guān)設(shè)備廠商利用先發(fā)優(yōu)勢(shì)，已掌握等離子體控制技術(shù)應(yīng)用相關(guān)設(shè)備核心技術(shù)，并在設(shè)備產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)方面不斷革新。中國等離子體控制技術(shù)研究起步晚，且主要集中在核聚變反應(yīng)研究領(lǐng)域，中國等離子體控制技術(shù)應(yīng)用設(shè)備制造商缺乏在半導(dǎo)體制造及新材料制備領(lǐng)域研究經(jīng)驗(yàn)積累，中國本土企業(yè)市場(chǎng)競爭力較弱。根據(jù)研究院對(duì)等離子體控制技術(shù)行業(yè)的專家訪談得知，關(guān)鍵等離子體控制技術(shù)應(yīng)用相關(guān)設(shè)備市場(chǎng)被美國、日本、德國、荷蘭制造商所占據(jù)，國外廠商共占全球等離子體控制設(shè)備市場(chǎng)的90%左右，致使中國在等離子體控制技術(shù)應(yīng)用相關(guān)設(shè)備方面嚴(yán)重依賴進(jìn)口，尤其是高端等離子體控制技術(shù)應(yīng)用相關(guān)設(shè)備。除此之外，中國等離子體控制技術(shù)行業(yè)上游核心零部件對(duì)外依存度高，尤其在傳感器、可編程控制器、真空電容器設(shè)備等方面，中國本土廠商尚未突破核心技術(shù)，這類核心零部件市場(chǎng)主要掌握在美國、日本、歐洲廠商中，中國大陸等離子體控制技術(shù)應(yīng)用相關(guān)設(shè)備制造商需依靠進(jìn)口供應(yīng)，加大了中游應(yīng)用設(shè)備制造商的研發(fā)成本，對(duì)中國等離子體控制技術(shù)行業(yè)的整體發(fā)展形成了阻力。行業(yè)競爭格局競爭格局1競爭格局2醫(yī)療行業(yè)受經(jīng)濟(jì)周期影響較弱，于等離子體控制技術(shù)企業(yè)而言具有“低風(fēng)險(xiǎn)、高收益”的特點(diǎn)，吸引眾多新興市場(chǎng)參與者加入其中。目前中國等離子體控制技術(shù)行業(yè)市場(chǎng)企業(yè)數(shù)量眾多，同質(zhì)化競爭現(xiàn)象日趨嚴(yán)重，成為制約中國等離子體控制技術(shù)行業(yè)行業(yè)發(fā)展的主要原因。中國等離子體控制技術(shù)行業(yè)公司數(shù)量眾多，但大多以簡單融資租賃為主要業(yè)務(wù)方式，服務(wù)模式單一，同質(zhì)化現(xiàn)象嚴(yán)重，為中國等離子體控制技術(shù)行業(yè)行業(yè)的發(fā)展帶來以下不良影響：（1）價(jià)格戰(zhàn)引發(fā)收益率報(bào)價(jià)逐年下降：部分等離子體控制技術(shù)行業(yè)公司為抓住優(yōu)質(zhì)客戶資源，依靠價(jià)格戰(zhàn)取得競爭優(yōu)勢(shì)，導(dǎo)致行業(yè)毛利率下降，醫(yī)院選擇合作企業(yè)時(shí)“唯價(jià)格論”，不利于行業(yè)良性發(fā)展；（2）過高授信加大財(cái)務(wù)風(fēng)險(xiǎn)：等離子體控制技術(shù)行業(yè)公司對(duì)各家醫(yī)院的總體授信額度偏高，甚至超過醫(yī)院的償還能力，為自身帶來較大財(cái)務(wù)風(fēng)險(xiǎn)，不利于企業(yè)的長期發(fā)展。未來，等離子體控制技術(shù)行業(yè)行業(yè)要想獲得突破，首先需要企業(yè)間形成差異化競爭優(yōu)勢(shì)。中國政府正大力推動(dòng)社會(huì)資本進(jìn)入等離子體控制技術(shù)行業(yè)，對(duì)等離子體控制技術(shù)行業(yè)產(chǎn)品需求被迅速拉動(dòng)，需求量呈現(xiàn)上升趨勢(shì)，等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)進(jìn)軍國民經(jīng)濟(jì)大產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略窗口期已經(jīng)來臨。等離子體控制技術(shù)行業(yè)各業(yè)態(tài)企業(yè)競爭激烈，當(dāng)前，市場(chǎng)上50%以上的等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)有外資介入，包括中外獨(dú)（合）資、臺(tái)港澳與境內(nèi)合資、外商獨(dú)資等，純內(nèi)資本土等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)數(shù)目較少，約占等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)總數(shù)的25%。此外，商業(yè)銀行逐步進(jìn)入等離子體控制技術(shù)行業(yè)，興業(yè)銀行、中心銀行、民生銀行等先后成立金融公司，涉足設(shè)備融資租賃業(yè)務(wù)。中國本土等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)根據(jù)租賃公司股東背景及運(yùn)營機(jī)制的不同又可以劃分為廠商系、獨(dú)立系和銀行系三類三類等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)各有優(yōu)劣勢(shì)：（1）等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)具有設(shè)備技術(shù)優(yōu)勢(shì)，主要與母公司設(shè)備銷售聯(lián)動(dòng)，以設(shè)備、耗材的銷售利潤覆蓋融資租賃成本；（2）獨(dú)立系等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)產(chǎn)業(yè)化程度高，易形成差異化商業(yè)模式，提供專業(yè)化的融資租賃服務(wù)；（3）銀行系等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)背靠銀行股東，能夠以較低成本獲取資金，且在渠道體系等方面具備一定優(yōu)勢(shì)。行業(yè)發(fā)展策略發(fā)展策略全面增值服務(wù)（1）政府方面：政府應(yīng)當(dāng)制定行業(yè)生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)范等離子體控制技術(shù)行業(yè)生產(chǎn)流程，并成立相關(guān)部門，對(duì)科研用等離子體控制技術(shù)行業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售等各個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行監(jiān)督，形成統(tǒng)一的監(jiān)督管理體系，完善試劑流通環(huán)節(jié)的基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)，重點(diǎn)加強(qiáng)冷鏈運(yùn)輸環(huán)節(jié)的基礎(chǔ)設(shè)施升級(jí)，保證等離子體控制技術(shù)行業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量，促進(jìn)行業(yè)長期穩(wěn)定的發(fā)展；（2）生產(chǎn)企業(yè)方面：等離子體控制技術(shù)行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)嚴(yán)格遵守行業(yè)生產(chǎn)規(guī)范，保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。目前市場(chǎng)上已有多個(gè)本土等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)加強(qiáng)生產(chǎn)質(zhì)量的把控，對(duì)標(biāo)優(yōu)質(zhì)、高端的進(jìn)口產(chǎn)品，并憑借價(jià)格優(yōu)勢(shì)逐步替代進(jìn)口。此外，等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)緊跟行業(yè)研發(fā)潮流，加大創(chuàng)新研發(fā)力度，不斷推出新產(chǎn)品，進(jìn)一步擴(kuò)大市場(chǎng)占有率，也是未來行業(yè)發(fā)展的重要趨勢(shì)。提升產(chǎn)品質(zhì)量單一的資金提供方角色僅能為等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)提供“凈利差”的盈利模式，等離子體控制技術(shù)行業(yè)同質(zhì)化競爭日趨嚴(yán)重，利潤空間不斷被壓縮，企業(yè)業(yè)務(wù)收入因此受影響，商業(yè)模式亟待轉(zhuǎn)型除傳統(tǒng)的等離子體控制技術(shù)行業(yè)需求外，設(shè)備管理、服務(wù)解決方案、貸款解決方案、結(jié)構(gòu)化融資方案、專業(yè)咨詢服務(wù)等方面多方位綜合性的增值服務(wù)需求也逐步增強(qiáng)。中國本土等離子體控制技術(shù)行業(yè)龍頭企業(yè)開始在定制型服務(wù)領(lǐng)域發(fā)力，鞏固行業(yè)地位多元化融資渠道可持續(xù)公司債等創(chuàng)新產(chǎn)品，擴(kuò)大非公開定向債務(wù)融資工具（PPN）、公司債等額度獲取，形成了公司債、PPN、中期票據(jù)、短融、超短融資等多產(chǎn)品、多市場(chǎng)交替發(fā)行的新局面；企業(yè)獲取各業(yè)態(tài)銀行如國有銀行、政策性銀行、外資銀行以及其他中資行的授信額度，確保了銀行貸款資金來源的穩(wěn)定性。等離子體控制技術(shù)行業(yè)企業(yè)在保證間接融資渠道通暢的同時(shí)，能夠綜合運(yùn)用發(fā)債和資產(chǎn)證券化等方式促進(jìn)自身融資渠道的多元化，降低對(duì)單一產(chǎn)品和市場(chǎng)的依賴程度，實(shí)現(xiàn)融資地域的分散化，從而降低資金成本，提升企業(yè)負(fù)債端的市場(chǎng)競爭力。以遠(yuǎn)東宏信為例，公司依據(jù)自身戰(zhàn)略發(fā)展需求，堅(jiān)持“資源全球化”戰(zhàn)略，結(jié)合實(shí)時(shí)國內(nèi)外金融環(huán)境，有效調(diào)整公司直接融資和間接融資的分布結(jié)構(gòu)，在融資成本方面與同業(yè)相比優(yōu)勢(shì)突出。行業(yè)發(fā)展建議（1）政府方面：政府應(yīng)當(dāng)制定行業(yè)生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)范等離子體控制技術(shù)行業(yè)生產(chǎn)流程，并成立相關(guān)部門，對(duì)科研用等離子體控制技術(shù)行業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售等各個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行監(jiān)督，形成統(tǒng)一的監(jiān)督管理體系，完善試劑流通環(huán)節(jié)的基礎(chǔ)設(shè)