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OLED設(shè)備清洗行業(yè)市場現(xiàn)狀調(diào)查及投資策略
顯示面板專用設(shè)備清洗服務(wù)對象TFT顯示面板專用設(shè)備一般指基于TFT薄膜晶體管為驅(qū)動單元開發(fā)的,用于生產(chǎn)各類顯示面板產(chǎn)品的生產(chǎn)設(shè)備。主流產(chǎn)品為LCD和有機發(fā)光二極管,是集成電路行業(yè)顯示技術(shù)領(lǐng)域的重要組成部分。其中,LCD顯示技術(shù)是80年代以后逐漸發(fā)展并繁榮起來的一種顯示面板技術(shù),使用液晶作為顯示單元。液晶面板的主要結(jié)構(gòu)包括透明基板、偏光片、濾光片、液晶層、TFT陣列等。經(jīng)過30多年的快速發(fā)展,整個生產(chǎn)技術(shù)和產(chǎn)業(yè)鏈已經(jīng)趨于成熟和穩(wěn)定,但面板制造、封裝和測試過程中的專用設(shè)備供應(yīng)仍以進口為主。有機發(fā)光二極管顯示技術(shù)是21世紀后逐漸發(fā)展起來的一種新型顯示技術(shù)。其主要結(jié)構(gòu)包括透明襯底、空空穴/電子注入層、空空穴/電子傳輸層、有機發(fā)光層、TFT陣列等。經(jīng)過近十年的快速發(fā)展,與LCD相比,它具有功耗低、視角廣、響應(yīng)速度快等更好的顯示性能。以LCD和有機發(fā)光二極管為主流顯示面板技術(shù),生產(chǎn)工藝可分為TFT陣列、電池盒成型、后端組裝三個步驟。其中,TFT陣列生產(chǎn)包括基板清洗、鍍膜、曝光、顯影、蝕刻和剝離等。電池盒化成包括TFT清洗、CF基板加工、組裝、充晶、蒸發(fā)、封裝和測試,后端組裝包括電池清洗、偏光片貼合、IC鍵合、FPC/PCB、TP鍵合等。相應(yīng)的專用設(shè)備主要包括蒸發(fā)設(shè)備、光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備、離子注入設(shè)備等。上述TFT面板制造過程中的鍍膜、曝光、顯影、蝕刻、CF基板處理、蒸鍍等設(shè)備為公司的清潔服務(wù)對象。污染引入:污染雜質(zhì)是指在泛半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中引入的任何危害芯片良率和電性能的物質(zhì)。據(jù)估計,大多數(shù)芯片電氣故障是由污染引起的缺陷引起的。通常,精密清洗的污染雜質(zhì)分為以下幾類:1)粒子。顆粒會導(dǎo)致開路或短路。從尺寸上來說,在半導(dǎo)體制造中,顆粒必須小于最小器件特征尺寸的一半,大于這個尺寸的顆粒會造成致命缺陷。從數(shù)量上來說,硅片表面的顆粒密度代表了特定面積內(nèi)顆粒的數(shù)量。顆粒越多,致命缺陷的可能性越大。在一個過程中引入到硅晶片中的超過某一臨界尺寸的顆粒數(shù)量由每個步驟中每個晶片的顆粒數(shù)量來表征。隨著先進工藝的進步,對PWP指標的要求越來越高。2)金屬雜質(zhì)。對半導(dǎo)體技術(shù)有害的典型金屬雜質(zhì)是堿金屬,例如鈉、鉀和鋰。重金屬也會造成金屬污染,如鐵、銅、鋁、鉻、鎢、鈦等。金屬雜質(zhì)可能來自化學(xué)溶液或半導(dǎo)體制造中的各種工藝,如離子注入,或化學(xué)物質(zhì)與傳輸管道和容器的反應(yīng)。3)有機物。有機物主要是指含碳的物質(zhì),可能來自細菌、潤滑劑、蒸汽、洗滌劑、溶劑和水分。4)自然氧化層。一方面,自然氧化層阻礙了其他工藝步驟,例如單晶膜的生長;另一方面,增加接觸電阻,降低甚至阻止電流流動。主要清洗方式:根據(jù)清洗方式的不同,精密清洗可分為物理清洗和化學(xué)清洗。物理清洗是指利用力學(xué)、聲學(xué)、光學(xué)、電學(xué)、熱學(xué)原理,依靠機械摩擦、超聲波、負壓、高壓沖擊、紫外線、蒸汽等外部能量的作用,清除物體表面污垢的方法?;瘜W(xué)清洗是指利用化學(xué)溶劑,依靠化學(xué)反應(yīng)的作用,去除物體表面污垢的方法。在實際應(yīng)用中,通常將兩種方法結(jié)合使用,以獲得更好的清洗效果。全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的成長性1976年以來,全球半導(dǎo)體市場銷售金額從最初的約29億美元成長為2022年的5832億美元,增長了約202倍,年均復(fù)合增速達到12.2%,遠高于全球GDP同時期約3.1%的年均增速水平。截至2022年底,費城半導(dǎo)體指數(shù)涵蓋包括臺積電、英偉達、阿斯麥在內(nèi)的設(shè)計、設(shè)備和代工制造等環(huán)節(jié)共30家頭部企業(yè):2005至2017年間的29家企業(yè)的合計收入在全球半導(dǎo)體銷售額的比重從49%提升至67%。2021年GF上市后,指數(shù)成分拓展至30只股票,30家企業(yè)合計收入占全球半導(dǎo)體銷售額的比重也提升至78.4%。1980年至今全球GDP增速和IC市場增速的相關(guān)性呈現(xiàn)上升趨勢。1980至2010年間,全球GDP和IC市場增速相關(guān)系數(shù)最低時為-0.1(基本不相關(guān)),最高為0.63(弱相關(guān)),但在2010至2019年間,相關(guān)系數(shù)提升到了0.85,如果排除2017-2018年間存儲器市場的表現(xiàn),該階段相關(guān)系數(shù)提升至0.96,表現(xiàn)出明顯的強相關(guān)。ICInsights預(yù)計2019至2024年二者相關(guān)系數(shù)將達到0.90。原因:并購事件增加導(dǎo)致IC制造商減少,供應(yīng)端基本面發(fā)生變化,行業(yè)競爭格局更加成熟。半導(dǎo)體→電子設(shè)備→數(shù)字經(jīng)濟→宏觀經(jīng)濟,半導(dǎo)體價值量占比提升,下游應(yīng)用更加分散,與宏觀聯(lián)系更加緊密。半導(dǎo)體設(shè)備清洗服務(wù)對象專用半導(dǎo)體設(shè)備一般指生產(chǎn)各種半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設(shè)備,屬于半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的配套環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體專用設(shè)備是半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)龍頭,芯片設(shè)計、晶圓制造、封裝測試等都需要在設(shè)備技術(shù)允許的范圍內(nèi)設(shè)計制造。設(shè)備的技術(shù)進步反過來促進了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。以半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中技術(shù)難度最高、附加值最大、工藝最復(fù)雜的集成電路為例,集成電路領(lǐng)域使用的設(shè)備通??梢苑譃榍肮に囋O(shè)備和后工藝設(shè)備兩大類。其中,在之前的晶圓制造中,有七大工藝步驟,即氧化/擴散、光刻、刻蝕、離子注入、薄膜生長、清洗拋光、金屬化。相應(yīng)的專用設(shè)備主要包括氧化/擴散設(shè)備、光刻設(shè)備、刻蝕設(shè)備、清洗設(shè)備、離子注入設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、機械拋光設(shè)備等。晶圓制造設(shè)備的市場規(guī)模占集成電路設(shè)備總市場規(guī)模的80%以上。其中,刻蝕設(shè)備、光刻設(shè)備和薄膜生長設(shè)備是集成電路前期生產(chǎn)過程中最重要的三類設(shè)備。上述集成電路制造過程中的氧化/擴散、光刻、刻蝕、離子注入、薄膜生長、機械拋光等設(shè)備都是本公司的清洗服務(wù)對象,覆蓋集成電路幾乎2/3工序的生產(chǎn)設(shè)備定期維護。常見的精密清潔方法化學(xué)溶劑清洗:化學(xué)溶劑清洗是指硝酸、氫氧化鉀、雙氧水、氨水等。根據(jù)技術(shù)要求配制成相應(yīng)濃度的溶液,然后將零件浸泡在清洗槽中,去除表面的金屬膜。噴涂:噴涂是指利用熱源熔化金屬或非金屬材料,以一定的速度噴涂在基體表面形成涂層的方法。如果在操作過程中需要,在零件表面噴鋁以增加表面粗糙度。電解清洗:將待清洗的設(shè)備掛在陰極或陽極上,放入電解液中。施加直流電時,金屬與電解質(zhì)溶液之間的界面張力因極化而降低,溶液滲透到工件表面的污垢下,在界面上起氧化或還原作用,產(chǎn)生大量氣泡。當氣泡聚集形成氣流從污垢與金屬之間的縫隙溢出時,起到攪動、攪拌的作用,使污垢從工件表面脫落,從而達到清除污垢、清潔表面的目的。根據(jù)設(shè)備和裝置掛在陽極和陰極上的位置不同,可分為陰極電解和陽極電解。電解清洗用途廣泛。可去除金屬或非金屬附著物,如氧化膜、舊涂膜、漆膜等。清洗效果好,清洗效率高,徹底性好。蒸汽清洗:蒸汽清洗可分為蒸汽清洗和溶劑蒸汽清洗。水蒸汽清洗是一種常見而簡單的清洗工藝,主要是利用蒸汽的熱氣流蒸發(fā)到設(shè)備和裝置的表面,與設(shè)備和裝置的表面充分接觸。由于水蒸氣溫度高,有一定的壓力和沖擊力,所以有一定的清潔作用。溶劑清洗是一種用有機溶劑蒸發(fā)蒸汽進行清洗的方法。由于溶劑的高溫和蒸發(fā)過程中形成的氣流,污漬被溶解并帶走。純水清洗和高壓水洗:純水清洗是指將零件浸泡在純水清洗槽中,去除產(chǎn)品中可能殘留的藥液成分;高壓水洗是指高壓水洗槍對零件表面進行清掃,去除顆粒、熔灰、灰塵等。對零件表面有一定的附著力。超聲波清洗:超聲波清洗是指在浸泡在工件中的液體中發(fā)射超聲波,使液體產(chǎn)生超聲波振蕩。液體內(nèi)部的壓力在某一瞬間突然增大或減小,這樣不斷重復(fù)。當壓力突然降低時,溶液中會產(chǎn)生許多小空孔,溶解在溶液中的氣體被吸入空孔中形成氣泡。小氣泡形成后,被突然增大的壓力擊碎,產(chǎn)生沖擊波,能在界面處剝離金屬表面的污垢和水垢,與工件表面分離,從而達到比一般去污方法更快的清洗效果。超聲波清洗可以與化學(xué)去污、電化學(xué)去污、去除金屬涂層的酸清洗等相結(jié)合。,以提高去污效果和清潔質(zhì)量。中國泛半導(dǎo)體設(shè)備洗凈服務(wù)市場半導(dǎo)體專用設(shè)備泛指用于生產(chǎn)各類半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設(shè)備,屬于半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的支撐環(huán)節(jié),半導(dǎo)體專用設(shè)備是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的技術(shù)先導(dǎo)者,芯片設(shè)計、晶圓制造和封裝測試等需在設(shè)備技術(shù)允許的范圍內(nèi)設(shè)計和制造,設(shè)備的技術(shù)進步又反過來推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。根據(jù)清洗方法的不同,精密洗凈可分為物理清洗和化學(xué)清洗。物理清洗是指利用力學(xué)、聲學(xué)、光學(xué)、電學(xué)、熱學(xué)的原理,依靠外來能量的作用,如機械摩擦、超聲波、負壓、高壓沖擊、紫外線、蒸汽等去除物體表面污垢的方法;化學(xué)清洗是指依靠化學(xué)反應(yīng)的作用,利用化學(xué)溶劑清除物體表面污垢的方法。在實際應(yīng)用過程中,通常將兩者結(jié)合起來使用,以獲得更好的洗凈效果。我國泛半導(dǎo)體設(shè)備精密洗凈服務(wù)行業(yè)的發(fā)展滯后于歐美等先進工業(yè)國家。精密洗凈自進入工業(yè)化生產(chǎn)后就已經(jīng)出現(xiàn),迄今已有近200年的歷史。上世紀八九十年代,國際上半導(dǎo)體工業(yè)和顯示面板工業(yè)快速發(fā)展,使產(chǎn)品不斷向高精密性、高技術(shù)、多種技術(shù)手段相結(jié)合的方向發(fā)展,從而催生出精密洗凈在泛半導(dǎo)體設(shè)備清洗領(lǐng)域的應(yīng)用,目前精密洗凈已經(jīng)廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域,包括顯示面板、半導(dǎo)體、光伏、裝備制造等。我國精密洗凈行業(yè)起源于上世紀50年代,但由于當時國內(nèi)工業(yè)生產(chǎn)水平較低,精密洗凈行業(yè)發(fā)展較為緩慢。上世紀80年代,隨著中國改革開放和大規(guī)模的技術(shù)引進,整體工業(yè)技術(shù)水平不斷提高,國內(nèi)工業(yè)生產(chǎn)對精密洗凈服務(wù)的需求日益加大,但是國內(nèi)精密洗凈行業(yè)由于多年停滯發(fā)展無法滿足市場需求,特別是早期的泛半導(dǎo)體設(shè)備精密洗凈領(lǐng)域,基本上被國外設(shè)備廠商壟斷,中國大陸精密洗凈服務(wù)行業(yè)(包括泛半導(dǎo)體設(shè)備精密洗凈服務(wù))長期處于萌芽發(fā)展狀態(tài),據(jù)統(tǒng)計,2020年中國大陸地區(qū)泛半導(dǎo)體零部件清洗市場規(guī)模總計26億元,其中面板9.8億元、半導(dǎo)體16.2億元,預(yù)計到2025年洗凈市場增加到43.4億元,年復(fù)合增長率10.8%,其中半導(dǎo)體增量高于面板,市場擴大14.3億元,年復(fù)合增長率達到13.5%。中國泛半導(dǎo)體設(shè)備洗凈服務(wù)市場分析半導(dǎo)體(Semiconductor):狹義上是指半導(dǎo)體材料,包括以硅(Si)、鍺(Ge)等元素半導(dǎo)體(也是第一代半導(dǎo)體材料),和以砷化鎵(GaAs)、氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)、氧化鎵(Ga2O3)等化合物半導(dǎo)體材料(第二代至第四代半導(dǎo)體材料)。廣義上是指基于半導(dǎo)體材料制造的各類器件產(chǎn)品。集成電路(IntegratedCircuit,IC,中國臺灣稱為積體電路),是指通過一系列特定的加工工藝,將晶體管、二極管等有源器件和電阻器、電容器等被動元件及布線集成、封裝在半導(dǎo)體晶片上,執(zhí)行特定功能的電路或系統(tǒng)。芯片(Chip),通常就是指集成電路芯片,因此絕大多數(shù)時候,芯片、集成電路、IC等術(shù)語可以混用。按產(chǎn)品類型劃分4大類:集成電路、分立器件、光電子器件、傳感器。除以上分類外,半導(dǎo)體產(chǎn)品還有多種分類維度,例如按照下游需求場景可分為:民用級(消費級)、汽車級(車規(guī)級)、工業(yè)級、級和航天級等。供給端由企業(yè)主導(dǎo);需求端由下游應(yīng)用主導(dǎo);供給、需求、貿(mào)易創(chuàng)造市場;市場影響供給與需求;技術(shù)迭代是根因。全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)市場現(xiàn)狀亞太地區(qū)在全球半導(dǎo)體銷售額中超過60%。1999年美洲、歐洲、日本、亞太地區(qū)分別為32%、21%、22%和25%,以美國為代表的美洲地區(qū)為主要市場。此后,亞太地區(qū)市場半導(dǎo)體銷售額快速提升,1999至2021年CAGR達10.6%,超過美洲市場的4.4%約6.2pct,其市場份額不斷提升,逐漸超過其他地區(qū)總和,至2021年亞太地區(qū)市場份額達到62%。中國大陸2021年市場份額35%,是全球第一大半導(dǎo)體產(chǎn)品消費地區(qū)。2021年中國大陸市場以1877億美元銷售額成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)品最大消費地區(qū),市場份額35%。1983年美國廠商在全球半導(dǎo)體銷售市場占據(jù)超過50%的供給份額。但是在此后幾年間,日本半導(dǎo)體企業(yè)的在激烈競爭中逐漸崛起,向美國傾銷大量半導(dǎo)體產(chǎn)品,疊加1985年至1986年的行業(yè)衰退,美國半導(dǎo)體企業(yè)全球供給份額在約1988年左右下降至低點,總共下降約19個百分點,日本實現(xiàn)反超,占據(jù)了全球半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)地位。1988年后,美國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)開始反彈,且日本半導(dǎo)體行業(yè)受到《日美半導(dǎo)體協(xié)定》影響,市場份額逐漸下滑。至1997年,美國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以超過50%的供應(yīng)份額重新回歸全球領(lǐng)導(dǎo)地位,且一直保持至今。集成電路占半導(dǎo)體產(chǎn)品銷售額的比重維持在80%以上。2021年,集成電路產(chǎn)品銷售額約4630億美元,占半導(dǎo)體83%市場份額;分立器件銷售額約303億美元,占6%;光電子器件銷售額約434億美元,占8%;傳感器產(chǎn)品銷售額約191億美元,占3%。集成電路產(chǎn)品份額始終維持在80%以上,是半導(dǎo)體產(chǎn)品的最主要類型。集成電路產(chǎn)品中,邏輯IC和存儲IC比重最高,MCU份額呈下降趨勢。集成電路產(chǎn)品中,2021年:模擬電路銷售額741億美元,占半導(dǎo)體銷售額的13.3%;微處理器銷售額802億美元,占15.1%;邏輯電路銷售額1548億美元,占30.8%;存儲電路銷售額1538億美元,占27.7%;以MCU為代表的微處理器產(chǎn)品份額在1999年至今呈現(xiàn)下降趨勢,從34.6%下降至2021年的14.4%;以CPU、GPU等通用芯片為代表的邏輯電路產(chǎn)品份額從1999年的15.5%上升至2021年的27.9%,呈現(xiàn)上升趨勢。原因主要是,用于工業(yè)、通訊等領(lǐng)域嵌入式系統(tǒng)的MCU在過去二十年中增速不高,而個人電腦的普及和智能手機出現(xiàn)極大拉動了通用邏輯芯片的需求。全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展特征19世紀60年代后期開始的第二次工業(yè)革命,使人類進入了電氣時代。電氣時代以電子設(shè)備為載體,電路則是電子設(shè)備的核心。2022年12月29,臺積電3nm正式量產(chǎn)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在美國起源后,伴隨地緣、地區(qū)產(chǎn)業(yè)政策、制造模式變革等多種因素,經(jīng)歷了三次制造重心的產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移。第一次:1976年3月,日本政府以富士通、日立、三菱、NEC和東芝五家公司為核心,聯(lián)合日本工業(yè)技術(shù)研究員、電子綜合研究所和計算機綜合研究所共同實施超大規(guī)模集成電路研究計劃(VLSI),該計劃取得了巨大成功,日本超越美國、一躍成為世界第一的DRAM大國。第二次:1983年,韓國政府對外發(fā)布進軍LSI領(lǐng)域(DRAM)的計劃,通過四年時間掌握了256KDRAM技術(shù),并通過向日本大量進口高性能制造設(shè)備,快速壯大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。第三次:2001年后中國正式加入世貿(mào)組織,逐漸深度參與到全球電子制造產(chǎn)業(yè)鏈中。第四次:從人口紅利過度到工程師紅利(人口結(jié)構(gòu)上,勞動力素質(zhì)提升;產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)上,技術(shù)要素比重增大),制造業(yè)低端產(chǎn)能或?qū)⒊掷m(xù)外遷。2021年全球47個主要經(jīng)濟體數(shù)字經(jīng)濟規(guī)模為38.1萬億美元,占全球GDP比重為45%,較2020年提升1個百分點。2021年全球數(shù)字經(jīng)濟在第一產(chǎn)業(yè)滲透率為8.6%,在第二產(chǎn)業(yè)滲透率為24.3%,在第三產(chǎn)業(yè)滲透率為46.3%。增速:2021年全球47個經(jīng)濟體數(shù)字經(jīng)濟同比名義增長15.6%,高于同期GDP名義增速2.5個百分點。數(shù)字經(jīng)濟包括數(shù)字產(chǎn)業(yè)化、產(chǎn)業(yè)數(shù)字化和數(shù)字化治理三大部分:2021年全球數(shù)字產(chǎn)業(yè)化規(guī)模占數(shù)字經(jīng)濟比重為15%,占
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