CELL廠PICAPMO作業(yè)指導書

版權屬于深圳市華星光電技術全部版權屬于深圳市華星光電技術全部.制止任何未經授權的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市華星光電技術深圳市華星光電技術ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd文件編號申請狀態(tài)■版□改版總頁數文件階層：□一階機密等級：■一般□二階■三階□四階□隱秘■工廠：CELL□機密□其他□部門：.FEOL□絕密CELL廠PICAPMO版本：V1.0部門審批部門審批經辦審查會會簽核核準[FM-QA-00001-Ver.02] i\*romanii版權屬于深圳市華星光電技術全部\*romanii版權屬于深圳市華星光電技術全部.制止任何未經授權的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市華星光電技術深圳市華星光電技術ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機密等級一般目 錄TableofContents\l“_TOC_250007“變更履歷HistoryofDocument iii\l“_TOC_250006“目的Purpose 1\l“_TOC_250005“范圍Scope 1\l“_TOC_250004“名詞定義TermsDefinition 1\l“_TOC_250003“權責Authority&Responsibility 1\l“_TOC_250002“材料MaterialUsed 2設備及夾治具Equipment/ToolUsde 8\l“_TOC_250001“留意事項Notice 10\l“_TOC_250000“作業(yè)程序OperationProcedure 10作業(yè)表單Form 10參考文件ReferenceDocument 10附件Attachment 10版權屬于深圳市華星光電技術全部版權屬于深圳市華星光電技術全部.制止任何未經授權的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.變更履歷〔HistoryofDocument〕深圳市華星光電技術ShenzhenChina深圳市華星光電技術ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機密等級一般V1.0 2023//3/25

文件增

制訂/修改者Nomuraiii1版權屬于深圳市華星光電技術全部1版權屬于深圳市華星光電技術全部.制止任何未經授權的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市華星光電技術深圳市華星光電技術ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機密等級一般目的Purpose：使直接生產的人員，在正常操作本機臺時有所依循，并且能使機臺正常運作與確保人員安全。Scope：標準制造及工程人員從事配向膜固化機(PIMaincure)作業(yè)流程及相關留意項。名詞定義TermsDefinition：PI：PolyimidePIMaincure：PIIRPI膜。HotPlate：加熱板。Cooling：冷卻。Pin：支撐玻璃基板頂針。Robot:傳送玻璃裝置。IonizerBar：除靜電裝置。Touchpanel：觸摸屏。Authority&Responsibility：TARecipe設定框膠硬化機，機臺定期點檢及特別信息記錄反映。PM：負責機臺定期保養(yǎng)、初級機臺故障修理及生產特別排解等工作。Engineer：Recipe設定、機臺定期保養(yǎng)、特別處理、作業(yè)指導書撰寫?，F場主管及IPQC：作業(yè)指導書執(zhí)行狀況之Audit。CCC級人員需了解的操作指導。BCBB級人員需了解的操作指導。ABAA級人員需了解的操作指導。材料MaterialUsed：NA設備及夾治具Equipment/ToolUsed:設備廠家、型號廠家：Hanwha型號：FA-2023-FPMO-F012構成Oven：4unit/line*20層COOLER：1unit/line*18層深圳市華星光電技術深圳市華星光電技術ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機密等級一般搬送Robot：1unit/line玻璃基板層距：160mm6.3處理力量Tacttime：25sec/line加熱方法：IRHeater最高使用溫度：250℃一般使用溫度：230℃±3℃1900Sec300Sec留意事項Notice：機臺安全事項機臺運行中請勿將頭和四肢伸入機臺內部，以免發(fā)生危急進入機臺前，先確認機臺為PowerOFFSENSORalarm或特別停頓裝置運轉中，裝置的門等可開關部確定不行翻開降溫后才能開啟Chamber以及高溫時不行用化學品進展擦拭發(fā)生Alarm時不行任意推斷，應由工程師確認發(fā)生緣由與排解裝置運轉中，應格外留意可動部位的動作，避開意外大事之發(fā)生SOP作業(yè)標準開機前肯定要先確認機臺內部有無人員，有無雜物7.2未通過設備考核人員請勿操作機臺以免發(fā)生危急停電處理步驟7.27.2.27.2.37.2.1 7.2.27.2.3N2、PV、CDA閥門關閉7.3 復電處理步驟7.3確定電源已供給穩(wěn)定N2、PV、CDA閥門翻開。將電源主開關翻開。將機臺之電源翻開。進展機臺原點復歸。作業(yè)程序OperationProcedure:作業(yè)前檢查：步驟步驟描述1機臺日點檢工程通過2確認機臺顯示的畫面是否正常，機臺進展復位動作4Robot5EMO6確認機臺內部沒有雜物及人員8.27確認機臺內部沒有玻璃基板機臺操作流程：步驟(1)(2)(3)作業(yè)預備

流程圖機臺點檢/確認機況Recipesetup開頭生產

使用工具/附注說明1Utility是否正常選擇AutoRecipeChangeMode依照RecipeTable，確認Recipe是否正確開頭投片生產生產時，依照PIlineIPQC動力閥門及電力投入確認深圳市華星光電技術Shenzhen深圳市華星光電技術ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機密等級一般8.3.1.28.3.1.3EMOReset按鈕

確認啟動掌握電源[Poweron]表單點檢N2、PV、CDA、PCW流量值(具體點檢工程請參照[CAPMO設備點檢表])為OvenPower按鈕， “Star和CycleSto“按鈕，深圳市華星光電技術深圳市華星光電技術ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機密等級一般自動運轉開頭作業(yè)主菜單操作啟動觸摸屏上[UpInlineMode]和[DNInlineMode]按鈕選擇T/P上[自動]按鈕,選擇自動模式啟動T/P上[EQInitial]按鈕,設備進展全原點啟用T/P下方綠色[Start]按鈕,設備進入自動運轉狀態(tài)8.58.5自動運轉停頓作業(yè)8.5.1主菜單操作8.5.1.1按下T/P[CycleStop8.5.1.2 按觸摸屏[手動]按鈕，設備自動模式停頓開線制程條件確認確認各項制程條件是否與產品要求[CELL廠PICAPMO點檢表]機臺工程防呆ByPass設定操作者權限55版權屬于深圳市華星光電技術全部.制止任何未經授權的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市華星光電技術深圳市華星光電技術ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機密等級一般ByPass功能且有基板在籍時發(fā)Warning,及警示畫面顯示Slot數被關閉設定操作者權限Slotheater被關閉或過溫設定操作者權限SlotStartSlot裝有高溫Sensor,當爐內溫度超過設定溫度時,機臺Warning并逐步Alarm8.7.48.7.4加熱時間及溫度值被誤置8.7.4.18.7.4.28.7.4.3設定操作者權限機臺有設計輸入溫度的基板進入機臺前,會比對Parameter中的溫度&加熱時間,如內容不符,機臺Alarm制程管控制程溫度管控8.8.1.1開線點檢制程溫度設定值8.8.2制程烘烤時間管控8.8.2.1開線點檢制程參數設定中烘烤時間設定值8.8.3PI8.8.3.1確認烘烤后PI幻化率，頻率：1年/次，索取委外測試報告8.9特別處理(操作過程特別之回報與簡潔的處理)特別工程機械操作危急處理程序馬上按下EMO，并通知當班工程師1.2.3.品質與安全留意事項操作機臺時請先確認人員位置及安全須有另外一人以上才可進展修及行走時需特別留意破片處理通知當班工程師，表單點檢機臺特別斷電通知當班工程師，表單點檢當站工程師或相關工程師經判斷假設認定為人員疏失時應于相關窗體字段勾選MO要求當事者填寫MO停電發(fā)生時當電源還未復電前，需先將機臺的電源全部關閉以防續(xù)電時的強大瞬間電流機臺報警機臺報警通知當班工程師處理特別而導致機臺受損作業(yè)表單Form:〔撰寫導引：文件當中所產生的作業(yè)表單或以參考相關部門的作