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文檔簡介
浙江金貝能源科技有限公司ZHEJIANGJINBEIENERGYTECHNOLOGYCO.,LTD文件編號Q-OP-DC-TD-019版本狀態(tài)第1/0版文件名稱潔凈度管控規(guī)范頁碼第2頁/共42頁編制/日期:審核/日期:批準(zhǔn)/日期:總則制定目的為加強(qiáng)車間環(huán)境質(zhì)量管控,使制造過程中甩干間、擴(kuò)散間操作區(qū)達(dá)萬級,其他區(qū)域(制絨、刻蝕、去PSG、PECVD、印刷、燒結(jié)和測試)達(dá)十萬級的潔凈度,特?cái)M定本規(guī)范適用范圍本公司電池制造車間,除另有特殊規(guī)定外,依本規(guī)定執(zhí)行。權(quán)責(zé)單位品質(zhì)部負(fù)責(zé)本規(guī)范的制定和依本規(guī)范的各項(xiàng)條款監(jiān)督和管控。品質(zhì)部、技術(shù)部負(fù)責(zé)本規(guī)范的修正、廢止之核準(zhǔn)。 2.潔凈度管控規(guī)范2.1.測量規(guī)范:測量潔凈度時(shí)應(yīng)嚴(yán)格按照如下操作規(guī)范執(zhí)行2.1.1.測量儀器采用CLJ-BⅡ型塵埃粒子計(jì)數(shù)器,現(xiàn)場區(qū)域溫濕度計(jì)(或表)2.1.2.測量規(guī)則2.1.2.1.測量條件潔凈室(區(qū))制絨、甩干、擴(kuò)散、刻蝕、去PSG、PECVD、印刷燒結(jié)和測試的溫度和濕度應(yīng)與生產(chǎn)及工藝要求相適應(yīng)(具體見下一頁)2)測量儀器的工作位置和采樣口應(yīng)處于同一區(qū)域,以免影響儀器正常測試。2.1.2.2.測量狀態(tài)測量過程工況一律采用動(dòng)態(tài)測試,(即正常的人員走動(dòng)狀態(tài))2.1.2.3.測量時(shí)間測量應(yīng)在空氣調(diào)節(jié)凈化系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間不少于30min后進(jìn)行。2.1.2.4.懸浮粒子計(jì)數(shù)采樣數(shù)目及其布置粒徑分擋0.3;0.5;1;3;5;10(μm)六檔采樣時(shí)間1~10分鐘采樣點(diǎn)數(shù)2~7點(diǎn)設(shè)定每點(diǎn)采樣次數(shù)2~9次設(shè)定六檔粒徑塵埃濃度同時(shí)檢測,依次數(shù)字顯示或自選粒徑顯示。顯示或打印可將2.83升/分內(nèi)所含顆粒轉(zhuǎn)換成1m3所含顆粒數(shù)。2)
開機(jī)及自檢
把儀器水平放置在桌面或固定物上,按下電源開關(guān)鍵,鍵內(nèi)指示燈亮,本機(jī)已開機(jī)儀器已處于等待狀態(tài),并預(yù)熱15分鐘。3)
實(shí)時(shí)時(shí)鐘校正按下“確認(rèn)”,出來界面可以設(shè)置測量工作的年、月、日、時(shí),以及需要打印的粒子數(shù)的類型。操作如下:a、開機(jī)后按“確認(rèn)”儀器即可進(jìn)行實(shí)時(shí)時(shí)鐘校正。b、按“增”鍵或“減”
鍵,將相應(yīng)的菜單指示燈亮移動(dòng)到要修改的時(shí)間點(diǎn),如“年,月,日,時(shí),分”按下“確定”鍵后,可按“增”或“減”鍵,調(diào)節(jié)數(shù)字,用“確定”鍵選擇調(diào)整的位置。c、在打印測量數(shù)據(jù)的同時(shí)打印實(shí)時(shí)時(shí)鐘數(shù)、采樣單位、采樣周期。d、一般情況實(shí)時(shí)時(shí)鐘無須經(jīng)常校正,但在長期不用后再次測量時(shí)須進(jìn)行校正。4)測量周期設(shè)定a、按一下“增”鍵或“減”鍵,將相應(yīng)的菜單指示燈亮移動(dòng)到“周期設(shè)置”,按下“確定”鍵后,如果測量周期定為1分鐘一次,本儀器出廠時(shí)設(shè)定為1分鐘。如果測量周期不為1分鐘,則必須進(jìn)行設(shè)定用“增”或“減”鍵調(diào)整數(shù)字為所需的周期后按“確定”予以確認(rèn)。一般選用的周期為1分鐘。5)設(shè)定打印模式a、按一下“增”鍵或“減”鍵,將相應(yīng)的菜單指示燈亮移動(dòng)到“打印模式”,按下“確定”鍵后,可通過“增”或“減”鍵變換要打印的模式,按“確定”鍵來確認(rèn)打印模式。在打印模式下方的數(shù)字即為將要打印的塵埃粒徑的種類??梢酝ㄟ^按“增”鍵或者“減”鍵,將相應(yīng)的光標(biāo)移動(dòng)到要更改的粒徑種類上,按“設(shè)置”鍵進(jìn)入設(shè)定,“增”“減”鍵進(jìn)行修改,“確定”鍵進(jìn)行確認(rèn)。6)測量塵埃通過上述設(shè)定后,就可用來進(jìn)行下述步驟的測量:a、把采樣塑料管從后面板的接嘴上拔下,接上采樣頭。b、按下“測量”鍵,儀器過3秒之后即進(jìn)入測量狀態(tài),c、調(diào)節(jié)后面板流量調(diào)節(jié)旋鈕,使流量浮子的上端面與流量計(jì)表面的刻線相齊,即為每分鐘2.83升。d、再按兩次“測量”鍵,把采樣頭放在采樣點(diǎn)位置上測量,每次測試完就按“打印”鍵打印測試結(jié)果。7)測量結(jié)束工作a、測量結(jié)束不要立即關(guān)機(jī),把采樣頭拔出并把塑料管插入后面板的接嘴上,使管路密封,同時(shí)讓儀器繼續(xù)工作3-5分鐘以清除管路系統(tǒng)中的塵埃。b、當(dāng)0.5μm顯示數(shù)接近0時(shí)關(guān)掉電源,儀器用清潔塑料袋包裝好。8)溫、濕度測量使用現(xiàn)場各工段的溫濕計(jì)(或表)測量。2.2.管控標(biāo)準(zhǔn)2.2.1.我司各站點(diǎn)潔凈度要求如下:站點(diǎn)潔凈度級別0.5μm顆粒數(shù)/立方米停產(chǎn)警界點(diǎn)外檢區(qū)100,000級3,520,0005,000,000制絨區(qū)100,000級3,520,0005,000,000甩干區(qū)100,000級3,520,0005,000,000擴(kuò)散區(qū)10,000級352,000500,000刻蝕區(qū)100,000級3,520,0005,000,000去PSG區(qū)100,000級3,520,0005,000,000PECVD區(qū)100,000級3,520,0005,000,000金屬化區(qū)(絲印、燒結(jié)、測試)10,000級352,000500,000包裝區(qū)無要求測試頻率為3h/次2.2.2.我司各站點(diǎn)溫濕度要求如下:站點(diǎn)溫度濕度管控標(biāo)準(zhǔn)停產(chǎn)警界點(diǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)停產(chǎn)警界點(diǎn)外檢區(qū)人體舒適溫度(18-28℃)人體舒適即可制絨區(qū)(25±2)℃>28℃或<18℃(50±20)%>80%或<20%甩干區(qū)(25±2)℃>28℃或<18℃(50±10)%>70%或<30%擴(kuò)散區(qū)(24±3)℃>30℃或<18℃(50±10)%>70%或<30%刻蝕區(qū)(25±2)℃>28℃或<18℃(50±10)%>70%或<30%去PSG區(qū)(25±2)℃>28℃或<18℃(50±10)%>70%或<30%PECVD區(qū)(25±2)℃>30℃或<18℃(50±10)%>70%或<30%金屬化區(qū)(絲印燒結(jié)、測試)(25±2)℃>28℃或<18℃測試另外規(guī)定:>27℃或<22℃(50±10)%>70%或<30%包裝區(qū)人體舒適溫度(18-28℃)測試頻率為2h/次2.2.3.異常處理流程巡檢檢測時(shí)若發(fā)現(xiàn)異常(潔凈度/溫濕度超出管控標(biāo)準(zhǔn))于1min內(nèi)將數(shù)據(jù)反饋給廠務(wù)負(fù)責(zé)空調(diào)系統(tǒng)的徐湘平(電話,并且徐工要在10min內(nèi)通知巡檢是否已調(diào)整好(請廠務(wù)一定配合通知)若調(diào)整好,巡檢再次測量潔凈度及溫濕度以確認(rèn)達(dá)到管控
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