輻射式傳感器紅外超聲

輻射式傳感器紅外超聲第1頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二1．紅外輻射：紅光以外的光線，波長0.76～1000μm。

波長/μm

任何溫度高于絕對(duì)零度（-273.15℃）的物體，都會(huì)發(fā)射或吸收紅外線，即紅外輻射。當(dāng)達(dá)到熱平衡時(shí)，散發(fā)和吸收的輻射一樣多。物體紅外輻射的強(qiáng)度和波長分布取決于物體的溫度和輻射率等。紅外輻射傳感器第2頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二2．紅外輻射規(guī)律：1）基爾霍夫定律：物體向外發(fā)射的輻射能取決于它的溫度和吸收本領(lǐng)。ER——物體在單位面積、單位時(shí)間內(nèi)發(fā)出的輻射能；α——物體對(duì)輻射能的吸收系數(shù)，黑體的吸收系數(shù)為1；E0

——常數(shù)，等價(jià)于黑體在相同溫度下發(fā)射出的輻射能。紅外輻射傳感器第3頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二2）斯蒂芬－玻爾茨曼(Stefan-Boltzmann)定律：

物體單位面積輻射功率、物體輻射強(qiáng)度W

與其熱力學(xué)溫度T四次方成正比：（1）黑體ε=1，在任何溫度下能全部吸收任何波長的輻射；（2）物體輻射強(qiáng)度隨溫度升高而明顯增強(qiáng)；紅外輻射傳感器第4頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二3）普朗克定律：絕對(duì)溫度為T時(shí)，在單位波長內(nèi)其單位面積沿半球方向所輻射的能量稱為光譜輻射通量密度。不同溫度時(shí)黑體光譜輻射通量密度與波長的關(guān)系為：紅外輻射傳感器黑體對(duì)波長為λ的光譜輻射通量密度；普朗克輻射常數(shù)，第5頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二a.隨溫度升高，峰值輻射波長向短波方向移動(dòng)，強(qiáng)度按指數(shù)增長；b.溫度不太高時(shí)，輻射波長位于紅外區(qū)域；c.峰值左側(cè)能量約占25％，右側(cè)約占75％。 4）維恩位移定律：光譜輻射通量密度密度峰值波長與物體自身的絕對(duì)溫度成反比。紅外輻射傳感器第6頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二

能將紅外輻射能轉(zhuǎn)換為電能的裝置稱為紅外傳感器，按其工作原理可以分為光敏型（或稱光子型、量子型）和熱敏型兩類。

光敏型直接把紅外光能轉(zhuǎn)換為電能，其工作原理是光電效應(yīng)。需要在低溫下工作、靈敏度很高，響應(yīng)速度快，但響應(yīng)紅外光的波長范圍較窄（圖中曲線2）。紅外傳感器光譜響應(yīng)曲線紅外輻射傳感器

熱敏型將吸收的紅外光轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?，使器件自身的溫度發(fā)生變化，包括熱電偶式、熱電阻式和熱釋電式等。熱敏型紅外傳感器響應(yīng)的紅外光譜范圍寬，（圖中的曲線1），能在常溫下工作，價(jià)格便宜。它的響應(yīng)速度和靈敏度較低。第7頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二

以紅外線為測(cè)量介質(zhì)的系統(tǒng)稱為紅外傳感系統(tǒng)，按照功能可以分成五類：（1）溫度計(jì)和輻射計(jì)，用于溫度、輻射和光譜測(cè)量；（2）搜索和跟蹤系統(tǒng)，用于搜索和跟蹤紅外目標(biāo)，確定其空間位置并對(duì)它的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行跟蹤；（3）熱成像系統(tǒng)，可產(chǎn)生整個(gè)目標(biāo)紅外輻射的分布圖像；（4）紅外測(cè)距和通信系統(tǒng)；（5）混合系統(tǒng)，由以上各類系統(tǒng)中的兩個(gè)或者多個(gè)組合而成。紅外輻射傳感器第8頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二（3）光學(xué)接收器：接收部分紅外輻射并傳輸給紅外傳感器。相當(dāng)于雷達(dá)天線，常用的是物鏡。（4）輻射調(diào)制器：將來自待測(cè)目標(biāo)的輻射調(diào)制成交變的輻射光，提供目標(biāo)方位信息，并且可以濾除大面積的干擾信號(hào)。又稱調(diào)制盤和斬波器。（1）待側(cè)目標(biāo)：具有紅外輻射特性。（2）大氣衰減：由于各種氣體分子以及溶膠粒的散射和吸收，使待測(cè)目標(biāo)發(fā)出的紅外輻射發(fā)生衰減。典型的紅外傳感系統(tǒng)第9頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二（5）紅外探測(cè)器：它是紅外傳感系統(tǒng)的核心，利用紅外輻射與物質(zhì)相互作用所呈現(xiàn)出來的物理效應(yīng)探測(cè)紅外輻射，按照工作原理分為光敏探測(cè)器和熱敏探測(cè)器兩類。（6）探測(cè)器制冷器：由于某些探測(cè)器必須要在低溫下工作，所以相應(yīng)的系統(tǒng)必須有制冷設(shè)備。經(jīng)過制冷，探測(cè)器可以縮短響應(yīng)時(shí)間，提高靈敏度。（7）信號(hào)處理系統(tǒng)：將探測(cè)的信號(hào)進(jìn)行放大、濾波，并從中提取出有用的信息。然后將這些信息轉(zhuǎn)化為適當(dāng)?shù)母袷?，傳送到控制設(shè)備或者顯示器中。（8）顯示設(shè)備：它是紅外傳感系統(tǒng)的終端設(shè)備，常用的有示波器、顯像管、指示儀器和記錄儀等。典型的紅外傳感系統(tǒng)第10頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二

濾光片采用允許在8～14μm的紅外輻射能通過的材料，步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)調(diào)制盤轉(zhuǎn)動(dòng)，將被測(cè)的紅外輻射調(diào)制成交變的紅外輻射線，透鏡焦點(diǎn)落在紅外光敏面上，被測(cè)目標(biāo)的紅外輻射通過透鏡聚焦在紅外探測(cè)器上，并將紅外輻射變換為電信號(hào)。

例1：紅外測(cè)溫（0-700℃）紅外輻射傳感器第11頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二例2：紅外測(cè)溫（800℃以上的高溫）假定人造黑體吸收了由被測(cè)物輻射的全部能量，根據(jù)(Stefan-Boltzmann)定律：從而得到：紅外輻射傳感器第12頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二例3：紅外熱成像

紅外熱像儀將紅外輻射轉(zhuǎn)換成可見光進(jìn)行顯示，利用物體自身的紅外輻射來攝取物體熱輻射圖像。它能通過快速掃描，精確的攝取反映被測(cè)物體溫差信息的熱圖像。紅外輻射傳感器第13頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二熱像技術(shù)應(yīng)用：溫度分布檢測(cè)、飛行器表面溫度檢測(cè)、無損探測(cè)、安全生產(chǎn)監(jiān)控、夜間機(jī)場狀況檢測(cè)、海岸線檢測(cè)、臨床醫(yī)學(xué)、軍事等。紅外輻射傳感器防爆型紅外熱像儀用于探測(cè)地面和井下煤堆自燃溫度。礦用本質(zhì)安全型紅外成像生命探測(cè)儀用于井下人員搜救、探測(cè)隱性火區(qū)分布、探測(cè)瞎炮位置分布、采煤機(jī)組與液壓支架實(shí)時(shí)工作狀態(tài)、探測(cè)井下各種開關(guān)、接頭、變壓器的事故隱患、各種電器及傳動(dòng)設(shè)備的發(fā)熱狀態(tài)等。第14頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二紅外輻射傳感器紅外圖像舉例第15頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二紅外熱像儀應(yīng)用（a）示出了某一場景的可見光圖像，圖像背景是山和煙霧，從中可以清晰地看出一部卡車。（b）示出該場景的紅外圖像，紅外圖像能夠穿透煙霧拍攝，從圖中可以看出卡車和直升飛機(jī)的部分成像。（c）為融合圖像。（a）（b）（c）第16頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二紅外熱像儀應(yīng)用貯存罐液位檢測(cè)內(nèi)部屋頂檢查微觀電路檢測(cè)塑料擠壓過程溫度檢測(cè)第17頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二總線節(jié)點(diǎn)發(fā)熱檢測(cè)耐火材料設(shè)備檢測(cè)電腦主板發(fā)熱量分布瀝青鋪路溫度分布紅外熱像儀應(yīng)用第18頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二

發(fā)聲體產(chǎn)生的振動(dòng)在介質(zhì)中的傳播稱為聲波，屬于一種機(jī)械波。人耳可以聽到的聲波頻率范圍是16～20kHz，超過20kHz的聲波稱為超聲波，如圖所示。超聲波傳感器第19頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二

聲敏傳感器是將在氣體、液體或固體介質(zhì)中傳播的機(jī)械振動(dòng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的器件或裝置。傳統(tǒng)的聲敏傳感器包括電阻變換型、壓電式、電容式等，下面介紹超聲波傳感器和聲表面波（SAW）傳感器。3）表面波：質(zhì)點(diǎn)的振動(dòng)介于縱波和橫波之間，沿著表面?zhèn)鞑ィ穹S著深度的增加而迅速衰減的波稱為表面波。它只能在固體的表面?zhèn)鞑ァ?）縱波：質(zhì)點(diǎn)振動(dòng)方向與傳播方向一致的波稱為縱波。它能在固體、液體和氣體中傳播。2）橫波：質(zhì)點(diǎn)振動(dòng)方向與傳播方向相垂直的波稱為橫波。只能在固體中傳播。機(jī)械波的分類第20頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二

以非接觸方式工作，特別適用于防爆、放射性、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用，也更容易安裝和維護(hù)。

頻率高、波長短、繞射現(xiàn)象小；方向性好、能夠成為射線而定向傳播；對(duì)液體、固體的穿透本領(lǐng)很大，在陽光不透明的固體中，它可穿透幾十米的深度。碰到雜質(zhì)或分界面會(huì)產(chǎn)生顯著反射形成反射式回波，碰到活動(dòng)物體能產(chǎn)生多普勒效應(yīng)；

傳播速度取決于媒質(zhì)，與超聲波頻率無關(guān)。超聲波的特點(diǎn)第21頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二

利用壓電材料制成，逆壓電效應(yīng)將電振動(dòng)轉(zhuǎn)換成機(jī)械振動(dòng)產(chǎn)生超聲波，作為發(fā)射探頭；正壓電效應(yīng)將超聲波轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，作為接收探頭。

壓電式換能器是利用電致伸縮效應(yīng)制成的。通過在壓電材料上施加交變電壓，使它產(chǎn)生電致伸縮振動(dòng)而產(chǎn)生超聲波。常用的壓電材料為石英晶體和壓電陶瓷等。壓電式超聲波探頭結(jié)構(gòu)超聲波傳感器的結(jié)構(gòu)第22頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二超聲波壓電陶瓷片的形式超聲探頭的核心是壓電晶片。第23頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二晶片的材料、大?。ㄈ缰睆胶秃穸龋└鞑幌嗤?，因此每個(gè)探頭的性能是不同的：（1）工作頻率：壓電晶片的共振頻率。當(dāng)交流電壓的頻率和晶片的共振頻率相等時(shí)，輸出的能量最大，靈敏度也最高。（2）工作溫度：由于壓電材料的居里點(diǎn)一般比較高，特別是診斷用超聲波探頭使用功率較小，工作溫度比較低，可以長時(shí)間地工作而不失效。當(dāng)超聲探頭的溫度比較高時(shí)，需要單獨(dú)的制冷設(shè)備。（3）靈敏度：主要取決于制造晶片本身。機(jī)電耦合系數(shù)大，靈敏度高；反之，靈敏度低。超聲波傳感器的性能指標(biāo)第24頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二超聲波傳感器的形式第25頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二超聲波傳感器的應(yīng)用各種場合的距離測(cè)量；生產(chǎn)線上的工件計(jì)數(shù)；接近開關(guān)；倒車報(bào)警裝置；機(jī)器人自動(dòng)避障裝置；超聲波液位/物位計(jì)；自動(dòng)門開關(guān)裝置；液體、氣體的濃度和流量檢測(cè)；超聲波清洗；超聲波霧化；探傷、測(cè)厚、測(cè)密度；醫(yī)療器械、美容儀、按摩儀第26頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二超聲波傳感器的應(yīng)用超聲波測(cè)物位：通過測(cè)量發(fā)射和接收信號(hào)之間的時(shí)間差測(cè)距離。包括液位測(cè)量、固體料位測(cè)量、固－液分界面測(cè)量以及液－液分界面測(cè)量和液體有無測(cè)量等。第27頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二超聲波流量傳感器超聲波傳感器的應(yīng)用第28頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二超聲波傳感器的應(yīng)用第29頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二超聲波傳感器的應(yīng)用常用超聲波流量傳感器分類：時(shí)差法和多普勒效應(yīng)法；

固定式和便攜式；條件傳播時(shí)間差法多普勒法適用液體水類(江河水，海水農(nóng)業(yè)用水等),油類（純凈燃油，潤滑油，食用油等），化學(xué)試劑，藥液等含雜質(zhì)多的水(下水，污水，農(nóng)業(yè)用水等)，漿類(泥漿，礦漿，紙漿化工料漿等)，油類(非凈燃油，重油，原油等)重復(fù)性誤差0.1%-0.3%1%傳輸電纜長度100-300m,在能保證信號(hào)質(zhì)量的前提下,可以小于100m<30m價(jià)格較高一般較低第30頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二超聲波傳感器的應(yīng)用超聲波測(cè)厚儀超聲波探傷儀超聲波探傷第31頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二超聲波測(cè)厚

常用脈沖回波法。超聲波探頭與被測(cè)物體表面接觸，主控制器產(chǎn)生一定頻率的脈沖信號(hào)，脈沖波傳到被測(cè)工件的另一面被反射回來，被同一探頭接收。如果超聲波在工件中的聲速v是已知的，設(shè)工件厚度為d，脈沖波從發(fā)射到接收的時(shí)間間隔為Δt，則工件的厚度為：d＝vΔt/2超聲波傳感器的應(yīng)用第32頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二超聲波無損探傷超聲波探傷分為穿透法探傷和反射法探傷。

穿透法探傷是根據(jù)超聲波穿透工件后能量的變化狀況來判斷工件內(nèi)部質(zhì)量的方法。該方法結(jié)構(gòu)簡單，適合探測(cè)薄板；探測(cè)靈敏度較低，不能精確定位；對(duì)兩探頭的相對(duì)距離和位置要求較嚴(yán)格。超聲波傳感器的應(yīng)用第33頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二

反射法是以超聲波在工件中反射情況的不同來探測(cè)缺陷的方法，具體又分為一次脈沖反射法和多次脈沖反射法。一次脈沖反射法是以一次底波為依據(jù)進(jìn)行探傷的方法。多次脈沖反射法是以多次底波為依據(jù)進(jìn)行探傷的方法。超聲波傳感器的應(yīng)用第34頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二高速公路行駛車輛信息感知及識(shí)別測(cè)量的信息：1.計(jì)數(shù)

2.車流向

3.車型分類

4.車速測(cè)量裝置通信模塊快車道慢車道第35頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二高速公路行駛車輛信息感知及識(shí)別1、超聲波測(cè)距范圍：角度范圍：15°，距離：35cm-300cm2、計(jì)數(shù)準(zhǔn)確率：98%以上3、車流向：90%左右第36頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二高速公路行駛車輛信息感知及識(shí)別第37頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二高速公路行駛車輛信息感知及識(shí)別1、主控板：控制超聲傳感器運(yùn)行識(shí)別算法提供紅外接口接收GPS模塊的信息顯示測(cè)量結(jié)果2、超聲波模塊發(fā)射接收超聲波3、GPS模塊

提供系統(tǒng)自身的速度信息4、紅外通信模塊進(jìn)行通信第38頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二高速公路行駛車輛信息感知及識(shí)別違法車速（km/h）測(cè)試?yán)锍蹋╧m）系統(tǒng)測(cè)量數(shù)據(jù)目測(cè)違法數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率試驗(yàn)路段6016656498%草灘－涇陽7014364090%涇陽－三原7028585798%三原－銅川80～10042443884%銅川－涇陽第39頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二

聲表面波簡稱SAW（SurfaceAcousticWave），是英國物理學(xué)家瑞利（Rayleigh）于19世紀(jì)末期在研究地震波的過程中發(fā)現(xiàn)的一種集中在地表面?zhèn)鞑サ穆暡?。任何固體表面都存在這種現(xiàn)象。某些外界因素（如溫度、壓力、加速度、磁場、電壓等）對(duì)SAW的傳播參數(shù)會(huì)造成影響，根據(jù)這些影響與外界因素之間的關(guān)系可以研制出測(cè)量各種物理、化學(xué)參數(shù)的SAW傳感器。SAW瑞利波

SAW是一種沿彈性體表面?zhèn)鞑サ臋C(jī)械波。瑞利波質(zhì)點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)是一種橢圓偏振。在各向同性固體中，它是由平行于傳播方向的縱振動(dòng)和垂直于表面及傳播方向的橫振動(dòng)合成的，兩者的相位差為90度。瑞利波的能量只集中在一個(gè)波長深的表面層內(nèi)，頻率越高，能量集中的表面層越薄。SAW傳感器第40頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二SAW換能器

換能器（IDT）是用蒸發(fā)或?yàn)R射等方法在壓電基片表面淀積一層金屬膜，再用光刻方法形成的叉指狀薄膜，它是產(chǎn)生和接收聲表面波的裝置。（1965年）SAW傳感器敏感基片采用石英、鈮酸鋰（LiNbO3）等壓電單晶材料制成。當(dāng)敏感基片受到物理、化學(xué)或機(jī)械量擾動(dòng)作用時(shí)，其振蕩頻率會(huì)發(fā)生變化。第41頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二SAW傳感器第42頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二SAW諧振器結(jié)構(gòu)是將一個(gè)或兩個(gè)叉指換能器（IDT）置于一對(duì)反射柵陣列組成的腔體中構(gòu)成的。諧振器結(jié)構(gòu)采用一個(gè)IDT時(shí)稱為單端對(duì)諧振器，采用兩個(gè)IDT時(shí)稱為雙端對(duì)諧振器。反射柵陣列能夠?qū)⒁欢l率的入射波能量限制在由柵條組成的諧振腔內(nèi)。SAW傳感器的核心是SAW振蕩器，有諧振器型（R型）和延遲線型（DL型）兩種。SAW傳感器第43頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二諧振器型SAW振蕩器由SAW諧振器和放大電路組成。單端對(duì)諧振器的IDT既是發(fā)射端，也是接收端；雙端對(duì)諧振器中一個(gè)IDT作為發(fā)射端，另一個(gè)IDT作為接收端。將SAW諧振器的輸出信號(hào)經(jīng)放大后，正反饋到輸入端，只要放大器的增益能夠補(bǔ)償諧振器及其導(dǎo)線的損耗，同時(shí)又滿足一定的相位條件，諧振器就可以起振并維持振蕩狀態(tài)。SAW傳感器第44頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二延遲線型SAW振蕩器由聲表面波延遲線和放大電路組成。輸入換能器T1激發(fā)出聲表面波，傳播到換能器T2轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，經(jīng)放大后反饋到T1以保持振蕩狀態(tài)。SAW傳感器第45頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二（1）高精度，高靈敏度。SAW傳感器是將被測(cè)量轉(zhuǎn)換為電信號(hào)頻率進(jìn)行測(cè)量，而頻率的測(cè)量精度很高，有效檢測(cè)范圍線性好；對(duì)惡劣環(huán)境的抗干擾能力很強(qiáng)，適于遠(yuǎn)距離傳輸。(GHz量級(jí))（2）數(shù)字化。SAW傳感器將被測(cè)量轉(zhuǎn)換為數(shù)字化的頻率信號(hào)進(jìn)行傳輸、處理，易于與計(jì)算機(jī)接口，組成自適應(yīng)實(shí)時(shí)處理系統(tǒng)。（3）易批量生產(chǎn)。SAW傳感器的制作與集成電路技術(shù)兼容，極易集成化、智能化，結(jié)構(gòu)牢固，性能穩(wěn)定，重復(fù)性與可靠性好，適于批量生產(chǎn)。（4）體積小、質(zhì)量輕、功耗低，可獲得良好的熱性能和機(jī)械性能。SAW傳感器的特點(diǎn)第46頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二

典型的SAW傳感器包括：

石英聲表面波裝置（ST-QuartzSAWDevice）

SAW裝置檢測(cè)片（SAWDeviceDetectorBlock）振幅測(cè)量系統(tǒng)（AmplitudeMeasurementSystem）相位測(cè)量系統(tǒng)（PhaseMeasurementSystem）頻率測(cè)量系統(tǒng)（FrequencyMeasurementSystem）壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（PressureMonitoringSystem）溫度控制系統(tǒng)（TemperatureControlSystem）溫度壓力檢測(cè)儀（TemperatureandPressureTestApparatus）數(shù)據(jù)采集軟件（DataAcquisitionSoftware）SAW傳感器的組成第47頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二1.SAW壓力傳感器SAW力學(xué)量傳感器包括壓力傳感器和加速度傳感器，SAW器件在基底壓電材料受到外界作用力時(shí)，諧振器的結(jié)構(gòu)尺寸、壓電材料的密度、彈性系數(shù)等發(fā)生變化，從而導(dǎo)致SAW的波長、頻率和傳播速度等發(fā)生變化。通過測(cè)量SAW傳感器的頻率變化可以得知壓力的大小。如輪胎壓力監(jiān)控系統(tǒng)（TPMS）SAW傳感器的應(yīng)用第48頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二2.SAW氣體傳感器

SAW氣體傳感器是在SAW傳播路徑上和IDT區(qū)域淀積一層化學(xué)界面膜，當(dāng)界面膜吸附被測(cè)氣體后，引起SAW傳播頻率變化，可以通過測(cè)量SAW頻率的變化測(cè)量氣體濃度。已經(jīng)開發(fā)出來的SAW氣體傳感器有SO2、水蒸氣、丙酮、甲醇、氫氣、H2S、NO2等傳感器。SAW傳感器的應(yīng)用化學(xué)戰(zhàn)劑檢測(cè)器——以對(duì)化學(xué)毒劑進(jìn)行檢測(cè)。Sarin（沙林）、Soman（梭曼）、VX、Mustard（芥子氣）、NitrogenMustard（氮芥）、HydrogenCyanide（氰化氫）、CyanogenChloride(氯化氰)、Lewisite（劉易士毒氣）、有機(jī)磷、有機(jī)硫等第49頁，共55頁，2023年，2月20日，星期二4.溫度傳感器當(dāng)溫度變化時(shí)，SAW振蕩器的振蕩頻率會(huì)發(fā)生變化，從而可以制成SAW溫度傳感器。SAW溫度傳感器具有長期穩(wěn)定性，靈敏度很高。SAW溫度傳感器可以用于氣象測(cè)溫、糧倉測(cè)溫、火災(zāi)報(bào)警等。SAW傳感器的應(yīng)用3.SAW