半導(dǎo)體芯片測試設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展工作建議

半導(dǎo)體芯片測試設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展工作建議

重大科技項目是體現(xiàn)國家戰(zhàn)略目標(biāo)、集成科技資源、實現(xiàn)重點領(lǐng)域跨越發(fā)展的重要抓手。十三五期間，要在實施好已有國家科技重大專項的基礎(chǔ)上，面向2030年再部署一批體現(xiàn)國家戰(zhàn)略意圖的重大科技項目，探索社會主義市場經(jīng)濟條件下科技創(chuàng)新的新型舉國體制，完善重大項目組織模式，在戰(zhàn)略必爭領(lǐng)域搶占未來競爭制高點，開辟產(chǎn)業(yè)發(fā)展新方向，培育新經(jīng)濟增長點，帶動生產(chǎn)力跨越發(fā)展，為提高國家綜合競爭力、保障國家安全提供強大支撐。遵循現(xiàn)代食品制造業(yè)高科技、智能化、多梯度、全利用、低能耗、高效益、可持續(xù)的國際發(fā)展趨勢，圍繞標(biāo)準(zhǔn)化加工、智能化控制、健康型消費等重大產(chǎn)業(yè)需求，以現(xiàn)代加工制造為主線，加快高效分離、質(zhì)構(gòu)重組、物性修飾、生物制造、節(jié)能干燥、新型殺菌等工程化技術(shù)研發(fā)與應(yīng)用；攻克連續(xù)化、自動化、數(shù)字化、工程化成套裝備制造技術(shù)，突破食品產(chǎn)業(yè)發(fā)展的裝備制約；重視食品質(zhì)量安全，聚焦食品源頭污染問題日益嚴(yán)重、過程安全控制能力薄弱、監(jiān)管科技支撐能力不足等突出問題，重點開展監(jiān)測檢測、風(fēng)險評估、溯源預(yù)警、過程控制、監(jiān)管應(yīng)急等食品安全防護(hù)關(guān)鍵技術(shù)研究；圍繞發(fā)展保鮮物流，開展智能冷鏈物流、綠色防腐保鮮、新型包裝控制、糧食現(xiàn)代儲備、節(jié)糧減損等產(chǎn)業(yè)急需技術(shù)研發(fā)；以營養(yǎng)健康為目標(biāo)，突破營養(yǎng)功能組分穩(wěn)態(tài)化保持與靶向遞送、營養(yǎng)靶向設(shè)計與健康食品精準(zhǔn)制造、主食現(xiàn)代化等高新技術(shù)。力爭到2020年，在營養(yǎng)優(yōu)化、物性修飾、智能加工、低碳制造、冷鏈物流、全程控制等技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破，形成較為完備的現(xiàn)代食品制造技術(shù)體系，支撐我國現(xiàn)代食品制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級和持續(xù)發(fā)展。聚焦國家重大戰(zhàn)略任務(wù)部署基礎(chǔ)研究。面向國家重大需求、面向國民經(jīng)濟主戰(zhàn)場，針對事關(guān)國計民生、產(chǎn)業(yè)核心競爭力的重大戰(zhàn)略任務(wù)，凝練現(xiàn)代農(nóng)業(yè)、人口健康、資源環(huán)境和生態(tài)保護(hù)、產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級、節(jié)能環(huán)保和新能源、新型城鎮(zhèn)化等領(lǐng)域的關(guān)鍵科學(xué)問題，促進(jìn)基礎(chǔ)研究與經(jīng)濟社會發(fā)展需求緊密結(jié)合，為創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展提供源頭供給。集成電路行業(yè)的周期性、區(qū)域性或季節(jié)性特征集成電路專用設(shè)備行業(yè)具有一定的區(qū)域性，主要與下游客戶的分布相關(guān)。目前全球半導(dǎo)體封測產(chǎn)業(yè)主要集中于日韓、中國大陸、中國臺灣、東南亞地區(qū)等，國內(nèi)半導(dǎo)體封測產(chǎn)業(yè)則主要集中于華東地區(qū)。此外，集成電路專用設(shè)備行業(yè)無明顯的周期性和季節(jié)性。下游行業(yè)與終端消費電子等終端應(yīng)用領(lǐng)域關(guān)系密切，終端需求與經(jīng)濟環(huán)境、科技發(fā)展相關(guān)，行業(yè)周期性和季節(jié)性特征不明顯。集成電路專用設(shè)備行業(yè)主要情況（一）全球半導(dǎo)體設(shè)備市場主要集中在中國大陸、中國臺灣地區(qū)2021年度，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額達(dá)1，026．4億美元。從地區(qū)分布來看，2021年度中國大陸是半導(dǎo)體設(shè)備的最大市場，達(dá)到296．2億美元，占全球市場的比重為28．86%；韓國則以249．8億美元的銷售額位居第二，占比24．34%；排名第三的是中國臺灣，銷售額為249．4億美元，占比為24．30%。（二）半導(dǎo)體專用設(shè)備國產(chǎn)化率仍處于較低水平近年來，在國家政策的拉動和支持下，我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，整體實力顯著提升，設(shè)計、制造能力與國際先進(jìn)水平差距不斷縮小，封裝測試技術(shù)逐步接近國際先進(jìn)水平。中國大陸半導(dǎo)體專用設(shè)備企業(yè)銷售規(guī)模雖然不斷增長，但先進(jìn)設(shè)備制造仍然相對薄弱，自給率還處于較低的水平。根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會的統(tǒng)計數(shù)據(jù)，2020年國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額為213億元，自給率約為17．78%。目前，全球半導(dǎo)體專用設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)主要集中于歐美和日本等，中國大陸半導(dǎo)體專用設(shè)備仍主要依賴進(jìn)口。專用設(shè)備作為集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基石，大量依賴進(jìn)口不僅嚴(yán)重制約我國集成電路的產(chǎn)業(yè)發(fā)展，也成為我國電子信息安全的重大隱患。中國半導(dǎo)體行業(yè)要實現(xiàn)從跟隨走向引領(lǐng)的跨越，設(shè)備產(chǎn)業(yè)將是重要環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化將大幅降低我國芯片制造商的投資成本，提高我國芯片制造競爭力。國產(chǎn)優(yōu)勢設(shè)備企業(yè)的崛起對完善國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈、打破國外產(chǎn)品的技術(shù)和市場壟斷、提升我國集成電路制造裝備的自主創(chuàng)新能力和國際競爭力也有著重要的戰(zhàn)略意義。發(fā)展目標(biāo)十三五科技創(chuàng)新的總體目標(biāo)是：國家科技實力和創(chuàng)新能力大幅躍升，創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展成效顯著，國家綜合創(chuàng)新能力世界排名進(jìn)入前15位，邁進(jìn)創(chuàng)新型國家行列，有力支撐全面建成小康社會目標(biāo)實現(xiàn)。（一）自主創(chuàng)新能力全面提升基礎(chǔ)研究和戰(zhàn)略高技術(shù)取得重大突破，原始創(chuàng)新能力和國際競爭力顯著提升，整體水平由跟跑為主向并行、領(lǐng)跑為主轉(zhuǎn)變。研究與試驗發(fā)展經(jīng)費投入強度達(dá)到2．5%，基礎(chǔ)研究占全社會研發(fā)投入比例大幅提高，規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)研發(fā)經(jīng)費支出與主營業(yè)務(wù)收入之比達(dá)到1．1%；國際科技論文被引次數(shù)達(dá)到世界第二；每萬人口發(fā)明專利擁有量達(dá)到12件，通過《專利合作條約》（PCT）途徑提交的專利申請量比2015年翻一番。（二）科技創(chuàng)新支撐引領(lǐng)作用顯著增強科技創(chuàng)新作為經(jīng)濟工作的重要方面，在促進(jìn)經(jīng)濟平衡性、包容性和可持續(xù)性發(fā)展中的作用更加突出，科技進(jìn)步貢獻(xiàn)率達(dá)到60%。高新技術(shù)企業(yè)營業(yè)收入達(dá)到34萬億元，知識密集型服務(wù)業(yè)增加值占國內(nèi)生產(chǎn)總值（GDP）的比例達(dá)到20%，全國技術(shù)合同成交金額達(dá)到2萬億元；成長起一批世界領(lǐng)先的創(chuàng)新型企業(yè)、品牌和標(biāo)準(zhǔn)，若干企業(yè)進(jìn)入世界創(chuàng)新百強，形成一批具有強大輻射帶動作用的區(qū)域創(chuàng)新增長極，新產(chǎn)業(yè)、新經(jīng)濟成為創(chuàng)造國民財富和高質(zhì)量就業(yè)的新動力，創(chuàng)新成果更多為人民共享。（三）創(chuàng)新型人才規(guī)模質(zhì)量同步提升規(guī)模宏大、結(jié)構(gòu)合理、素質(zhì)優(yōu)良的創(chuàng)新型科技人才隊伍初步形成，涌現(xiàn)一批戰(zhàn)略科技人才、科技人才、創(chuàng)新型企業(yè)家和高技能人才，青年科技人才隊伍進(jìn)一步壯大，人力資源結(jié)構(gòu)和就業(yè)結(jié)構(gòu)顯著改善，每萬名就業(yè)人員中研發(fā)人員達(dá)到60人年。人才評價、流動、激勵機制更加完善，各類人才創(chuàng)新活力充分激發(fā)。（四）有利于創(chuàng)新的體制機制更加成熟定型科技創(chuàng)新基礎(chǔ)制度和政策體系基本形成，科技創(chuàng)新管理的法治化水平明顯提高，創(chuàng)新治理能力建設(shè)取得重大進(jìn)展。以企業(yè)為主體、市場為導(dǎo)向的技術(shù)創(chuàng)新體系更加健全，高等學(xué)校、科研院所治理結(jié)構(gòu)和發(fā)展機制更加科學(xué)，創(chuàng)新機制更加完善，國家創(chuàng)新體系整體效能顯著提升。（五）創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)生態(tài)更加優(yōu)化科技創(chuàng)新政策法規(guī)不斷完善，知識產(chǎn)權(quán)得到有效保護(hù)。科技與金融結(jié)合更加緊密，創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)服務(wù)更加高效便捷。人才、技術(shù)、資本等創(chuàng)新要素流動更加順暢，科技創(chuàng)新全方位開放格局初步形成?？茖W(xué)精神進(jìn)一步弘揚，創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)文化氛圍更加濃厚，全社會科學(xué)文化素質(zhì)明顯提高，公民具備科學(xué)素質(zhì)的比例超過10%。發(fā)展可靠高效的公共安全與社會治理技術(shù)圍繞平安中國建設(shè)，以建立健全公共安全體系為導(dǎo)向，以提高社會治理能力和水平為目的，針對公共安全共性基礎(chǔ)科學(xué)問題、國家公共安全綜合保障、社會安全監(jiān)測預(yù)警與控制、重特大生產(chǎn)安全事故防控與生產(chǎn)安全保障、國家重大基礎(chǔ)設(shè)施安全保障、城鎮(zhèn)公共安全風(fēng)險防控與治理、綜合應(yīng)急技術(shù)裝備等方面開展公共安全保障關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)和應(yīng)用示范，形成主動保障型公共安全技術(shù)體系。聚焦地震災(zāi)害、地質(zhì)災(zāi)害、氣象災(zāi)害、水旱災(zāi)害、海洋災(zāi)害等重大自然災(zāi)害基礎(chǔ)理論問題，重點災(zāi)種的關(guān)鍵技術(shù)環(huán)節(jié)和巨災(zāi)頻發(fā)與高危險區(qū)域，開展重大自然災(zāi)害監(jiān)測預(yù)警、風(fēng)險防控與綜合應(yīng)對關(guān)鍵科學(xué)技術(shù)問題基礎(chǔ)研究、技術(shù)研發(fā)和集成應(yīng)用示范。運用現(xiàn)代科技改進(jìn)社會治理方法和手段，開展社會治理公共服務(wù)平臺多系統(tǒng)和多平臺信息集成共享、政策仿真建模和分析技術(shù)研究，開展社會基礎(chǔ)信息、信用信息等數(shù)據(jù)共享交換關(guān)鍵技術(shù)和綜合應(yīng)用技術(shù)研究。力爭到2020年，形成較為完備、可靠、高效的公共安全與社會治理技術(shù)體系，為經(jīng)濟社會持續(xù)穩(wěn)定安全發(fā)展提供科技保障。（一）發(fā)展海洋資源高效開發(fā)、利用和保護(hù)技術(shù)按照建設(shè)海洋強國和21世紀(jì)海上絲綢之路的總體部署和要求，堅持以強化近海、拓展遠(yuǎn)海、探查深海、引領(lǐng)發(fā)展為原則，重點發(fā)展維護(hù)海洋主權(quán)和權(quán)益、開發(fā)海洋資源、保障海上安全、保護(hù)海洋環(huán)境的重大關(guān)鍵技術(shù)。開展全球海洋變化、深淵海洋科學(xué)等基礎(chǔ)科學(xué)研究，突破深海運載作業(yè)、海洋環(huán)境監(jiān)測、海洋油氣資源開發(fā)、海洋生物資源開發(fā)、海水淡化與綜合利用、海洋能開發(fā)利用、海上核動力平臺等關(guān)鍵核心技術(shù)，強化海洋標(biāo)準(zhǔn)研制，集成開發(fā)海洋生態(tài)保護(hù)、防災(zāi)減災(zāi)、航運保障等應(yīng)用系統(tǒng)。通過創(chuàng)新鏈設(shè)計和一體化組織實施，為深入認(rèn)知海洋、合理開發(fā)海洋、科學(xué)管理海洋提供有力的科技支撐。加強海洋科技創(chuàng)新平臺建設(shè)，培育一批自主海洋儀器設(shè)備企業(yè)和知名品牌，顯著提升海洋產(chǎn)業(yè)和沿海經(jīng)濟可持續(xù)發(fā)展能力。（二）發(fā)展空天探測、開發(fā)和利用技術(shù)發(fā)展新一代空天系統(tǒng)技術(shù)和臨近空間技術(shù)，提升衛(wèi)星平臺和載荷能力以及臨近空間持久信息保障能力，強化空天技術(shù)對國防安全、經(jīng)濟社會發(fā)展、全球戰(zhàn)略力量部署的綜合服務(wù)和支撐作用。增強空天綜合信息應(yīng)用水平與技術(shù)支撐能力，拓展我國地球信息產(chǎn)業(yè)鏈。加強空間科學(xué)新技術(shù)新理論研究，開展空間探測活動。開展新機理新體制遙感載荷與平臺、空間輻射基準(zhǔn)與傳遞定標(biāo)、超敏捷衛(wèi)星與空天地智能組網(wǎng)、全球空間信息精準(zhǔn)獲取與定量化應(yīng)用、高精度全物理場定位與智能導(dǎo)航、泛在精確導(dǎo)航與位置服務(wù)、量子導(dǎo)航、多源多尺度時空大數(shù)據(jù)分析與地球系統(tǒng)模擬、地理信息系統(tǒng)在線可視化服務(wù)、空間核動力等核心關(guān)鍵技術(shù)研究及示范應(yīng)用。全面提升航天運輸系統(tǒng)技術(shù)能力，開展新概念運輸系統(tǒng)技術(shù)研究。（三）發(fā)展深地極地關(guān)鍵核心技術(shù)圍繞深地極地探測開發(fā)的技術(shù)需求，重點研究深地資源勘探理論和技術(shù)裝備，開展極地環(huán)境觀測和資源開發(fā)利用。從構(gòu)造背景、深部過程、成礦規(guī)律、勘探技術(shù)和成礦信息提取等方面開展全鏈條研究，深化對成礦過程的全面理解，提高深部資源探測能力，構(gòu)建深地資源保障供應(yīng)的資源可持續(xù)發(fā)展模式。研究海冰-海洋-大氣的稠合變化機理和極區(qū)環(huán)境變化對全球的影響，重點研究對我國氣候和災(zāi)害性天氣的影響機理；探索和了解極區(qū)的油氣、礦產(chǎn)、漁業(yè)、航道資源并評估資源潛力和商業(yè)價值；開發(fā)耐低溫環(huán)境的儀器裝備，發(fā)展極區(qū)自動觀測網(wǎng)的組網(wǎng)技術(shù)，形成對極區(qū)的持續(xù)觀測能力；通過在極區(qū)觀測網(wǎng)、海底資源開發(fā)、深冰芯鉆探等領(lǐng)域的國際合作，探索設(shè)立大型極區(qū)國際合作研究計劃，提高我國極地科研水平和技術(shù)保障條件。實施關(guān)系國家全局和長遠(yuǎn)的重大科技項目重大科技項目是體現(xiàn)國家戰(zhàn)略目標(biāo)、集成科技資源、實現(xiàn)重點領(lǐng)域跨越發(fā)展的重要抓手。十三五期間，要在實施好已有國家科技重大專項的基礎(chǔ)上，面向2030年再部署一批體現(xiàn)國家戰(zhàn)略意圖的重大科技項目，探索社會主義市場經(jīng)濟條件下科技創(chuàng)新的新型舉國體制，完善重大項目組織模式，在戰(zhàn)略必爭領(lǐng)域搶占未來競爭制高點，開辟產(chǎn)業(yè)發(fā)展新方向，培育新經(jīng)濟增長點，帶動生產(chǎn)力跨越發(fā)展，為提高國家綜合競爭力、保障國家安全提供強大支撐。營造良好創(chuàng)新生態(tài)強化創(chuàng)新的法治保障，積極營造有利于知識產(chǎn)權(quán)創(chuàng)造和保護(hù)的法治環(huán)境；持續(xù)優(yōu)化創(chuàng)新政策供給，構(gòu)建普惠性創(chuàng)新政策體系，增強政策儲備，加大重點政策落實力度；激發(fā)全社會的創(chuàng)造活力，營造崇尚創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的文化環(huán)境。集成電路專用設(shè)備行業(yè)專用設(shè)備制造業(yè)是集成電路的基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)和重要支撐，是完成晶圓制造和封裝測試環(huán)節(jié)的基礎(chǔ)，是實現(xiàn)集成電路技術(shù)進(jìn)步的關(guān)鍵，在集成電路產(chǎn)業(yè)中占有極為重要的地位。集成電路生產(chǎn)線投資中設(shè)備投資占比較大，達(dá)總資本支出的70%-80%左右，價值量較高。專用設(shè)備主要包含前道工序晶圓制造環(huán)節(jié)所需的光刻機、化學(xué)氣相淀積（CVD）設(shè)備、刻蝕機、離子注入機、表面處理設(shè)備等；后道工序封裝測試環(huán)節(jié)所需的切割減薄設(shè)備、度量缺陷檢測設(shè)備、鍵合封裝設(shè)備等；測試環(huán)節(jié)所需的測試機、分選機、探針臺等。在晶圓制造環(huán)節(jié)使用的設(shè)備一般被稱為前道工藝設(shè)備，在封測環(huán)節(jié)使用的一般被稱為后道工藝設(shè)備。這些設(shè)備的制造需要綜合運用光學(xué)、物理、化學(xué)等科學(xué)技術(shù)，具有技術(shù)含量高、制造難度大、設(shè)備價值高等特點。部署啟動新的重大科技項目面向2030年，再選擇一批體現(xiàn)國家戰(zhàn)略意圖的重大科技項目，力爭有所突破。從更長遠(yuǎn)的戰(zhàn)略需求出發(fā)，堅持有所為、有所不為，力爭在航空發(fā)動機及燃?xì)廨啓C、深?？臻g站、量子通信與量子計算、腦科學(xué)與類腦研究、國家網(wǎng)絡(luò)空間安全、深空探測及空間飛行器在軌服務(wù)與維護(hù)系統(tǒng)、種業(yè)自主創(chuàng)新、煤炭清潔高效利用、智能電網(wǎng)、天地一體化信息網(wǎng)絡(luò)、大數(shù)據(jù)、智能制造和機器人、重點新材料研發(fā)及應(yīng)用、京津冀環(huán)境綜合治理、健康保障等重點方向率先突破。按照成熟一項、啟動一項的原則，分批次有序啟動實施?？萍紕?chuàng)新2030-重大項目與國家科技重大專項，形成遠(yuǎn)近結(jié)合、梯次接續(xù)的系統(tǒng)布局。在電子信息領(lǐng)域，形成涵蓋高端芯片及核心軟硬件研制、前沿技術(shù)突破和信息能力構(gòu)建的整體布局；在先進(jìn)制造領(lǐng)域，形成涵蓋基礎(chǔ)材料、關(guān)鍵技術(shù)、重大戰(zhàn)略產(chǎn)品和裝備研發(fā)的整體布局；在能源領(lǐng)域，形成涵蓋能源多元供給、高效清潔利用和前沿技術(shù)突破的整體布局；在環(huán)境領(lǐng)域，形成由單一污染治理轉(zhuǎn)向區(qū)域綜合治理的系統(tǒng)技術(shù)解決方案；在農(nóng)業(yè)領(lǐng)域，形成兼顧前沿技術(shù)突破和解決種業(yè)發(fā)展基本問題的整體布局；在生物和健康領(lǐng)域，形成涵蓋重大疾病防治、基礎(chǔ)健康保障服務(wù)和前沿醫(yī)療技術(shù)突破的整體布局；在太空海洋開發(fā)利用領(lǐng)域，形成涵蓋空間、海洋探測利用技術(shù)的整體布局。已有國家科技重大專項和新部署的科技創(chuàng)新2030-重大項目要進(jìn)一步加強與其他科技計劃任務(wù)部署的銜接，完善和創(chuàng)新項目組織實施模式，改進(jìn)項目管理體制，明確管理責(zé)任，優(yōu)化管理流程，提高管理效率。完善監(jiān)督評估制度，定期開展評估。加強動態(tài)調(diào)整，加強地球深部探測等候選重大科技項目的儲備論證。建設(shè)高效協(xié)同國家創(chuàng)新體系深入實施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略，支撐供給側(cè)結(jié)構(gòu)性改革，必須統(tǒng)籌推進(jìn)高效協(xié)同的國家創(chuàng)新體系建設(shè)，促進(jìn)各類創(chuàng)新主體協(xié)同互動、創(chuàng)新要素順暢流動高效配置，形成創(chuàng)新