微焦點(diǎn)X射線智能檢測(cè)裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展工作指南

微焦點(diǎn)X射線智能檢測(cè)裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展工作指南

加強(qiáng)質(zhì)量誠(chéng)信體系建設(shè)，建立消費(fèi)者投訴、產(chǎn)品召回等信息共享機(jī)制，引導(dǎo)行業(yè)對(duì)共性質(zhì)量問(wèn)題進(jìn)行警示和改進(jìn)。配合有關(guān)部門(mén)打擊侵犯知識(shí)產(chǎn)權(quán)和制售假冒偽劣商品行為，聯(lián)合懲戒嚴(yán)重質(zhì)量違法失信行為，推動(dòng)構(gòu)建公平、公正、開(kāi)放、有序的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)環(huán)境。引導(dǎo)地方和行業(yè)制定區(qū)域、行業(yè)質(zhì)量提升計(jì)劃，積極開(kāi)展質(zhì)量興業(yè)、質(zhì)量比對(duì)、品牌培育等工作，總結(jié)中國(guó)優(yōu)秀工業(yè)設(shè)計(jì)、單項(xiàng)冠軍、質(zhì)量標(biāo)桿、專(zhuān)精特新小巨人、產(chǎn)業(yè)集群區(qū)域品牌建設(shè)等各類(lèi)活動(dòng)中的好經(jīng)驗(yàn)好做法，加大宣傳推廣力度。強(qiáng)化技術(shù)支撐作用鼓勵(lì)企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新，開(kāi)展個(gè)性化定制、柔性生產(chǎn)，豐富產(chǎn)品種類(lèi)，滿足差異化消費(fèi)需求。推廣數(shù)字孿生、可靠性設(shè)計(jì)與仿真、質(zhì)量波動(dòng)分析等技術(shù)的開(kāi)發(fā)應(yīng)用，提升產(chǎn)品質(zhì)量設(shè)計(jì)和工藝控制能力。持續(xù)推進(jìn)管理體系貫標(biāo)，推動(dòng)云計(jì)算、大數(shù)據(jù)、人工智能等新一代信息技術(shù)在質(zhì)量管理中的應(yīng)用，支持建立質(zhì)量信息數(shù)據(jù)庫(kù)，開(kāi)發(fā)在線檢測(cè)、過(guò)程控制、質(zhì)量追溯等質(zhì)量管理工具，加強(qiáng)質(zhì)量數(shù)據(jù)分析，推動(dòng)企業(yè)建立以數(shù)字化、網(wǎng)絡(luò)化、智能化為基礎(chǔ)的全過(guò)程質(zhì)量管理體系。堅(jiān)持質(zhì)量提升與滿足需求相結(jié)合以增強(qiáng)制造業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力和滿足人民群眾日益增長(zhǎng)的美好生活需要作為出發(fā)點(diǎn)和落腳點(diǎn)，加強(qiáng)全面質(zhì)量管理，推進(jìn)質(zhì)量文化和品牌建設(shè)，增強(qiáng)人民群眾獲得感。X射線行業(yè)未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)（一）X射線微焦點(diǎn)X射線源供應(yīng)緊張，嚴(yán)重制約下游行業(yè)的持續(xù)發(fā)展微焦點(diǎn)X射線源系X射線智能檢測(cè)裝備的核心部件，該部件受日本濱松光子、美國(guó)賽默飛世爾等海外廠商技術(shù)和供應(yīng)壟斷的情況仍較為突出，且由于近年來(lái)下游行業(yè)集成電路及電子制造、新能源電池等領(lǐng)域?qū)躕射線檢測(cè)需求不斷提升，微焦點(diǎn)X射線源出現(xiàn)供應(yīng)短缺，嚴(yán)重制約了下游行業(yè)的持續(xù)發(fā)展。特別是130kV及以上的微焦點(diǎn)X射線源處于一源難求的局面，已成為影響下游行業(yè)發(fā)展的典型元器件。（二）國(guó)內(nèi)X射線智能檢測(cè)設(shè)備技術(shù)穩(wěn)步提升，逐步實(shí)現(xiàn)近年來(lái)，隨著國(guó)內(nèi)X射線檢測(cè)設(shè)備廠商技術(shù)穩(wěn)步提升，國(guó)內(nèi)X射線檢測(cè)設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)可靠、穩(wěn)定及高清晰度的工業(yè)影像檢測(cè)和分析功能，滿足了下游產(chǎn)業(yè)大批量復(fù)雜零部件的檢測(cè)需求，從而推動(dòng)國(guó)內(nèi)X射線檢測(cè)裝備行業(yè)整體的發(fā)展水平。特別是在高端的集成電路和電子制造產(chǎn)業(yè)，電子產(chǎn)品集成化的發(fā)展趨勢(shì)促使產(chǎn)品內(nèi)的芯片、集成電路及其他元器件的集成度越來(lái)越高，內(nèi)部設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu)越來(lái)越精細(xì)、復(fù)雜，國(guó)內(nèi)企業(yè)通過(guò)微焦點(diǎn)X射線源、智能圖像分析軟件、CT掃描等一系列領(lǐng)域的技術(shù)提升，有效保證產(chǎn)品大批量精密檢測(cè)的可靠性和質(zhì)量。近年來(lái)，國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的廠商充分利用服務(wù)響應(yīng)優(yōu)勢(shì)、產(chǎn)品高性價(jià)優(yōu)勢(shì)和產(chǎn)品定制化優(yōu)勢(shì)等競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，拓展更廣泛的用戶群體，在精密X射線檢測(cè)領(lǐng)域逐步實(shí)現(xiàn)。（三）下游市場(chǎng)高速發(fā)展，帶動(dòng)X射線智能檢測(cè)裝備行業(yè)的快速增長(zhǎng)X射線智能檢測(cè)裝備的下游應(yīng)用場(chǎng)景非常廣泛，其中集成電路及電子制造、新能源電池、鑄件焊件及材料（汽車(chē)制造、航空航天、壓力容器、工程機(jī)械等）和公共安全等領(lǐng)域的檢測(cè)是X射線智能檢測(cè)裝備主要的下游應(yīng)用領(lǐng)域。近年來(lái)，我國(guó)集成電路及電子制造和新能源電池制造等行業(yè)高速發(fā)展，持續(xù)推動(dòng)X射線檢測(cè)行業(yè)的未來(lái)發(fā)展。同時(shí)，X射線智能檢測(cè)下游應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓寬，新興的檢測(cè)需求被提出，包括：新能源動(dòng)力電池回收利用、新能源汽車(chē)換電檢測(cè)、異物檢測(cè)等領(lǐng)域。下游應(yīng)用市場(chǎng)的高速發(fā)展，應(yīng)用場(chǎng)景不斷增加，規(guī)模不斷擴(kuò)大，進(jìn)一步帶動(dòng)了智能X射線檢測(cè)裝備行業(yè)的快速擴(kuò)張。X射線源行業(yè)概況（一）X射線，X射線源及其工作原理X射線（又稱(chēng)倫琴射線、X-Ray）是1895年德國(guó)物理學(xué)家倫琴在研究陰極射線時(shí)發(fā)現(xiàn)的一種射線，系高速運(yùn)動(dòng)的電子在與物質(zhì)相互作用中產(chǎn)生的。在X射線管中，從陰極發(fā)射的電子，經(jīng)陰極、陽(yáng)極間的電場(chǎng)加速后，轟擊X射線陽(yáng)極靶，將其動(dòng)能傳遞給靶上的原子，其中約有1%左右的能量轉(zhuǎn)化為X射線，并從X射線照射窗中射出。X射線源陰極發(fā)射的電子被聚焦到靶上的一個(gè)點(diǎn)，稱(chēng)之為焦點(diǎn)，焦點(diǎn)的尺寸越小，則檢測(cè)精度越高。因X射線能量高、穿透力強(qiáng)等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于醫(yī)療健康和工業(yè)影像檢測(cè)等領(lǐng)域。X射線源（又稱(chēng)X射線發(fā)生器）是X射線智能檢測(cè)設(shè)備的核心部件。X射線源的研發(fā)涉及電子透鏡（包括陰極、陽(yáng)極、柵極）材料研究、電磁場(chǎng)數(shù)學(xué)模型研究、電真空物理參數(shù)研究、高壓系統(tǒng)控制、電磁干擾控制以及熱管理系統(tǒng)開(kāi)發(fā)等關(guān)鍵研究工作。X射線檢測(cè)作為工業(yè)影像檢測(cè)的重要方法之一被廣泛應(yīng)用，其核心部件X射線發(fā)射源的焦點(diǎn)尺寸決定了檢測(cè)精度，即焦點(diǎn)尺寸越小，檢測(cè)精度越高。在集成電路、電子制造、新能源電池等精密制造領(lǐng)域，為滿足高精度檢測(cè)要求，須配置微米級(jí)、納米級(jí)焦點(diǎn)尺寸X射線源，即微焦點(diǎn)X射線源。根據(jù)密封方式的不同，微焦點(diǎn)X射線管分為開(kāi)放式（開(kāi)管）和封閉式（閉管）兩種。閉管X射線源中，陰極與陽(yáng)極/靶都封閉在真空管內(nèi)。在使用時(shí)無(wú)需抽真空，閉管方式的X射線管高壓一般在30kV-150kV之間，靶功率可以做到75W，使用生命周期在3年左右，常用于集成電路及電子制造、新能源電池等精密檢測(cè)等領(lǐng)域；開(kāi)管則帶有真空泵、真空閥，開(kāi)管的陰極和陽(yáng)極/靶都可以更換。開(kāi)放式的X射線管高壓一般在30-225kV之間，靶功率可以做到25W。開(kāi)管精度高，零部件可以更換，但初期設(shè)備購(gòu)置成本高，多用于要求較高的科研領(lǐng)域或集成電路領(lǐng)域。（二）我國(guó)X射線源面臨供應(yīng)不足的困境受限于國(guó)內(nèi)技術(shù)和制造水平不足，我國(guó)工業(yè)影像檢測(cè)的微焦點(diǎn)X射線源幾乎全部依賴進(jìn)口，而用量最大的閉管微焦點(diǎn)射線源產(chǎn)品及核心技術(shù)主要掌握在日本濱松光子和美國(guó)賽默飛世爾兩家企業(yè)手中。隨著我國(guó)精密檢測(cè)設(shè)備需求的不斷提升，關(guān)鍵核心部件供給不足的問(wèn)題日益凸顯，特別是隨著下游集成電路及電子制造、新能源電池產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，下游面臨一源難求的困境，嚴(yán)重影響了下游相關(guān)產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量檢測(cè)水平。X射線行業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)、面臨的機(jī)遇和挑戰(zhàn)（一）X射線行業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)及面臨的機(jī)遇1、國(guó)家產(chǎn)業(yè)政策大力支持X射線行業(yè)的發(fā)展X射線檢測(cè)是我國(guó)重點(diǎn)支持發(fā)展的領(lǐng)域，作為集成電路及電子制造、新能源電池制造等領(lǐng)域重要的檢測(cè)手段，對(duì)下游產(chǎn)業(yè)的平穩(wěn)發(fā)展扮演著重要角色。國(guó)家為保障行業(yè)的發(fā)展，制定了多項(xiàng)政策及法律法規(guī)。2021年，十三屆全國(guó)人大三十二次會(huì)議發(fā)布《中華人民共和國(guó)科學(xué)技術(shù)進(jìn)步法》，鼓勵(lì)以企業(yè)為主導(dǎo)，開(kāi)展面向市場(chǎng)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的研發(fā)活動(dòng)。近年來(lái)，國(guó)家相關(guān)部門(mén)相繼制定了《基礎(chǔ)電子元器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動(dòng)計(jì)劃（2021-2023）》《關(guān)于擴(kuò)大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)投資培育壯大新增長(zhǎng)點(diǎn)增長(zhǎng)極的指導(dǎo)意見(jiàn)》等系列政策，大力支持精密檢測(cè)裝備行業(yè)的發(fā)展。國(guó)家政策的落地實(shí)施為X射線檢測(cè)技術(shù)及X射線智能檢測(cè)設(shè)備的發(fā)展提供了保障，有力促進(jìn)X射線智能檢測(cè)裝備產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。2、隨著國(guó)內(nèi)國(guó)外市場(chǎng)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的要求不斷提升，給X射線檢測(cè)市場(chǎng)帶來(lái)更大的需求隨著X射線智能檢測(cè)裝備的下游集成電路及電子制造、新能源電池、鑄件焊件及材料（汽車(chē)制造、航空航天、壓力容器、工程機(jī)械等）和公共安全等領(lǐng)域的快速發(fā)展，尤其是國(guó)內(nèi)國(guó)外我國(guó)集成電路及電子制造和新能源電池制造等下游市場(chǎng)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的要求不斷提升，應(yīng)用場(chǎng)景不斷增加，規(guī)模不斷擴(kuò)大，對(duì)在線型設(shè)備需求增長(zhǎng)較快，并對(duì)設(shè)備的智能化、自動(dòng)化等提出了更高的要求，下游需求的增長(zhǎng)帶動(dòng)了X射線檢測(cè)設(shè)備的快速增長(zhǎng)。3、我國(guó)X射線智能檢測(cè)裝備廠商技術(shù)水平將進(jìn)一步提升我國(guó)X射線智能檢測(cè)裝備廠商目前已經(jīng)在集成電路及電子制造、新能源電池等領(lǐng)域通過(guò)自主研發(fā)，積累了豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，并通過(guò)圖像分析軟件、CT掃描等一系列領(lǐng)域的技術(shù)提升，有效保證了大批量產(chǎn)品的檢測(cè)質(zhì)量，實(shí)現(xiàn)了一定領(lǐng)域的設(shè)備進(jìn)口替代。未來(lái)，我國(guó)X射線智能檢測(cè)裝備廠商將加大對(duì)高端領(lǐng)域的精密X檢測(cè)設(shè)備和微焦點(diǎn)射線源的研發(fā)，進(jìn)一步提升整體技術(shù)水平。由于精密X射線智能檢測(cè)裝備中的微焦點(diǎn)X射線源技術(shù)壁壘最高，目前幾乎全部來(lái)自于國(guó)外企業(yè)，如瑞士的CometAG（收購(gòu)依科視朗）、濱松光子、賽默飛世爾等，國(guó)內(nèi)在微焦點(diǎn)領(lǐng)域和國(guó)際有一定差距，國(guó)外供應(yīng)廠商對(duì)微焦點(diǎn)射線源實(shí)行嚴(yán)格的技術(shù)保護(hù)和供應(yīng)壟斷，導(dǎo)致新能源電池等下游行業(yè)面臨較大的微焦點(diǎn)X射線源缺口，特別是130kV及以上的微焦點(diǎn)X射線源處于一源難求的局面，嚴(yán)重影響下游產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展。國(guó)內(nèi)集成電路及電子制造、新能源汽車(chē)等產(chǎn)業(yè)對(duì)微焦點(diǎn)X射線源這一核心部件的國(guó)產(chǎn)自主化、實(shí)現(xiàn)供應(yīng)鏈自主可控提出了迫切的需求。高端元器件自主可控趨勢(shì)加速了微焦點(diǎn)射線源的進(jìn)程，為工業(yè)X射線檢測(cè)裝備行業(yè)帶來(lái)了發(fā)展新機(jī)遇。（二）X射線行業(yè)面臨的挑戰(zhàn)X射線檢測(cè)技術(shù)具有高精度、高效率以及應(yīng)用領(lǐng)域廣泛的優(yōu)勢(shì)，受到美國(guó)、德國(guó)、日本等發(fā)達(dá)國(guó)家高度重視，并作為汽車(chē)等行業(yè)的強(qiáng)制性檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，國(guó)外廠商較早進(jìn)入X射線行業(yè)，具備較強(qiáng)的先發(fā)優(yōu)勢(shì)，并在集成電路及電子制造、微焦點(diǎn)X射線源等精密檢測(cè)或核心部件領(lǐng)域建立了較強(qiáng)的技術(shù)壁壘。我國(guó)X射線檢測(cè)行業(yè)起步較晚，面臨資金投入不足、研發(fā)水平不高、專(zhuān)業(yè)人才缺失等挑戰(zhàn)，特別系在精密X射線檢測(cè)裝備、微焦點(diǎn)X射線源等領(lǐng)域，由于技術(shù)壁壘較高，我國(guó)長(zhǎng)期受制于核心部件的短缺在一定程度上影響了我國(guó)X射線智能檢測(cè)裝備產(chǎn)業(yè)整體的技術(shù)進(jìn)步。堅(jiān)持企業(yè)主體與營(yíng)造環(huán)境相結(jié)合推動(dòng)企業(yè)落實(shí)質(zhì)量主體責(zé)任，嚴(yán)守質(zhì)量底線，提高質(zhì)量水平，擴(kuò)大優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品和服務(wù)供給。優(yōu)化質(zhì)量發(fā)展環(huán)境，加強(qiáng)標(biāo)準(zhǔn)引領(lǐng)，加快人才培養(yǎng)，強(qiáng)化專(zhuān)業(yè)支撐，推動(dòng)優(yōu)質(zhì)優(yōu)價(jià)，激發(fā)企業(yè)質(zhì)量提升動(dòng)力。發(fā)揮標(biāo)準(zhǔn)帶動(dòng)作用發(fā)揮標(biāo)準(zhǔn)對(duì)行業(yè)質(zhì)量提升的支撐與引領(lǐng)作用，提高上下游產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)同性和配套性，推動(dòng)建立覆蓋全產(chǎn)業(yè)鏈和產(chǎn)品全生命周期的標(biāo)準(zhǔn)群。加快重點(diǎn)領(lǐng)域質(zhì)量安全標(biāo)準(zhǔn)、綠色設(shè)計(jì)與生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)制定，推動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施。鼓勵(lì)地方結(jié)合本地區(qū)自然條件等特殊要求組織制定地方標(biāo)準(zhǔn)，服務(wù)地方特色產(chǎn)業(yè)發(fā)展。鼓勵(lì)企業(yè)和社會(huì)團(tuán)體制定滿足多層次市場(chǎng)需求和創(chuàng)新需求的標(biāo)準(zhǔn)，支持具有創(chuàng)新性、先進(jìn)性和國(guó)際性的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用示范，支持地方開(kāi)展標(biāo)準(zhǔn)領(lǐng)航質(zhì)量提升工作，支持行業(yè)和企業(yè)參與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化工作，與國(guó)際先進(jìn)水平對(duì)標(biāo)，推動(dòng)行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。優(yōu)化市場(chǎng)環(huán)境加強(qiáng)質(zhì)量誠(chéng)信體