工藝參數(shù)對氮化鈦薄膜性能的影響_第1頁
工藝參數(shù)對氮化鈦薄膜性能的影響_第2頁
工藝參數(shù)對氮化鈦薄膜性能的影響_第3頁
工藝參數(shù)對氮化鈦薄膜性能的影響_第4頁
工藝參數(shù)對氮化鈦薄膜性能的影響_第5頁
已閱讀5頁，還剩4頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

流行飾品材料及工藝教育部職業(yè)教育寶玉石鑒定與加工專業(yè)教學(xué)資源庫GemsandJadeIdentificationandProcessingTeachingResourceLibrary氮化鈦裝飾鍍膜建設(shè)者姓名：尚穎麗物理氣相沉積工藝氮化鈦裝飾鍍膜-工藝參數(shù)對氮化鈦薄膜性能的影響(1)沉積溫度對氮化鈦薄膜性能的影響。沉積溫度對TiN涂層的硬度和結(jié)合力有影響，在500℃附近沉積TiN薄膜的硬度和合力最高，溫度過低或過高對TiN薄膜的表面硬度均不利。沉積溫度過低，實(shí)際上反映了預(yù)轟擊時(shí)間過短或轟擊能量較低，這對薄膜的致密性將會有影響，TiN薄膜形核不充分，組織粗化，從而使其硬度下降。而當(dāng)沉積溫度過高時(shí)，則會使試樣表面產(chǎn)生過熱現(xiàn)象，若沉積溫度超過基底材料的回火溫度，將導(dǎo)致基底硬度降低，無法與薄膜形成良好的結(jié)合，導(dǎo)致薄膜硬度的下降。因此，在保證試樣表面不過熱的情況下，升高沉積溫度對提高TiN薄膜的硬度是有好處的。(2)沉積電壓對氮化鈦薄膜性能的影響。隨著沉積電壓的升高，制備的TiN薄膜的斷口組織細(xì)化，薄膜的顯微硬度和沉積速率增加。在同一沉積條件下提高放電電壓，也就意味著增強(qiáng)等離子體強(qiáng)度，使化學(xué)反應(yīng)向有利于生成物的方向發(fā)展，所以提高沉積電壓可以增加TiN薄膜的沉積速率。(3)工件對氮化鈦薄膜性能的影響。工件上薄膜使用性能的好壞不僅與薄膜本身的性能有關(guān)，而且還與工件材料的性能有關(guān)，尤其是工件材料的硬度，只有在比較堅(jiān)硬的基體材料上，硬質(zhì)薄膜才能發(fā)揮出其優(yōu)越的耐磨性能?；撞牧嫌捕炔煌瑒tTiN薄膜與基底的結(jié)合強(qiáng)度亦不同?；子捕仍酱螅琓iN薄膜與基底之間的結(jié)合越好。在實(shí)際應(yīng)用中，要盡量使底材料在一定的沉積溫度條件下保持較高的硬度，以提高薄膜的質(zhì)量?；妆砻娲植诙?/p>

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評論

0/150

提交評論