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中華人民共和國國家計量技術規(guī)范1金相顯微鏡校準規(guī)范rls8發(fā)布 8實施國家市場監(jiān)督管理總局 發(fā)布1金相顯微鏡校準規(guī)范rs

1歸 口 單 位:全國幾何量長度計量技術委員主要起草單位:江蘇省計量科學研究院無錫市計量測試院參加起草單位:泰州市計量測試院本規(guī)范委托全國幾何量長度計量技術委員會負責解釋本規(guī)范主要起草人:馬建龍江蘇省計量科學研究院)王樹剛無錫市計量測試院)吳 湘無錫市計量測試院)王曉飛江蘇省計量科學研究院)參加起草人:李 惠無錫市計量測試院)石 峰江蘇省計量科學研究院吳新峰泰州市計量測試院)目 錄引言………………………

Ⅱ)1范圍……………………2引用文件………………3概述……………………4計量特性………………1雙目鏡顯微鏡左右視場中心相對偏差……………2物鏡放大倍率誤差…………………3示值誤差……………5校準條件………………1環(huán)境條件……………2校準用標準器………………………6校準項目和校準方法…………………1雙目鏡顯微鏡左右視場中心相對偏差……………2物鏡放大倍率誤差…………………3示值誤差……………7校準結果的表達………………………8復校時間間隔…………

1)1)1)1)1)1)1)1)1)2)2)2)2)3)3)3)附錄A 示值誤差的校準不確定度評定示例…………

4)Ⅰ引言0國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則1通用計量術語及定義》和2測量不確定度評定與表示共同構成支撐本規(guī)范制定工作的基礎性系列規(guī)范。本規(guī)范在制定過程中參照了T8顯微鏡放大率數(shù)值、允差和符號》和9金相顯微鏡本規(guī)范為首次發(fā)布。Ⅱ金相顯微鏡校準規(guī)范范圍本規(guī)范適用于單目鏡、雙目鏡觀察式及帶有圖像傳感器接收式的金相顯微鏡的校準。引用文件本規(guī)范引用了下列文件:0國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則9金相顯微鏡凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文件,其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范。概述金相顯微鏡是用于觀察和測量金屬微組織結構的一種光學儀器。根據(jù)金相顯微鏡觀察物體圖像的方式,可分為目鏡觀察式和圖像傳感器接收式的金相顯微鏡。計量特性 雙目鏡顯微鏡左右視場中心相對偏差上下:不大于2;左右:外側不大于2;內(nèi)側不大于4。物鏡放大倍率誤差物鏡放大倍率最大允許誤差一般不超過5。示值誤差示值誤差一般不超過表1的規(guī)定

。表1示值誤差物鏡放大倍率?!痢力!力!潦局嫡`差±1L)±3L)±2L)注L測量長度。注:校準工作不判斷合格與否,上述計量特性要求僅供參考。校準條件環(huán)境條件

( ) 。校準金相顯微鏡的室內(nèi)溫度在5℃范圍內(nèi)校準室內(nèi)應無影響校準的灰塵、振動和腐蝕性氣體。1被校準儀器和校準用標準器在室內(nèi)連續(xù)平衡溫度的時間不少于。校準用標準器 。校準用標準器見表2

表2校準用標準器序號計量特性校準用標準器1雙目鏡顯微鏡左右視場中心相對偏差標準玻璃線紋尺,分度值1,:m2物鏡放大倍率誤差標準玻璃線紋尺,分度值1,:;倍率計,分度值1,:;×標準分劃目鏡:分度值為1,任意兩分劃線間的最大允許誤差不超過5,十字分劃中心與目鏡外圓機械軸同軸度為,十字分劃刻線面與目鏡定位面之間距離為)m3示值誤差標準玻璃線紋尺,分度值1,:;標準玻璃線紋尺,分度值1U12注:允許使用其他滿足測量不確定度要求的標準器進行校準。校準項目和校準方法首先檢查儀器外觀、各部分相互作用及視場清晰度。在確定儀器的光源、濾色片、孔徑光闌、粗細調(diào)焦手輪及附件完好無損,運行正常,確定物鏡、目鏡等附件無影響測量的霉斑等因素后再進行校準。雙目鏡顯微鏡左右視場中心相對偏差把分度值為1m的標準玻璃線紋尺放置在工作臺左右方向

縱向

選用×物鏡,調(diào)焦至目鏡目標清晰,在右目鏡中讀取標準玻璃線紋尺在視場兩側的刻度值及2,然后在左目鏡中讀取標準玻璃線紋尺在視場邊緣兩側的刻度值3及4,則兩視場中心在左右方向的相對偏差縱按公式)計算:把分度值為1

2)-4)2

)橫向在右目鏡的標準玻璃線紋尺放置在工作臺上下方向中讀取標準玻璃線紋尺在視場邊緣兩側的刻度值1及2,然后在左目鏡中讀取標準玻璃線紋尺在視場兩側的刻度值34,則兩視場中心在上下方向的相對偏差橫按公式)計算:

( ) ( )δ橫=

21

-432

)該項目須在雙目鏡的瞳距為內(nèi)側和外側兩位置時分別校準物鏡放大倍率誤差目鏡帶有分劃尺在工作臺上放置相對應的標準玻璃線紋尺,

裝上被校物鏡,

調(diào)焦至目鏡目標清晰,2并使目鏡中的分劃尺與標準玻璃線紋尺刻線平行,目鏡中的分劃尺的左端刻線與標準玻璃線紋尺零刻線對齊,在目鏡分劃尺的尾刻線處讀出標準玻璃線紋尺的實際值L。則物鏡倍率誤差物按公式)計算:L物mL0 )L式中:C目鏡分劃尺的分度值;m目鏡分劃尺的總格數(shù)目鏡無分劃尺在工作臺上放置相對應的標準玻璃線紋尺,

裝上被校物鏡,

取下目鏡,

將倍率計置于目鏡筒上,調(diào)節(jié)物鏡的像面距離,使標準玻璃刻度尺在倍率計分劃尺上成清晰像。方法同。示值誤差示值誤差應該分別在不同物鏡放大倍率下進行。目鏡式示值誤差在工作臺上放置相對應的標準玻璃線紋尺,

裝上被校物鏡,

調(diào)焦至目鏡中目標清晰,并使目鏡中的分劃尺與標準玻璃線紋尺刻線平行,將目鏡中標尺的左端零刻線對準標準玻璃線紋尺零刻線,觀察目鏡中分劃尺上被測點的刻線與標準玻璃線紋尺的對應刻線一致性,在分劃尺上讀出對應測量點的讀數(shù)值i。按照公式)計算目鏡式示值誤差L:式中:

LiL

)i分劃尺的讀數(shù)值,;L對應測量點標準玻璃線紋尺的實際尺寸,。,目鏡式示值誤差應在被檢分劃尺在視場的全長范圍內(nèi)不少于均勻分布的3個位置進行 取最大誤差值作為校準結果。,圖像式示值誤差首先在工作臺上放置相對應的標準玻璃線紋尺

,調(diào)焦至顯示屏目標清晰

。然后用測量程序測量出標準玻璃線紋尺刻線間的距離,應在視場范圍內(nèi)不少于均勻分布的3個位置進行。方法同。取最大誤差值作為校準結果。校準結果的表達經(jīng)過校準的金相顯微鏡出具校準證書。校準證書應包含校準結果、示值誤差以及不確定度。校準證書應符合0中2的要求。復校時間間隔復校時間間隔根據(jù)實際使用的具體情況確定,建議一般不超過1年。3附錄A示值誤差的校準不確定度評定示例測量方法在工作臺上放置標準玻璃線紋尺

,調(diào)焦至成像清晰,

并細微調(diào)整標準玻璃線紋尺位置,使測量線紋段成像于目鏡視野或影像屏幕的中間合適位置,利用目力讀數(shù)或者儀器測量軟件采集測量,測出對應刻線像之間的距離,計算出示值誤差L。使用測量軟件時,應注意在測量軟件模塊中選擇與被校物鏡對應的定標系數(shù)。測量模型 ( )式中:

LiL

1L示值誤差,;i測量讀數(shù)值,;L標準玻璃線紋尺對應測量點間的實際尺寸,。測量不確定分析依據(jù)測量模型,輸入量i和L之間是相互獨立的,互不相關,所以合成標準不確定度的計算公式為:L=iL)式中: 1?i2?i=1i L故L=iL) )標準不確定度分量評定由標準線紋尺實際尺寸引入的不確定分量本規(guī)范表1中對標準玻璃線紋尺,按照分度值不同有不同的技術指標要求。分度值1m的標準玻璃線紋時:,半寬,按照均勻分布,包含因子因此可得L1amk 3選用分度值1m的標準玻璃線紋尺時U1,則L1Umk 2由測量重復性引入的不確定分量i選用一臺金相顯微鏡,調(diào)整好位置后,重復測量對應刻線像的尺寸0次,得到的測量數(shù)據(jù)見表。4測量次數(shù)1234567測量次數(shù)1234567890測量結果2211211212sx=

3m∑ni∑ni2n-1Lx33mn ni 3分辨力導致的標準不確定度d)按照公式)計算。在目鏡觀察的測量條件下,分辨力一般為儀器分度值d的,即d。d)d

)儀器分度值d按照公式)計算: 2m'式中:

)m目鏡分劃尺標稱分度值,一般為1;物鏡的標稱放大倍率。如:對于目鏡分劃尺標稱分度值1,物鏡標稱放大倍率為0倍的金相顯微鏡:dm11m' 0d)d1m23 23注對于目鏡觀察式的金相顯微鏡,將測

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