JJF 1944-2021 電容式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范 高清晰版

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范1電容式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范s8發(fā)布 8實(shí)施國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 發(fā)布1電容式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范rs

1代替6歸 口 單 位:全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)主要起草單位:河南省計(jì)量科學(xué)研究院中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院參加起草單位:遼寧省計(jì)量科學(xué)研究院江蘇省計(jì)量科學(xué)研究院天津大學(xué)本規(guī)范委托全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋本規(guī)范主要起草人:賈曉杰河南省計(jì)量科學(xué)研究院崔建軍中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院)黃玉珠河南省計(jì)量科學(xué)研究院周 強(qiáng)河南省計(jì)量科學(xué)研究院參加起草人:劉娜遼寧省計(jì)量科學(xué)研究院王曉飛江蘇省計(jì)量科學(xué)研究院段發(fā)階天津大學(xué))目 錄引言 Ⅱ)1范圍……………………2概述……………………3計(jì)量特性………………1重復(fù)性………………2示值誤差……………3穩(wěn)定性………………4校準(zhǔn)條件………………1環(huán)境條件……………2校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器及相應(yīng)設(shè)備…………5校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法…………………1校準(zhǔn)前準(zhǔn)備…………2重復(fù)性………………3示值誤差……………4穩(wěn)定性………………6校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)………………………7復(fù)校時(shí)間間隔…………附錄A 量程m的電容式測(cè)微儀示值誤差的測(cè)量數(shù)據(jù)處理實(shí)例………………

1)1)1)1)1)2)2)2)2)2)2)2)3)4)4)5)6)附錄B 測(cè)量擋板的技術(shù)要求…………

7)附錄C 精密測(cè)長(zhǎng)裝置…………………

8)附錄D 校準(zhǔn)證書(shū)信息及內(nèi)頁(yè)格式 9)附錄E 電容式測(cè)微儀示值誤差校準(zhǔn)不確定度評(píng)定示例精密測(cè)長(zhǎng)裝置法)……)附錄F 電容式測(cè)微儀示值誤差校準(zhǔn)不確定度評(píng)定示例量塊測(cè)量法) )Ⅰ引 言0國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則1通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義2測(cè)量?jī)x器特性評(píng)定》和2測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》共同構(gòu)成支撐本規(guī)范修訂的基礎(chǔ)性系列規(guī)范。與6電容式測(cè)微儀》相比,除編輯性修改外,本規(guī)范主要技術(shù)變化如下:適用范圍由量程不大于,分辨力為”擴(kuò)大為量程為0,分辨力為”的電容式測(cè)微儀的校準(zhǔn);刪除了引用文獻(xiàn);修改了電容式測(cè)微儀結(jié)構(gòu)示意圖和電容式測(cè)微儀的測(cè)頭示意圖;修改示值重復(fù)性”為重復(fù)性,并對(duì)其技術(shù)指標(biāo)和校準(zhǔn)方法進(jìn)行了重新描述,增加了重復(fù)性計(jì)算公式;刪除了響應(yīng)時(shí)間鑒別力”和調(diào)零范圍”技術(shù)指標(biāo);修改了示值誤差技術(shù)指標(biāo),并對(duì)其校準(zhǔn)方法進(jìn)行了重新描述;修改了穩(wěn)定性”的校準(zhǔn)方法;刪除了指針式電容測(cè)微儀的計(jì)量性能要求;—增加了附錄A 量程m的電容式測(cè)微儀示值誤差的測(cè)量數(shù)據(jù)處理實(shí)例;修改了附錄B中標(biāo)準(zhǔn)擋板”為測(cè)量擋板;修改了測(cè)量擋板的直徑要求;增加了附錄C精密測(cè)長(zhǎng)裝置結(jié)構(gòu)示意圖。本規(guī)范的歷次版本發(fā)布情況為:;。Ⅱ電容式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范范圍本規(guī)范適用于量程為0m0,分辨力為1m1m的電容式測(cè)微儀的校準(zhǔn)。概述電容式測(cè)微儀以下簡(jiǎn)稱測(cè)微儀是采用電容調(diào)頻或電容運(yùn)算原理的一種非接觸式尺寸精密測(cè)量?jī)x器,適用于航空、醫(yī)療、精密制造等行業(yè)中的幾何量測(cè)量。測(cè)微儀結(jié)構(gòu)如圖1所示。測(cè)微儀可配有成套的測(cè)頭。測(cè)頭外形如圖2所示。圖1電容式測(cè)微儀結(jié)構(gòu)示意圖1—采集模塊;2—數(shù)字顯示屏;3—上位機(jī)軟件;4—通信接口;5—測(cè)頭計(jì)量特性重復(fù)性

圖2電容式測(cè)微儀測(cè)頭外形示意圖。測(cè)微儀的重復(fù)性應(yīng)不大于1 S示值誤差 : 。測(cè)微儀的最大允許誤差

1 S1穩(wěn)定性 。測(cè)微儀的穩(wěn)定性在h內(nèi)應(yīng)不大于2 S注校準(zhǔn)工作不判斷合格與否,上述計(jì)量特性要求僅供參考。校準(zhǔn)條件環(huán)境條件校準(zhǔn)測(cè)微儀時(shí),環(huán)境溫度為℃,溫度變化不超過(guò)5,相對(duì)濕度不大于0,電源電壓應(yīng)為02。校準(zhǔn)前,被校測(cè)微儀和標(biāo)準(zhǔn)器應(yīng)放在室內(nèi)平衡溫度且時(shí)間不少于。校準(zhǔn)時(shí)環(huán)境不應(yīng)有影響測(cè)量的振動(dòng)、噪聲、腐蝕性氣體和較強(qiáng)磁場(chǎng)。校準(zhǔn)應(yīng)在被校測(cè)微儀開(kāi)機(jī)預(yù)熱0n后進(jìn)行。 校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器及相應(yīng)設(shè)備校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器見(jiàn)表。表1校準(zhǔn)項(xiàng)目及校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器及計(jì)量特性1重復(fù)性)m的5等量塊、斜塊式測(cè)微儀檢定器:m或精密測(cè)長(zhǎng)裝置::±ALL測(cè)量長(zhǎng)度;工作臺(tái)步進(jìn)不大于,工作臺(tái)移動(dòng)角晃動(dòng)″2示值誤差小角度檢查儀::53等量塊或精密測(cè)長(zhǎng)裝置::±ALL測(cè)量長(zhǎng)度;工作臺(tái)步進(jìn)不大于,工作臺(tái)移動(dòng)角晃動(dòng)″3穩(wěn)定性)5等量塊、斜塊式測(cè)微儀檢定器:0m或精密測(cè)長(zhǎng)裝置::±ALL測(cè)量長(zhǎng)度;工作臺(tái)步進(jìn)不大于,工作臺(tái)移動(dòng)角晃動(dòng)″注:精密測(cè)長(zhǎng)裝置見(jiàn)附錄C。A為精密測(cè)長(zhǎng)裝置中激光干涉系統(tǒng)的非線性,通常A=,應(yīng)以實(shí)測(cè)結(jié)果為準(zhǔn)。校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法校準(zhǔn)前準(zhǔn)備對(duì)測(cè)微儀工作狀態(tài)進(jìn)行功能檢查,在確定沒(méi)有影響其計(jì)量特性的因素后再按表2的校準(zhǔn)項(xiàng)目進(jìn)行校準(zhǔn)。重復(fù)性斜塊式測(cè)微儀檢定器法 , ( )將裝夾在斜塊式測(cè)微儀檢定器上的測(cè)頭 對(duì)準(zhǔn)放在工作臺(tái)上的范圍內(nèi)任意一塊5等量塊,調(diào)整測(cè)頭垂直位移,使儀器示值顯示在測(cè)量范圍內(nèi)。在工作條件不變2的情況下推動(dòng)量塊,對(duì)同一受檢點(diǎn)連續(xù)測(cè)量5次,以公式)計(jì)算重復(fù)性。xn0 )式中:

Sr重復(fù)性;x測(cè)微儀5次測(cè)量的最大示值,;n測(cè)微儀5次測(cè)量的最小示值,;S測(cè)微儀的標(biāo)稱滿量程值,。精密測(cè)長(zhǎng)裝置法量程0)精密測(cè)長(zhǎng)裝置結(jié)構(gòu)示意圖見(jiàn)附錄。將測(cè)微儀與精密測(cè)長(zhǎng)裝置同軸安裝,調(diào)整精密測(cè)長(zhǎng)裝置與測(cè)微儀的距離,使測(cè)微儀示值處于工作量程內(nèi)。測(cè)微儀和精密測(cè)長(zhǎng)裝置置零后,調(diào)整測(cè)微儀到量程范圍內(nèi)某一值,同時(shí)記錄精密測(cè)長(zhǎng)裝置和測(cè)微儀的示值作為初始讀數(shù)移動(dòng)精密測(cè)長(zhǎng)裝置,重復(fù)測(cè)量5次,讀取測(cè)微儀的示值,以公式)計(jì)算重復(fù)性。示值誤差量塊測(cè)量法

, , 。量塊測(cè)量法適用于分辨力大于或等于m 量程2m的測(cè)微儀 見(jiàn)圖所示校準(zhǔn)前,在小角度檢查儀的左右兩指示計(jì)臂架孔中分別裝上接觸式干涉儀光管,并將孔距為m的夾具,裝在左端接觸式干涉儀光管上。在夾具左端的孔中裝上測(cè)微儀的測(cè)頭,經(jīng)調(diào)整,使測(cè)頭軸線與兩個(gè)接觸式干涉儀光管軸線共面,如圖3所示。小角度檢查儀經(jīng)過(guò)上述調(diào)整,構(gòu)成了0即0的杠桿機(jī)構(gòu),借助框式水平儀調(diào)整橋形工作臺(tái)使其臺(tái)面基本水平。儀器調(diào)整好后,根據(jù)被校儀器的分辨力和量程選用相應(yīng)尺寸的量塊進(jìn)行校準(zhǔn)。受校點(diǎn)應(yīng)不少于5點(diǎn),在量程內(nèi)均勻分布。圖3用小角度檢查儀校準(zhǔn)示值誤差示意圖1—干涉儀光管;2—測(cè)頭;3—夾具;4—測(cè)量擋板;5—圓柱;6—水準(zhǔn)器;7—支承腳;—升降螺釘—升降軸—橋形工作臺(tái)—量塊—干涉儀光管例如校準(zhǔn)量程為0m的測(cè)微儀,每隔0m為一個(gè)受檢點(diǎn),選用1、12345m等3等量塊為標(biāo)準(zhǔn)。為使接觸式干涉3儀定位可靠,再選用一塊不低于4等的1mm量塊作墊塊。將兩塊1mm量塊分別推入接觸式干涉儀測(cè)頭下面對(duì)零

,將測(cè)量擋板推入測(cè)微儀測(cè),頭下面,并上下移動(dòng)測(cè)頭,使測(cè)微儀示值為零。置換右端的接觸式干涉儀下面的量塊,調(diào)整裝置,使接觸式干涉儀的示值重新為零讀取測(cè)微儀的示值即為該受檢點(diǎn)的測(cè)得值。依次校準(zhǔn)各受檢點(diǎn)直至終點(diǎn),測(cè)微儀的示值誤差按公式)計(jì)算,以各受檢點(diǎn)的測(cè)得值與標(biāo)準(zhǔn)值的差值與測(cè)微儀量程的比值確定,取所有示值誤差中絕對(duì)值最大的作為校準(zhǔn)值。δ i-i]

0 )式中:

i= ×ii個(gè)受檢點(diǎn)上的示值誤差,;ii個(gè)受檢點(diǎn)上的測(cè)微儀示值m或;ii個(gè)量塊的標(biāo)準(zhǔn)值m或;0對(duì)零量塊的標(biāo)準(zhǔn)值m或;S測(cè)微儀的標(biāo)稱滿量程值m或。精密測(cè)長(zhǎng)裝置法將測(cè)微儀及精密測(cè)長(zhǎng)裝置同軸安裝,

在測(cè)微儀量程范圍內(nèi)大致均勻選取不少于5個(gè)受檢點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。將精密測(cè)長(zhǎng)裝置移動(dòng)到測(cè)微儀反向或正向起始位置,在測(cè)微儀與精密測(cè)長(zhǎng)裝置均置零后,按照正方向或反方向進(jìn)行測(cè)量,控制精密測(cè)長(zhǎng)裝置至選定的受檢點(diǎn),同時(shí)記錄測(cè)微儀與精密測(cè)長(zhǎng)裝置的示值,測(cè)微儀的示值誤差按公式)計(jì)算,以測(cè)微儀與精密測(cè)長(zhǎng)裝置示值的差值與測(cè)微儀量程的比值確定,取所有示值誤差中絕對(duì)值最大的作為測(cè)微儀的示值誤差。i ii0 )式中:

=ii個(gè)受檢點(diǎn)上的示值誤差,;ii個(gè)受檢點(diǎn)上的測(cè)微儀示值m或;i精密測(cè)長(zhǎng)裝置的示值m或;S測(cè)微儀的標(biāo)稱滿量程值m或。4穩(wěn)定性將測(cè)微儀按1或2裝夾和調(diào)整好傳感器

,示值穩(wěn)定后

,記錄測(cè)微儀的第一次示值,然后每隔1h記錄一次示值連續(xù)觀察取測(cè)微儀示值的最大值與最小值之差為穩(wěn)定性。允許使用滿足要求的其他穩(wěn)定性校準(zhǔn)裝置。校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)經(jīng)校準(zhǔn)的電容測(cè)微儀出具校準(zhǔn)證書(shū)。校準(zhǔn)證書(shū)內(nèi)容見(jiàn)附錄D。4復(fù)校時(shí)間間隔由于復(fù)校時(shí)間間隔的長(zhǎng)短是由儀器的使用情況、使用者、儀器本身質(zhì)量等諸因素所決定的,因此送校單位可根據(jù)實(shí)際使用情況自主決定復(fù)校時(shí)間間隔。5附錄A量程m的電容式測(cè)微儀示值誤差的測(cè)量數(shù)據(jù)處理實(shí)例量程0m的電容式測(cè)微儀示值誤差的測(cè)量數(shù)據(jù)處理實(shí)例見(jiàn)表。表1量程m的電容式測(cè)微儀示值誤差的測(cè)量數(shù)據(jù)處理實(shí)例m電容測(cè)微儀示值m測(cè)長(zhǎng)裝置示值m示值誤差m示值誤差/00000556150945757589064-82校準(zhǔn)結(jié)果電容式測(cè)微儀的示值誤差:9 S測(cè)量結(jié)果不確定度U3 26附錄B測(cè)量擋板的技術(shù)要求測(cè)量擋板如圖1所示,其技術(shù)要求如下:對(duì)B面的技術(shù)要求:平面度不大于;平行度不大于;表面粗糙度a應(yīng)不大于D大于傳感器測(cè)頭直徑。材料為。圖1測(cè)量擋板示意圖7附錄C精密測(cè)長(zhǎng)裝置精密測(cè)長(zhǎng)裝置如圖1所示,其內(nèi)部的激光頭及其支座和位移工作臺(tái)均固定在底座上。位移工作臺(tái)可分為固定模塊和運(yùn)動(dòng)模塊兩部分:位移工作臺(tái)固定模塊用于安裝干涉參考組鏡和測(cè)頭安裝架,位移工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)模塊用于安裝固定板及固定板上面的干涉測(cè)量鏡和測(cè)量擋板。激光頭、干涉參考組鏡和干涉測(cè)量鏡形成干涉測(cè)長(zhǎng)光路。其中,干涉測(cè)長(zhǎng)光路的光軸應(yīng)與安裝好的測(cè)頭同軸,與位移工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)方向一致,并與測(cè)量擋板的工作面垂直。測(cè)量時(shí),電容式測(cè)微儀測(cè)頭先置于測(cè)頭安裝架上,再調(diào)整測(cè)頭工作端面與測(cè)量擋板的距離,使之處于合理的量程范圍內(nèi)后緊固然后控制位移工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)模塊移動(dòng)。此時(shí),固定板、干涉測(cè)量鏡和測(cè)量擋板相對(duì)于位移工作臺(tái)固定模塊產(chǎn)生了相同的位移。依據(jù)校準(zhǔn)規(guī)范要求,通過(guò)比較干涉測(cè)長(zhǎng)光路及電容式測(cè)微儀的位移測(cè)量值,則可得到電容式測(cè)微儀的示值誤差。圖1精密測(cè)長(zhǎng)裝置示意圖1—底座;2—支座;3—激光頭;4—外殼;5—干涉參考組鏡;6—干涉測(cè)量鏡;7—固定板;8—測(cè)量擋板;—測(cè)頭安裝架—電容式測(cè)微儀測(cè)頭—位移工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)模塊—位移工作臺(tái)固定模塊)8附錄D校準(zhǔn)證書(shū)信息及內(nèi)頁(yè)格式校準(zhǔn)證書(shū)至少包括以下信息:標(biāo)題校準(zhǔn)證書(shū);實(shí)驗(yàn)室名稱和地址;進(jìn)行校準(zhǔn)的地點(diǎn)如果與實(shí)驗(yàn)室的地址不同證書(shū)或報(bào)告的唯一性標(biāo)識(shí)如編號(hào)每頁(yè)及總頁(yè)數(shù)的標(biāo)識(shí);客戶的名稱和地址;被校對(duì)象的描述和明確標(biāo)識(shí);進(jìn)行校準(zhǔn)的日期,如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性應(yīng)用有關(guān)時(shí),應(yīng)說(shuō)明被校對(duì)象的接收日期;如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性或應(yīng)用有關(guān)時(shí),應(yīng)對(duì)被校樣品的抽樣程序進(jìn)行說(shuō)明;校準(zhǔn)所依據(jù)的技術(shù)規(guī)范的標(biāo)識(shí),包括名稱及代號(hào);本次校準(zhǔn)所用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的溯源性及有效性說(shuō)明;校準(zhǔn)環(huán)境的描述;校準(zhǔn)結(jié)果及測(cè)量不確定度的說(shuō)明;對(duì)校準(zhǔn)規(guī)范的偏離的說(shuō)明;校準(zhǔn)證書(shū)或校準(zhǔn)報(bào)告簽發(fā)人的簽名、職務(wù)或等效標(biāo)識(shí);校準(zhǔn)結(jié)果僅對(duì)被校對(duì)象有效的聲明;未經(jīng)實(shí)驗(yàn)室書(shū)面批準(zhǔn),不得部分復(fù)制證書(shū)的聲明。推薦的校準(zhǔn)證書(shū)內(nèi)頁(yè)格式見(jiàn)表。表1校準(zhǔn)證書(shū)內(nèi)頁(yè)格式證書(shū)編號(hào):校準(zhǔn)環(huán)境條件溫度: ℃相對(duì)濕度:地點(diǎn):其他:序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)結(jié)果1重復(fù)性2示值誤差3穩(wěn)定性校準(zhǔn)員: 核驗(yàn)員:9附錄E電容式測(cè)微儀示值誤差校準(zhǔn)不確定度評(píng)定示例精密測(cè)長(zhǎng)裝置法)測(cè)量方法按本規(guī)范所述的校準(zhǔn)方法

,精密測(cè)長(zhǎng)裝置主要包括激光干涉儀和工作臺(tái)

。由激光干涉儀給出位移的標(biāo)準(zhǔn)示值,在電容式測(cè)微儀上分別讀取相應(yīng)的示值,以電容式測(cè)微儀示值與激光干涉儀的相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)示值之差與測(cè)微儀量程的比值,作為測(cè)微儀相應(yīng)點(diǎn)的示值誤差。以下以分辨力為,量程為m的電容式測(cè)微儀示值誤差測(cè)量不確定度進(jìn)行評(píng)定。測(cè)量模型式中:

iii0ii個(gè)受檢點(diǎn)上的示值誤差,;ii個(gè)受檢點(diǎn)上的電容式測(cè)微儀示值,m或;ii個(gè)受檢點(diǎn)上的激光干涉儀示值,m或;S電容式測(cè)微儀的標(biāo)稱滿量程值,m或。不確定度來(lái)源包括測(cè)量讀數(shù)或重復(fù)性引起的不確定度分量ui測(cè)長(zhǎng)裝置的示值不確定度來(lái)源 不確定度來(lái)源包括測(cè)量讀數(shù)或重復(fù)性引起的不確定度分量ui測(cè)長(zhǎng)裝置的示值誤差引起的不確定度分量測(cè)長(zhǎng)裝置工作臺(tái)移動(dòng)角晃動(dòng)引起的不確定度分量及環(huán)境溫度變化引起的不確定度分量。不確定度傳播公式由于各不確定度分量互不相關(guān),

所以合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度的計(jì)算公式:12式中,靈敏系數(shù)1=ii12=ii=1其中S112=1。標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量評(píng)定 ()測(cè)微儀分辨力或重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量ui該測(cè)微儀的分辨力為1nm,由分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量為mmmm由重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量為1取重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為i10測(cè)長(zhǎng)裝置示值誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度)采用最大允許誤差為±L的測(cè)長(zhǎng)裝置進(jìn)行校準(zhǔn),服從均勻分布,k=3,被校測(cè)微儀的量程為L(zhǎng),則:L

mLm1cL

3mL82 1 L測(cè)長(zhǎng)裝置工作臺(tái)移動(dòng)角晃動(dòng)引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量)測(cè)長(zhǎng)裝置工作臺(tái)移動(dòng)角晃動(dòng)β不超過(guò)。服從均勻分布,則u/3d在進(jìn)行示值誤差校準(zhǔn)時(shí),需要將測(cè)微儀與測(cè)長(zhǎng)裝置同軸安裝,測(cè)微儀測(cè)量軸線與測(cè)長(zhǎng)裝置測(cè)量軸線的間距為S2m時(shí),阿貝誤差為:=S=15m2 2SL7 ( )測(cè)長(zhǎng)裝置在測(cè)量過(guò)程中環(huán)境溫度變化等誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u3在測(cè)量過(guò)程中溫度變化等引起示值變化漂移等,服從均勻分布,包含因子k=3,半寬度a=2nm,則:3mm33m= m 3m標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表 。各分量及標(biāo)準(zhǔn)不確定度評(píng)定見(jiàn)表1表1標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表不確定度來(lái)源標(biāo)準(zhǔn)不確定度符號(hào)標(biāo)準(zhǔn)不確定度值ici輸出量標(biāo)準(zhǔn)不確定分量ii)測(cè)微儀分辨力或重復(fù)性u(píng)1)m11u2)——1測(cè)長(zhǎng)裝置的示值誤差u1)m18測(cè)長(zhǎng)裝置工作臺(tái)移動(dòng)角晃動(dòng)u2)m17環(huán)境溫度變化u3)m1662k21=12+82+72+62=擴(kuò)展不確定度U取包含因子k=2,則得到相對(duì)于滿量程的擴(kuò)展不確定度為k2

62附錄F

電容式測(cè)微儀示值誤差校準(zhǔn)不確定度評(píng)定示例量塊測(cè)量法)測(cè)量方法按本規(guī)范所述的校準(zhǔn)方法

,電容式測(cè)微儀的示值誤差是在小角度檢查儀上以量塊為標(biāo)準(zhǔn)用直接法測(cè)量獲得的。以量程為、分辨力為m的電容式測(cè)微儀為例分析其示值誤差的測(cè)量不確定度。測(cè)量模型Li=i-i×0S0 )L式中:ii個(gè)受檢點(diǎn)上的示值誤差,;ii個(gè)受檢點(diǎn)上的測(cè)微儀示值;0接觸式干涉儀光管對(duì)零時(shí)所用量塊的實(shí)際值;i接觸式干涉儀光管測(cè)量i受檢點(diǎn)時(shí)所用量塊的實(shí)際值;L小角度檢查儀兩干涉儀之間的距離00左側(cè)干涉儀與電容式測(cè)微儀傳感器之間的距離0S電容式測(cè)微儀的標(biāo)稱滿量程值。不確定度來(lái)源包括測(cè)微儀的分辨力或重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u不確定度來(lái)源包括測(cè)微儀的分辨力或重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量ui

標(biāo)準(zhǔn)(,標(biāo)準(zhǔn)i誤差引入的不確定度分量i讀數(shù)裝置的重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量標(biāo)準(zhǔn)量0誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量由讀數(shù)裝置的重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度小角度檢查儀兩干涉光管之間的距離引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度球面測(cè)帽的球面中心與其套孔軸線重合度引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度左邊干涉光管與電容式測(cè)微儀傳感器之間的距離0引入的不確定度。不確定度傳播公式由于各不確定度分量互不相關(guān),

所以合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度的計(jì)算公式=∑f2iu得:+: , )其中Sm00L0miS1;i=S=1;S1L=iS1;3=-iS1。標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量評(píng)定測(cè)微儀的分辨力或重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量i)該測(cè)微儀的分辨力為,由分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量為:mm19由重復(fù)性引入的不確定度分量1取重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為i1標(biāo)準(zhǔn)量i誤差引入的不確定度分量i)3等量塊尺寸小于0)的不確定度U,依該量塊測(cè)量不確定度分析,用3等量塊直接校準(zhǔn),故mm讀數(shù)裝置采用分度值為

71m干涉儀光管

由其測(cè)量重復(fù)性引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度可以通過(guò)大量的連續(xù)測(cè)量得到數(shù)個(gè)測(cè)量值采用A類方法評(píng)定對(duì)一塊3等量塊在重復(fù)條件下連續(xù)測(cè)量0次,得到mm=