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PAGEPAGE1分子泵部負(fù)責(zé)人隱患排查清單一、前言分子泵是重要設(shè)備,但使用中難免會(huì)出現(xiàn)一些隱患。為保障人員和設(shè)備安全,現(xiàn)將分子泵部隱患排查清單分享出來(lái),希望對(duì)大家有所幫助。二、隱患排查內(nèi)容1.電器接線方面(1)是否存在接線錯(cuò)誤的情況(如,接錯(cuò)交、直流電源);(2)是否存在電線短路、接觸不良的情況。2.機(jī)械部分方面(1)是否存在泵體內(nèi)雜質(zhì)及不應(yīng)存在異物;(2)機(jī)械部件有無(wú)磨損、裂紋、變形等情況;(3)泵體內(nèi)是否存在沉積物、腐蝕。3.密封部分方面(1)機(jī)械密封的填料部分是否過(guò)于松散或過(guò)緊;(2)填料粘合度的檢查;(3)填料的使用壽命是否達(dá)到或超過(guò)規(guī)定期限。4.真空度相關(guān)檢查(1)檢查泵體真空度、氣體渦輪泵的脫氣效率等。5.整個(gè)分子泵部分方面(1)排查分子泵安裝是否符合規(guī)定;(2)檢查泵體內(nèi)部機(jī)件是否正常運(yùn)轉(zhuǎn)、是否有異常噪音等;(3)排查泵體連接管路鐵銹落入、進(jìn)口閥門(mén)損壞、進(jìn)口管堵塞的情況。三、隱患排查步驟1.按照設(shè)備及制造商提供的手冊(cè)操作及維修操作,以確保泵體安全性、穩(wěn)定性及真空度等符合規(guī)范標(biāo)準(zhǔn);2.對(duì)機(jī)器表面進(jìn)行仔細(xì)檢查,排查泵體內(nèi)部結(jié)構(gòu)及配件有無(wú)損壞、松動(dòng)or銹蝕等情況;3.對(duì)pumphead、turbomolecularpumpinletandoutlet進(jìn)行檢查,以確認(rèn)valvesorconductors、electriccable及thermostat工作正常;4.檢查泵體的seal,如發(fā)現(xiàn)seal磨損、缺失及aging等情況,需要及時(shí)替換。四、注意事項(xiàng)1.排查操作前,需先確認(rèn)電源和電線的安全,以免因電氣問(wèn)題而導(dǎo)致危險(xiǎn);2.排查過(guò)程中,對(duì)于疑似有安全隱患的制造商生產(chǎn)部件,則需停用并聯(lián)系廠家,以確認(rèn)該部件的安全性;3.對(duì)于新購(gòu)得的分子泵,需要按照制造商的說(shuō)明操作并定期做好維護(hù),以確保機(jī)器的穩(wěn)定性。五、結(jié)語(yǔ)以上是分子泵部負(fù)責(zé)人隱患排查清單,排查隱患不僅是一個(gè)重要的保障工作,同時(shí)也是一個(gè)預(yù)
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