測(cè)控儀器設(shè)計(jì)復(fù)習(xí)

第一章測(cè)控儀器設(shè)計(jì)概論第一節(jié)測(cè)控儀器的概念和組成第二節(jié)

測(cè)控儀器及其設(shè)計(jì)的發(fā)展?fàn)顩r與趨勢(shì)第三節(jié)

測(cè)量儀器通用術(shù)語及定義第四節(jié)

對(duì)測(cè)控儀器設(shè)計(jì)的要求和設(shè)計(jì)程序

習(xí)題第一節(jié)測(cè)控儀器的概念和組成一、測(cè)控儀器的概念按照系統(tǒng)工程學(xué)的觀點(diǎn),生產(chǎn)過程中有三大技術(shù)系統(tǒng):★

以能量到能量變換為主的能量流系統(tǒng)如鍋爐,冷凝器,熱交換器,發(fā)動(dòng)機(jī)等★

以材料到材料變換為主的材料流系統(tǒng)如機(jī)床,農(nóng)業(yè)機(jī)械,紡織機(jī)械,液壓機(jī)械等

★以信息獲取到測(cè)量、變換、控制、處理、顯示等為主的信息流系統(tǒng)，如儀器儀表、計(jì)算機(jī)、通信裝置、自動(dòng)控制系統(tǒng)等。測(cè)控儀器的概念在現(xiàn)代計(jì)量測(cè)試儀器中，測(cè)量與控制已經(jīng)密不可分，測(cè)控儀器則是利用測(cè)量和控制的理論，采用機(jī)、電、光各種計(jì)量測(cè)試原理及控制系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)相結(jié)合的一種范圍廣泛的測(cè)量儀器。

本課程的要求：①掌握機(jī)、電、光、計(jì)算機(jī)技術(shù)相結(jié)合的儀器總體設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)理論知識(shí)；②學(xué)會(huì)如何從設(shè)計(jì)任務(wù)出發(fā)，進(jìn)行總體設(shè)計(jì)的方法；③具有進(jìn)行儀器精度設(shè)計(jì)的能力。本門課程力求使學(xué)生在測(cè)控儀器設(shè)計(jì)中具有勇于探索、有創(chuàng)新思維的設(shè)計(jì)能力。

測(cè)控儀器的組成

二、

測(cè)控儀器種類繁多，其組成多種多樣，但可按其各部分的功能來分成若干組成部分。測(cè)控儀器組成以圖1—1“微電子產(chǎn)品視覺檢測(cè)儀”

為例說明。儀器組成：支承底座、精密工作臺(tái)、X、Y二維運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌、立柱、顯微鏡及CCD攝像器件、光柵系統(tǒng)、精密驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、光源。1基準(zhǔn)部件5信息處理與運(yùn)算裝置2傳感器與感受轉(zhuǎn)換部件6顯示部件

3放大部件7驅(qū)動(dòng)控制器部件

4瞄準(zhǔn)部件8機(jī)械結(jié)構(gòu)部件

第二節(jié)測(cè)控儀器及其設(shè)計(jì)的發(fā)展?fàn)顩r與趨勢(shì)一、發(fā)展趨勢(shì):

高精度與高可靠性、高效率、智能化、多樣化與多維化。（1）高精度與高可靠性

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對(duì)測(cè)控儀器的精度提出更高的要求，如幾何量nm精度測(cè)量，力學(xué)量的mg精度測(cè)量等。同時(shí)對(duì)儀器的可靠性要求也日益增高，尤其是航空、航天用的測(cè)控儀器，其可靠性尤為重要。

（2）高效率

大批量產(chǎn)品生產(chǎn)節(jié)奏，要求測(cè)量儀器具有高效率，因此非接觸測(cè)量、在線檢測(cè)、自適應(yīng)控制、模糊控制、操作與控制的自動(dòng)化、多點(diǎn)檢測(cè)、機(jī)光電算一體化是必然的趨勢(shì)。二、發(fā)展概況—現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法

二、

現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法的特點(diǎn)：(1)程式性強(qiáng)調(diào)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)與銷售的一體化。(2)創(chuàng)造性突出人的創(chuàng)造性，開發(fā)創(chuàng)新性產(chǎn)品。(3)系統(tǒng)性用系統(tǒng)工程思想處理技術(shù)系統(tǒng)問題。力求系統(tǒng)整體最優(yōu)，同時(shí)要考慮人-機(jī)-環(huán)境的大系統(tǒng)關(guān)系。(4)優(yōu)化性通過優(yōu)化理論及技術(shù)，以獲得功能全、性能良好、成本低、性能價(jià)格比高的產(chǎn)品。(5)計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)計(jì)算機(jī)將更全面地引入設(shè)計(jì)全過程，計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)不僅用于計(jì)算和繪圖，在信息儲(chǔ)存、評(píng)價(jià)決策、動(dòng)態(tài)模擬、人工智能等方面將發(fā)揮更大作用。

第三節(jié)測(cè)量儀器通用術(shù)語及定義

儀器的技術(shù)指標(biāo)是用來說明一臺(tái)儀器的性能和作用的，主要技術(shù)指標(biāo)既作為設(shè)計(jì)依據(jù)，也用來考核所設(shè)計(jì)的儀器是否成功。作為測(cè)量儀器還必須要有規(guī)范的語言，稱之為測(cè)量儀器的術(shù)語。本節(jié)敘述的有關(guān)測(cè)量儀器的術(shù)語是根據(jù)JJFl001—1998全國法制計(jì)量技術(shù)委員會(huì)頒布的“通用計(jì)量術(shù)語及定義”來說明的。第四節(jié)對(duì)測(cè)控儀器設(shè)計(jì)的要求和設(shè)計(jì)程序

一、設(shè)計(jì)要求

二、測(cè)控儀器的設(shè)計(jì)程序第一章復(fù)

習(xí)

題

第二章儀器精度理論

意義：精度分析和精度設(shè)計(jì)是儀器設(shè)計(jì)的重要內(nèi)涵內(nèi)容：儀器誤差來源與特性誤差計(jì)算與評(píng)定誤差傳遞及相互作用的規(guī)律誤差合成與分配原則和方法對(duì)儀器精度的測(cè)試過程第一節(jié)儀器精度理論中的若干基本概念第二節(jié)儀器誤差的來源與性質(zhì)第三節(jié)儀器誤差的分析第四節(jié)儀器誤差的綜合第五節(jié)儀器誤差的分析合成舉例第六節(jié)儀器精度設(shè)計(jì)第一節(jié)儀器精度理論中的若干基本概念

第二節(jié)儀器誤差的來源與性質(zhì)

設(shè)計(jì)生產(chǎn)使用原理誤差制造誤差運(yùn)行誤差第三節(jié)

儀器誤差分析

任務(wù)：尋找影響儀器精度的誤差根源及其規(guī)律；計(jì)算誤差及其對(duì)儀器總精度的影響程度；目的：正確地選擇儀器設(shè)計(jì)方案；合理地確定結(jié)構(gòu)和技術(shù)參數(shù)；為設(shè)置誤差補(bǔ)償環(huán)節(jié)提供依據(jù)。一、微分法二、幾何法三、作用線與瞬時(shí)臂法四、數(shù)學(xué)逼近法第四節(jié)儀器誤差的綜合

二、系統(tǒng)誤差的綜合

在儀器設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試驗(yàn)收的各個(gè)環(huán)節(jié)都需要進(jìn)行精度評(píng)估，就離不開儀器誤差的綜合。由于儀器源誤差很多、性質(zhì)又各不相同，因此儀器誤差綜合方法也各不相同。根據(jù)儀器誤差性質(zhì)的不同，儀器誤差可按下述方法綜合。一、隨機(jī)誤差的綜合三、儀器總體誤差的合成第五節(jié)儀器誤差分析合成舉例

第六節(jié)儀器精度設(shè)計(jì)

儀器精度設(shè)計(jì)是儀器精度綜合的反問題，其根本任務(wù)是將給定的儀器總誤差合理地分配到儀器的各個(gè)組成部件上，為正確設(shè)計(jì)儀器的各個(gè)組成部件結(jié)構(gòu)以及制定零部件的公差和技術(shù)要求提供依據(jù)。對(duì)于一些對(duì)儀器精度影響較大的環(huán)節(jié)給予較嚴(yán)的精度指標(biāo)；對(duì)于那些對(duì)儀器精度影響較小的環(huán)節(jié)給予較寬松的精度指標(biāo)，在滿足儀器總精度要求的前提下使制造成本降致最小。一、儀器精度指標(biāo)的確定二、誤差分配方法第二章復(fù)

習(xí)

題

第三章測(cè)控儀器總體設(shè)計(jì)

測(cè)控儀器總體設(shè)計(jì)，是指在進(jìn)行儀器具體設(shè)計(jì)以前，從儀器自身的功能、技術(shù)指標(biāo)、檢測(cè)與控制系統(tǒng)框架及儀器應(yīng)用的環(huán)境和條件等總體角度出發(fā)，對(duì)儀器設(shè)計(jì)中的全局問題進(jìn)行全面的設(shè)想和規(guī)劃。要考慮的主要問題有：1.設(shè)計(jì)任務(wù)分析2.創(chuàng)新性構(gòu)思（所能達(dá)到的新功能，所實(shí)現(xiàn)的新方法，所反映出的新技術(shù)，新理論等）3.測(cè)控儀器若干設(shè)計(jì)原則的考慮4.測(cè)控儀器若干設(shè)計(jì)原理的斟酌5.測(cè)控儀器工作原理的選擇和系統(tǒng)設(shè)計(jì)6.測(cè)控系統(tǒng)主要結(jié)構(gòu)參數(shù)與技術(shù)指標(biāo)的確定7.儀器總體的造型規(guī)劃

第一罵節(jié)浙設(shè)計(jì)灶任務(wù)滲分析第二劇節(jié)糟創(chuàng)新暴性設(shè)渾計(jì)第三課節(jié)積測(cè)控見儀器困設(shè)計(jì)聽原則第四白節(jié)郊測(cè)控炊儀器窗設(shè)計(jì)玩原理第五弦節(jié)境測(cè)控葡儀器批工作權(quán)原理稱的選貍擇和柜系統(tǒng)主設(shè)計(jì)第六局節(jié)窄測(cè)控胡儀器配主要翻結(jié)構(gòu)熊參數(shù)膜與技節(jié)術(shù)指汗標(biāo)的紋確定第七聽節(jié)地測(cè)控鄭儀器輕的造四型設(shè)英計(jì)儀器沉總體鍵設(shè)計(jì)恭的最茫終評(píng)揪估，址是以爸其所村能達(dá)疼到的端經(jīng)濟(jì)興指標(biāo)椅與技鍋術(shù)指劣標(biāo)來叔衡量蠢，精度盡與可麻靠性爛指標(biāo)是測(cè)菊控儀振器設(shè)抬計(jì)的恒核心痛問題扭。本章怨共分炎為七績節(jié)第一葬節(jié)備設(shè)計(jì)襖任務(wù)串分析第二門節(jié)咸創(chuàng)攏新性傍設(shè)計(jì)第三虹節(jié)櫻測(cè)控明儀器燙設(shè)計(jì)質(zhì)原則六項(xiàng)議設(shè)計(jì)裹原則綠：一、帶阿貝(Ab扣be)原則教及其帝擴(kuò)展二、愈變形笑最小貓?jiān)瓌t慚及減恭小變束形影飽響的籠措施三、裂測(cè)量棒鏈最優(yōu)短原羊則四、益坐標(biāo)棕系統(tǒng)意一原咽則五、硬精度茫匹配更原則六、簡經(jīng)濟(jì)堆原則第四訴節(jié)霸測(cè)關(guān)控儀治器設(shè)描計(jì)原敏理一、平均曬讀數(shù)悅原理二、比較得測(cè)量李原理三、補(bǔ)償亭原理第五陰節(jié)嘗測(cè)控胞儀器上工作海原理遷的選淹擇和賺系統(tǒng)梯設(shè)計(jì)第六跑節(jié)追測(cè)裝控儀徒器主潔要結(jié)慨構(gòu)參龜數(shù)與賀技術(shù)復(fù)指標(biāo)悔的確兩定第三袋章駝復(fù)習(xí)題第四愁章的精密榮機(jī)械沾系統(tǒng)晴的設(shè)匙計(jì)在測(cè)喝控儀蓋器中危，精鑄密機(jī)寧械系概統(tǒng)對(duì)車保證躬儀器錢的測(cè)量穗精度、定位僵精度和運(yùn)動(dòng)勵(lì)精度起著緊關(guān)鍵侍的作起用。米隨著曉精密扛測(cè)量弟與控偉制技賊術(shù)的宮飛速舊發(fā)展悄，對(duì)什測(cè)控延儀器疊中的松精密貝機(jī)械蜘系統(tǒng)刃的功咸能和傷精度下要求卷也越乘來越民高。翅如對(duì)解基座奔的變圖形要紹控制銹在亞帖微米河量級(jí)既；對(duì)鍋工作射臺(tái)的變定位笑精度冤和傳詞動(dòng)精怕度要匠求能悲達(dá)到0.貫1μ突m；對(duì)膛導(dǎo)軌四的直晉線度仍要求杠達(dá)到0.佛1μ舞m/監(jiān)m；主跪軸的桌回轉(zhuǎn)燒精度逝要求排達(dá)到0.車01繪μm等。本章偏在精帳密機(jī)咽械設(shè)浸計(jì)基拉礎(chǔ)上攤，重悲點(diǎn)對(duì)煌系統(tǒng)殃精度兵和性丙能影鍵響較醉大的席機(jī)械測(cè)結(jié)構(gòu)勤進(jìn)行齒研究極，如扒：基綱座、見導(dǎo)軌粱、軸度系及竭伺服寒系統(tǒng)匹進(jìn)行端等。本章拜共分須為五得節(jié)：第一壟節(jié)蔑儀器型的支猴承件威設(shè)計(jì)第二煙節(jié)黨儀器碎的導(dǎo)雕軌及觀設(shè)計(jì)第三右節(jié)坑主軸退系統(tǒng)菊及設(shè)愁計(jì)第四豆節(jié)加伺服菜機(jī)械拖系統(tǒng)錯(cuò)設(shè)計(jì)第五激節(jié)游微位工移機(jī)望構(gòu)及膽設(shè)計(jì)第一祥節(jié)魯儀旦器的如支承今件設(shè)賄計(jì)儀器于中的艱支承賽件包標(biāo)括基座影、立存柱、菊機(jī)柜漸、機(jī)遣箱等。孫它起笨著聯(lián)降接和屬支承嘩儀器到的機(jī)從、光亦、電睛等各瘦部分幻玉零件蝕和部課件的弟作用妨。基莫座和童立柱原的力厚變形畝和溫呈度變適形將城直接凱影響擊測(cè)量離精度令。支承較件的傘結(jié)構(gòu)各特點(diǎn)釣和設(shè)沙計(jì)要懇求；橫截茫面積惡相同岡時(shí)不果同斷忘面形評(píng)狀慣討性矩逐的比踏較；各種訊肋條(板)的形均狀及運(yùn)其優(yōu)姜缺點(diǎn)寺；支承關(guān)件常吸用材友料性盟能及叫改善盜措施目；基座智與支順承件章的壁饅厚、否肋板車、肋首條厚早度。第二高節(jié)銹儀天器的吵導(dǎo)軌軍及設(shè)蕉計(jì)一、銷導(dǎo)軌對(duì)的功菠用與示分類導(dǎo)軌燦的功傷用：導(dǎo)軌斷是穩(wěn)烘定和妨靈活牌傳遞念直線溫運(yùn)動(dòng)慕的部罵件，頌起著其確保勵(lì)運(yùn)動(dòng)鎮(zhèn)精度毒及部步件間泄相互儀位置帝精度在的作婦用。貝其由運(yùn)動(dòng)猾導(dǎo)軌（動(dòng)朗導(dǎo)軌軋）和支承隊(duì)導(dǎo)軌（靜徑導(dǎo)軌港）組遙成。導(dǎo)軌論種類滴：1）滑缸動(dòng)摩師擦導(dǎo)嗽軌抬兩釣導(dǎo)軌衣面間嘩直接畝接觸昌形成枕滑動(dòng)亦摩擦餓。2）滾既動(dòng)導(dǎo)目軌踢動(dòng)斃靜導(dǎo)縮慧軌面央間有夕滾動(dòng)述體，被形成榆滾動(dòng)茅摩擦職。3）靜口壓導(dǎo)逃軌蠻兩邪導(dǎo)軌腎面間信有壓紗力油側(cè)或壓擊縮空秒氣，隸由靜界壓力授使動(dòng)礙導(dǎo)軌出浮起漏形成液體間或氣津體摩養(yǎng)擦。4）彈徹性摩己擦導(dǎo)禾軌許利煩用材慣料彈考性變近形，肆使運(yùn)尊動(dòng)件刻做精逆密微攔小位說移。村這種訊導(dǎo)軌僅有刊彈性育材料塞內(nèi)分白子間憐的內(nèi)茄摩擦烏。二、付導(dǎo)軌釋設(shè)計(jì)向的基念本要協(xié)求三、英導(dǎo)軌愛設(shè)計(jì)賭應(yīng)遵魯守的撐原理漫和準(zhǔn)巴則四、滿滑動(dòng)情摩擦誰導(dǎo)軌響及設(shè)摸計(jì)滑動(dòng)扮導(dǎo)軌貫是支諒承件進(jìn)和運(yùn)穴動(dòng)件況直接留接觸下的導(dǎo)惜軌。左優(yōu)點(diǎn)美是結(jié)傾構(gòu)簡效單、備制造游容易塞、接占觸剛冷度大柏。缺馳點(diǎn)是走摩擦鐮阻力或大、蠢磨損創(chuàng)快，雨動(dòng)、寇靜摩蹄擦系濁數(shù)差肝別大止，低很速度登時(shí)，鼓易產(chǎn)銜生爬明行。五、流滾動(dòng)截摩擦先導(dǎo)軌斬及設(shè)句計(jì)滾動(dòng)辰摩擦跳導(dǎo)軌艱是在晉兩導(dǎo)晨軌面肥之間殼放入癢滾珠鑼、滾秤柱、指滾針儲(chǔ)等滾庭動(dòng)體睛，使只導(dǎo)軌雷運(yùn)動(dòng)漸處于押滾動(dòng)百摩擦蜜狀態(tài)俊。由棚于滾懷動(dòng)摩爺擦阻投力小矛，使友工作聚臺(tái)移捉動(dòng)靈屆敏，惕低速分移動(dòng)吹時(shí)也幸不易管產(chǎn)生喉爬行花。工直作臺(tái)革起動(dòng)靠和運(yùn)愚行消植耗的市功率鋸小，訂滾動(dòng)擋導(dǎo)軌化磨損留小，敏保持剩精度傲持久預(yù)性好晃，故史在儀拉器中繭廣泛速應(yīng)用伯。但是預(yù)，這挑種導(dǎo)勺軌是捎點(diǎn)或侵線接處觸，從故抗爸振性柳差，福接觸芳應(yīng)力晚大。婚在設(shè)套計(jì)這羽種導(dǎo)妥軌時(shí)刃，對(duì)朱導(dǎo)軌底的直崇線度切和滾街動(dòng)體膚的尺輪寸精病度要柏求高抖。導(dǎo)棉軌對(duì)辰臟物睜比較背敏感潤，要?dú)ず芎弥兜姆肋m護(hù)，鎮(zhèn)其結(jié)喇構(gòu)比搖滑動(dòng)怨導(dǎo)軌盆復(fù)雜偷，制蜓造困據(jù)難，球成本沙高。六、群靜壓繩導(dǎo)軌喘及設(shè)盤計(jì)要具點(diǎn)▼靜壓嚇導(dǎo)軌懸定義偶：靜壓茄導(dǎo)軌克是在醋動(dòng)導(dǎo)習(xí)軌與才靜導(dǎo)寇軌之暮間，呈因液左體壓銀力油活或氣挎體靜料壓力杜而使勞動(dòng)導(dǎo)軌及勤工作嚴(yán)臺(tái)浮耍起，煩兩導(dǎo)暴軌之牽間工似作面驅(qū)不接冒觸，紗而形脹成完涌全的汪液體駝或氣族體摩油擦。根據(jù)帶導(dǎo)軌愉面間觀產(chǎn)生兆靜壓達(dá)力的蝕介質(zhì)駝不同溜而分控為液體孟靜壓穴導(dǎo)軌和空氣瘋靜壓塵導(dǎo)軌。▼夢(mèng)靜郊?jí)簩?dǎo)散軌的示特點(diǎn)愿：1）靜細(xì)壓導(dǎo)監(jiān)軌的聯(lián)導(dǎo)軌群面間館摩擦幕是液主體分歡子或姑氣體棟分子坊摩擦含，因遷而摩合擦系窮數(shù)極低（0.個(gè)00使05），且故沒絮有爬妨行，刺不產(chǎn)俱生磨棵損，捆壽命縣長，補(bǔ)驅(qū)動(dòng)香功率未小。2）精亭度高爆，靜碧壓導(dǎo)耳軌是芝根據(jù)紐奉彈性腹平均害原理旅設(shè)計(jì)駝的，棄因液貓?bào)w或討氣體筑分子柳的彈性平尖均作每用而們使導(dǎo)議軌運(yùn)錘動(dòng)精管度提精高。3）導(dǎo)叛軌的艷承載淹能力抄較大凳，剛鏟度好介。液伏體靜鼠壓導(dǎo)朗軌因異壓力法油粘室性遠(yuǎn)阻大于禿氣體靜壓澡導(dǎo)軌藝的空被氣粘治度，肉因而域液體題靜壓辭導(dǎo)軌刑剛性改好于冤氣體敬靜壓罷導(dǎo)軌輪。4）導(dǎo)算軌工悅作面杰充滿革壓力袍油或罰壓縮迷空氣崖，而禿有吸霉振作勁用，游抗振擇性好叉。5）辦靜壓御導(dǎo)軌儀的缺漲點(diǎn)是蟲結(jié)構(gòu)岸復(fù)雜顆，調(diào)蔽整費(fèi)栽事，譯成本貢較高摧。需貸要一抬套嚴(yán)慣格過腦濾的供兵油或種供氣嫁設(shè)備青。提高埋氣浮悉導(dǎo)軌肥性能償?shù)姆较确h為勿提高竄空氣饞靜壓透導(dǎo)軌閘的剛底度和謝承載沿能力摟，可塞采用濤以下潔幾種洪方法分：1）結(jié)構(gòu)嶼上采晌用閉果式導(dǎo)梳軌，閉皺式導(dǎo)濫軌的金工作繳面由很兩個(gè)逆相對(duì)戰(zhàn)安裝踐的止紅推軸惰承構(gòu)谷成，斬它的厭剛度據(jù)一般圓為單目面導(dǎo)模軌的脾兩倍筆，呈妖線性決承載紫特性幻玉，穩(wěn)技定性巖好，桌運(yùn)動(dòng)何精度丸高。2）增加廣供氣吉壓力，增誰加供閣氣壓居力可遙提高左氣膜切的剛良度。3）減小芝浮起網(wǎng)間隙，加滋大封邀閉力貿(mào)，在姨一定亞范圍凱內(nèi)氣弊浮導(dǎo)核軌的病剛度蓮隨氣潔膜厚鋸度的褲減小歪而增圍大。4）載荷史補(bǔ)償，在黨導(dǎo)軌塊內(nèi)或安供氣既回路點(diǎn)中，聲安裝剩載荷吃補(bǔ)償掘機(jī)構(gòu)春，使嶄氣浮俗導(dǎo)軌搞在載獎(jiǎng)荷發(fā)魂生變搶化時(shí)扒，浮魚起量疼變化叢很小跟，從滅而使們剛度鑼增大雞。5）提高破阻尼樓力增斷加剛厲度，如遵采用突粉末骨冶金飛多孔多材料鉤節(jié)流挑器，繼用大市面積淚微孔恢節(jié)流陡代替月小孔元節(jié)流浩，使擋靜壓室導(dǎo)軌掏剛度胖提高仙；采事用氣例、液砍雙向壟潤滑榮液，扮因潤嚴(yán)滑面搶含有列油層關(guān)，而刊增加磨滑動(dòng)推阻尼管，使稍導(dǎo)軌生運(yùn)動(dòng)喇方向題的剛佳度增遮加；端采用他半氣選浮導(dǎo)柱軌，纖使導(dǎo)親軌面碗有部尺分接供觸，帖保持志恒定龍的庫民倫摩絹擦力塘，又致有適目當(dāng)?shù)呢懽枇χ?，提踏高了伶承載芬力和竊剛度榴。七、仇設(shè)計(jì)尺時(shí)導(dǎo)拉軌選杜擇要莖點(diǎn)（一戚）導(dǎo)緩軌形足式的獵選擇在設(shè)狼計(jì)儀揚(yáng)器時(shí)典，其爬導(dǎo)軌速形式段的選徐擇是取非常項(xiàng)重要處的一表個(gè)環(huán)對(duì)節(jié)，酸導(dǎo)軌勒的選有擇不客僅決罰定了滔儀器星的精暑度指披標(biāo)是錦否達(dá)僑到設(shè)梳計(jì)要單求，院同時(shí)斥也決驚定了伏儀器炊的成最本高街低；糠選擇甘導(dǎo)軌鞠形式漿時(shí)，柴要考學(xué)慮的遼因素國很多健，如卷導(dǎo)向才精度蛋、運(yùn)頂動(dòng)平德穩(wěn)性辮、承袋載能烏力（踏剛度霧）、訓(xùn)耐磨完性、冠使用肢環(huán)境情、安慚裝形宵式、贊各向貝靜力炎矩、睡運(yùn)動(dòng)雜速度見、行忌程大復(fù)小、共成本魂等因睜素。順由于趣每種可形式裂的導(dǎo)寺軌各名有其賺特點(diǎn)罪，所笑以在依選擇掛時(shí)要耗綜合側(cè)考慮盛。表4-五4為各立種導(dǎo)蒸軌的巖比對(duì)麻。

特性導(dǎo)軌名稱

導(dǎo)向精度運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性承載能力耐磨性使用環(huán)境成本滑動(dòng)導(dǎo)軌較高較好大差要求不高低滾動(dòng)導(dǎo)軌高較好較低較好要求較高較高液體靜壓導(dǎo)軌高好較大好要求高高空氣靜壓導(dǎo)軌高好較低好要求高高表4-揉4各種菊導(dǎo)軌晃的比伸對(duì)第三風(fēng)節(jié)俊主軸橋系統(tǒng)擺及設(shè)儲(chǔ)計(jì)在測(cè)城控儀委器中芒，主除軸系百統(tǒng)由系主軸眠、軸止承及朽安裝疊在主臺(tái)軸上榆的傳藥動(dòng)件贊或分底度元餡件組簽成。凡作葡回轉(zhuǎn)劈燕運(yùn)動(dòng)檔的儀擁器中埋都必慮須有班主軸左系統(tǒng)岔。因速此主定軸系蜓統(tǒng)是靜測(cè)控秩儀器百或精巖密機(jī)械改的關(guān)蝦鍵部易件。在測(cè)跑控儀棗器中鐘主軸率系統(tǒng)接的作逆用是把作精肆密旋悅轉(zhuǎn)運(yùn)鳳動(dòng)，份分度清運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)或進(jìn)尼行精窯度分度、晚測(cè)角帥等。一、壇主軸偉系統(tǒng)豪設(shè)計(jì)霜的基妨本要省求（一牢）主的軸回孔轉(zhuǎn)精糾度包括潤：徑云向、逐軸向包、傾燙角、鼻端面努誤差蹤蝶運(yùn)動(dòng)艷。①徑向港誤差典運(yùn)動(dòng)—包括咸傾角阻運(yùn)動(dòng)徒和純除徑向物運(yùn)動(dòng)洲之和妥。②徑向束跳動(dòng)—包括徑向?qū)m誤差圖運(yùn)動(dòng)及偏心和圓度誤差③端面撲誤差隱運(yùn)動(dòng)—軸向啄誤差棚運(yùn)動(dòng)④端面芒跳動(dòng)--端面枝誤差使運(yùn)動(dòng)棋及端腿面與竄軸線簡的垂乏直度取、平蘭行度議。七、斗設(shè)計(jì)斜時(shí)軸毯系選坑擇要確點(diǎn)儀器具中的期軸系場(chǎng)是用忽以支廟承儀若器可壩動(dòng)部珍分圍荷繞某唐一軸萬線作拖精確師的回室轉(zhuǎn)運(yùn)訂動(dòng)進(jìn)月行測(cè)念量，尚它是泄儀器苦的關(guān)友鍵部彎件之肺一。哨其形舞式的動(dòng)選擇弱是非桿常重影要的裁一個(gè)嶺環(huán)節(jié)鋤，軸標(biāo)系的吐選擇年不僅保決定貌了儀林器的宗測(cè)量愈精度哲指標(biāo)餐是否影達(dá)到攝設(shè)計(jì)壓要求徐，同簽時(shí)也難決定尚了儀痰器的戀成本妹高低娛；選商擇軸捐系形慌式時(shí)忽，要聞考慮耐的因畝素很漲多，擦如回螞轉(zhuǎn)精鎖度、況轉(zhuǎn)動(dòng)陰靈活概性、嚼承載昏能力勇（剛刑度）丹、壽歉命、彎結(jié)構(gòu)密工藝計(jì)性、綁使用洞環(huán)境是、成際本等杏因素壤。由跳于各幻玉種形邁式軸精系各存有其符特點(diǎn)鹽，所環(huán)以在訓(xùn)選擇油時(shí)要零綜合劃考慮求。各辱種軸復(fù)系的回比對(duì)撿見表4-備6。表4-循6軸系俗的比床對(duì)

特性導(dǎo)軌名稱

回轉(zhuǎn)精度轉(zhuǎn)動(dòng)靈活性承載能力耐磨性使用環(huán)境成本滑動(dòng)軸系較高較差大差要求較低低滾動(dòng)軸系高較好較大較好要求較高較高液體靜壓軸系高好

大好要求高高氣體靜壓軸系高好較大好要求高高第四廊節(jié)雄伺抬服機(jī)破械系狡統(tǒng)設(shè)抖計(jì)在進(jìn)婦行點(diǎn)襖、線剝、面田或空撇間曲端面測(cè)腫量和跑精密撞定位橡時(shí)，屯精密樸機(jī)械戚系統(tǒng)刻需要粘作各詠種運(yùn)滅動(dòng)，售如直浮線運(yùn)朗動(dòng)、掘回轉(zhuǎn)狹運(yùn)動(dòng)擦、曲淋線運(yùn)嗽動(dòng)、辦空間信運(yùn)動(dòng)肉等。旬這些矛運(yùn)動(dòng)毛需要凝驅(qū)動(dòng)片裝置陸、傳紋動(dòng)裝能置和匯控制窩裝置礙構(gòu)成接一個(gè)糞伺服垂系統(tǒng)火來達(dá)甚到各惱種精毛密運(yùn)皆動(dòng)的癥目的袍。運(yùn)疏動(dòng)的匙控制贊往往乓要用息計(jì)算晃機(jī)來勒完成繪。一、愉伺服符系統(tǒng)勵(lì)的分框類二、股伺服仔驅(qū)動(dòng)南裝置三、獅機(jī)械嗽傳動(dòng)閑裝置伺服葉系統(tǒng)攤中的拿機(jī)械畢傳動(dòng)叨裝置仁有齒狗輪傳因動(dòng)、經(jīng)蝸輪擁蝸桿柿傳動(dòng)浪、絲早杠傳蘆動(dòng)、蘆彈性聲傳動(dòng)女、摩浸擦傳伙動(dòng)等右。傳動(dòng)頃裝置磚的作體用是織傳遞轉(zhuǎn)速閑和轉(zhuǎn)奶矩，要更求能要使工貓作臺(tái)縫靈敏冰、準(zhǔn)釋確、刮穩(wěn)定粱地跟脅蹤指該令，念實(shí)現(xiàn)松精確庭移動(dòng)蓬。第五擊節(jié)和微碎位移建機(jī)構(gòu)島及設(shè)捧計(jì)微位年移技權(quán)術(shù)是蒙一行撿程小權(quán)、分貿(mào)辨力皺和精唱度都洞很高陣的技農(nóng)術(shù)，擠其精根度要終達(dá)到岡亞微趴米和載納米諒級(jí)。待通常買把應(yīng)匆用微軍位移冬技術(shù)號(hào)的系數(shù)統(tǒng)稱棋為微使系統(tǒng)躍，它耍由微董位移滾機(jī)構(gòu)威、精修密檢陣測(cè)裝執(zhí)置和除控制雁裝置請(qǐng)三部鞋分組帳成。倚本節(jié)枕主要友討論膛微位汪移機(jī)殘構(gòu)及慌其驅(qū)買動(dòng)原賤理及塘設(shè)計(jì)腎問題適。一、男常用卷的微薯位移輛機(jī)構(gòu)二、讀微驅(qū)簽動(dòng)器咸件三、艦柔性支鉸鏈柔性尸鉸鏈勒用于睜繞軸作復(fù)壟雜運(yùn)園動(dòng)的攪有限零角位徒移，裂它的板特點(diǎn)浙是：問無機(jī)嘉械摩霸擦、濫無間壇隙、精運(yùn)動(dòng)誼靈敏敗度高尸。利供用柔濟(jì)性鉸齊鏈原賽理研標(biāo)制的燃角度簡微調(diào)巴裝置攀，在3′的角牧度范斯圍內(nèi)稱，達(dá)娃到了10-7（°）的綁穩(wěn)定趴分辨栽率。壓近年磚來，廢柔性恰鉸鏈旁又在競精密母微位林移工案作臺(tái)逝中得道到了價(jià)實(shí)用敬，并支被廣子泛地突用于西陀螺愚儀、臉加速威度儀掘、精嫂密天希平等燈儀器稼儀表倡中。割柔性介鉸鏈堪有很魔多種贊結(jié)構(gòu)摧，最息普通突的形寫式是泥繞一鑒個(gè)軸稻彈性猾彎曲散，這雁種彈宿性變閃形是崇可逆佩的。四、掏精密嗓微動(dòng)奇工作騾臺(tái)設(shè)洗計(jì)要涼點(diǎn)（一紡）設(shè)撓計(jì)要味求1）微垂動(dòng)工考作臺(tái)縣的支歡承或攀導(dǎo)軌棕副應(yīng)挎無機(jī)慎械摩魚擦、陣無間殼隙。2）具動(dòng)有高君的位盟移分音辨率節(jié)及高使的定弄位精者度和糾重復(fù)朝性精狹度。3