真空技術(shù)對(duì)水環(huán)真空泵的幾點(diǎn)看法

真空技術(shù)對(duì)水環(huán)真空泵的幾點(diǎn)看法開發(fā)的幾點(diǎn)看法眾所周知，由于水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用維修方便的特點(diǎn)，因而在各行各業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。特別是具有等溫壓縮的特點(diǎn)，極易抽吸、壓縮易燃易爆的氣體。下面就其發(fā)展及設(shè)計(jì)開發(fā)談幾點(diǎn)粗淺的看法。1大型化由于煤礦、化工、制藥、造紙等行業(yè)的發(fā)展，對(duì)水環(huán)真空泵的要求越來越向大型化方面發(fā)展。在2000年以前，我國(guó)能生產(chǎn)抽氣量在100m3／min以上的水環(huán)真空泵僅3-4個(gè)企業(yè)，全國(guó)年產(chǎn)量也不過幾十臺(tái)。而僅過了三年，到2003年全國(guó)能生產(chǎn)100m3／min以上的大泵的廠家達(dá)10多家(其中僅淄博地區(qū)就有7--8家)，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，全國(guó)的大泵的產(chǎn)量達(dá)幾百臺(tái)以上，這些產(chǎn)品主要應(yīng)用于：(1)煤礦行業(yè)由于國(guó)家加強(qiáng)了對(duì)煤礦的安全要求，因而用水環(huán)真空泵，特別是大型水環(huán)真空泵抽除瓦斯氣體已成為煤礦行業(yè)必須的安全要求，例如去年陜西某礦務(wù)局訂購(gòu)的多臺(tái)抽氣量達(dá)400m3／min的特大型水環(huán)真空泵就是用以抽除瓦斯氣體，有的一個(gè)大型煤礦使用100m3／min以上的大泵就達(dá)7--8臺(tái)。隨著國(guó)家對(duì)安全工作進(jìn)一步加強(qiáng)，大型、特大型水環(huán)真空泵將在煤礦系統(tǒng)得到越來越廣泛的應(yīng)用。此外，由于煤炭產(chǎn)量的飛速增加，煤礦的洗、選煤所用的真空過濾機(jī)也向大型化方面發(fā)展，在八十年代大多配抽氣量為27m3／min的SZ-4型水環(huán)真空泵，這在當(dāng)時(shí)也是較大的。而近幾年煤礦的過濾機(jī)都選配抽氣量為80--150m3／min的大型水環(huán)真空泵，有的達(dá)到200m3／min以上，而且還有氣量繼續(xù)增大的趨勢(shì)。(2)化工行業(yè)a)氯堿行業(yè)近幾年來我國(guó)啟動(dòng)了許多大型的基本建設(shè)和技術(shù)改造項(xiàng)目，這些項(xiàng)目的實(shí)童都需要大量的聚氯乙烯材料，特別是房地產(chǎn)的興旺，更加推動(dòng)了聚氯乙烯行業(yè)的發(fā)展，據(jù)氯堿行業(yè)的統(tǒng)計(jì)，我國(guó)去年生產(chǎn)了410萬噸聚氯乙烯，進(jìn)口了200可噸。據(jù)該行業(yè)的預(yù)測(cè)，2005年的全國(guó)需求量將達(dá)800萬噸，而到了2023年將達(dá)到1500萬噸，正是因?yàn)樾枨罅扛咚僭黾樱沟梦覈?guó)的氯堿行業(yè)的企業(yè)加改造擴(kuò)產(chǎn)，并且近一、二年新上了許多企業(yè)。氯堿企業(yè)的發(fā)展，必須配套水陜空泵和水環(huán)壓縮機(jī)j用以抽除和壓縮乙炔和氫氣的水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)過去最大也不過30m3／min，而現(xiàn)在年產(chǎn)10萬噸燒堿和10萬噸聚氯乙烯的企業(yè)，需要的水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)達(dá)70m3／min以上。在這里需要特別介紹的是，正是由于這個(gè)行業(yè)的發(fā)展，推動(dòng)和加快了較高I力水環(huán)壓縮機(jī)的開發(fā)和生產(chǎn)。長(zhǎng)期以來，我國(guó)的水環(huán)壓縮機(jī)一般是當(dāng)吸入壓力為1個(gè)大氣壓或略低于呔氣壓時(shí)，排除壓力為O．1MPa，即壓縮比為2，個(gè)別企業(yè)生產(chǎn)過排除壓力達(dá)25MPaG的水環(huán)壓縮機(jī)，而且僅1--2個(gè)規(guī)格。為了適應(yīng)聚氯乙烯的生產(chǎn)，91原國(guó)務(wù)院重大裝備辦公室在“八五”重大技術(shù)裝備攻關(guān)項(xiàng)目--年產(chǎn)4噸低聚合度聚氯乙烯裝置設(shè)備研制中提出了氯乙烯回收水環(huán)壓縮機(jī)的研制攻關(guān)課題，這種回收氯乙烯單體的水環(huán)壓縮機(jī)要求在吸入壓力為常壓或微負(fù)壓的情況下，排出壓力要達(dá)到，而且排氣量要達(dá)到700m3／min。經(jīng)過幾年的努力，我公司于96年12月通過了由原國(guó)家機(jī)械部組織的技術(shù)鑒定，客項(xiàng)技術(shù)酥達(dá)到了攻關(guān)要求。在此產(chǎn)品的基礎(chǔ)上，我公司又開發(fā)了系列產(chǎn)品，排氣量由90m3／min到2000m。／h。由于該設(shè)備是聚氯乙烯行業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備之一，因而在近幾年全國(guó)大上聚氯乙烯項(xiàng)目的形勢(shì)下，這種水環(huán)壓縮機(jī)得到了推廣和應(yīng)用，完全替代了進(jìn)口。b)化肥行業(yè)化肥行業(yè)特別是磷肥的生產(chǎn)也是我國(guó)經(jīng)濟(jì)宏觀調(diào)控中重點(diǎn)支持的產(chǎn)業(yè)，由于新上項(xiàng)目及老企業(yè)的技術(shù)改造均以上水平、上規(guī)模為主，因而大型、特大型水環(huán)真空泵在此也得到了應(yīng)用，如云南某磷肥企業(yè)一次改造就新增抽氣量為300m3／min的特大型水環(huán)泵3臺(tái)。此外，還有許多磷肥企業(yè)工藝要求在壓力為絕壓80--lOOhPa時(shí)，仍要有較大的抽氣能力，因而兩級(jí)水環(huán)真空泵及帶大氣噴射器的兩級(jí)水環(huán)真空泵用在這種工況下，就具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，許多化肥企業(yè)淘汰了振動(dòng)噪聲大而真空度較高的往復(fù)真空泵，用兩級(jí)水環(huán)真空泵替代，并收到了較好的效果，可以說兩級(jí)水環(huán)真空泵在該行業(yè)應(yīng)用將會(huì)越來越廣泛。c)造紙行業(yè)上世紀(jì)末和本世紀(jì)初，我國(guó)的國(guó)債投入造紙行業(yè)占有較大的比例，全國(guó)各地的造紙廠爭(zhēng)先恐后地改造上水平、上規(guī)模，這大大地拉動(dòng)了大型水環(huán)真空泵的開發(fā)生產(chǎn)，東北某造紙廠一次改造抽氣量為400IIl3／min的特大型水環(huán)真空泵(目前我國(guó)生產(chǎn)的最大規(guī)格的水環(huán)真空泵)6臺(tái)，總配動(dòng)力為400kW?？梢哉f近幾年來的抽氣量在100m3／min以上的大型水環(huán)真空泵的50％是用在造紙行業(yè)，而且這種發(fā)展趨勢(shì)有增無減。d)制藥行業(yè)真空濃縮脫水、干燥、蒸餾是制藥企業(yè)的主要工藝過程，制藥企業(yè)的技術(shù)改造也同樣是上水平、上規(guī)模，這在一些大型制藥企業(yè)更為明顯。過去，大多用10m3／min以下的小泵，而現(xiàn)在，在這些企業(yè)的項(xiàng)目招標(biāo)中，抽氣量在20m3／min以上的中、大型泵已占多數(shù)。此外，制藥行業(yè)的許多廠過去使用抽氣量為6--12m3／min的兩級(jí)水環(huán)真空泵較多，而現(xiàn)在都配20-30m3／min的兩級(jí)水環(huán)真空泵，有的還達(dá)到60m3／min，如四川某合資制藥廠去年一次招標(biāo)買抽氣量為60m3／min的泵達(dá)到10臺(tái)。除以上行業(yè)外，輕工行業(yè)的食品、啤酒企業(yè)以及冶金、發(fā)電、石化、建材等行業(yè)的真空系統(tǒng)均向大型方面發(fā)展，如山東某鋁廠長(zhǎng)期使用多臺(tái)抽氣量為85m3／min的水環(huán)真空泵，而去年的技改項(xiàng)目設(shè)備招標(biāo)要求的水環(huán)真空泵抽氣量要達(dá)到140m3／min。2成套性應(yīng)當(dāng)說，在2000年以前國(guó)內(nèi)的水環(huán)真空泵的生產(chǎn)廠家?guī)缀跞且凿N售單泵為主，極少有用戶訂成套設(shè)備，而近兩年來，化工、制藥行業(yè)的技改項(xiàng)目設(shè)備招標(biāo)中成套設(shè)備占的比例越來越大，一般是要求配分離器、冷卻器(換熱器)、補(bǔ)液泵、閥門、儀表、管件以及控制裝置，形成閉式循環(huán)，并且要求與企業(yè)的OCS系統(tǒng)相連，對(duì)液位、壓力、力量等進(jìn)行在線控制。對(duì)這種機(jī)電一體化成套設(shè)備的要求在許多行業(yè)越來越普遍。3較高真空下要求較大的抽氣量許多化工、制藥行業(yè)的真空蒸餾、濃縮、脫水、干燥以及發(fā)電廠的抽除尾氣都要求在吸入壓力為3--8kPa之間有較大的抽氣量，單級(jí)水環(huán)真空泵在這一區(qū)間抽氣能力已相當(dāng)弱，而兩級(jí)水環(huán)真空泵和帶一級(jí)大氣噴射器的兩級(jí)水環(huán)真空泵的特點(diǎn)是在該區(qū)間有較大的吸氣量，在2000年以前對(duì)于兩級(jí)泵的需求大多是15m3／min以下，而現(xiàn)在達(dá)40-50m3／min。此外，還應(yīng)當(dāng)指出，單級(jí)水環(huán)真空泵帶一級(jí)大氣噴射器時(shí)，如果設(shè)計(jì)合理，在吸入壓力為4--5kPa時(shí)仍有較大的抽氣量，這大大擴(kuò)大了單級(jí)水環(huán)真空泵的使用范圍，如我國(guó)某飛機(jī)研究所就使用該類泵多臺(tái)。綜上所述，可以看出，水環(huán)真空泵及水環(huán)壓縮機(jī)作為基本的粗低真空獲得設(shè)備在各行業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用，也可以說國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)的迅速發(fā)展推動(dòng)了水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)的開發(fā)生產(chǎn)。因此為使其更好地適應(yīng)各行業(yè)的發(fā)展，現(xiàn)就該泵的研制開發(fā)提出以下幾點(diǎn)粗淺的看法。(1)用可行性設(shè)計(jì)和高性能的密封件，提高整機(jī)的平均無故障運(yùn)行期（MTBF）水環(huán)真空泵及水環(huán)壓縮機(jī)的工作可靠性，即平均無故障運(yùn)行期，應(yīng)當(dāng)說與其它的粗低真空獲得設(shè)備相比還是較高的，平均無故障運(yùn)行期可達(dá)10000小時(shí)以上。但隨著各行業(yè)技術(shù)進(jìn)步工作的加強(qiáng)和對(duì)整個(gè)真空系統(tǒng)的可靠性要求的提高，因而對(duì)其可靠性要求也相應(yīng)更高了。特別是在化工和煤礦抽瓦斯氣體的這樣對(duì)安全要求嚴(yán)格的工況下，泵要長(zhǎng)期持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，國(guó)際先進(jìn)水平可達(dá)幾萬小時(shí)以上。所以水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)的設(shè)計(jì)工作的開發(fā)情況和制造條件的限制以及密封件（特別是機(jī)械密封件）的質(zhì)量現(xiàn)狀，要真正提高整機(jī)的可靠性尚需進(jìn)一步對(duì)以上幾方面的工作進(jìn)一步加強(qiáng)。(2)采用優(yōu)化設(shè)計(jì)方法，努力提高泵的效率，降低能耗水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)是耗能高，效率低的產(chǎn)品，這是公認(rèn)的事實(shí)，小泵一般為30-35％，大泵達(dá)40％或略高，這樣低的效率與國(guó)家對(duì)機(jī)電產(chǎn)品的要求及我國(guó)目前能源緊張的現(xiàn)狀是極不相適應(yīng)的。因此應(yīng)盡快采用優(yōu)化設(shè)計(jì)方法，對(duì)影響泵的效率最關(guān)鍵的葉輪的各幾何參數(shù)及吸排氣孔的起始位置、面積等建立數(shù)學(xué)模型，進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，選擇各參數(shù)的最佳組合方案，并采用汽液兩相流的有關(guān)理論及計(jì)算公式進(jìn)行設(shè)計(jì)，盡量減少水環(huán)的渦流損失，達(dá)到提高效率的目的。所以說盡快設(shè)計(jì)開發(fā)成功高效節(jié)能的水環(huán)真空泵及壓縮機(jī)以淘汰耗能高、效率低的落后產(chǎn)品是擺在水環(huán)真空泵的設(shè)計(jì)開發(fā)、生產(chǎn)企業(yè)面前的一項(xiàng)重要工作。(3)提高帶大氣噴射器時(shí)的工況點(diǎn)的氣量。國(guó)外無論單級(jí)水環(huán)真空泵還是兩級(jí)水環(huán)真空泵配大氣噴射器以提高在較低吸入壓力下的抽氣量的情況還是較多的。從國(guó)外技術(shù)先進(jìn)的企業(yè)的技術(shù)資料上可以看出，單級(jí)水環(huán)真空泵帶一級(jí)大氣噴射器時(shí)，在吸入壓力為5kPa點(diǎn)，抽氣速率可達(dá)該泵不帶大氣噴射時(shí)吸入壓力為400hPa點(diǎn)的抽氣速率（用戶常用的單級(jí)水環(huán)真空泵的共況點(diǎn)）的65--70％，兩級(jí)水環(huán)真空泵帶一級(jí)大氣噴射器時(shí)，在吸入壓力為1.5kPa點(diǎn)抽氣速率可達(dá)該泵不帶大氣噴射器時(shí)吸入壓力為8kPa點(diǎn)的抽氣速率（兩級(jí)水環(huán)真空泵常用的工況點(diǎn)）的70--75％，這樣便大大擴(kuò)大了水環(huán)真空泵的應(yīng)用范圍，即滿足了化工、制藥、輕工、儀器、冶金、發(fā)電等行業(yè)要求在吸入壓力為1.5--5kPa點(diǎn)大抽氣速率的工藝條件。但目前國(guó)內(nèi)一是水環(huán)真空泵帶大氣噴射器的應(yīng)用不夠廣泛；二是在1.5--5kPa點(diǎn)的抽氣速率較小，與國(guó)外先進(jìn)廠家技術(shù)水平有一定差距。為進(jìn)一步推廣應(yīng)用，應(yīng)當(dāng)研究改進(jìn)大氣噴射器的設(shè)計(jì)與水環(huán)真空泵的最佳配比，由于氣流在大氣噴射器的噴嘴（拉伐爾噴管）與擴(kuò)壓器的漸縮段流動(dòng)是超音速氣流，并且大氣與被抽氣體兩股氣流的混合過程中的動(dòng)量交換較為復(fù)雜，無法完全依靠理論計(jì)算的方法進(jìn)行設(shè)計(jì)，必須進(jìn)行多次試驗(yàn)，但從擴(kuò)大水環(huán)真空泵的應(yīng)用及提高其效率的角度出發(fā)應(yīng)當(dāng)加強(qiáng)試驗(yàn)研究，努力提高其抽氣效率。羅茨泵－水環(huán)泵真空機(jī)組工作原理羅茨真空機(jī)組在一般情況下，選用水環(huán)泵作為前級(jí)泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它能夠抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機(jī)械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時(shí)候更為明顯。羅茨泵－水環(huán)泵機(jī)組廣泛地用于化工、食品升華干燥、高空模擬試驗(yàn)等的抽真空系統(tǒng)中。這類聯(lián)合機(jī)組，大致有如下幾種類型。（1）羅茨泵－水環(huán)泵：機(jī)組中水環(huán)泵的作用是造成羅茨泵所需的預(yù)備真空，因此要求該水環(huán)泵的最大允許排氣壓力，即是說，一方面要盡量提高水環(huán)泵的極限真空，另一方面，也要設(shè)法提高羅茨泵的最大允許排氣壓力。一般情況，單級(jí)水環(huán)泵極限真空度不高，而目前我國(guó)生產(chǎn)的羅茨泵要求的預(yù)真空又較高，故實(shí)際上不用單級(jí)水環(huán)泵作為羅茨泵的前級(jí)泵，而用能提高極限真空度的雙級(jí)水環(huán)泵作為前級(jí)泵使用，采用雙級(jí)水環(huán)泵，還可以提高機(jī)組的極限真空度。一臺(tái)羅茨泵的極限真空度是較低的，特別是當(dāng)它與水環(huán)泵組合運(yùn)行時(shí)，使用范圍受到限制，整個(gè)機(jī)組的極限真空度可能更低，但若用兩臺(tái)羅茨泵串聯(lián)再與水環(huán)泵組合，就能大大提高機(jī)組的極限真空度。故在這種類型里通常見到的是兩臺(tái)羅茨泵串聯(lián)后再用雙級(jí)水環(huán)泵作前級(jí)泵（圖1）組成機(jī)組。（2）羅茨泵－水環(huán)泵－大氣泵機(jī)組：即使采用雙級(jí)水環(huán)泵，極限真空度的提高也只是在一定的范圍之內(nèi)，這是因?yàn)槭艿剿娘柡驼羝麎旱南拗啤Ｋh(huán)泵的理論極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。如果考慮氣體返流等因素的影響，實(shí)際上水環(huán)泵的極限壓力顯著比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了提高前級(jí)泵的極限真空度，還可以使水環(huán)泵與大氣泵組合使用。見圖2。這樣，串聯(lián)一級(jí)大氣泵后的極限真空度可達(dá)20~30Torr,如果水環(huán)泵與二級(jí)大氣泵組合，則極限真空可達(dá)2~10Torr。（3）羅茨泵－水環(huán)泵并聯(lián)機(jī)械真空泵：此機(jī)組主要用于需要處理大量水蒸汽，且極限真空度要求較高的抽真空系統(tǒng)，例如在真空干燥方面。要求處理大量水蒸汽的真空系統(tǒng)中，使用水環(huán)泵是較合適的，但由于其極限真空度不高，致使整個(gè)機(jī)組的極限真空度較低。雖然在要求真空度較高的抽真空系統(tǒng)中，需要極限真空較高的機(jī)械真空泵作為前級(jí)泵使用。但由于水環(huán)泵的耗電量大，效率很低，噪聲高，在需要長(zhǎng)時(shí)間的真空干燥系統(tǒng)中，用水環(huán)泵作為羅茨泵前級(jí)泵很不經(jīng)濟(jì)。在上述情況下，可將氣鎮(zhèn)機(jī)械真空泵與水環(huán)泵并聯(lián)，作為羅茨泵的前級(jí)泵。真空干燥時(shí)，先用水環(huán)泵進(jìn)行預(yù)抽，直至水蒸汽大量減少時(shí)，再開動(dòng)氣鎮(zhèn)機(jī)械真空泵，切斷水環(huán)泵。如需要較長(zhǎng)時(shí)間才能完成干燥的場(chǎng)合，所需冷卻水和功率都較少，如圖3所示。羅茨泵－水環(huán)泵機(jī)組的運(yùn)行（1）機(jī)組前裝冷凝器為了盡量使機(jī)組的體積小些，可設(shè)法使待抽的蒸汽在進(jìn)入泵機(jī)組之前冷凝，這樣剩下來的就是非可凝性氣體和微量殘余蒸汽。氣體降溫后在相同壓力下體積也減小。所以冷凝后所需抽氣量減小，相應(yīng)地泵也可以選得小一些。采用哪種方式較經(jīng)濟(jì)？應(yīng)視其具體情況而定，舉例說明如下：冷凝蒸汽有兩種方式：一種是安裝一臺(tái)冷卻裝置，另一種是在機(jī)組的高壓級(jí)中裝一臺(tái)冷凝器，以便能用普通的水冷卻。其系統(tǒng)需要每小時(shí)抽除50kg的水蒸汽量，在吸入壓力為1Torr時(shí)的容積流量為50000m3/h。1)要抽吸上述的水蒸汽量，需要三個(gè)羅茨泵串聯(lián)，并用一臺(tái)水環(huán)泵作前級(jí)組成的機(jī)組，該機(jī)組的總功率90kW。2）為了使蒸汽在到達(dá)真空泵之前冷凝，就要在位于A處裝一個(gè)冷凝器和一個(gè)功率為30000kcal/h的冷卻裝置，如圖4所示。在1Torr的吸入壓力下，水蒸汽的冷凝溫度均為-19℃，為了能保證連續(xù)工作，應(yīng)取冷凝裝置的冷凝溫度為-25℃，且并聯(lián)安裝2臺(tái)冷凝器。根據(jù)非冷凝氣體的組成部分計(jì)算得，真空泵的抽氣量就可以降低到1000~2000m3/h，總機(jī)組（包括冷凝器的消耗功率）的功率同樣是90kW。3）先用羅茨泵抽出水蒸汽，并在45Torr壓力下進(jìn)行冷凝，該壓力下有的冷凝溫度約為36℃，于是可使冷凝器的冷凝溫度保持在30~35℃之間，可用普通冷卻水冷卻。冷凝器設(shè)在B處。這時(shí)總功率的消耗為75kW左右。通過上述三組方式的比較可知，第三種方案最好，可減少15kW的動(dòng)力消耗。綜上所述，水蒸汽冷卻后只剩下非可凝性氣體。在壓力很低時(shí)，水蒸汽的比容相當(dāng)大，這些可凝性蒸汽冷凝后，泵所需要的抽氣量顯然就大為降低了。另外，不論蒸汽是否冷凝，在同樣壓力下只要?dú)怏w溫度降低，其容積流量就會(huì)減少。例如化工流程中200~300℃溫度的氣體并不少見。若從300℃冷卻到50℃之后，干燥空氣的容積減少45%左右，這樣就可以選擇較小容量的抽氣真空泵機(jī)組裝置。（2）機(jī)組的操作順序：1）機(jī)組中無旁通閥時(shí)，應(yīng)先開動(dòng)水環(huán)泵，被抽系統(tǒng)中的氣體由羅茨泵（氣體推動(dòng)羅茨泵轉(zhuǎn)子自行轉(zhuǎn)動(dòng)，如同流量計(jì)一般）進(jìn)入水環(huán)泵后再排至大氣，待水環(huán)泵的吸入壓力（如串聯(lián)有大氣泵，則為大氣泵的吸入壓力）達(dá)到羅茨泵的起初規(guī)定值時(shí)（即允許排氣壓力），始啟動(dòng)羅茨泵，機(jī)組正式運(yùn)轉(zhuǎn)，開始工作。2）機(jī)組中有旁通閥時(shí)，如圖5所示，先啟動(dòng)水環(huán)泵，接著開動(dòng)羅茨泵，此時(shí)，羅茨泵進(jìn)排氣壓差較大，旁通閥自動(dòng)開啟，被抽容器中的氣體一部分經(jīng)過旁通閥進(jìn)入水環(huán)泵，另一部分在羅茨泵的作用下通過該泵也進(jìn)入水環(huán)泵，顯然抽氣速率增加，這樣很快達(dá)到羅茨泵的預(yù)真空，進(jìn)排氣壓差較小，閥門自動(dòng)關(guān)閉（或人工關(guān)閉），機(jī)組正式工作。這種方法能大大縮短預(yù)抽時(shí)間，但設(shè)備較復(fù)雜。（3）機(jī)組－羅茨泵－前級(jí)泵性能關(guān)系機(jī)組的性能與羅茨泵的性能密切相關(guān)，而羅茨泵的性能又隨前級(jí)泵的不同而有所不同。1）由于羅茨泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與殼體之間存在著間隙，因此有返流存在，而這種返流受進(jìn)口壓力和出口壓力的影響，即使是同一臺(tái)羅茨泵，使用不同的前級(jí)泵時(shí)，其抽氣速率也會(huì)有所不同。羅茨泵的抽氣速率可由下式確定：δ＝δ0(P2/P1/K)式中：δ0－設(shè)計(jì)的抽氣速率；P1－進(jìn)口壓力；P2－出口壓力；K－固有常數(shù)，由該泵轉(zhuǎn)子的形狀、間隙量、轉(zhuǎn)子圓周速度和出口壓力來確定。由上式可知，抽氣量受到出口壓力與進(jìn)口壓力之比的影響，亦即若增加前級(jí)泵的抽氣速率，那么羅茨泵的抽氣速率也會(huì)增大。（2）極限壓力由泵的抽氣速率，各間隙的返流量，泵體泄漏量及高真空側(cè)的放氣量所決定。即：P0＝(Q1+Q2+Q3)/δ式中：P0－極限壓力；δ－抽氣速率；Q1－返流量；Q2－泄漏量；Q3－放氣量。在這些參數(shù)中，Q1受排氣壓力即前級(jí)泵的極限壓力的影響很大，在用水環(huán)泵作前級(jí)泵時(shí)，羅茨泵的極限壓力隨水環(huán)的飽和蒸汽壓的不同而不同。圖6是用同一臺(tái)羅茨泵配不同的前級(jí)泵時(shí)的性能比較。從圖可見，前級(jí)泵的極限真空度愈高時(shí)，機(jī)組的極限真空度也隨之增高；兩級(jí)羅茨泵串聯(lián)使用，則能提高機(jī)組的極限真空度（實(shí)質(zhì)上就是前一個(gè)羅茨泵為后一個(gè)羅茨泵的前級(jí)泵），且性能曲線平緩擴(kuò)大，也即使用的范圍擴(kuò)大（由曲線1與2，曲線3與5的比較而得）。機(jī)組1、2的曲線大致相同。同樣，機(jī)組3、4、5的曲線也有相同之處。然而1、2機(jī)組曲線和3、4、5機(jī)組曲線卻是完全不同的兩組曲線。這說明對(duì)于同一羅茨泵而言，選用不同的前級(jí)泵時(shí)，其機(jī)組的性能曲線有本質(zhì)的差異。由此可見，前級(jí)泵對(duì)機(jī)組性能有相當(dāng)大的影響。（4）水環(huán)泵的選擇所謂水環(huán)泵就是用水作為液環(huán)的液環(huán)泵，用水作液環(huán)有很多優(yōu)點(diǎn)，如價(jià)廉、易得、不會(huì)污染環(huán)境等。但也有一個(gè)很大缺點(diǎn)，由于水的飽和蒸汽壓高，使得水環(huán)泵的吸入壓力也高。這時(shí)如改用飽和蒸汽壓低的液體作為液環(huán)，則可提高泵的極限真空度。如果某機(jī)組中羅茨泵最大允許的排氣壓力為10Torr，則用水作液環(huán)時(shí)還須加大氣泵才能作為該羅茨泵的前級(jí)泵，若改用礦物油作液環(huán)則不加大氣泵即可作為前級(jí)泵，這樣可以簡(jiǎn)化裝置。（5）機(jī)組性能與羅茨泵允許排出壓力機(jī)組的性能在很大程度上取決于羅茨泵的允許排出壓力。這種允許值越低，水環(huán)泵作為前級(jí)泵的可能性就越小。如果羅茨泵這種允許值為1~10Torr，而不論單、多級(jí)的水環(huán)泵極限壓力大大高于這個(gè)數(shù)值，因此就不可能單獨(dú)與這種羅茨泵組合使用，而需要加二級(jí)大氣泵。如果羅茨泵排出壓力允許值在100Torr以上，則前級(jí)的水環(huán)泵也可以作為羅茨泵的前級(jí)泵的前級(jí)泵，這就大大地?cái)U(kuò)充了前級(jí)泵的應(yīng)用范圍。（6）應(yīng)用實(shí)例某化纖產(chǎn)品的生產(chǎn)過程為：低分子－高分子－制成帶狀－切片－干燥（運(yùn)用羅茨泵－水環(huán)泵機(jī)組進(jìn)行真空干燥）－抽絲－牽伸、加熱－紡織－成品。其中一個(gè)重要的工序是將5×5×5(mm)大小的切片進(jìn)行干燥，以便進(jìn)行抽絲，抽絲過程中理想的狀況是使水份含量為零，實(shí)際上由于不能達(dá)到這一目的，故要求水份含量不大于0.02%，如果水份超過這一要求，要高溫高壓下抽絲，會(huì)使高分子分解，影響產(chǎn)品的強(qiáng)度。在干燥這一工序中所應(yīng)用的羅茨泵－水環(huán)泵機(jī)組的抽真空系統(tǒng)裝置如圖7所示。機(jī)組中各泵的技術(shù)參數(shù)如下表。資名崖稱鼠抽溉氣下速凱率

脂(m拒3/尤h)萄轉(zhuǎn)子緞直徑

雹(m通m)田既轉(zhuǎn)嫩速

欲(r穿/m粉in洋)愛配用余功率

允(k電W)搭軍羅茨弦泵1蟲40苦0莖16項(xiàng)0講14迫50填2.凱2篇羅茨膛泵2賀20拍0王10還2礙29興00悟1.杏3難雙級(jí)武水環(huán)走泵活10沈0講前級(jí)欣葉輪謙為后訂級(jí)之月半荷14脂50格5.維5主要設(shè)備的功用簡(jiǎn)介如下：（1）真空閥關(guān)閉真空閥，機(jī)組停止運(yùn)行，可保持干燥系統(tǒng)一定的真空度。（2）自動(dòng)氣動(dòng)安全閥為防止機(jī)組突然停車時(shí)水環(huán)泵系統(tǒng)中的水向羅茨泵及真空干燥系統(tǒng)中倒灌。（3）壓差閥機(jī)組開始運(yùn)行時(shí)，先啟動(dòng)水環(huán)泵，在壓差閥兩端逐漸產(chǎn)生壓差，達(dá)到一定值時(shí)，閥自動(dòng)開啟，使系統(tǒng)中大部分氣體經(jīng)此閥流進(jìn)水環(huán)泵。當(dāng)大氣逐漸通過大氣泵流進(jìn)水環(huán)泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關(guān)閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預(yù)抽時(shí)間。（4）水位計(jì)起止逆閥的作用，防止水環(huán)泵的水倒流。操作順序如下：先開動(dòng)水環(huán)泵，系統(tǒng)中氣體徑由羅茨泵（此時(shí)推動(dòng)羅茨泵轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)）進(jìn)入水環(huán)泵而由汽水分離器排向大氣。當(dāng)抽到絕對(duì)壓力為50Torr時(shí)啟動(dòng)羅茨泵2，當(dāng)絕對(duì)壓力到20Torr時(shí)再啟動(dòng)羅茨泵1，最后系統(tǒng)壓力可達(dá)到0.088Torr，一般情況下可維持在1Torr以下。產(chǎn)品展示W(wǎng)、WY系列往復(fù)式真空泵W、WY系列往復(fù)式真空泵是獲得粗真空的主要設(shè)備，使用于煉油、顏料、塑料、肥皂、食品、制糖、制藥等方面的蒸發(fā)結(jié)晶、干燥過濾；建筑方面的混凝土作業(yè)；冶金工業(yè)中的真空除氣及其它部門需要的低壓、低溫作業(yè)。惜往復(fù)按式真蘿空泵陷主要旬技術(shù)級(jí)規(guī)格峽W-繼50君堆(W趕3)愉匙W-企70抖壩(W挨4-煉1)怖W-鈴10痛0仆(W餅4)記床W-狐15乘0負(fù)(W筐5-濁1)好W-膚20塊0巧(W些5-盜1)咳抽氣衫速率貸1妻/S咐50濟(jì)70憤10普0瑞15袋0簡(jiǎn)20饞0性極限租真空緩KP至a丟1.寇3留(1悟0T甩Or雜r)認(rèn)2.旦6紛(2碑0T堪Or省r)米1.透3癥(1堡0T貼Or哈r)甲2.妄6跟(2串0T廁Or喊r)繡2.應(yīng)6備(2艷0T績(jī)Or擁r)剩轉(zhuǎn)速繪r僵/m忽in今30皺0秀36耕4梨20油0岸30襯0殊43亡0抖配用庭電機(jī)諒型號(hào)去Y1畫32牧S-測(cè)4筍Y1澆60課W-俊6筋Y1評(píng)60群L-泊6適Y1坦80綱L-辨6懼Y2灘00偵L2歸-6珍功率眉(K鑄W)繪5.嗽5鴉7.勞5容11奏15茂22枯進(jìn)出緒口管形直徑浮mm殖50備80拘80塊初12像5尋12歷5撓進(jìn)出含口水至管直把徑炎1/姑2"霧1/處2"投3/辣4"提3/搭4"燃3/房4"婦氣缸刪直徑膽*行襯程m裹m吹25占0*產(chǎn)15霧0疤25差0*斗15嘆0罰35謊0*谷20管0招35造0*假20鉗0喘35扛0*浩20初0素外型耗尺寸玉mm底長(zhǎng)赴14貫02氣14蹦08要17銹73傲18銷56印18筆56優(yōu)寬吃61亡5閉51遙5譽(yù)80肢0朵66辭5次66暈5廊高兇64伏0浮53銷7斑89高1削77朋2妙77達(dá)2箏技術(shù)堵性能秘參數(shù)羞型號(hào)銅WL峽-5書0滴WL歪-1殘00絕WL獄-2輸00備抽氣交速率煌L/癢s(削m淺3交/h慮)閑50盛(1赤80德)猾10年0(村36撒0)塌20囑0當(dāng)(7姓20化)肌極限視真空拘P濃a(平TO輕rr凈)進(jìn)2.哪66益*1樓0堅(jiān)3劃(2懸0)蹤進(jìn)\捉排氣海管徑良mm克(i星n)巖65孕(2砌*1煙/2境)結(jié)80崗(3矛)狹12該5(涼5)銅進(jìn)\奸出水略管徑院i彩n瘦1/茂2螞1/瀉2控3/千4威活塞席直徑滋*行鏡程猾mm梁22轎0*絹13云0賽30虧0*捎15揉0爭(zhēng)37鎮(zhèn)5*寸18情0示轉(zhuǎn)速敵r行/m弄in猛35偶0乎32成0億33期0源電動(dòng)綿機(jī)咐型號(hào)劫Y1鞋32斥M1縣-6庫(kù)Y1鐘60猾-6錘Y1蒼80潤(rùn)L-彩6庸功率屑K兇W舌4趨7.眉5帶15隱噪音侍d蛇B奉<７歡５掠外型憲尺寸票:長(zhǎng)曠*寬穴*高射m府m勾10蝦50潔*5肥20梢*1蔽20弓0漫13眉60甚*6堵40將*1蠅38移5千1憲43避0*瓣78分5*女14豬40蔥重量片(不晃包括逆電動(dòng)為機(jī))壘kg恩42險(xiǎn)0時(shí)72偷0并94荷0軍2s好k嚴(yán)系況列沾雙干級(jí)僚水狐環(huán)刪式油真響空話泵抵使用怎范圍摔:妄波死主要蕉用來銹抽除芽空氣飼和其然它有法一定犬腐蝕盯性,叔不溶漸于水亞,允產(chǎn)許含話有少富量固厲體顆往粒的痛氣體宏.廣藏泛用妥于食眉品、軍紡織鋪、醫(yī)雄藥、核化工布等行宣業(yè)的初真空翻蒸發(fā)有、濃恨縮、稿浸漬押、干喚燥等盯工藝飽過程工中.稠獲

該較型泵源具有嶼真空蜻度高案、結(jié)味構(gòu)簡(jiǎn)否單、席使用奇方便稅、工表作可徒靠、榮維護(hù)尖方便猛的特粒點(diǎn).型號(hào)

名稱2SK-1.5A2SK-3A2SK-6A2SK-12A抽氣速率(m3/mim)1.53612極限壓力(Pa)3.3*1033.3*1033.3*1033.3*103電機(jī)功率(Kw)47.51522泵轉(zhuǎn)速(rpm)144014401460970供水量(L/min)10-1515-2025-3040-50吸排氣口徑(mm)404050100涉真空駱泵的賠選擇哀拖息認(rèn)選用懷真空缺泵時(shí)腦，需監(jiān)要注餡意下勤列事珠項(xiàng)：嶺替匪1、偷真空摧泵的鏈工作握壓強(qiáng)羊應(yīng)該拜滿足蓄真空士設(shè)備欄的極環(huán)限真調(diào)空及串工作捏壓強(qiáng)略要求幼。如頃：真猶空鍍醋膜要墾求1鈔×1恩0松-5洲mm晶Hg底的真旅空度俱，選毀用的絡(luò)真空總泵的塘真空見度至架少要訂5×松10質(zhì)-6賠mm塘Hg憐。通盯常選嚷?lián)癖媒y(tǒng)的真諷空度男要高匠于真坐空設(shè)慘備真植空度量半個(gè)溫到一軌個(gè)數(shù)米量級(jí)鬧。過傅狡2、拌正確幟地選寺?lián)裾娓羁毡糜畹墓ぴ碜鼽c(diǎn)橡。每送種泵薄都有站一定駛的工旋作壓范強(qiáng)范難圍，跡如：面擴(kuò)散演泵為手10貌-3鄉(xiāng)~1史0風(fēng)-7所mm嗽Hg滋，在勝這樣確寬壓鍬強(qiáng)范還圍內(nèi)嘆，泵轉(zhuǎn)的抽吵速隨兼壓強(qiáng)止而變鋸化，圈其穩(wěn)室定的棕工作壤壓強(qiáng)查范圍只為5儀×1涉0軟-4字~5得×1遇0到-6化mm啊Hg恩。因取而，欣泵的砌工作扁點(diǎn)應(yīng)遠(yuǎn)該選東在這窄個(gè)范艙圍之米內(nèi)，得而不貝能讓借它在艦10臂-8臭mm樹Hg權(quán)下長(zhǎng)支期工繞作。甘又如憲鈦升牧華泵忍可以咳在1脆0但-2枯mm株Hg威下工菊作，獅但其稻工作搬壓強(qiáng)嶄應(yīng)小述于1齡×1訓(xùn)0仿-5靜mm狂Hg犧為好披。碧輔壽3、訪真空占泵在粥其工蝶作壓炸強(qiáng)下示，應(yīng)山能排蚊走真潛空設(shè)谷備工簽藝過沈程中繪產(chǎn)生矛的全購(gòu)部氣獎(jiǎng)體量澡。園統(tǒng)陵4、刪正確漢地組累合真籌空泵錫。由男于真孔空泵柏有選悟擇性助抽氣宴，因緩而，年有時(shí)犬選用質(zhì)一種正泵不載能滿抬足抽丈氣要太求，由需要秒幾種假泵組救合起僵來，龍互相帥補(bǔ)充每才能拼滿足王抽氣朝要求罰。如訴鈦升繩華泵唉對(duì)氫隔有很隨高的下抽速禾，但殖不能叼抽氦那，而淹三極切型濺酒射離尺子泵燙，（白或二紫極型邀非對(duì)屆稱陰滾極濺貓射離蓄子泵奏）對(duì)跟氬有櫻一定殃的抽躲速，額兩者見組合當(dāng)起來消，便卷會(huì)使飲真空奉裝置障得到鵝較好動(dòng)的真爺空度斤。另翻外，桿有的康真空傻泵不跡能在季大氣陵壓下偽工作攝，需斤要預(yù)孕真空鄭；有鳥的真居空泵戶出口跑壓強(qiáng)紅低于埋大氣盒壓，衛(wèi)需要喂前級(jí)躁泵，坦故都養(yǎng)需要融把泵鏟組合邊起來野使用傲。升橋建5、對(duì)真空示設(shè)備梯對(duì)油高污染飛的要草求?？既粼O(shè)厘備嚴(yán)虧格要妻求無沾油時(shí)敲，應(yīng)晚該選禍各種載無油尸泵，褲如：濟(jì)水環(huán)全泵、麥分子?jì)鸷Y吸砍附泵泳、濺拋射離借子泵穗、低帥溫泵諷等。尊如果階要求繁不嚴(yán)羅格，渾可以脾選擇按有油缺泵，挽加上點(diǎn)一些蘿防油駝污染婚措施棍，如尺加冷民阱、吧障板紛、擋題油阱叢等，檔也能亡達(dá)到洽清潔剃真空單要求考。脅坦筋6、邁了解濫被抽由氣體磨成分陳，氣刷體中云含不頁(yè)含可個(gè)凝蒸想氣，燈有無趕顆粒封灰塵泊，有拳無腐僑蝕性勵(lì)等。粘選擇著真空次泵時(shí)焰，需劍要知警道氣芝體成躬分，述針對(duì)斬被抽壟氣體閥選擇燃相應(yīng)慰的泵拿。如可果氣垂體中孫含有站蒸氣踢、顆峰粒、糾及腐萄蝕性長(zhǎng)氣體絡(luò)，應(yīng)航該考遷慮在返泵的眉進(jìn)氣扎口管烈路上輔安裝屯輔助械設(shè)備摩，如已冷凝魚器、問除塵板器等宮。畜日鍬7、頂真空服泵排薪出來禮的油赴蒸氣皇對(duì)環(huán)膜境的確影響壤如何獲。如垂果環(huán)的境不醉允許蓬有污豬染，動(dòng)可以價(jià)選無夾油真魄空泵培，或曠者把果油蒸勝氣排鏟到室耀外。粒微播8、集真空毀泵工些作時(shí)塞產(chǎn)生侵的振敵動(dòng)對(duì)僚工藝豎過程自及環(huán)沫境有愈無影輔響。兇若工站藝過寇程不仿允許完，應(yīng)碰選擇姜無振淹動(dòng)的非泵或蒙者采衛(wèi)取防圖振動(dòng)乎措施介。恩霸鏟9、密真空扔泵的乎價(jià)格判、運(yùn)澇轉(zhuǎn)及拐維修瓦費(fèi)用動(dòng)。艙水環(huán)眼式真甜空泵遍的選留擇泄一、夜泵類墓型的沖確定擺泵的炒類型仍主要再由工義作所守需的憲氣量互、真讓空度胡或排乓氣壓避力而電定。疫泵工鏈作時(shí)擊，需具要注膏意以泄下兩到個(gè)方睬面：價(jià)1.茶盡可像能要景求在贏高效湊區(qū)內(nèi)床，也鋸就是屬在臨鏟界真患空度訊或臨柄界排餓氣壓騾力的慘區(qū)域禽內(nèi)運(yùn)嶄行。哀2.袍應(yīng)避戒免在永最大府真空謀度或券最大穴排氣架壓力籃附近斧運(yùn)行乘。在揚(yáng)此區(qū)供域內(nèi)瑞運(yùn)行只，不詳僅效泛率極燥低，窯而且住工作筐很不索穩(wěn)定覆，易宋產(chǎn)生趣振動(dòng)擱和噪擋音。鬼對(duì)于卡真空植度較按高的熟真空引泵而葛言，好在此踏區(qū)域框之內(nèi)蓋運(yùn)行蜂，往陡往還吼會(huì)發(fā)語(yǔ)生汽感蝕現(xiàn)照象，奪產(chǎn)生悔這種哈現(xiàn)象眉的明囑顯標(biāo)唱志是腳泵內(nèi)防有噪雁音和博振動(dòng)啟。汽碰蝕會(huì)向?qū)е绿驯皿w奪、葉皺輪等醋零件明的損饑壞，褲以致兵泵無婆法工棵作。股根據(jù)畫以上刻原則汁，當(dāng)聽泵所燕需的陷真空盞度或陶氣體級(jí)壓力除不高歪時(shí)，裁可優(yōu)州先在恩單級(jí)按泵中杏選取圓。如年果真毒空度冷或排檢氣壓讓力較素高，哥單級(jí)疤泵往渠往不鉆能滿園足，側(cè)或者議，要燭求泵碰在較毒高真幫空度昂情況務(wù)下仍案有較仰大氣菌量，功即要辦求性召能曲軌線在培較高戰(zhàn)真空葡度時(shí)司較平抹坦，析可選撤用兩騾級(jí)泵感。如喚果真臺(tái)空度脾要求票在－侮71塔0m治mH窄g以剪上，愛可選廚用水礦環(huán)－還大氣疑泵或眉水環(huán)社－羅需茨真椒空機(jī)充組作屋為抽習(xí)真空仆裝置底。震如果底只作螺真空套泵用欺，則怕選用睬單作饅用泵式比較茂好。義因?yàn)樗绬巫鞲裼帽闷诺臉?gòu)陵造簡(jiǎn)萄單，織容易斤制造廈和維利護(hù)，旬且在織高真獲空情餃況下奧抗汽痰蝕性國(guó)好。悅?cè)绻矁H作熄較大輔氣量暈的壓驅(qū)縮機(jī)越使用舟，則哪選用腸雙作摟用的腐泵比絹較合輔適。塞因?yàn)閮?cè)雙作淺用泵讀的氣吹量大謊，體酒積小艱，重勇量輕恒，徑臟向力落能得誠(chéng)到自屯動(dòng)平扛衡，錫軸不估容易釣產(chǎn)生唱疲勞儀斷裂損，泵灣的使貢用壽章命較繼長(zhǎng)。社二、插根據(jù)逼系統(tǒng)晌所需膜的氣亦量選記擇真佛空泵啦初步盒選定草了泵濱的類群型之道后，邊對(duì)于缺真空?qǐng)F(tuán)泵，疊還要思根據(jù)關(guān)系統(tǒng)迷所需花的氣母量來嫩選用逼泵的慨型號(hào)焦。和關(guān)于索真空創(chuàng)泵的充抽速話選擇程及抽恥氣時(shí)事間計(jì)遙算可愈參照指我廠餡網(wǎng)頁(yè)諸腔真空回計(jì)算練公式蒸。胡真空逃單位榆換算簡(jiǎn)1、差真空姑區(qū)域如劃分拒真空額區(qū)域齒壓強(qiáng)毅范圍儉托(難To纖rr判)設(shè)帕(前Pa文)綱低真蘿空袍76僑0~澇10絹10露13移25吩~1丑33峰3蓄中真柄空戚10看~1廚0全-3惡13近33包~1條.3紅3×遼10侮-1繩高真欲空仍10勁-3雅~1綿0袖-8毀1.炎33脅×1宋0溉-1蒙~1牙0瞎-6宴超高籍真空讓10敢-8牢~1并0感-1蹦2賽10三-6邀~1甜0倆-1關(guān)0磁極高拘真空煙＜1古0反-1唇2柱＜1初0演-1塞0唇2、滴長(zhǎng)度史：公活制-校英制注對(duì)照吼表油單位得米(踩m)苦英尺霸(f孟t)評(píng)英寸主(i便n)突1米皮(1積m)辛1叮3.求28流39潮.3憂7苦1英業(yè)尺(返1f咱t)距0.之30仍5察1足8.呀33謀1英押寸購(gòu)0.巴02澡54洗12查1息3、纖重量淋：公賢斤-繳磅-撞央士椅對(duì)照綁表花單位訓(xùn)公斤蘋(k振g)積英磅三(I塌b)蠻央士脹(o掉z)疾1公葵斤國(guó)1落2.僵2棟35員.2域7尤1磅舊0.命45蔽1距16引1央做士聽0.央03舉0.棒06膠1勉4、期各種冷真空靈計(jì)及禽規(guī)管州對(duì)照離表婆真空冰計(jì)名憶稱您電阻鼓真空散計(jì)翁熱偶誤真空癥計(jì)恨1.間熱陰遙極電際離真籮空計(jì)

湯2.潤(rùn)壓強(qiáng)益自動(dòng)面控制役儀肉冷陰板極碰蚊控

毫真空石計(jì)紡中真徑空計(jì)欠超高秩真空獻(xiàn)計(jì)惕規(guī)管揭名稱塵電阻道規(guī)管援熱偶敢規(guī)管腥電離唉規(guī)管隊(duì)冷陰議極規(guī)蓮管闊中真虛空規(guī)僅管線B-榨A規(guī)綿管疤規(guī)管何型號(hào)尋ZJ禍-5雅2T宮ZJ府-5頓1(富DL茫-3煌)

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協(xié)×1舊0條-2相2.茶08捏6額1獄10端、不艦同壓驅(qū)強(qiáng)下誕空氣梅分子碑密度侍P(繞托)慶1沖10表-3幕10棗-4萌10濤-5仍10政-6害10擾-9投n找0臨(個(gè)行/厘灘米嬸3植)熊4×揚(yáng)10潔16愿4×辯10革13端4×坊10數(shù)12歸4×牧10被11從4×樓10乓10木4×裹10訴7白11魔、真連空油仆脂的劍主要嚴(yán)性能橡名稱蒜疊成分蒸輪20衫℃時(shí)勸飽和臺(tái)蒸氣雪壓(款托)還最高閃使用菠溫度洽(℃祝)辰2#姓高分貫子碳持掙3.秀1×析10脫-8病30籠3#德氧化石合物元量10憶-9章35磚4#敵皂基此脂薪吳10呼-7射~1固0-傭8釀13茄0誘75泉01役硅油餐加硅育粉娛造10承-6磁以下割晌-4著0~買+2雷00燥12移、力歪單位拋的換傭算剪達(dá)因農(nóng)(D殼yn劍)口牛頓則(N爹)射斯坦孩公斤統(tǒng)力(只kg租f)看1蛾10籃-5滅10傲-8煌1.謊02房×1享0汗-6躁13哪、功箱率單畏位換輸算僵單位責(zé)馬力欠千瓦銹瓦委馬力匠(P掃S)場(chǎng)1茶0.超73顧5謎73凡5傾千瓦線(k奪W）充1.筆36誓1端10蜂00溉瓦(夏W)期1.肅36鈴0.仆00楚1濟(jì)1吉14名、真蘇空封位膏特令性狂真空短脂名掉稱鉆真空粥封脂跪真空但封泥街50萄＃睛80不＃骨30別＃拜溫度包50最℃坊80螞℃肺30清℃僵10跳-7很~1找0起-8柄托乎10低-7比~1頌0蝦-8使托鎮(zhèn)5×摧10翅-4繩托陰15爬、各顆種橡舍膠特杏性表血橡膠次種類跳天然吃橡膠穩(wěn)丁基娃橡膠丟丁腈量橡膠拿氟橡片膠主特性挪1旦耐水殼性，靈耐酸資性，初耐堿者性良仇好頓滲透奶率小額耐油趁良好凈23舅型耐畜強(qiáng)酸廈特性末2拜出氣葛量較款大挨升華塑嚴(yán)重愿彈性渡較好斯26潔型滲焰透率碑低出龍氣率青小砍真空孔范圍珍1×免10餅－5聽托倍10章－7妨托獅10惱－8暑托治10嶺-8遺托迅溫度獻(xiàn)－3遷0~贏80俊℃達(dá)－3住0~脅15山0℃券－3巡0~閥12眉0℃兔-2駛0~頑20糖0℃燭16翁、面蓬積單肉位換毫算您平方際米(洲m松2墾)當(dāng)平方烏厘米蛋(c稼m筆2權(quán))盆平方嘗毫米葡(m腫m橫2壁)趁平方冤市尺預(yù)(s跟c起2寺)克平方滲英尺僵(f奴t媽2談)箱平方吸英寸帖(i為n謎2謹(jǐn))研1冒10記00就0匯10訪00侄00偵0影9血10汗.7療63曠9廊15漸50癢17刪、容點(diǎn)積單仰位換良算耀立方蓬米廉梨升姻碑立方振市尺置后英加鉆侖市初美加搏侖(餡液體碰)喉立方俯英尺仗畜立方表英寸承郊日升粉1盾10孫00哈27承21稀9.珠98跌26管4.嗽18糧35凡.3段14下7號(hào)0.紹06銹10引3乞55稿4.觸37接18井、1冷號(hào)真腥空機(jī)激械泵午油的欣主要尤性能猾指標(biāo)形項(xiàng)目碎寬運(yùn)動(dòng)吹粘離磚(厘逃泊)受閃點(diǎn)悄(℃喬)烏飽和蛙蒸汽扯壓2便0℃仙時(shí)(姐托)粘堵比重交(克政/厘蛋米環(huán)3杠)束分子槐量(垂克)育KK裕-1青50鄉(xiāng)℃時(shí)嚼(4辮7~蔥57周)

掉10刷0℃雨時(shí)(物8~筑11屯)身不低鄰于1剛5蝕不高法于4換×1丑0竊-5估0.掩86觀33敢3父19垃、國(guó)戚產(chǎn)擴(kuò)爸散泵貿(mào)油性歲能指梳標(biāo)趨牌號(hào)頁(yè)1#疫2#闊3#部27寒4硅污油作27油5硅芹油寫飽和淚蒸氣丈壓(郊托)弓20屬℃不擴(kuò)大于火4×稍10經(jīng)-8錢2×蠢10技-8列2×蔑10危-8羨2×泛10納-8心1.擱7×袋10擇-8仿運(yùn)動(dòng)沉粘度都(厘后泊)吸45逐~6驕0嫁55敞~6旺5視68吐~8腥0家38總±3油16魔5±捎20堤凝固翼點(diǎn)(雀℃)挖不高郵于頃-1首5勿-1摘5昆-1潔5且-1郊0緩-1硬4~肯-1宮8祖閃點(diǎn)里(℃笨)不禽低于容23窩0衫23襲0籠23白0倆＞2太10燒＞2鉛43具比重拌(克省/厘弊米道2籠)兼1.箏05續(xù)~1鏈.0名8童1.夜09籍±0倚.0客2蛙20蒙、真動(dòng)空泵地的種壤類及兔其工緒作范京圍掌真空軟泵搖工作憤范圍繼(托臟)獻(xiàn)真空謀泵捆工作土范圍棉(托泄)抽旋片稀真空桑泵素76效0~錘5×挎10定-4藝往復(fù)術(shù)真空伍泵瞞76女0~娛10駐-2診滑閥滿真空姐泵制76伴0~天5×輛10反-3碑吸附極泵占76蓬0~稀10膀-4未油增孔壓泵鞋10樸-1暈~1虎0宣-4汁濺射桿離子段泵提10況-4談~1羨0昂-1盜0街羅茨大真空陣泵粘10議-1僵~1幸0滾-4晝鈦升遲華泵節(jié)10獅-3屋~1嘆0指-1怕0缸油擴(kuò)落散泵躲10右-3叮~5哪×1上0鳥-7豪分子丈泵烈10設(shè)-3碼~1純0訪-1課0諒水環(huán)面真空禾泵蝴76覆0~舞25樂低溫惕泵待10移-3烏~1烏0喝-1踢0口21啄、水梯在各打種溫渣度下咐的飽記合蒸典氣壓注溫度描壓力逐溫度袖壓力恥℃或Pa猶To起rr灶℃圣Pa疑To裹rr變-1塑3細(xì)22慕5.補(bǔ)4懲1.暢69蹤1健-1暢0帥38桃6.罩5才2.率14艇9欠-7開36匹1.掉9閥2.俘71各5瞧-3替48競(jìng)9.晃6傲3.無67填3次0予61攀0.娃4蜓4.昌57予9化3械75乎7.刮8廚5.吊68韻5蛛7哥10乞01盞7.晌51屠3護(hù)10叫12蚊28底9.屠20璃9齡13環(huán)14純97待11農(nóng).2殖3喊17赴19宣37衛(wèi)14唇.5招3頸20羽23斧37精17玩.5乞4坡23賢28療08原21江.0鹿7斗27吼35千64挨26烈.7藥4皆30陳42央42適31罰.8諸2脖33溜50莫29賊37冊(cè).7安3奮37誠(chéng)62顯74均47耀.0鹽7販40沒73址78界55框.3帆2僅43考86匠38米64廊.8假0別47樓10播61雨0銅79逃.6藍(lán)0印50序12患33煎0列92中.5癢1妄53鏟14魚29深0及10咳7.多2切57憂17爬31代0裝12泉9.揀8倍60萬19季91叔0漂14第9.屢4禍63透22罵84悔0溪17鵲1.嘉4拆67姨27遮32流0社20墊5.發(fā)0識(shí)73祝35泡42漸0均26旨5.嗚7別77舉41損87撈0冒31簡(jiǎn)4.丈1神83傻53飲40喪0降40防0.拔6禾87身62外48纏0唯46司8.艙7經(jīng)93紅78鹿46掙0垃58潔8.戶6圓97轎90柳92稼0追68悠2.竊1嫁10仙0顛10辟13平25現(xiàn)76欺0.限0袖10涌1霧10足49喇80縱78渡7.進(jìn)6雜真空懼名詞基術(shù)語(yǔ)論1、訪真空愁的定打義啊陸真空價(jià)系統(tǒng)博指低投于該倉(cāng)地區(qū)掉大氣更壓的咐稀簿醋氣體克狀態(tài)凍帥2、卷真空漠度貞潑處于魄真空妙狀態(tài)景下的威氣體炮稀簿階程度或，通夾常用慣“真亦空度稠高”款和“僅真空任度低栽”來她表示任。真何空度類高表狼示真脾空度光“好辮”的糟意思影，真挖空度潔低表鄙示真驗(yàn)空度挨“差殺”的眼意思鉛。坦餅3、努真空煤度單殃位循謝通常極用托歌（T渣or票r）括為單反位，漿近年死國(guó)際府上取謹(jǐn)用帕械（P圍a）炎作為敘單位爽。抄推1托論＝1科/7榨60直大氣測(cè)壓＝舉1毫饞米汞糠柱塌呢4、辦托與矩帕的潑轉(zhuǎn)換是鳥1托飛＝1罰33統(tǒng).3觀22獸帕隙或咳1帕疼＝7呢.5津×1威0聽-3掠托疊瓶5、譯平均亦自由凡程妄咱作無檢規(guī)則柄熱運(yùn)檔動(dòng)的么氣體翅粒子掉，相逝繼兩料次碰戴撞所勒飛越久的平方均距碧離，逗用符釣號(hào)“惠λ”器表示品。景磨6、劍流量箏咱單位姥時(shí)間像流過嘆任意姐截面幅的氣穗體量怒，符蛋號(hào)用乓“Q哄”表校示，繭單位聰為帕甩·升砌/秒崖（P版a·蕩L/憐s）諷或托李·升級(jí)/秒技（T斥or畏r·細(xì)L/博s）若。泉卷7、厚流導(dǎo)陪艦表示飛真空紫管道保通過川氣體活的能睛力。烏單位橫為升迫/秒慘（L遞/s擁），上在穩(wěn)倉(cāng)定狀脂態(tài)下棒，管揉道流仁導(dǎo)等艇于管切道流致量除巨以管深道兩呢端壓動(dòng)強(qiáng)差局。符攻號(hào)記勞作“任U”榮。惕峽U＝跑Q/黎(P駝2乒-柴P藥1冰)捉就8、閃壓力巾或壓屑強(qiáng)肺逆氣體筋分子堵作用達(dá)于容捧器壁刮的單碰位面棉積上庸的力諷，用堤“P棕”表壞示。北蠢9、滑標(biāo)準(zhǔn)畏大氣題壓游戶壓強(qiáng)霉為每弱平方切厘米嗎10昂13薯25廣達(dá)因暴的氣想壓，尼符號(hào)趁：（奇At亦m）運(yùn)。原已10相、極娃限真墳空扎紙真空延容器改經(jīng)充所分抽蘿氣后次，穩(wěn)森定在和某一年真空段度，共此真炭空度懶稱為質(zhì)極限嗽真空廊。通既常真是空容蒸器須千經(jīng)1匯2小洪時(shí)煉凡氣，糧再經(jīng)援12朝小時(shí)苦抽真悄空，飛最后碎一個(gè)享小時(shí)值每隔木10乞分鐘慌測(cè)量陰一次談，取逢其1身0次堆的平撥均值劑為極許限真排空值史。羽懂11宴、抽板氣速兼率旦拋在一瑞定的顧壓強(qiáng)狗和溫仗度下歲，單跨位時(shí)烘間內(nèi)梨由泵滿進(jìn)氣怎口處宣抽走木的氣欄體稱言為抽旗氣速由率，紫簡(jiǎn)稱舒抽速拐。即良S家p展＝Q忙/（懲P－豆P芒0意）澆莫12剩、熱養(yǎng)偶真呼空計(jì)姓?qǐng)F(tuán)利用贊熱電馬偶的姥電勢(shì)我與加綿熱元強(qiáng)件的寫溫度霸有關(guān)魂，元矮件的圖溫度詞又與滿氣體易的熱研傳導(dǎo)北有關(guān)適的原魯理來漫測(cè)量諸真空深度的吹真空廳計(jì)。聽炊13追、電澡離真診空計(jì)靠（又扯收熱城陰極懲電離殊計(jì)）止職由筒良狀收克集極停，柵競(jìng)網(wǎng)和餓位于篇柵網(wǎng)最中心榜的燈允絲構(gòu)鬼成，楚筒狀烏收集大極在奇柵網(wǎng)兩外面晃。熱卵陰極巾發(fā)射膨電子拉電離乏氣體繼分子針，離葉子被牧收集糊極收蒼集，叢根據(jù)講收集輝的離性子流捎大小坊來測(cè)龍量氣除體壓跳強(qiáng)的況真空遠(yuǎn)計(jì)。茅瞎14關(guān)、復(fù)賊合真激空計(jì)摧累由熱爺偶真古空計(jì)麥與熱離陰極桑電離端真空時(shí)計(jì)組孟成，慶測(cè)量辣范圍倒從大啦氣~存10厲-5摸Pa購(gòu)。欲莖15徹、冷即陰極條電離館計(jì)包中陽(yáng)極捷筒的茫兩端夢(mèng)有一刪對(duì)陰槐極板倘，在另外加翅磁場(chǎng)斤作用啄，陽(yáng)狐極筒濃內(nèi)形借成潘懶寧放赴電產(chǎn)噴生離象子，雕根據(jù)則陰極磨板收滾集的羞離子仗流的鬧大小壤來測(cè)宏定氣固體壓貧強(qiáng)的專真空固計(jì)。極掉16斯、電轟阻真庭空計(jì)座啦利用銜加熱姓元件蓋的電靈阻與駝溫度青有關(guān)飛，元嫩件的脫溫度捷又與宋氣體懷傳導(dǎo)對(duì)有關(guān)糖的原軍理，遭通過蒼電橋望電路比來測(cè)強(qiáng)量真窗空度駕的真簡(jiǎn)空計(jì)撿。餡淚17戒、麥加克勞震真空貍計(jì)（留壓縮嗓式真碰空計(jì)僵）才不將待結(jié)測(cè)的燦氣體軟用汞齡（或甘油）遠(yuǎn)壓縮匠到一啦極小查體積渡，然辣后比串較開欄管和抬閉管挽的液供柱差虜，利狐用玻仿義爾耽定律究直接劇算出雪氣體勤壓強(qiáng)魂的一丸種絕獻(xiàn)對(duì)真既空計(jì)必。飾俱18槽、B辭－A申規(guī)傳旬這是羊一種寄陰極券與收盆集極號(hào)倒置換的熱近陰極奶電離寶規(guī)。胞收集辯極是熊一根消細(xì)絲憐，放卷在柵條網(wǎng)中捎心，島燈絲樓放在種柵網(wǎng)忌外面認(rèn)，因食而減餅少軟埋X射顯線影芝響，線延伸敢測(cè)量氣下限撓，可框測(cè)超陸高真?zhèn)タ?。飲輔19喇、水香環(huán)真袖空泵鄙謀泵的加葉輪擊轉(zhuǎn)子忽旋轉(zhuǎn)孩而產(chǎn)向生水畜環(huán)。躬由于豪轉(zhuǎn)子蚊偏心呼旋轉(zhuǎn)盾而使雕水環(huán)折與葉桑片間紡容積鋤發(fā)生軌周期測(cè)性改私變而芳進(jìn)行遍抽氣國(guó)的機(jī)便械真庸空泵山。斯葵20階、往松復(fù)真過空泵飲毒利用湊活塞攜的往江復(fù)運(yùn)袍動(dòng)而徐進(jìn)行拼抽氣歌的機(jī)沾械真耳空泵捉。晶冤21約、油染封機(jī)盒械真迅空泵捎儀用油漢來保渾持密木封的寨機(jī)械孫真空亞泵，昆可分失為定吳片式練、旋碼片式標(biāo)、滑尼閥式心、余旨擺線驕?zhǔn)降仁?。珍?2衡、羅摘茨真?？毡檬俺哂形蛞粚?duì)吩同步倆高速濟(jì)旋轉(zhuǎn)臉的鞋道底形耽轉(zhuǎn)子命的機(jī)己械真損空泵槽，此己泵不彎可以暈單獨(dú)墳抽氣存，前覺級(jí)需要配油誰(shuí)封、均水環(huán)脅等可輸直排對(duì)大氣發(fā)的真駐空泵雁。竟評(píng)23叨、渦鋸輪分史子真皺空泵慈予有一峰高速探旋轉(zhuǎn)致的葉慈輪，夕當(dāng)氣俯體分軋子與栗高速端旋轉(zhuǎn)鋪的渦鋤輪葉潤(rùn)片相袍碰撞據(jù)時(shí)就零被驅(qū)搏向出驕氣口芬再由事前級(jí)絹泵抽谷除。中揉24博、油擾擴(kuò)散感真空倚泵斬岸擴(kuò)散盤泵噴落口中壽噴出西高速鉆蒸汽看流。藏在分丙子流廣條件乖下，巨氣體銜分子指不斷勒地向罪蒸流予中擴(kuò)光散，患并被逆蒸汽藥帶向壟泵出特口處構(gòu)逐級(jí)男被壓賴縮后穩(wěn)再由公前級(jí)涌泵排迫除。嚷懷25消、低叢溫真央空泵女三利用歪20邀K以扔下的趙低溫扇表面久凝聚族吸附事氣體本的真嗓空泵婚。妖開26泄、冷望阱（拜水冷詳擋板魄）疑錘置于搜真空矩容器笑和泵括之間寫，用擦于吸舅附氣怠體或仆捕集麻油蒸揀汽的勇裝置劇。膠著27酒、氣班鎮(zhèn)閥與夠油封架機(jī)械硬真空幕泵的鼻壓縮外室上吵開一僅小孔仔，并量裝上滑調(diào)節(jié)玉閥，掘當(dāng)打夸開閥樸并調(diào)源節(jié)入馬氣量斯，轉(zhuǎn)勿子轉(zhuǎn)惰到某擺一位嚼置，夸空氣芳就通燕過此呢孔摻艦入壓杯縮室描以降圾低壓次縮比尿，從槍而使繪大部戲分蒸攔汽不避致凝腦結(jié)而據(jù)和摻態(tài)入的鵲氣體察一起最被排維除泵巡外起談此作胳用的錄閥門穿稱為泄氣鎮(zhèn)工閥。形欲28蜂、真草空冷脅凍干武燥編含真空恭冷凍城干燥出，也駐稱升類華干嘆燥。脊其原比理是念將材耐料冷卵凍，鄙使其正含有陽(yáng)的水央份變乘成冰境塊，識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