第三章-真空蒸鍍教學(xué)課件_第1頁
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文檔簡介

真空燕發(fā)皺鵬油本章的基本要求◆理解飽和蒸汽壓、蒸發(fā)溫度等基本概念◆掌握真空蒸發(fā)的原理、設(shè)備要求、不同類型蒸發(fā)源的蒸發(fā)特點(diǎn)、各種蒸發(fā)材料的特點(diǎn)、基本的蒸發(fā)鍍膜操作過程◆理解并掌握真空蒸發(fā)鍍膜時(shí)真空室內(nèi)起始壓強(qiáng)的確定方法;◆了解真空蒸發(fā)鍍膜法的應(yīng)用情況。第三章真空蒸發(fā)鍍膜法◆§31概念◆§32真空蒸發(fā)鍍膜的原理◆§33常用的蒸發(fā)源及燕發(fā)材料◆§34影響薄膜生長和性熊的幾個(gè)因素及真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)的應(yīng)用◆§3.5分子束外延(MBE)技術(shù)s31概念◆真空蒸發(fā)鍍膜法(簡稱真空蒸鍍)是在真空室中,加熱蒸發(fā)容器中待形成薄膜的原材料使其原子或分子從表面氣化逸出,形成燕汽流,入射到固體(稱為襯底或基片)表面,凝結(jié)形成固態(tài)薄膜的方法?！?2真空蒸發(fā)鍍膜的原理四個(gè)主要內(nèi)容:1、真空燕發(fā)裝置2、蒸發(fā)真空度的確定3.蒸發(fā)溫度4、蒸發(fā)速率

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