特氣管道施工與檢查ppt

特氣管道施工與檢查ppt

特氣管道施工與檢查、特氣概述一般在半導體制造業(yè)我們把砌體分為大宗氣體和特種氣體兩種。

大宗氣體一般是指集中供給且用量較大的氣體,涵蓋制程用氣如:2、、2、,以及非制程用氣如:、2、2等。

特種氣體主要有各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、蝕刻用氣體以及其他廣為各種制程設備機臺所使用的惰性氣體等。

隨著各種不同氣體的特性,設計出不同的氣體輸送系統(tǒng)來滿意各種不同制程設備的需求。

整理2二、特氣的分類我們將半導體制造業(yè)所使用的不同特種氣體一般根據(jù)使用時的特性分為五類:1、易燃性氣體2、毒性氣體3、腐蝕性氣體4、惰性氣體5、氧化性氣體整理3三、特氣管材介紹目前在半導體制程設備以及相關廠務系統(tǒng)中所使用的管件材料主要有不銹鋼、特***龍、高密度聚乙烯、以及聚偏二***乙烯等。

其中在氣體傳輸中一不銹鋼管件的應用最為廣泛,通常在全部與制程相關的制程氣體的輸送方面都要應用不銹鋼管件。

不銹鋼管件主要用來傳輸各種制程氣體的管件,尤其是一些劇毒易燃易爆的危急性氣體。

所以不銹鋼管件的制作和施工要求在以上幾種不同材質的管件中要求最為嚴格。

整理4管材分類不銹鋼管管材等級級電解拋光級-光輝退火級酸洗鈍化一般對于級要求級的制程氣體的輸送,均要求采納316材質的管材,對于一般非制程氣體的輸送采納316材質的管材。

整理5四、干凈管道安裝之材料接收目的:主要確定管道在運送過程中包裝的完整以及訂購量和材質的符合步驟:一、材料訂購后在接收前最好能先到原廠抽檢。

%做氮氣測漏測試以及的測試。

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、真圓度、測試。

二、,在品保人員準許后才可拆箱,拆箱需特別當心以免傷到管材。

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,同尺寸的管子會有不同的爐號,需依照爐號區(qū)分出來。

,移入前需在擦拭潔凈整理6五、干凈管道安裝之材料檢驗目的:主要是為了在次確定所購買的材料質量符合標準規(guī)范。

步驟:一、材料在移入無塵室后預備取出10%做檢驗二、檢驗項目:1、外觀檢驗:目測表面有無凹痕、刮傷,內表面有無缺陷、凹洞、刮傷、污點殘余物。

2、粗糙度的檢驗:利用粗糙度儀做內部表面粗糙度的檢驗。

3、管壁厚度及外徑的檢驗:利用光標卡尺做管外徑和厚度的檢驗。

整理7六、干凈管道安裝之焊工驗證——1目的:此焊工驗證的目的是要確保每位在現(xiàn)場或無塵焊接的人員,其焊接質量的認證并且可做日后管道追蹤的管理。

步驟:一、將管子分成四:”~15,20~80,100~150,200以上。

二、從每個中選一種尺寸的管子做焊接認證,通過后在其范圍內的尺寸均可施工,不行跨施工,除非通過各個的認證。

三、覺得認證的尺寸后焊接者需在限定的時間內完成焊接測試。

四、認證者先將幾臺焊接數(shù)據(jù)歸零,焊接者需要自行重新調整數(shù)據(jù)和管內氣體流量并且要會更改鎢棒和調整鎢棒的間距。

五、焊接者最終需完成三塊試片,一塊即管子直接焊接,兩塊即管對管,對接的試焊。

整理8六、干凈管道安裝之焊工驗證——2六、完成的試片在試片上必需填寫上爐號、日期、管子的尺寸、。

七、認證者檢視完成的試片并填寫認證表格的合格與否,合格者才可施工,合格者需經10天后可再做認證。

八、整理出一份合格者名單,傳到現(xiàn)場給人員,以掌控現(xiàn)場施工人員的施工質量。

整理9七、干凈管道安裝之焊道檢驗目的:此檢驗標準主要是確保焊道的質量良好以避開日后的泄露或者腐蝕的危急。

步驟:一、焊道是否有氧化的現(xiàn)象二、焊道是否滲透完全三、焊道是否彎曲偏移嚴峻14”~2”→10%,3”管以上→15%四、焊道是否穿孔五、焊道是否過度凹陷14”