高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件

中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所先進(jìn)光譽(yù)矸制中心高精度光學(xué)無驗(yàn)測(cè)術(shù)進(jìn)晨報(bào)告人:侯溪光電技術(shù)研究所先進(jìn)光學(xué)研制中心2019-9-5中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所先進(jìn)光譽(yù)矸制中心1目錄心1、概述心2、國(guó)內(nèi)外高精度面形檢測(cè)技術(shù)現(xiàn)狀和發(fā)長(zhǎng)趨勢(shì)心3、高精度面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)長(zhǎng)☆4、結(jié)語(yǔ)目錄2概述概述3火型望遠(yuǎn)鏡空間望遠(yuǎn)鏡ICEPlanetsOriginsofLife現(xiàn)代光學(xué)工程向”一火一小”兩個(gè)方向發(fā)展大中“大”:大口徑大相對(duì)口徑拼接離軸非賕面輕質(zhì)量高艚度☆“小”:亞納米級(jí)高精度面形低中高頻粗糙度大型地基望遠(yuǎn)鐃、空間望遠(yuǎn)鏡、慣性約袁聚變裝置、深紫外和極紫外投影曝光糸統(tǒng)已經(jīng)成為現(xiàn)代光學(xué)工程的典型代表。IE.inmrmsDUV光剡機(jī)EUV光刻機(jī)火型望遠(yuǎn)鏡4仿真檢測(cè)技制造技x系統(tǒng)集術(shù)成高端光學(xué)糸統(tǒng)研制需要高精度檢測(cè)披術(shù),而高精度檢測(cè)技術(shù)支據(jù)光學(xué)糸統(tǒng)精確仿真、確定性制造和糸統(tǒng)集成。仿真5納來制造原子級(jí)確定性制造工的極端0.1m1mm0.1mm自上而下毛細(xì)血管101m0.110nmDNA大小分原子大小19401960198020002020納來制造6制造與檢圓密不可分☆“Ifyoucanmeasureii,youcanmakeit.KennethGoldberg,CenterforX-RayOptics,LawrenceBerkeleyNationalLaboratory,CA,USA☆沒有檢測(cè),就沒有控制,更沒有確定性加工☆檢測(cè)到多高加工到多高☆光學(xué)制造精度受到相應(yīng)檢測(cè)精度的限制制造與檢圓密不可分7高精度光學(xué)元件制造與檢測(cè)相輔相成用不同的救火倍率以覆蓋堂個(gè)中頻破段Rms表面誤差基礎(chǔ)如工Figure10umMSFR10nm用不問的精度提升掃描范匱Ex10LateralFrequency[um1以覆蓋整錄終成形Wavelength[um]個(gè)高頻段「鏞心、厚度、曲棗率操、表而堯痛、炊表畫破壞檢呦非球面樸儀檢測(cè)制造與檢測(cè)的集成模型及軟件高精度光學(xué)元件制造與檢測(cè)相輔相成8撳心關(guān)健技術(shù)高精度面形檢故才abm時(shí)5-10nmsIm2聰mmInm<lnm<0.1nmrms?挑戰(zhàn)極限1懶W2m4的2mTakingOpticalPrecisiontotheExtreme,MarkBigelow&NoreenHarned,2019,ASMLOPTICS撳心關(guān)健技術(shù)高精度面形檢故才9從本質(zhì)上講,納米級(jí)甚至亞納米級(jí)高精度面形檢測(cè)基于超高重復(fù)性的集光機(jī)電算為一體的干涉儀,通過減小參考波前誤差,隔離、抑惻、分離或補(bǔ)悽校正糸統(tǒng)和隨機(jī)誤差實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。·當(dāng)前核心任務(wù):提升復(fù)位精度,實(shí)現(xiàn)制造和檢測(cè)的有效閉環(huán)提升絕對(duì)檢測(cè)精度,實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)與檢測(cè)的有效閉環(huán)從本質(zhì)上講,納米級(jí)甚至亞納米級(jí)高精度面形檢10高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件11高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件12高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件13高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件14高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件15高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件16高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件17高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件18高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件19高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件20高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件21高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件22高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件23高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件24高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件25高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件26高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件27高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件28高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件29高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件30高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件31高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件32高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件33高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件34高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件35高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件36高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件37高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件38高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件39高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件40高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件41高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件42高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件43高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件44高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件45高精度光學(xué)元件面形干涉檢測(cè)技術(shù)進(jìn)展課件46高精度光