全國工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)施工技術(shù)

工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)施工技術(shù)

侯初

目錄1、工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)簡介2、工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的安裝技術(shù)3、工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的調(diào)試技術(shù)

1.工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)簡介1.1冷卻水冷卻水只是指將溫度高的水降低溫度后在進(jìn)行重復(fù)利用的水。所有的液體和固體中，水的比熱容最大，是優(yōu)良的熱交換介質(zhì)，其次水的化學(xué)穩(wěn)定性好，不易分解，水的熱容量大，在常溫范圍內(nèi)不會(huì)產(chǎn)生明顯的膨脹或壓縮，水的沸點(diǎn)較高，在通常使用條件下，在換熱器中布置汽化，水的來源較廣泛，流動(dòng)性好，易于輸送和分配，水的處理運(yùn)行費(fèi)用低。

1.2工藝?yán)鋮s水在半導(dǎo)體廠房中主要用于生產(chǎn)工藝設(shè)備的冷卻,或稱制程冷卻水、工藝設(shè)備冷卻水、簡寫：PCW。2.工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)的安裝技術(shù)2.1系統(tǒng)概況工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)主要由三個(gè)環(huán)路組成：1)一次側(cè)環(huán)路:高溫水箱中的水由循環(huán)水泵提壓，經(jīng)熱交換器冷卻后進(jìn)入低溫水箱;2)二次側(cè)環(huán)路:低溫水箱中的水經(jīng)循環(huán)水泵提壓，過濾，由輸水管線送到工藝設(shè)備進(jìn)行熱交換，交換后的高溫水沿回水管線流回高溫水箱；3)另一環(huán)路:為冷媒側(cè)冷凍水供回水環(huán)路，經(jīng)冷機(jī)制備的冷凍水經(jīng)輸水管路至交換器冷量交換后回到冷機(jī)側(cè)；4)有的工藝水冷卻水系統(tǒng)未設(shè)低溫水箱,經(jīng)熱交換器交換后的低溫水直接送入工藝設(shè)備;

典型工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)圖

2.2冷卻水水質(zhì)

工藝設(shè)備內(nèi)的冷卻管道有很多為管徑很細(xì)的毛細(xì)管道,為避免毛細(xì)管道的結(jié)垢,對工藝?yán)鋮s水的水質(zhì)也提出了相應(yīng)的要求；1）冷卻水溫度：20℃；（冷媒系統(tǒng)：13~18℃冷凍水系統(tǒng)）

2）酸堿度(PH)：6.5~8.0;

3）最大粒徑顆粒：≤0.03mm2;

4）硬度:＜100ppm;

5）電阻率:＞1KΩ?cm;

6）總?cè)芙夤腆w(濁度)：＜100ppm;

2.3系統(tǒng)的主要構(gòu)件工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)中一般包括水箱，水泵，過濾器，板式換熱器，用水點(diǎn)，電氣控制，溫度傳感器，壓力傳感器、RO補(bǔ)水裝置，泄壓閥，調(diào)壓閥、閥門、止回閥及管道等；1）水泵：水泵須滿足使用流量和揚(yáng)程的要求，且體積小、重量輕、造價(jià)低，有良好的特性和較高的效率；良好的抗汽蝕性能，既能保證水泵運(yùn)行平穩(wěn)、壽命長，又能降低運(yùn)行費(fèi)用，工程投資少；水泵的本體采用不銹鋼材質(zhì)，可以很好避免對水質(zhì)可能造成的污染，但是造價(jià)稍高；2）過濾器水過濾器或過濾裝置的選擇，除要考慮后續(xù)管路可能對水質(zhì)的影響，還要兼顧考慮不同工藝設(shè)備水質(zhì)要求的差異，因此，一般選擇為兩級過濾器；前端過濾器一般選用5um，99%過濾要求的不銹鋼過濾器；

末端過濾器選擇根據(jù)末端工藝設(shè)備的水質(zhì)要求確定；

3）熱交換器熱交換器按其形式可分管殼式，板式，板翅式，熱管式等，相比較而言，板式熱交換器具有占地面積小，傳熱面積大的優(yōu)點(diǎn)；

考慮到半導(dǎo)體廠房空間面積造價(jià)特點(diǎn)，優(yōu)選占地面積小的設(shè)備，工程造價(jià)相對會(huì)較低；

選型要滿足設(shè)計(jì)流量下的熱交換量，并且在最大流量及壓力時(shí)不能產(chǎn)生變形或振動(dòng)，并符合一側(cè)無壓力時(shí)仍可承受最大操作壓力；4）RO補(bǔ)水洪裝置補(bǔ)水?dāng)U裝置橋一般忍由補(bǔ)穴水管祖路，戲水箱帶液位慨計(jì)、肝電動(dòng)桌閥組遍及其衡旁通哲管路闖組成櫻，水迎箱水珍位過丘低時(shí)俱，液芹位計(jì)膏發(fā)出貌補(bǔ)水格信號險(xiǎn)，電眨動(dòng)閥瘋開啟罵，RO水進(jìn)握入水消箱，勁水位點(diǎn)達(dá)到盼預(yù)定按位置龜時(shí)，載液位火計(jì)發(fā)軌出信沾號，休電動(dòng)繞閥關(guān)糧閉，樓補(bǔ)水押結(jié)束咬；補(bǔ)水匯裝置2.掌4自控印系統(tǒng)PC晚W在半酷導(dǎo)體耍廠是啄個(gè)非墻常重狐要的助系統(tǒng)質(zhì)，它尤出現(xiàn)短故障擱會(huì)影魚響FA闊B內(nèi)的房誠大部莫分的課機(jī)臺關(guān)設(shè)備下，系灑統(tǒng)自錢動(dòng)化喝程度賓高，塵對控膏制要應(yīng)求較善高，墳主要坊包括運(yùn)對供和水水獎(jiǎng)溫、云供水弟壓力改、水業(yè)質(zhì)以渴及水鏡泵的兩控制斷。1）供佳水水頓溫的解控制根據(jù)證工藝熄設(shè)備虛對供拳水溫便度的條需求浪，系盟統(tǒng)對鞠供水伙溫度展要求插控制傾在20蝕℃，供肝水溫賣度通梨過安您裝在嫁輸水網(wǎng)管道爭上溫蛾度傳習(xí)感器勵(lì)采集拐，傳披輸?shù)絇L序C運(yùn)算環(huán)控制盾模塊耕，控蟲制冷舉凍水碗側(cè)電芳動(dòng)閥母開啟仰度調(diào)糠節(jié)冷邊凍水斯側(cè)流瘋量，遲從而病控制隆板換罵冷量緞交換卡，使叉冷卻屆水達(dá)惱到20絲式℃的設(shè)雨計(jì)目異標(biāo)要敢求；2）供欣水電攤導(dǎo)率匆的控里制控制寒供水犬電導(dǎo)尺率其所實(shí)是島間接綁反映觀對供債水水碑質(zhì)的頌控制豎，系擋統(tǒng)高蛙溫水吹箱補(bǔ)深水采釘用RO水及角超純輩水，婚電阻懷率高裹于1.慕0K皇Ω?唐CM。當(dāng)班安裝妄在高乖溫水喪箱中斤的電種導(dǎo)率俘測試舅儀檢繩測到茂電導(dǎo)爸率不夏滿足盛設(shè)定峰要求胃時(shí)，頌系統(tǒng)藍(lán)會(huì)將梢此信舊號傳擁到PL靜C控制脫模塊悟，PL扭C經(jīng)運(yùn)梳算控墾制超江純水策補(bǔ)水蹤蝶管路糕上電描動(dòng)閥府開啟渣度確禾定補(bǔ)玻水量氧。另養(yǎng)外為縮慧防止列水箱數(shù)中水罩與大閉氣直蒼接接濤觸，跡影響護(hù)水的瀉電導(dǎo)從率，花采用伏氮封屈保護(hù)誕水質(zhì)巡壽。3）供蘭水壓梅力控直制系統(tǒng)梨二次暈泵采播用變克頻調(diào)戀速控勞制，胃即通靠過系冠統(tǒng)供夕水壓妖力來蠻調(diào)節(jié)偷變頻蹤蝶器頻寇率，訊進(jìn)而伙調(diào)節(jié)孔供水捆壓力爽；同獻(xiàn)時(shí)壓膀力傳總感器扯控制就水泵建出口擦端回圣水電擊動(dòng)閥代的啟驅(qū)閉，匪當(dāng)壓壁力大宋于設(shè)囑定值(如0.師5M惹Pa避)時(shí)，愧電動(dòng)林閥打播開，澇以防輔止系隨統(tǒng)壓仁力過叫高，福對后跪續(xù)管怠路尤上其是鍛工藝媽設(shè)備涼產(chǎn)生陰影響撇。4）變通頻泵肢的控菜制最基著本的恢是供脈水設(shè)魚備、涼泵還榆有后族備設(shè)磨備的興工作賭持續(xù)睜性，宋也就船是不求間斷慌運(yùn)作掃；a.高可揪靠性積的供氣電電副源，領(lǐng)一般伯用UP此S供電陽；b.備用腿泵，衫當(dāng)運(yùn)華行泵渣故障轟或供縱水壓痛力小招時(shí)自負(fù)動(dòng)啟猛動(dòng)備槍用泵旅；c.全部燃水泵簡使用紗變頻煙恒壓洞供水賴；d.對備振用泵籠的啟容動(dòng)通塔過供象水壓筆力來忘控制漿，當(dāng)繪供水槐壓力修低于詢一定球值時(shí)色啟動(dòng)趕備用奇泵。糖當(dāng)運(yùn)寨行泵史出現(xiàn)弓故障漫停止標(biāo)時(shí)，系備用斷泵工器頻啟窗動(dòng)。2.匪5管網(wǎng)艱的布倦置一般錄采用著采用克同程堅(jiān)式布織置；1）同砌程式劉布置昨每一抽環(huán)路義管路煌的長糠度大摘致相線等，盾各機(jī)機(jī)組(工藝沃設(shè)備柴？)的水到阻力回大致錘相等出，因段此各顯機(jī)組詳?shù)牧魍炅看罄镏碌确涤谠O(shè)匆計(jì)流倒量，累系統(tǒng)宗水力伸平衡預(yù)性較魯好水悶；2)水泵撤安裝銷位置信選擇罩簡易憤，可在以安方裝在昆系統(tǒng)營任何暴位置皺，通嚼常情顛況下資，考行慮維越護(hù)檢郵修方疏便，膠水泵慚及系劃統(tǒng)相斃關(guān)設(shè)宅備均邪會(huì)設(shè)裕置在暢單獨(dú)笛的設(shè)柏備機(jī)夏械室謀；2.偏6管道證的材雄質(zhì)系統(tǒng)堪管道腔材質(zhì)脂要求怨相對涌較高讓，同覆系統(tǒng)袍對水凱質(zhì)要蕩求相殊關(guān)；采用糧不銹因鋼材州質(zhì)的丹管道丈，可朵避免幣管道膜對水喪質(zhì)產(chǎn)袖生的已影響田，又花能滿桐足系醉統(tǒng)長住期運(yùn)勤行的遷需要凝；碳鋼尚鋼管鍛，長跡時(shí)間盆運(yùn)行奏，管摸道很席容易丹銹蝕煌，造俯成水犬質(zhì)污厚染；2.理7壓力曲試驗(yàn)椒及吹來掃安裝忽后管洪道空扶氣壓概試驗(yàn)驗(yàn)，試澤驗(yàn)壓京力為1.劫25雅MP腸a，試寄壓后桌進(jìn)行扎空氣麥嚴(yán)密躲性試逢驗(yàn)，思最后壟進(jìn)行何空氣擦吹掃惕；3工藝窩冷卻犧水系束統(tǒng)的佩調(diào)試斧技術(shù)工藝稱冷卻弟水是澡個(gè)非美常重超要的宗系統(tǒng)籮，主曠要應(yīng)親用于抬各種砌工藝拍設(shè)備伏的冷虎卻，詠出現(xiàn)亞故障怒會(huì)影唇響大僑部分猜的機(jī)移臺設(shè)第備設(shè)芽備的栽運(yùn)轉(zhuǎn)夜，由該于工礎(chǔ)藝設(shè)搏備對努于工稿藝?yán)淠_卻水疑的各婦項(xiàng)參貸數(shù)要假求較揀高，蓬因此生，系殃統(tǒng)的墨調(diào)試南尤為脹關(guān)鍵濫；1）水淺泵的慘調(diào)試貢；2）關(guān)棍鍵閥牌部件怨的調(diào)個(gè)試（這泄壓韻閥、罩背壓星閥、雞補(bǔ)水旦裝置晉、溫臂控電諒動(dòng)閥塊、自村動(dòng)排辮水閥各等）受；3）自孔動(dòng)控托制系芬統(tǒng)的何調(diào)試乖，自涉動(dòng)控布制系庸統(tǒng)的橫調(diào)試巖尤為充重要嘉，是嘗滿足饞系統(tǒng)甜各參閱數(shù)控情制的摩重要樂一環(huán)蜂，水項(xiàng)溫、至壓力往、水等質(zhì)等存各參休數(shù)的硬控制拜，系東統(tǒng)正萍常運(yùn)謹(jǐn)行的戚關(guān)鍵標(biāo)因素橋；工藝賴?yán)鋮s拳水系趟統(tǒng)安搬裝技爹術(shù)，搜可參始見作逐業(yè)指郊導(dǎo)書豎部分矛，如下理：《作業(yè)毀指導(dǎo)鞋書-純水克設(shè)備定安裝》編號少：CT精GD推-S歷OP淘-P拉-3哥6《作業(yè)海指導(dǎo)俯書-流量蟲計(jì)安泉裝》編號證：CT癥GD珍-S轎OP先-P歉-5腐5《電動(dòng)蔬兩通答閥安輪裝作娘業(yè)指拘導(dǎo)書》編號拖：CT夜GD須-S識OP牢-P薦-5隨4《作業(yè)辭指導(dǎo)蕉書-波紋讓管補(bǔ)白償器》編號樣：CT符GD痕-S梁OP輩-P炒-4斧1《作業(yè)俱指導(dǎo)技書-純水截系統(tǒng)腔調(diào)試》編號謙：CT晉GD正-S販OP巨-P挖-8挖2《作業(yè)睬指導(dǎo)誼書-氣動(dòng)咬兩通洗閥安圾裝》編號滴：CT邁GD址-S甜OP沖-P擦-5福8《作業(yè)汽指導(dǎo)革書-溫度地計(jì)安遠(yuǎn)裝》編號片：CT免GD序-S哀OP駕-P賺-5芬5《作業(yè)圖指導(dǎo)成書-U籮PV慣C管安工裝》編號辨：CT教GD崗-S攀OP沒-P集-1孝1工藝連冷卻送水系寺統(tǒng)安劉裝技敞術(shù)，巧可參脫見作駕業(yè)指貢導(dǎo)書冬部分霧，如下池：《壓力累表安泳裝》編號光：CT鉆GD撞-S桶OP洞-P組-4鈴4《普通舌不銹芽鋼管聽道焊勺接》編號拘：CT跌GD回-S蜂OP菊-P救-0匹2《板式健換熱