一種蒸鍍鍋機(jī)構(gòu)及蒸鍍?cè)O(shè)備的制作方法

一種蒸鍍鍋機(jī)構(gòu)及蒸鍍?cè)O(shè)備的制作方法背景目前，化工、電子工業(yè)以及機(jī)械制造等眾多領(lǐng)域中，蒸鍍技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用。傳統(tǒng)的蒸鍍?cè)O(shè)備一般采用某種材料制成的圓形容器，該容器的內(nèi)部存在密閉的空間，通過(guò)真空泵和加熱等方式，將涂有鍍層材料的源材料蒸發(fā)并沉積在工件表面，可以實(shí)現(xiàn)將涂層材料形成用于覆蓋工件表面的薄層的工藝。目前通過(guò)蒸鍍技術(shù)制作的產(chǎn)品具有很好的性能，但是傳統(tǒng)的蒸鍍?cè)O(shè)備存在一些不足之處，例如，成本高，生產(chǎn)效率低，容易出現(xiàn)設(shè)備漏氣等問(wèn)題。因此，研發(fā)一種高效、穩(wěn)定、安全、易操作的蒸鍍?cè)O(shè)備已經(jīng)成為研究人員關(guān)注的熱點(diǎn)之一。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提出的是一種蒸鍍鍋機(jī)構(gòu)及蒸鍍?cè)O(shè)備的制作方法，該設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定、易于操作，可大幅提高生產(chǎn)效率和成本效益。蒸鍍鍋機(jī)構(gòu)本發(fā)明的蒸鍍鍋機(jī)構(gòu)包括鍋體、固定環(huán)、加熱器和真空泵等部分，具體結(jié)構(gòu)如下：鍋體鍋體是蒸鍍鍋機(jī)構(gòu)的主體部分，其內(nèi)部諸如水、氣體等物質(zhì)可以被真空泵抽盡，以實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源材料在真空中沉積的目的。固定環(huán)在鍋體的底部，設(shè)置一個(gè)固定環(huán)，用于固定蒸鍍基板。固定環(huán)為一L形部件，由表面光滑的金屬材料制成。L形部件的兩個(gè)水平臂在內(nèi)側(cè)設(shè)置支撐座，用于固定蒸鍍基板。加熱器加熱器位于鍋體底部，加熱器采用發(fā)熱管或其它加熱元件組成，用于蒸發(fā)乃至沉積源材料。加熱元件通常采用鐵、銅等金屬材料，表面進(jìn)行噴涂處理，以保護(hù)電阻絲不易氧化。真空泵真空泵位于蒸鍍鍋機(jī)構(gòu)的底部，用來(lái)抽出鍋體內(nèi)的氣體和水分，保證蒸發(fā)源材料在真空環(huán)境下的沉積。蒸鍍?cè)O(shè)備的制作方法造本發(fā)明的蒸鍍?cè)O(shè)備，需要按照以下步驟進(jìn)行：制造鍋體鍋體通常采用不銹鋼或鈦合金等耐高溫、耐腐蝕金屬材料制作。具體制作步驟為：對(duì)選定的材料進(jìn)行切割或剪切等加工，將其制成所需的鍍膜器結(jié)構(gòu)零件。根據(jù)提供的鍋體三視圖，將上述零件拼裝成完整的鍋體結(jié)構(gòu)。通過(guò)焊接等方法，將鍋體的細(xì)節(jié)進(jìn)行處理和清晰，消除鍋體的缺陷，確保無(wú)泄漏等問(wèn)題。加工固定環(huán)固定環(huán)材料所選，可采用進(jìn)口高硼硅軟玻璃或其它高溫玻璃等材料。制造步驟如下：根據(jù)設(shè)計(jì)圖紙確定固定環(huán)尺寸，進(jìn)行相應(yīng)的修整和拼接。通常在固定環(huán)底部形成和玻璃接觸的環(huán)形平整區(qū)域，確保玻璃穩(wěn)固地固定在環(huán)上。針對(duì)固定環(huán)的邊緣和固定座進(jìn)行加強(qiáng)，以保證其安裝平穩(wěn)。制作加熱器加熱器的選型、成型方式、材料都會(huì)影響蒸鍍?cè)O(shè)備的性能，這里我們選取了成熟穩(wěn)定的加熱絲。具體制作方法如下：根據(jù)設(shè)定的加熱器需要耗電量和工藝要求，選取合適材料。將加熱絲進(jìn)行繞線、電極固定和熱處理等工藝處理，形成加熱器的成品。安裝真空泵及電路蒸鍍?cè)O(shè)備安裝真空泵的方式宜與加熱、冷卻等電路分離，以免電磁干擾影響設(shè)備穩(wěn)定性。安裝真空泵及蒸發(fā)器電路并進(jìn)行排線，保證使用的高低電路、中間變壓器等均符合設(shè)計(jì)要求。進(jìn)行電路調(diào)試，保證設(shè)備能正常運(yùn)行?？偨Y(jié)本發(fā)明提出了一種蒸鍍鍋機(jī)構(gòu)及蒸鍍?cè)O(shè)備的制作方法，該設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定、易于操作，可大幅提高生產(chǎn)效率和