國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工廠潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《電子工廠潔凈

廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中強(qiáng)制性條文

GB50472-2008陳霖新中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院2009年07月1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)2、章節(jié)內(nèi)容簡(jiǎn)介3、強(qiáng)制性條文等介紹4、結(jié)語(yǔ)1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展迅猛

IC特征尺寸0.05μm,12〞～16〞，64GTFT第六代產(chǎn)品對(duì)化學(xué)污染物的嚴(yán)格要求大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房投資大、能量消耗大1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)集成電路對(duì)化學(xué)污染物的控制指標(biāo)電子工廠潔凈廠房的特點(diǎn)：微?？刂剖謬?yán)格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑

ISO1級(jí)或更嚴(yán)格。高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學(xué)品的供應(yīng)、輸送。對(duì)微振控制十分嚴(yán)格、需制定切實(shí)可行的規(guī)定對(duì)防靜電、電磁兼容等大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數(shù)萬(wàn)m2。1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)項(xiàng)目位置狀況規(guī)格（㎜）潔凈生產(chǎn)區(qū)面積（㎡）建筑高度芯片廠1大陸生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）870020.0芯片廠2臺(tái)灣生產(chǎn)運(yùn)行300/200（12"/8"）1400026.8芯片廠3臺(tái)灣生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）900029.4芯片廠4臺(tái)灣生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）900026.8芯片廠5韓國(guó)生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1000031.0芯片廠6韓國(guó)生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1000031.0芯片廠7韓國(guó)生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1000037.0芯片廠8韓國(guó)生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1000037.0芯片廠9愛(ài)爾蘭生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）889225.4芯片廠10美國(guó)生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1581022.00芯片廠11美國(guó)生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1581022.00芯片廠12美國(guó)生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）1385717.00芯片廠13愛(ài)爾蘭生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）1218317.00芯片廠14磁力生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）874020.40芯片廠15臺(tái)灣生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）790050.30芯片廠16法國(guó)生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）650021.00芯片廠17新加坡生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）800025.00表1國(guó)內(nèi)外一些微電子潔凈廠房的高度和潔凈生產(chǎn)區(qū)面積1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)項(xiàng)目位置狀況規(guī)格（㎜）潔凈生產(chǎn)區(qū)面積（㎡）建筑高度芯片廠18上海生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）1200029.00芯片廠19上海生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）940030.00芯片廠20成都生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）7408.821芯片廠21上海生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1032128.55芯片廠22蘇州生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1200024.4芯片廠23重慶建設(shè)中200（8"）150028芯片廠24浙江生產(chǎn)運(yùn)行150（6"）516019TFT-LCD/1北京生產(chǎn)運(yùn)行5代，110000TFT-LCD/2上海生產(chǎn)運(yùn)行5代，1100×130022000＋1400020.30TFT-LCD/3昆山試生產(chǎn)5代，1100×1300～300026.50TFT-LCD/4深圳正在建設(shè)5代，1100×1300～3300026.50TFT-LCD/5臺(tái)灣生產(chǎn)運(yùn)行6代，1500×1800～36000～27TFT-LCD/6上海正籌建6代，1500×1800～34000～27TFT-LCD/7北京正籌建6代，1500×1800～36000～27TFT-LCD/8日本生產(chǎn)運(yùn)行8代，2160×2460～9000030.00表1國(guó)內(nèi)外一些微電子潔凈廠房的高度和潔凈生產(chǎn)區(qū)面積1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)表22幾類電子產(chǎn)品所需氣體品種1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)表25集成電路芯片（64M）生產(chǎn)過(guò)程部分化學(xué)品的質(zhì)量要求微粒（PC/CC）化學(xué)品種類0.1μm0.2μm金屬離子H3PO4HClH2SO4H2O2NH4OH<40<30<20<20<20<20<20<10<10<10<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9HNO349%HF5%HF1%HF<30<30<30<30<20<20<20<20<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-91、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)表128″大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用高純水質(zhì)量指標(biāo)（前工序）1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)集中新風(fēng)處理+各種循環(huán)新風(fēng)集中送風(fēng)方式

FFU隧道送風(fēng)

1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)

美國(guó)消防標(biāo)準(zhǔn)（強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)）NFPA318《潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)》（StandardfortheProtectionofCleanrooms,2000）

第1章總則，范圍、目的、適用性、等同性、術(shù)語(yǔ)等；第2章消防自動(dòng)滅火系統(tǒng)、報(bào)警系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)(煙感、可燃?xì)怏w等);第3章通風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng),送風(fēng)和循環(huán)風(fēng),局部排風(fēng),排煙系統(tǒng)；第4章土建、潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的分隔等；第5章化學(xué)品貯存和處理,對(duì)危險(xiǎn)化學(xué)品貯存、分配間的設(shè)計(jì)、建造要求等；第6章危險(xiǎn)氣體鋼瓶的存放、分配；第7章大宗硅烷系統(tǒng)，管式拖車、集裝氣瓶；第8章生產(chǎn)與輔助設(shè)備、工藝液體加熱設(shè)備、電氣設(shè)備、真空泵等；第9章出入口方式，按NFPA101生命安全規(guī)范進(jìn)行設(shè)計(jì)；第10章參照出版物，所列NFPA或ASTM或SEMI等，被認(rèn)為是標(biāo)準(zhǔn)的一部分。1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)2、章節(jié)內(nèi)容安排1、總則2、術(shù)語(yǔ)3、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求3.1一般規(guī)定3.2生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求

4、總體設(shè)計(jì)4.1位置選擇和總平面布置4.2潔凈室形式4.3潔凈室布置和綜合協(xié)調(diào)5、工藝設(shè)計(jì)5.1一般規(guī)定5.2工藝布局5.3人員凈化5.4物料凈化5.5設(shè)備及工器具

6、潔凈建筑設(shè)計(jì)6.1一般規(guī)定6.2防火與疏散6.3室內(nèi)裝修7、空氣凈化7.1一般規(guī)定7.2氣流流型和送風(fēng)量7.3凈化空調(diào)系統(tǒng)7.4空氣凈化設(shè)備7.5采暖通風(fēng)7.6排煙7.7風(fēng)管、附件8、給水排水設(shè)計(jì)8.1一般規(guī)定8.2給水8.3排水8.4雨水8.5消防給水和滅火設(shè)備9、純水9.1一般規(guī)定9.2純水系統(tǒng)9.3管材、閥門和附件10、氣體供應(yīng)10.1一般規(guī)定10.2常用氣體系統(tǒng)10.3干燥壓縮空氣系統(tǒng)10.4特種氣體系統(tǒng)11、化學(xué)品供應(yīng)11.1一般規(guī)定11.2化學(xué)品儲(chǔ)存、輸送11.3管材、閥門12、電氣設(shè)計(jì)12.1配電12.2照明12.3通信及安全保護(hù)裝置12.4自動(dòng)控制

12.5接地13、防靜電與接地設(shè)計(jì)13.1一般規(guī)定13.2防靜電措施13.3防靜電接地14、噪聲控制14.1一般規(guī)定14.2噪聲控制設(shè)計(jì)15、微振控制15.1一般規(guī)定15.2容許振動(dòng)值15.3微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)2、章節(jié)內(nèi)容安排附錄A

各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)潔凈度等級(jí)的要求附錄B電子產(chǎn)品生產(chǎn)間/工序火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例附錄C一些精密設(shè)備、儀器儀表的允許振動(dòng)值附錄D

潔凈室（區(qū)）性能測(cè)試和認(rèn)證本規(guī)范用詞說(shuō)明附：條文說(shuō)明2、章節(jié)內(nèi)容安排3、強(qiáng)制性條文等介紹1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)。1.0.3電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)根據(jù)具體情況為今后產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進(jìn)的需要預(yù)留條件。1.0.5電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。3．2．2各種電子產(chǎn)品/有關(guān)工序的空氣潔凈度等級(jí)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定；無(wú)要求時(shí)，可參照附錄A要求確定。3.2.3潔凈室（區(qū)）的溫度和相對(duì)濕度應(yīng)按表3.2.3確定。

房間類別溫度（℃）相對(duì)濕度（%）冬季夏季冬季夏季生產(chǎn)工藝有要求的潔凈室按具體生產(chǎn)工藝要求確定生產(chǎn)工藝無(wú)要求的潔凈室≤22～2430～5040～70人員凈化及生活用室～18～28--3.2.5單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB（A），非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于60dB（A）。表3.2.3潔凈室(區(qū))溫度和相對(duì)濕度要求

3、強(qiáng)制性條文等介紹4.2.2電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級(jí)的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境等型式。4.3.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)應(yīng)少分隔，但下列情況應(yīng)設(shè)隔墻：1按火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時(shí)；2在電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中，經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段或房間之間；3生產(chǎn)過(guò)程中排放影響產(chǎn)品質(zhì)量的有害氣體或化學(xué)污染物的工序、設(shè)備，宜分隔設(shè)獨(dú)立房間。3、強(qiáng)制性條文等介紹5.4.2物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。5．5．6電子工廠潔凈廠房?jī)?nèi)，設(shè)置真空泵時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1．使用油潤(rùn)滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣排入排氣系統(tǒng)。2．對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，若可燃?xì)怏w濃度超過(guò)爆炸下限的20%時(shí)應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，去除（稀釋）可燃?xì)怏w組份后才能排入排氣系統(tǒng)。3．傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?，吹掃控制閥與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。3、強(qiáng)制性條文等介紹6.2.l潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。6.2.3潔凈廠房?jī)?nèi)防火分區(qū)的劃分，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室（區(qū)），在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后，其每個(gè)防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。6.2.4潔凈室的上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層和潔凈生產(chǎn)層，當(dāng)按其構(gòu)造特點(diǎn)和用途作為同一防火分區(qū)時(shí)，上、下技術(shù)夾層的面積可不計(jì)入防火分區(qū)的建筑面積，但應(yīng)分別采取相應(yīng)的消防措施。3、強(qiáng)制性條文等介紹微電子潔凈廠房消防設(shè)施現(xiàn)狀－－火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)：熱感型、煙感型、早期煙霧探測(cè)器等3、強(qiáng)制性條文等介紹微電子潔凈廠房消防設(shè)施現(xiàn)狀－－火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)：熱感型、煙感型、早期煙霧探測(cè)器等3、強(qiáng)制性條文等介紹（高靈敏度早期煙霧探測(cè)裝置（VESDA，VeryEarlySmokeDetectorApparatus）或空氣取樣式煙霧探測(cè)系統(tǒng)（AirSamplingTypeSmokeDetectionSystem）

空氣采樣煙霧報(bào)警裝置

3、強(qiáng)制性條文等介紹3、強(qiáng)制性條文等介紹VESDA與一般煙霧探測(cè)器的比較3、強(qiáng)制性條文等介紹6.2.6在綜合性廠房的一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)，潔凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。6.2.7潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：1每一生產(chǎn)層、每個(gè)防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定；2安全出口應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志；安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開(kāi)啟，并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗；3丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。

注：對(duì)于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/m2，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于120m。3、強(qiáng)制性條文等介紹6.2.8潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)置專用消防口，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定；2潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動(dòng)門以及裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為專用消防口。6.2.9潔凈廠房?jī)?nèi)有爆炸危險(xiǎn)的房間應(yīng)靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰。有爆炸危險(xiǎn)的房間的防爆措施、泄爆面積等應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。3、強(qiáng)制性條文等介紹6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應(yīng)滿足使用功能要求，且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。3、強(qiáng)制性條文等介紹7.1.6潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：1各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定；2不同等級(jí)的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；3潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa；潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。7.2.1氣流流型的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：1氣流流型應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)的要求。空氣潔凈度等級(jí)為1～5級(jí)時(shí)，應(yīng)采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級(jí)為6～9級(jí)時(shí)，宜采用非單向流；2潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。3、強(qiáng)制性條文等介紹7.2.2潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。7.2.3潔凈室（區(qū)）所需的滿足空氣潔凈度等級(jí)的潔凈送風(fēng)量和氣流流型，宜按表7.2.3計(jì)算?？諝鉂崈舳鹊燃?jí)氣流流型平均風(fēng)速（m/s）換氣次數(shù)（h-1）1～5單向流或混合流0.2～0.45—6非單向流—50～607非單向流—15～258～9非單向流—10～15表7.2.3潔凈送風(fēng)量（靜態(tài)）和氣流流型注：1換氣次數(shù)適用于層高小于4.0m的潔凈室。2室內(nèi)人員少、熱源少時(shí)，宜采用下限值。3、強(qiáng)制性條文等介紹7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其它建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。7.3.5凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)，但下列情況不得回風(fēng)：1在生產(chǎn)過(guò)程中向車間內(nèi)散發(fā)的有害物質(zhì)超過(guò)規(guī)定時(shí)；2采用局部處理不能滿足衛(wèi)生要求時(shí)；3對(duì)其它工序有危害或不能避免交叉污染時(shí)。3、強(qiáng)制性條文等介紹7.5.1空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于8級(jí)的潔凈室（區(qū)）不應(yīng)采用散熱器采暖。7.5.3潔凈室（區(qū)）的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)防止室外氣流倒灌；2含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施；3局部排風(fēng)系統(tǒng)排出的有害氣體，當(dāng)其有害物質(zhì)濃度超過(guò)排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應(yīng)滿足國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定；4對(duì)含有水蒸汽或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放口；5排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；6排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；7排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，其風(fēng)量應(yīng)按在正常運(yùn)行和事故情況下，風(fēng)管內(nèi)爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計(jì)；8排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。3、強(qiáng)制性條文等介紹7.5.4對(duì)排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險(xiǎn)性物質(zhì)的排氣管路，應(yīng)保持相對(duì)于路由區(qū)域一定的負(fù)壓值。7.5.6潔凈室（區(qū)）事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1事故排風(fēng)區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h；2應(yīng)設(shè)置自動(dòng)和手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)，手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室（區(qū)）和潔凈室（區(qū)）外便于操作的地點(diǎn)；3應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。3、強(qiáng)制性條文等介紹7.6.1潔凈廠房中的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施。7.6.2潔凈廠房排煙設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定，當(dāng)同一防火分區(qū)的丙類潔凈室（區(qū)）人員密度小于0.02人/m2，且安全疏散距離小于80m時(shí)，潔凈室（區(qū)）可不設(shè)機(jī)械排煙設(shè)施。3、強(qiáng)制性條文等介紹7.7.2凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管的防火閥的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。含有可燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道，不得設(shè)置熔片式防火閥。7.7.3凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管、配件、過(guò)濾器以及密封材料等，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。7.7.7風(fēng)管附件及輔助材料的防火性能，應(yīng)符合下列規(guī)定：1凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質(zhì)的風(fēng)管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作；2排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作；3附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。3、強(qiáng)制性條文等介紹8.1.1潔凈廠房的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，并宜敷設(shè)在通行的技術(shù)夾層內(nèi)。條件合適時(shí)，也可埋地敷設(shè)。潔凈室（區(qū)）內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無(wú)關(guān)的管道不應(yīng)穿過(guò)。8.3.1生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點(diǎn)確定。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理達(dá)到國(guó)家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。8.3.2潔凈室（區(qū)）內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備相連接的重力排水管道，應(yīng)在排出口以下部位設(shè)置水封裝置。排水系統(tǒng)應(yīng)有完善的通氣系統(tǒng)。3、強(qiáng)制性條文等介紹8.5.1潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。8.5.2潔凈廠房消火栓的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓；2室內(nèi)消火栓的用水量不應(yīng)小于10L/s，同時(shí)使用水槍數(shù)不應(yīng)少于2支，水槍充實(shí)水柱不應(yīng)小于10m，每只水槍的出水量不應(yīng)小于5L/s；3潔凈廠房室外消火栓的用水量不應(yīng)小于15L/s。8.5.3潔凈室（區(qū)）設(shè)置的固定滅火設(shè)施，應(yīng)符合下列規(guī)定：1設(shè)置的自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50084的有關(guān)規(guī)定。噴水強(qiáng)度不應(yīng)小于8L/min?m2，作用面積不應(yīng)小于160m2；2設(shè)置的氣體滅火系統(tǒng)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《氣體滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50193和《二氧化碳滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50193的有關(guān)規(guī)定；3存放可燃?xì)怏w鋼瓶的特氣柜中應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火設(shè)施。3、強(qiáng)制性條文等介紹9.2.3純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式，宜采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)或設(shè)有獨(dú)立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1循環(huán)回流水量應(yīng)大于設(shè)計(jì)供水量的30%；2干管流速應(yīng)大于等于1.5m/s；3不循環(huán)支管的長(zhǎng)度不應(yīng)大于管徑的6倍；4干管應(yīng)設(shè)置清洗口；5管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；6應(yīng)配備在線水質(zhì)檢測(cè)儀表；對(duì)純水水質(zhì)要求嚴(yán)格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應(yīng)采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)。9.3.1純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足純水水質(zhì)指標(biāo)的要求；2材料的化學(xué)穩(wěn)定性應(yīng)好；3管道內(nèi)壁光潔度應(yīng)好；4不得有滲氣現(xiàn)象。3、強(qiáng)制性條文等介紹10.1.5潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷，穿過(guò)潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。10.1.6可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過(guò)不使用此類氣體的房間；當(dāng)必須穿過(guò)時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管。10.1.7高純氣體管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：1管徑應(yīng)按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm;2不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間；3管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。3、強(qiáng)制性條文等介紹10.1.8潔凈廠房的可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列安全設(shè)施：1可燃?xì)怏w管道設(shè)置閥門時(shí)應(yīng)設(shè)置閥門箱，閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖；2接至用氣設(shè)備的支管和放散管，宜設(shè)置阻火設(shè)施；3引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施；應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。10.2.5氣體純化間（站）或氣體入口室內(nèi)，設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w純化裝置或管道時(shí)，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；2氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥；3應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；4應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖；5應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。3、強(qiáng)制性條文等介紹10.2.6潔凈廠房?jī)?nèi)的氧氣管道等，應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：1管道及閥門附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理；2應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；氧氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。10.2.8氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定：1氣體純度大于或等于99.999999%時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應(yīng)采用隔膜閥；2氣體純度大于或等于99.999%、露點(diǎn)低于-76℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；3氣體純度大于或等于99.99%、露點(diǎn)低于-60℃時(shí)，宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管，除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥；4氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。3、強(qiáng)制性條文等介紹10.4.2潔凈廠房?jī)?nèi)的特種氣體的儲(chǔ)存分配間應(yīng)采用耐火極