CMOS集成電路工藝流程

第三章

CMOS集成電路工藝流程白雪飛中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)電子科學(xué)與技術(shù)系多晶硅柵CMOS工藝流程可用器件工藝擴(kuò)展提綱2多睬晶憤硅婚柵C答M來(lái)O撫S工旺藝?yán)鬏^程初除始蝕材倆料重統(tǒng)摻簽雜P型(笑1棋0鉆0駕)襯扮底竄硅紛，P回+減小暴襯欄底免電怖阻較，曉提啄高粗抗C暢M冷O非S閂勁鎖床效昆應(yīng)聽(tīng)能糟力外延決生弊長(zhǎng)在鄰襯逢底突上謠生俘長(zhǎng)電一猛層孩輕戀摻保雜P型艇外遣延胡層夸，P孤-厚度5遺~壩1診0湯u娘m可眼以閣比C下Z硅題更濾精倘確見(jiàn)的更控寄制詠外惜延忽層煮的問(wèn)電絲式學(xué)禍特驚性炒，魂從稈而逼更拐好預(yù)的酸控辟制忙器零件圈參貪數(shù)襯慶底材初料4N阱盞擴(kuò)爐散熱攤氧孤化N阱普掩土模涉板喉光篇刻總氧彈化廈層磷做離飼子去注繪入高混溫胃推哭進(jìn)澆，碌同味時(shí)陜形印成纖緩應(yīng)沖轟氧璃化喪層N阱競(jìng)工輕藝能絕夠謠提龍供饞性桌能餐稍址好艦的N勿M騎O暮S晶淹體掩管糾，胳并求允防許房誠(chéng)襯疫底座接學(xué)地N阱哲擴(kuò)談散5反殘型哭槽誤工帥藝淀飾積襯氮志化雙硅反型澤槽扶掩追模韻板燙光逆刻松氮衫化竿硅刻蝕編場(chǎng)鞠區(qū)口氮之化絨硅反脖型香槽6溝使道嫂終辯止柏注險(xiǎn)入7L芝O疊C究O咱S氧臭化刻蝕嬌去舞除逢氮此化欄硅去除菌緩遙沖澡氧建化泳層生長(zhǎng)基虛厭擬烏氧私化歲層L錄O饅C肆O車(chē)S工柿藝陜和猛虛冷擬豪柵滅氧齡化8閾捎值腥調(diào)尼整硼彼注冷入揪調(diào)還整蝦閾揭值就電憤壓剝除芹虛哲擬形柵垂氧飲化匙層?xùn)艛_氧卵化枝層干劈燕氧漸法氧際化振過(guò)程裂很夕短幕，質(zhì)柵竿氧岔化即層早很山薄閾躬值擠調(diào)擁整盡和綁柵鄉(xiāng)豐氧包化瞞層死生幸長(zhǎng)9本帝征曬多謊晶造硅月淀耗積多駛晶善硅粘掩摔模熄光類(lèi)刻征、晨多晶硅括層跪刻幸蝕多俱晶馬硅打重藍(lán)摻暑雜劣磷色（連淀祥積戀、拋?zhàn)⒆蛉雰簦┒囡嬀柘砟ǚe姥和鄰光疼刻1鄭0N想S飛D繞/缸P勒S筒D掩堂模唯板被光駝刻通仙過(guò)蓬暴兩露沫的亦柵此氧描化瘡注昏入鋒雜霞質(zhì)多次晶個(gè)硅甚柵方作槳為遞源/漏膊自棄對(duì)嘆準(zhǔn)刊注端入洽的遙掩狡模原板去除額光幣刻旦膠短暫攪退誤火特，底激丸活娃注弱入墻雜乏質(zhì)源/漏排注伍入1才1接奧觸淀耍積脈多返層旗氧公化磁物(陣M宵L憂O始)接評(píng)觸賺掩豆模型光蒸刻竄、造刻圓蝕灣接塔觸晌孔種區(qū)征域重誼摻雜在區(qū)件域品可蹤蝶以減形葬成杯歐體姆我接竿觸金父屬化接闖觸孔古硅繩化難熔奮金屈屬停薄項(xiàng)膜姨淀棚積它、要摻賠銅筑鋁肝層哄淀敘積金屬堆掩枝模此光回刻舅、賽金壤屬供刻葛蝕歌，爐形畫(huà)成紡互登連沃結(jié)框構(gòu)淀積船夾秧層共氧抹化林物(溪I挖L恢O閣)刻蝕I嫌L斧O通勝孔五，箭第喜二銀層砌金微屬暴互福連.愈.辦.桌.襪.戰(zhàn).保罷護(hù)層最后駁一攀層諒金沒(méi)屬詞上促淀蕉積奧保申護(hù)娘層蘭，棵厚向的惱磷遺硅饑玻桂璃秘、近壓宇縮禁氮襪化自層乓等接蝕觸景、浸金搞屬罩化戴和喉保煩護(hù)規(guī)層1蜘2多齡晶備硅風(fēng)柵C哲M色O往S晶申圓跟剖斥面1伍3典困型C偵M紐奉O危S工剪藝篩流篩程茫圖1塔4典休型C蓋M養(yǎng)O暑S工咱藝辨流況程量圖1寨5典離型C們M耐O岸S工權(quán)藝完流黑程惠圖1衰6典黎型C袋M緣瑞O填S工曠藝癢流遺程弦圖1新7典部型C尚M滲O恰S工命藝正流水程澆圖1羽8典池型C候M扁O奴S工咐藝席流繩程未圖1撇9典辱型C短M檢O掃S工變藝儲(chǔ)流魂程畫(huà)圖2寨0典悼型C器M圈O崗S工翅藝兔流梨程斃圖2陰1典坦型C某M軌O傳S工汽藝氏流悼程笨圖2坊2典程型C司M虎O哨S工乞藝優(yōu)流桐程饒圖2菌3典贈(zèng)型C漢M黎O尿S工弱藝擦流科程比圖2答4典眉型C瓜M休O凳S工飯藝匙流辰程剛圖2者5典森型C芝M顯O卷S工含藝印流新程剪圖2顯6典住型C擔(dān)M填O幣S工夾藝賊流題程溫圖2役7典蜻型C犯M艷O姑S工美藝?yán)w流字程扒圖2贊8典戲型C贈(zèng)M困O攤S工送藝汽流亦程鵲圖2補(bǔ)9典方型C作M姥O幼S工羊藝多流睛程傘圖3趟0典美型C均M輕O腫S工忘藝足流愿程隙圖3每1典堅(jiān)型C烘M息O貍S工挑藝魂流竿程堡圖3坡2典支型C員M放O煉S工培藝硬流完程欄圖3曾3典堪型C丑M弦O濃S工溜藝衡流泊程橋圖3視4典備型C否M并O狼S工驕藝虹流沖程隆圖3扎5典哈型C版M沃O糖S工味藝住流繭程預(yù)圖3傷6典坊型C側(cè)M魯O神S工聞藝鏟流廣程治圖3鞭7典風(fēng)型C滲M得O竟S工麥藝提流組程躲圖3甩8典走型C冊(cè)M搶O協(xié)S工揚(yáng)藝狀流堵程鄰圖3拘9典來(lái)型C蹈M謝O振S工紅藝妻流緊程您圖4承0典涉型C泉M斗O島S工您藝童流曾程扛圖4鎮(zhèn)1典陵型C慎M闊O超S工篩藝收流融程撐圖4遵2可況用捆器項(xiàng)件N脅M噸O公S晶代體傷管4蔽4P滋M姑O礦S晶茶體尾管4浪5襯子底P心N糊P管4榴6電燈阻多隱晶習(xí)硅皇電游阻N變S貸D鏟/后P斧S勿D電孝阻N阱塵電汪阻金雪屬固電蒸阻多辱晶簽硅伸電障阻必允須勞使揪用劫硅冷化徒物濾阻均擋累掩強(qiáng)模朱板多賺晶洲硅源電羽阻4經(jīng)7N撥S絕D窯/來(lái)P哲S胸D電赤阻4堵8電譜容M院O廉S電紋容金屬慕電啊容義（M撫O污M、M搬i牲M）多晶勸硅悅電它容芹（P桂i額P）M贈(zèng)O墓S電容4譯9工園藝哈擴(kuò)勢(shì)展淺有槽勾隔吸離5攪1輕五摻娘雜鬧漏植區(qū)糠晶沿體傻管(補(bǔ)L裁D似D森)5右2擴(kuò)遮展欣漏筐區(qū)良高腳壓馬晶汗體過(guò)管5陳3本桿章廳結(jié)澡束9、儲(chǔ)靜望夜確四畜無(wú)桌鄰愚，廚荒孤居鉆舊頑業(yè)窮貧絮。臉。7粒月級(jí)-達(dá)2騰37爬月敞-系2慶3S賽u爆n焦d纖a擾y扁,塊J仔u陡l瓶y逐3好0丹,仗2完0負(fù)2兵31帆0、嚴(yán)雨注中侍黃胖葉羅樹(shù)顯，尖燈抹下距白詠頭蹲人特。級(jí)。2綱0厭:盼1比2努:奮1懲32訓(xùn)0直:均1偽2鍋:揚(yáng)1具32途0濟(jì):勻1丈27怎/習(xí)3怖0窗/他2遵0案2辟3橡8丸:狗1蔬2緒:夜1寄3禿P嘩M1姜1、嫌以教我街獨(dú)嗓沈焰久漠，情愧昌君彎相妨見(jiàn)君頻搶。拾。7逝月惰-予2引32抄0肆:嘉1掠2就:辮1奏32旱0軍:得1往2J純u巷l行-伸2千33柿0堆-衡J書(shū)u盤(pán)l殃-辱2市31仙2、料故念人驢江炭海兆別壟，魯幾栗度做隔肯山陷川椅。蟻。2梯0罷:應(yīng)1議2彼:障1椒32臘0笛:訓(xùn)1吊2鞭:腔1陰32斯0間:殖1剝2S聾u綁n乖d娘a唇y(tǒng)樹(shù),溝J間u闖l散y冒3劫0幕,塔2秩0坊2軍31敘3、絮乍櫻見(jiàn)煎翻泥疑厭夢(mèng)室，響相林悲胳各凍問(wèn)申年腸。洗。7金月漲-解2紙37資月旅-怒2埋32可0瓜:責(zé)1默2纏:笑1屯32釘0樸:忙1陪2位:翻1良3J得u技l徒y(tǒng)投3寨0切,暮2鵲0潤(rùn)2術(shù)31族4、胸他疊鄉(xiāng)足生旁白妻發(fā)奪，座舊漫國(guó)稼見(jiàn)芳青何山賭。室。3欠0強(qiáng)七測(cè)月雙2繡0病2攪38蒼:貌1忠2化:承1矛3飲下斬午2綢0晶:嚇1芒2瘦:知1床37爐月牢-轟2旋31攻5、礎(chǔ)比援不旱了凡得跑就攤不疫比網(wǎng)，煌得屑不墳到失的誕就隊(duì)不蔽要榆。遣。。七柴月皂2今38約:蹄1撿2屠下初午7窗月尊-沫2換32慨0丸:織1辟2J閱u筐l源y椅3楊0淡,似2割0撫2葛31底6、帝行汪動(dòng)敢出銀成輪果松，腦工楊作厲出壁財(cái)夾富運(yùn)。午。2彈0兩2限3止/扭7丸/托3治0澆2硬0水:蹄1顆2渾:氏1疑32糧0做:獄1莖2罵:債1玻33幕0拜J知u筋l筑y塑2住0辦2薯31愁7、發(fā)做執(zhí)前洪，溜能桶夠春環(huán)抗視壘四牽周顯；癢做女時(shí)礙，和你翠只家能倦或啄者男最宜好獸沿愿著擊以荷腳制為資起扛點(diǎn)的的閘射貿(mào)線伯向數(shù)前蜻。坊。8非:兄1晃2揮:遼1煉3疑下杯午8真:看1避2帝下著午2較0混:趟1屈2圓:銜1缺37越月轎-值2鍬39、申沒(méi)芹有助失鏟敗角，埋只長(zhǎng)有制暫監(jiān)時(shí)較停泰止手成舅功顆！邀。7飾月掀-悟2僅37故月約-俱2貞3S強(qiáng)u懼n訪d蝦a博y魄,令J沿u樣l成y榨3世0耀,憐2蠶0洲2啞31世0、春很澡多浮事攻情濁努訊力事了河未信必海有黑結(jié)垂果景，汁但午是踏不逐努速力艦卻衡什白么寫(xiě)改現(xiàn)變?nèi)乱灿脹](méi)暈有睛。奇。2壤0拍:頓1抗2帳:劣1綁32顆0訊:驢1碼2限:事1鐵32繁0驚:托1圈27煌/需3川0權(quán)/教2衡0創(chuàng)2蜂3旅8擋:黨1莖2輕:工1導(dǎo)3維P順M1紛1、膽成抽功溪就過(guò)是偷日西復(fù)顯一弄日湊那缸一脫點(diǎn)腰點(diǎn)蠟小什小濃努碰力睜的工積吼累籃。釋。7勁月裁-浴2通32眼0林:賺1笛2慢:捎1素32烤0執(zhí):扛1知2J極u逮l慕-治2短33扯0淋-蛇J章u莫l淘-俯2碎31菌2、霧世勝間寧成賄事然，少不緊求堪其敵絕像對(duì)若圓墊滿狡，竿留犯一安份織不膛足尋，勾可丘得促無(wú)腰限俗完嗽美線。已。2凈0習(xí):唱1因2鞭:擴(kuò)1倆32圣0誘:害1逼2啟:掉1鳳32佳0看:像1昂2S醫(yī)u槍n牲d成a族y材,衫J面u寨l矩y把3失0蓄,攜2剖0選2解31霸3、擺不看知熱香約積舅寺豎，襖數(shù)余里撒入徐云域峰伐。堵。7合月礙-貨2按37壞月躲-盼2硬32洋0愉:其1在2寄:野1歷32伸0轟:普1昨2代:屋1乏3J汽u嘆l牌y卵3檢0曬,全2斃0旱2熔31貫4、赴意平志達(dá)堅(jiān)照強(qiáng)顆的震人銷(xiāo)能怪把捏世哄界粥放殼在左手媽中淹像撞泥縫塊駁一籠樣耽任猛意運(yùn)揉模捏蠟。3伏0裝七李月休2拒0水2宴38蹦:代1絹2裂:雜1中3蠢下妖午2流0博:源1隙2敲:議1粒37扯月貓-束2書(shū)31王5、鍛楚何塞治三腰湘閱接蔽，販荊嫩門(mén)稼九您派演通嫁。隆。。七拐月奔2衫38怕:睛1縣2暮下特午7攤月鼻-敵2殲32浸0妄:狐1腫2J沸u遮l炕y熱3高0曉,酬2澡0駁2姻31尸6、殖少就年拴十菊五閉二旺十輪時(shí)途，掠步臥行司奪翁得堪胡袋馬千騎這。羊。2謠0澤2柏3貴/叉7鵲/魄3熄0贊2乞0測(cè):膜1右2籌:鄙1顫32斑0羽:短1孕2卻:紡1沉33呼0捐J貪u參l西y注2囑0帆2凡31湯7、錯(cuò)空御山采新援雨理后眼，返天自氣療晚絕來(lái)完秋即。權(quán)。8雅:巡壽1途2慣:敬1炕3席下沃午8吐:標(biāo)1移2沒(méi)下需午2追0隙:怕1偉2明:季1鉆37烘月懼-墻2殃39、揉楊吼柳旱散渾和徹風(fēng)閑，產(chǎn)青頁(yè)山倚澹腎吾蠢慮因。銅。7閉月眠-奸2影37侵月汁-坡2拍3S供u齊n召d熔a菜y應(yīng),革J毅u集l說(shuō)y將3筑0很,賴(lài)2族0搖2稿31怒0、訂閱固讀陰一趨切其好大書(shū)磁如沃同聚和替過(guò)瞎去石最績(jī)杰浩出炊的奮人茶談塊話襲。2闊0選:灣1改2牙:丟1背32免0凈:韻1改2慚:暗1突32流0晝:退1厚27謝/暑3集0所/膏2許0生2陜3卸8恒:冬1好2素:組1磚3按P牢M1門(mén)1、手越婆是辰?jīng)]默有涂本闖領(lǐng)芝的外就墊越平加耽自沿命頓不卵凡摸。7端月器-死2寧32任0艷:冰1賓2音:吐1象32知0樂(lè):榴1嘉2J有u蚊l促-晚2順33閘0消-煤J戴u煤l吹-媽2遺31飽2、綁越單是好無(wú)粗能鐵的賞人羽，竭越疑喜喝歡每挑戶剔條別援人恨的斧錯(cuò)舟兒僵。2央0痰:間1笨2打:大1充32續(xù)0營(yíng):市1桌2葬:尿1味32削0候:魂1涂2S脅u繩n額d開(kāi)a壁y靈,很J襯u患l旗y鏈3進(jìn)0嚷,再2慮0喉2損31推3、塊知羨人肯者少智亭，浙自放知?jiǎng)裾咿q明培。杰勝端人煎者先有薄力顧，紫自津勝撕者嚇強(qiáng)放。7鈴月嶄-蕩2流37陪月第-收2肥32寶0仗:斗1膊2傭:腹1花32殊0論:塘1或2歲:熊1潛3J嗎u攪l統(tǒng)y狐3努0淡,椒2巷0劈燕2糠31墾4、互意蛙志險(xiǎn)堅(jiān)破強(qiáng)購(gòu)的段人