一種具有屏蔽層的壓力傳感器工藝仿真與設(shè)計(jì)_第1頁(yè)
一種具有屏蔽層的壓力傳感器工藝仿真與設(shè)計(jì)_第2頁(yè)
一種具有屏蔽層的壓力傳感器工藝仿真與設(shè)計(jì)_第3頁(yè)
一種具有屏蔽層的壓力傳感器工藝仿真與設(shè)計(jì)_第4頁(yè)
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有限元分析(FEA)為小型子元素來(lái)計(jì)算物體的應(yīng)力、應(yīng)變和變形。在壓力傳感器的設(shè)計(jì)中，理論分析很難獲得完整的結(jié)果，因此有限元分析是一種很好的仿真方法。本文選用ANSYS等有限元軟件對(duì)具有屏蔽層的壓力傳感器進(jìn)行仿真。11PZT-5H驅(qū)動(dòng)材料、PTFE高分子材料和氧器的工作范圍在(-1000Pa,1000Pa)之間。2100Pa2100Pa2的仿真結(jié)果，可以發(fā)現(xiàn)傳感器隨著外加壓力的增加，電容PZT陶瓷的沉積。最后通過(guò)光刻技術(shù)加工出屏值，分別對(duì)傳感器的電容值進(jìn)行測(cè)量。實(shí)驗(yàn)結(jié)果如圖3所示。33為2.4fF/Pa。這表明該傳感器具有較好的靈敏度。SΔC/ΔP來(lái)計(jì)算，其中ΔC和ΔP分4所示所作的實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，靈敏2.4fF/Pa4傳感器靈敏度5所示，5傳感器線性度溫度特性是指在不同溫度下傳感器輸出的電容值與壓力之間的關(guān)系。2060℃的電容輸出響應(yīng)之間的比較數(shù)據(jù)。從圖66傳感器溫度特性7a7b是封裝之后7傳感器的封裝本文對(duì)一種具有屏蔽層的壓力傳感器的工藝仿真與設(shè)計(jì)進(jìn)行了研究。首先通過(guò)有限元軟件進(jìn)行傳感器的仿真，得到了傳感器的應(yīng)變場(chǎng)、變形

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