IC有源元件與工藝流程

第五章 IC有源元件與工藝流程5.1概述5.2 雙極性硅工藝5.3HBT工藝5.4 MESFET和HEMT工藝5.5MOS工藝和相關的VLSI工藝5.6PMOS工藝5.7 NMOS工藝5.8CMOS工藝5.9BiCMOS工藝1第五章 IC有源元件與工藝流程

5.1概述表5.12I駱C特沃別退是絲式邏告輯I階C的劣類住型捏包匙括向：污以雙蓮極篩型庸硅辭為筆基繳礎羊的E籃C憐L技旗術，P魚M賭O蝦S技與術，N勵M侮O種S技速術，C化M爬O胡S技吳術，兼雙島極比型焦硅數(shù)或溉鍺跪異攀質勸結晚晶走體獻管芹加C境M村O綿S的B壁i秒C培M枝O損S技撇術和G蕉a互A稅s技是術。目億前吊，展占吐統(tǒng)蜻治檔地暴位密的匯是C百M粱O項S技賠術護。單學純畝采壯用拔雙嘉極乳型議硅嚇的E蘭C桐L技田術堂僅睛在他一惹定擺場象合鞏得累到長應譯用捐，欲但兇以硅/鍺修異斗質稅結依晶恢體裂管南（H辱B藍T）子為白元賺件挑的E舌C途L電崇路和B捷i偉C族M葬O扇S電懷路則彼異炕軍絹突父起桌，絞在高秒頻、高邁速和大煙規(guī)幅模類集口成方長面尋都毀展砍現(xiàn)葵出碧優(yōu)擱勢廁。3各茶種償工荒藝柏的品兩地個摟重盛要衡特株性甚是速門度和功巡壽耗。踢人痰們恐追寇求方的向目紫標遲是高反速和低敞功福耗。速拜度愚是給用門災延變遲來效表崖示經(jīng)，坡門拖延璃遲芝越按小線表焦示匆速勢度岔越猴高艦。寺所太以志工漸藝鍛開虧發(fā)趟和覆電鼠路腰設閣計透的慮目妖標吳，灘即刷高脂速致低盡功惹耗趙就麗變患成烘向批左流下話角句靠聚近塊（木圖5助.炮1）擋。G聽a固A瘡s潛臂在黨速混度互最道高局，符而C勵M拉O岡S功驗耗帽最裂小志。4圖5險.欄1幾嶺種I勞C工沿藝殘速潮度絡功外耗倡區(qū)亦位煮圖55卻.扇2雙另極嘗性夏硅累工符藝典曬型桌的雙廈極育性矩硅殘工給藝褲：N燭P搬N三吐極著管圖5里.掀2典甘型膊的殿剖君面夢圖雙敲極炒性需硅濤工叉藝女優(yōu)鏟點隔：啟高影速彈度撲、魂高憐跨暮導疊、壟低治噪犁聲腹、閾值誼容完易剝控軌制糕。雙濾極波性堂硅懲的信應擾用掌：副低敢噪恒聲塞高戀靈鍬敏醒度桑放刊大韻器列、管微懇分纏電興路庭、企復群接冶器控、莫振斜蕩辭器值等設。6典暑型押的島雙榨極瓜集塌成厲電煩路泛工晶藝襯嶺底甲制碎備→一福次賤氧殊化→隱級埋誘層且光課刻→隱擱埋跟層鈔擴傭散→外騙延狹淀糊積→熱殘氧騙化→隔捎離顏光友刻—隔疾離蕉擴捎散→再巴氧諒化→基儀區(qū)杯光躁刻→基榮區(qū)士擴航散→再蔽分潛布胖及盞氧鍛化→發(fā)遣射傭區(qū)哨光較刻→（予背眨面豪摻心金晌）→發(fā)評射愧區(qū)務擴梢散→再悅分至布勻及償氧礦化→接烘觸瘦孔競光奏刻→鋁促淀取積→反叢刻靜鋁→鋁陪合占金→淀來積便鈍乏化再層→壓寶焊蛙塊球光漸刻→中沙測7圖5視.寨2（a）香繪慌制博了益典汽型奏的僑雙緞極尾型槽硅夾晶原體增管俊的拘剖糖面關圖娃。脾這邁樣校的陶晶繼體菜管花用5張理掩征膜增就勵可敵以宵加韻工女：1、賴襯沈底玻選歷擇選宮用P型姐襯速底怖，僑為擺提哥高榜隔梅離毀結最的鉛擊惡穿胸電刻壓綢同衛(wèi)時筍也徒不潮使交外渠延育層增在萌后誕續(xù)費工榆藝便中嫌下藥推疲太曠多謙，

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