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嚴(yán)格耦合波算法(RCWA)rigorouscoupled-waveanalysis2023最新整理收集do

something應(yīng)用及優(yōu)點(diǎn)最初用于研究表面周期結(jié)構(gòu)光柵的透射、反射和衍射問題。演化到計(jì)算由周期性排列人工諧振單元構(gòu)成的特異材料的宏觀電磁響應(yīng)算法本身是固有穩(wěn)定的,有較高的計(jì)算效率,當(dāng)增加平面波展開數(shù)目時(shí)會快速收斂算法介紹TE波沿x向展開傅立葉級數(shù)Vol.12,No.5/May1995/J.Opt.Soc.Am.A在光柵區(qū)即0<z<d

磁場和電場應(yīng)滿足麥克斯韋方程簡化

可設(shè)上述二階線性微分方程的假設(shè)解為

是特征向量矩陣W的對應(yīng)元素,對應(yīng)特征值的正平方根利用邊界條件求解未知數(shù)在光柵表面

z<0處0<z<d在z=0的邊界上電場切向連續(xù)

=>聯(lián)立同樣聯(lián)立在界面z=d上電場切向分量連續(xù),可得由邊界條件組成的方程組可解得進(jìn)而得到光柵的反射,透射電場、磁場增強(qiáng)傳輸矩陣方法

enhancedtransmittancematrixapproach在計(jì)算多層結(jié)構(gòu)的傳輸矩陣時(shí)由于在多層介質(zhì)中可能存在倏逝場導(dǎo)致矩陣元趨近于0,從而在求逆過程中出現(xiàn)極大的數(shù)值,在數(shù)值計(jì)算過程中電腦的存儲精度限制導(dǎo)致計(jì)算的精度下降和不穩(wěn)定性出現(xiàn),增強(qiáng)傳輸矩陣方法用于解決這一問題TE分量如圖,給出介質(zhì)表面,每層介質(zhì)中及透射波電場其中J.Opt.Soc.Am.A/Vol.12,No.5/May1995在每層界面上分析邊界條件(1)Z=0(2)在層與層即z=(3)在最后一層邊界即z=將以上各式逐層迭代得到傳輸矩陣為一個(gè)很大的正值,導(dǎo)致快速衰減而趨近于零

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