《光學干涉測量技術》課件_第1頁
《光學干涉測量技術》課件_第2頁
《光學干涉測量技術》課件_第3頁
《光學干涉測量技術》課件_第4頁
《光學干涉測量技術》課件_第5頁
已閱讀5頁，還剩2頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

光學干涉測量技術光學干涉測量技術是一種測量物體各種物理量(例如熱漲縮、重量、位移、形變等)的高精度非接觸式方法，廣泛應用于機械制造、光學制造、航空航天、軍工、半導體等領域。光干涉儀的原理1光程差光束沿不同路徑傳播，光程差會改變光的相位，形成干涉條紋。2等厚線干涉當光在具有一定曲率的光學元件(例如透鏡)表面或內(nèi)部傳播時，會產(chǎn)生形成等厚線條紋的干涉。3平行光干涉將光束通過一個狹縫或者孔徑，可以產(chǎn)生平行光干涉。4Michelson干涉儀利用分束鏡將光分成兩束垂直方向的光，經(jīng)過反射后再次合成產(chǎn)生干涉。經(jīng)典干涉條紋的產(chǎn)生雙縫干涉利用兩個縫孔結構形成的干涉圖案。光柵光譜儀將光線分散成各個波長的光譜，用于光譜分析。單縫衍射經(jīng)過狹縫或者孔徑時，光的波動性質(zhì)會表現(xiàn)出來，形成的干涉條紋與縫孔大小、波長和距離有關。光學干涉測量的應用1壓力測量通過測量物體在力的作用下的附加形變，計算得到物體所受的壓力大小。2位移測量測量物體的位移，用于判斷物體的形變和運動狀態(tài)等。3曲率測量通過測量物體曲面光程差的變化，得到曲率大小。4表面質(zhì)量檢測檢測制件表面的平整度、波紋度、徑向誤差、橢圓度等指標。5光學材料的折射率測量通過測量光在材料中的傳播速度等參數(shù)，計算得到其折射率。光學干涉測量技術的發(fā)展數(shù)字化技術的應用數(shù)字化技術的出現(xiàn)，對光學干涉測量技術的發(fā)展起到了重要的推動作用，大量傳感數(shù)據(jù)的分析、存儲、處理和可視化等隨之而來。全息術的出現(xiàn)和發(fā)展全息術的出現(xiàn)使得光學干涉測量技術可以更加直觀的獲取信號，可以把干涉條紋能量全部記錄在一張全息圖上。激光技術的廣泛應用激光技術是現(xiàn)代光學干涉測量技術中最為重要的技術之一，提高了干涉信號的質(zhì)量和穩(wěn)定性。光學干涉測量技術的局限性和展望環(huán)境因素的影響干擾會隨著環(huán)境的變化而變化，例如溫度、濕度、振動等環(huán)境因素都可以影響信號的穩(wěn)定性和精度。應用范圍的限制光學干涉測量技術目前應用范圍還較為窄，無法適應多種面對復雜取向和不規(guī)則形狀的物體的測量需求。發(fā)展趨勢高精度、高穩(wěn)定性、非接觸式的測量技術與光學干涉測量技術的結合是未來發(fā)展趨勢，可以更加有效地獲取干涉信號和信號處理?？偨Y本文綜述了光學干涉測量技術的基本原理、產(chǎn)生機制和應用場合，并介紹了其發(fā)

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論