《光學(xué)干涉測量技術(shù)》課件

光學(xué)干涉測量技術(shù)光學(xué)干涉測量技術(shù)是一種測量物體各種物理量(例如熱漲縮、重量、位移、形變等)的高精度非接觸式方法，廣泛應(yīng)用于機械制造、光學(xué)制造、航空航天、軍工、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。光干涉儀的原理1光程差光束沿不同路徑傳播，光程差會改變光的相位，形成干涉條紋。2等厚線干涉當(dāng)光在具有一定曲率的光學(xué)元件(例如透鏡)表面或內(nèi)部傳播時，會產(chǎn)生形成等厚線條紋的干涉。3平行光干涉將光束通過一個狹縫或者孔徑，可以產(chǎn)生平行光干涉。4Michelson干涉儀利用分束鏡將光分成兩束垂直方向的光，經(jīng)過反射后再次合成產(chǎn)生干涉。經(jīng)典干涉條紋的產(chǎn)生雙縫干涉利用兩個縫孔結(jié)構(gòu)形成的干涉圖案。光柵光譜儀將光線分散成各個波長的光譜，用于光譜分析。單縫衍射經(jīng)過狹縫或者孔徑時，光的波動性質(zhì)會表現(xiàn)出來，形成的干涉條紋與縫孔大小、波長和距離有關(guān)。光學(xué)干涉測量的應(yīng)用1壓力測量通過測量物體在力的作用下的附加形變，計算得到物體所受的壓力大小。2位移測量測量物體的位移，用于判斷物體的形變和運動狀態(tài)等。3曲率測量通過測量物體曲面光程差的變化，得到曲率大小。4表面質(zhì)量檢測檢測制件表面的平整度、波紋度、徑向誤差、橢圓度等指標(biāo)。5光學(xué)材料的折射率測量通過測量光在材料中的傳播速度等參數(shù)，計算得到其折射率。光學(xué)干涉測量技術(shù)的發(fā)展數(shù)字化技術(shù)的應(yīng)用數(shù)字化技術(shù)的出現(xiàn)，對光學(xué)干涉測量技術(shù)的發(fā)展起到了重要的推動作用，大量傳感數(shù)據(jù)的分析、存儲、處理和可視化等隨之而來。全息術(shù)的出現(xiàn)和發(fā)展全息術(shù)的出現(xiàn)使得光學(xué)干涉測量技術(shù)可以更加直觀的獲取信號，可以把干涉條紋能量全部記錄在一張全息圖上。激光技術(shù)的廣泛應(yīng)用激光技術(shù)是現(xiàn)代光學(xué)干涉測量技術(shù)中最為重要的技術(shù)之一，提高了干涉信號的質(zhì)量和穩(wěn)定性。光學(xué)干涉測量技術(shù)的局限性和展望環(huán)境因素的影響干擾會隨著環(huán)境的變化而變化，例如溫度、濕度、振動等環(huán)境因素都可以影響信號的穩(wěn)定性和精度。應(yīng)用范圍的限制光學(xué)干涉測量技術(shù)目前應(yīng)用范圍還較為窄，無法適應(yīng)多種面對復(fù)雜取向和不規(guī)則形狀的物體的測量需求。發(fā)展趨勢高精度、高穩(wěn)定性、非接觸式的測量技術(shù)與光學(xué)干涉測量技術(shù)的結(jié)合是未來發(fā)展趨勢，可以更加有效地獲取干涉信號和信號處理?？偨Y(jié)本文綜述了光學(xué)干涉測量技術(shù)的基本原理、產(chǎn)生機制和應(yīng)用場合，并介紹了其發(fā)