先進(jìn)制程技術(shù)-第2篇詳述

數(shù)智創(chuàng)新變革未來先進(jìn)制程技術(shù)制程技術(shù)定義與分類先進(jìn)制程技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)制程技術(shù)關(guān)鍵工藝介紹先進(jìn)制程技術(shù)設(shè)備與應(yīng)用制程技術(shù)面臨的挑戰(zhàn)先進(jìn)制程技術(shù)研發(fā)進(jìn)展制程技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展關(guān)系未來制程技術(shù)展望ContentsPage目錄頁(yè)制程技術(shù)定義與分類先進(jìn)制程技術(shù)制程技術(shù)定義與分類制程技術(shù)定義1.制程技術(shù)是制造過程中用于實(shí)現(xiàn)特定功能或特性的一系列操作步驟和方法的總稱。2.制程技術(shù)涵蓋了從原材料處理、零部件制造、裝配到測(cè)試與品質(zhì)控制等全過程。3.隨著科技不斷發(fā)展，制程技術(shù)也在不斷進(jìn)步，向更高效、精密和自動(dòng)化的方向發(fā)展。制程技術(shù)分類1.制程技術(shù)可根據(jù)制造工藝、行業(yè)、材料和處理方式等多種維度進(jìn)行分類。2.常見的分類方法包括：機(jī)械加工、化學(xué)處理、物理冶金、電子制造等。3.各類制程技術(shù)都有其特定的應(yīng)用場(chǎng)景和優(yōu)缺點(diǎn)，選擇合適的制程技術(shù)需結(jié)合產(chǎn)品需求、生產(chǎn)成本和生產(chǎn)效率等因素綜合考慮。以上內(nèi)容僅供參考，如需獲取更多信息，建議您查閱相關(guān)文獻(xiàn)或咨詢專業(yè)人士。先進(jìn)制程技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)先進(jìn)制程技術(shù)先進(jìn)制程技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)1.納米制程技術(shù)已成為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的重要發(fā)展趨勢(shì)，其利用納米級(jí)別的精度制造芯片，能夠大大提高芯片的性能和能效。2.隨著制程技術(shù)不斷向納米級(jí)別發(fā)展，制造過程中的挑戰(zhàn)和難度也在不斷增加，需要解決一系列技術(shù)難題，如刻蝕、清洗、薄膜沉積等。3.全球各大半導(dǎo)體制造商都在加速研發(fā)納米制程技術(shù)，投資力度不斷加大，預(yù)計(jì)未來幾年納米制程技術(shù)將迎來更加廣泛的應(yīng)用。異質(zhì)整合技術(shù)1.異質(zhì)整合技術(shù)是將不同材料、不同工藝制造的芯片組件整合在一起，以提高芯片整體性能的技術(shù)。2.隨著半導(dǎo)體工藝越來越復(fù)雜，單一材料或工藝難以滿足所有需求，異質(zhì)整合技術(shù)成為重要的解決方案。3.異質(zhì)整合技術(shù)需要解決不同材料之間的兼容性、熱失配、應(yīng)力失配等問題，未來需要繼續(xù)加強(qiáng)技術(shù)研發(fā)和創(chuàng)新。納米制程技術(shù)先進(jìn)制程技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)極致能效技術(shù)1.隨著人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)的快速發(fā)展，芯片能耗問題越來越突出，極致能效技術(shù)成為重要的發(fā)展趨勢(shì)。2.極致能效技術(shù)通過優(yōu)化芯片架構(gòu)設(shè)計(jì)、采用低功耗制造工藝、利用先進(jìn)電源管理技術(shù)等手段，大幅降低芯片能耗，提高能效水平。3.未來，極致能效技術(shù)將成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的重要焦點(diǎn)，需要持續(xù)加強(qiáng)技術(shù)研發(fā)和創(chuàng)新。柔性電子技術(shù)1.柔性電子技術(shù)是一種將電子器件與柔性基板相結(jié)合的技術(shù)，具有高度的柔韌性和可彎曲性。2.柔性電子技術(shù)廣泛應(yīng)用于智能穿戴、醫(yī)療健康、智能家居等領(lǐng)域，具有廣闊的市場(chǎng)前景。3.未來，隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用場(chǎng)景的不斷擴(kuò)展，柔性電子技術(shù)將成為重要的先進(jìn)制程技術(shù)之一。先進(jìn)制程技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)智能制造技術(shù)1.智能制造技術(shù)是一種將人工智能、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算等技術(shù)與傳統(tǒng)制造相結(jié)合的技術(shù)，能夠提高制造效率和質(zhì)量。2.智能制造技術(shù)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的應(yīng)用已經(jīng)越來越廣泛，包括智能調(diào)度、智能檢測(cè)、智能維護(hù)等方面。3.未來，智能制造技術(shù)將成為半導(dǎo)體制造的重要發(fā)展趨勢(shì)，需要持續(xù)加強(qiáng)技術(shù)研發(fā)和創(chuàng)新?？沙掷m(xù)發(fā)展技術(shù)1.隨著環(huán)保意識(shí)的不斷提高和可持續(xù)發(fā)展的要求，可持續(xù)發(fā)展技術(shù)成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要發(fā)展趨勢(shì)。2.可持續(xù)發(fā)展技術(shù)包括環(huán)保制造、資源回收、綠色設(shè)計(jì)等方面，旨在減少半導(dǎo)體制造對(duì)環(huán)境的影響。3.未來，可持續(xù)發(fā)展技術(shù)將成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要競(jìng)爭(zhēng)力之一，需要加強(qiáng)技術(shù)研發(fā)和創(chuàng)新，提高產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展水平。制程技術(shù)關(guān)鍵工藝介紹先進(jìn)制程技術(shù)制程技術(shù)關(guān)鍵工藝介紹微影技術(shù)1.微影技術(shù)是一種通過曝光和顯影在硅片上制作微小圖形的技術(shù)，是制程技術(shù)中的重要環(huán)節(jié)。2.隨著制程技術(shù)的不斷進(jìn)步，微影技術(shù)不斷面臨著挑戰(zhàn)，需要不斷提高分辨率和精度。3.目前的微影技術(shù)主要采用深紫外光刻技術(shù)，但未來將會(huì)向更先進(jìn)的EUV光刻技術(shù)發(fā)展?？涛g技術(shù)1.刻蝕技術(shù)是一種將硅片上的圖層或材料進(jìn)行去除的技術(shù)，是制程技術(shù)中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。2.刻蝕技術(shù)需要具有高選擇性、高各向異性、高刻蝕速率等特性。3.未來的刻蝕技術(shù)將會(huì)向更加環(huán)保、高效、精確的方向發(fā)展。制程技術(shù)關(guān)鍵工藝介紹薄膜沉積技術(shù)1.薄膜沉積技術(shù)是一種在硅片表面沉積薄膜的技術(shù)，是制程技術(shù)中的重要環(huán)節(jié)。2.薄膜沉積技術(shù)需要控制薄膜的厚度、成分和均勻性等指標(biāo)。3.未來的薄膜沉積技術(shù)將會(huì)向更低成本、更高性能、更大面積的方向發(fā)展。化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)1.化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)是一種通過化學(xué)和機(jī)械作用對(duì)硅片表面進(jìn)行平坦化的技術(shù)。2.化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)需要具有高平坦度、高去除速率、低損傷等特性。3.未來的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)將會(huì)向更加智能化、高效化、精密化的方向發(fā)展。制程技術(shù)關(guān)鍵工藝介紹清洗與干燥技術(shù)1.清洗與干燥技術(shù)是確保制程過程中硅片表面潔凈和干燥的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。2.隨著制程技術(shù)的不斷進(jìn)步，對(duì)清洗與干燥技術(shù)的要求也不斷提高，需要實(shí)現(xiàn)更高程度的清潔和干燥。3.未來的清洗與干燥技術(shù)將會(huì)更加注重環(huán)保、效率和自動(dòng)化。以上是對(duì)制程技術(shù)中關(guān)鍵工藝介紹的5個(gè)主題名稱及其，希望能夠幫助到您。先進(jìn)制程技術(shù)設(shè)備與應(yīng)用先進(jìn)制程技術(shù)先進(jìn)制程技術(shù)設(shè)備與應(yīng)用1.先進(jìn)制程技術(shù)設(shè)備是制造高精度、高性能芯片的關(guān)鍵工具，主要包括刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)等。2.隨著制程技術(shù)的不斷進(jìn)步，設(shè)備的技術(shù)含量和制造難度也在不斷提高，需要高精度、高穩(wěn)定性的制造工藝。3.先進(jìn)制程技術(shù)設(shè)備的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)激烈，各國(guó)都在加強(qiáng)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，以提高自身芯片制造能力。刻蝕機(jī)1.刻蝕機(jī)是先進(jìn)制程技術(shù)中最關(guān)鍵的設(shè)備之一，用于在芯片表面刻蝕出微小的圖形。2.刻蝕機(jī)的技術(shù)難度高，需要具備高精度、高速度、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。3.目前，全球刻蝕機(jī)市場(chǎng)主要被美國(guó)應(yīng)用材料、日本東京毅力科技等公司壟斷，但國(guó)內(nèi)企業(yè)也在加速技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。先進(jìn)制程技術(shù)設(shè)備概述先進(jìn)制程技術(shù)設(shè)備與應(yīng)用薄膜沉積設(shè)備1.薄膜沉積設(shè)備用于在芯片表面沉積各種薄膜，是制造芯片的重要工藝之一。2.薄膜沉積設(shè)備需要具備高均勻性、高致密性、高純度等特點(diǎn)，以確保芯片的性能和可靠性。3.目前，全球薄膜沉積設(shè)備市場(chǎng)呈現(xiàn)多元化競(jìng)爭(zhēng)格局，國(guó)內(nèi)外企業(yè)都在加強(qiáng)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程?；瘜W(xué)機(jī)械拋光機(jī)1.化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)用于芯片表面的平坦化處理，是制造高精度芯片的關(guān)鍵工藝之一。2.化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)需要具備高平整度、高去除率、高選擇性等特點(diǎn)，以確保芯片表面的質(zhì)量和性能。3.目前，全球化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)市場(chǎng)主要被美國(guó)應(yīng)用材料、日本荏原等公司壟斷，但國(guó)內(nèi)企業(yè)也在逐步提高技術(shù)水平和市場(chǎng)份額。先進(jìn)制程技術(shù)設(shè)備與應(yīng)用先進(jìn)制程技術(shù)設(shè)備的發(fā)展趨勢(shì)1.隨著人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)的快速發(fā)展，對(duì)芯片的性能和功耗要求不斷提高，推動(dòng)先進(jìn)制程技術(shù)設(shè)備不斷向更精細(xì)、更高效的方向發(fā)展。2.未來，先進(jìn)制程技術(shù)設(shè)備將更加注重智能化、自動(dòng)化、綠色化等方向發(fā)展，提高制造效率和質(zhì)量。3.同時(shí)，隨著全球芯片產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展和競(jìng)爭(zhēng)加劇，各國(guó)都在加強(qiáng)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，推動(dòng)先進(jìn)制程技術(shù)設(shè)備的不斷創(chuàng)新和發(fā)展。制程技術(shù)面臨的挑戰(zhàn)先進(jìn)制程技術(shù)制程技術(shù)面臨的挑戰(zhàn)技術(shù)復(fù)雜度與研發(fā)成本1.隨著制程技術(shù)不斷縮小，技術(shù)復(fù)雜度呈指數(shù)級(jí)增長(zhǎng)，研發(fā)成本也相應(yīng)攀升。2.高技術(shù)門檻導(dǎo)致行業(yè)內(nèi)的技術(shù)壟斷，進(jìn)一步增加了后進(jìn)者的追趕難度。3.為應(yīng)對(duì)技術(shù)復(fù)雜度和研發(fā)成本挑戰(zhàn)，企業(yè)需加強(qiáng)技術(shù)創(chuàng)新和研發(fā)投入，同時(shí)尋求政府資金支持和產(chǎn)學(xué)研合作。制造難度與產(chǎn)能限制1.制程技術(shù)越先進(jìn)，制造難度越大，生產(chǎn)過程中的產(chǎn)能限制也越明顯。2.高制造難度導(dǎo)致生產(chǎn)良率下降，進(jìn)一步影響制造成本和產(chǎn)出效率。3.為降低制造難度和提高產(chǎn)能，企業(yè)需要加強(qiáng)生產(chǎn)流程優(yōu)化、設(shè)備更新和人才培養(yǎng)。制程技術(shù)面臨的挑戰(zhàn)供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)與設(shè)備依賴1.制程技術(shù)的供應(yīng)鏈日益全球化，地緣政治風(fēng)險(xiǎn)和技術(shù)封鎖對(duì)供應(yīng)鏈穩(wěn)定性構(gòu)成威脅。2.高端設(shè)備依賴進(jìn)口，設(shè)備采購(gòu)和維護(hù)成本較高，且可能面臨技術(shù)轉(zhuǎn)移限制。3.為降低供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)和設(shè)備依賴，企業(yè)應(yīng)加強(qiáng)供應(yīng)鏈多元化、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化和技術(shù)自主創(chuàng)新。環(huán)境友好性與可持續(xù)發(fā)展1.制程技術(shù)發(fā)展過程中，環(huán)境污染和能源消耗問題日益突出，企業(yè)需要承擔(dān)更多的社會(huì)責(zé)任。2.隨著全球?qū)沙掷m(xù)發(fā)展的重視，制程技術(shù)需要向更加環(huán)境友好的方向發(fā)展。3.為提高環(huán)境友好性和可持續(xù)發(fā)展能力，企業(yè)應(yīng)加大環(huán)保投入，研發(fā)低碳技術(shù)和綠色生產(chǎn)方式。制程技術(shù)面臨的挑戰(zhàn)人才短缺與技術(shù)創(chuàng)新1.制程技術(shù)發(fā)展需要高素質(zhì)人才支撐，但當(dāng)前行業(yè)人才短缺現(xiàn)象嚴(yán)重。2.人才短缺限制了企業(yè)的技術(shù)創(chuàng)新能力和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。3.為應(yīng)對(duì)人才短缺和技術(shù)創(chuàng)新挑戰(zhàn)，企業(yè)應(yīng)加強(qiáng)人才培養(yǎng)和引進(jìn)，建立激勵(lì)機(jī)制，推動(dòng)技術(shù)創(chuàng)新。知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)與技術(shù)轉(zhuǎn)讓1.制程技術(shù)發(fā)展涉及大量知識(shí)產(chǎn)權(quán)問題，知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)成為行業(yè)發(fā)展的重要保障。2.技術(shù)轉(zhuǎn)讓和商業(yè)化過程中可能涉及知識(shí)產(chǎn)權(quán)糾紛和訴訟風(fēng)險(xiǎn)。3.為加強(qiáng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù)和技術(shù)轉(zhuǎn)讓，企業(yè)應(yīng)完善知識(shí)產(chǎn)權(quán)管理制度，加強(qiáng)合規(guī)意識(shí)，積極參與國(guó)際合作與交流。先進(jìn)制程技術(shù)研發(fā)進(jìn)展先進(jìn)制程技術(shù)先進(jìn)制程技術(shù)研發(fā)進(jìn)展7納米及以下制程技術(shù)1.臺(tái)積電和三星已經(jīng)在7納米制程技術(shù)上實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，且良品率穩(wěn)定。此技術(shù)節(jié)點(diǎn)主要應(yīng)用在高性能計(jì)算、人工智能等領(lǐng)域。2.5納米制程技術(shù)已進(jìn)入試產(chǎn)階段，預(yù)計(jì)在近期實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。3.3納米及以下制程技術(shù)的研究正在進(jìn)行，但仍面臨諸多技術(shù)挑戰(zhàn)。EUV光刻技術(shù)1.EUV光刻技術(shù)已成為7納米及以下制程技術(shù)的關(guān)鍵工藝。2.ASML是目前唯一的EUV光刻機(jī)供應(yīng)商，市場(chǎng)壟斷地位明顯。3.提高EUV光刻機(jī)的產(chǎn)量和降低維護(hù)成本是未來的主要研發(fā)方向。先進(jìn)制程技術(shù)研發(fā)進(jìn)展FinFET和GAAFET技術(shù)1.FinFET技術(shù)已成為10納米及以下制程技術(shù)的主流晶體管結(jié)構(gòu)。2.GAAFET技術(shù)被視為FinFET技術(shù)的繼任者，預(yù)計(jì)在3納米制程技術(shù)上開始應(yīng)用。3.GAAFET技術(shù)的研發(fā)進(jìn)展順利，已有多家公司展示了相關(guān)的測(cè)試芯片。嵌入式DRAM技術(shù)1.嵌入式DRAM技術(shù)可提高芯片的存儲(chǔ)密度和性能。2.該技術(shù)在28納米制程上已得到廣泛應(yīng)用，正在向更先進(jìn)的制程技術(shù)推進(jìn)。3.降低功耗和提高良品率是嵌入式DRAM技術(shù)研發(fā)的主要挑戰(zhàn)。先進(jìn)制程技術(shù)研發(fā)進(jìn)展異構(gòu)集成技術(shù)1.異構(gòu)集成技術(shù)可將不同工藝節(jié)點(diǎn)的芯片集成在同一封裝內(nèi)，提高系統(tǒng)性能。2.該技術(shù)已成為高性能計(jì)算和人工智能領(lǐng)域的主要趨勢(shì)。3.降低異構(gòu)集成技術(shù)的成本和提高可靠性是未來的研發(fā)重點(diǎn)。碳納米管晶體管技術(shù)1.碳納米管晶體管技術(shù)具有極高的遷移率和低功耗特性，被視為未來的晶體管技術(shù)。2.該技術(shù)目前仍處于研究階段，但已取得了多項(xiàng)突破性成果。3.碳納米管晶體管技術(shù)的研發(fā)需要解決材料、工藝和可靠性等方面的問題。制程技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展關(guān)系先進(jìn)制程技術(shù)制程技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展關(guān)系制程技術(shù)進(jìn)步驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展1.制程技術(shù)突破是推動(dòng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心動(dòng)力，不斷提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品性能。2.隨著制程技術(shù)縮小，半導(dǎo)體行業(yè)得以持續(xù)發(fā)展，引領(lǐng)技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)升級(jí)。3.先進(jìn)的制程技術(shù)將帶動(dòng)新興產(chǎn)業(yè)的崛起，如人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、5G等。產(chǎn)業(yè)需求引導(dǎo)制程技術(shù)發(fā)展1.產(chǎn)業(yè)發(fā)展對(duì)制程技術(shù)提出更高要求，推動(dòng)制程技術(shù)不斷革新。2.隨著新興產(chǎn)業(yè)的崛起，制程技術(shù)需滿足更高性能、更低功耗的需求。3.市場(chǎng)需求與制程技術(shù)相互促進(jìn)，共同推動(dòng)產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展。制程技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展關(guān)系制程技術(shù)與產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新1.制程技術(shù)進(jìn)步需要與產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同創(chuàng)新，提升整體競(jìng)爭(zhēng)力。2.加強(qiáng)產(chǎn)學(xué)研合作，共同突破關(guān)鍵制程技術(shù)，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)。3.制程技術(shù)與產(chǎn)業(yè)鏈深度融合，形成共生共榮的生態(tài)系統(tǒng)。制程技術(shù)面臨的挑戰(zhàn)與機(jī)遇1.制程技術(shù)進(jìn)步面臨物理極限、成本、技術(shù)壁壘等挑戰(zhàn)。2.新興技術(shù)如碳納米管、二維材料等為制程技術(shù)發(fā)展帶來新機(jī)遇。3.抓住技術(shù)變革的機(jī)遇，推動(dòng)制程技術(shù)突破，引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。制程技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展關(guān)系政策支持與制程技術(shù)發(fā)展1.政府政策對(duì)制程技術(shù)發(fā)展起到關(guān)鍵推動(dòng)作用，提供資金、稅收等支持。2.政策引導(dǎo)企業(yè)加強(qiáng)技術(shù)創(chuàng)新，提升制程技術(shù)水平，增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力。3.加強(qiáng)國(guó)際合作與交流，共同推動(dòng)制程技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)業(yè)發(fā)展。培養(yǎng)人才與制程技術(shù)發(fā)展1.人才是推動(dòng)制程技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵因素，需要加強(qiáng)人才培養(yǎng)和引進(jìn)。2.高校和科研機(jī)構(gòu)應(yīng)加強(qiáng)制程技術(shù)領(lǐng)域的學(xué)科建設(shè)，培養(yǎng)專業(yè)人才。3.企業(yè)應(yīng)重視人才培養(yǎng)，建立激勵(lì)機(jī)制，激發(fā)創(chuàng)新活力。未來制程技術(shù)展望先進(jìn)制程技術(shù)未來制程技術(shù)展望1.納米制程技術(shù)將在未來制程技術(shù)中扮演重要角色，它可以將芯片上的晶體管尺寸縮小到納米級(jí)別，提高芯片的性能和能耗效率。2.納米制程技術(shù)的發(fā)展需要克服許多技術(shù)難題，如刻蝕技術(shù)、材料問題等。3.隨著納米制程技術(shù)的不斷進(jìn)步，芯片制造將更加精細(xì)化，可以帶來更高的性能和更小的體積，為未來的電子設(shè)備帶來更多的可能性。異質(zhì)整合技術(shù)1.異質(zhì)整合技術(shù)可以將不同材料、工藝和器件結(jié)構(gòu)整合在一起，提高芯片的性能和功能性。2.異質(zhì)整合技術(shù)需要解決不同材料之間的兼容性問題，保證整個(gè)芯片的穩(wěn)定性和可靠性。3.隨著異質(zhì)整合技術(shù)的不斷發(fā)展，未來芯片將具有更高的集成度和更復(fù)雜的功能，為各種電子設(shè)備帶來更好的性能和體驗(yàn)。納米制程技術(shù)未來制程技術(shù)展望光子技術(shù)