QCC短路圈會成果報告

QCC短路圈會圈會成員：圈長：賴國城輔導(dǎo)員：黃貴煥圈員：陳俊廷、龔靖城陳溢群、陳建銘方麒銘1任務(wù)進(jìn)度

六月:搜集不良樣本，層別不良緣由。七月:對策實施、數(shù)據(jù)確認(rèn)、對策修正。八月:全品目程度展開。九月:對策數(shù)據(jù)確認(rèn)與修正。

2對策品目選定

依據(jù)每月計劃投入LOT數(shù)及LOT不良率，我們選定兩個對策品目:

FD0475FS0512

3不良現(xiàn)況依據(jù)取樣1142PCS觀察分析，層別出目前FD0475與FS0512主要有以下不良現(xiàn)況:1.銅面上有異物沾附(膜屑)，導(dǎo)致銅材未被氯化銅攻擊2.蝕刻不淨(jìng)3.其他要素

4銅面上異物沾附(膜屑):70.3%5蝕刻不淨(jìng):19.1%(FS0512)

6其他要素:10.6%

7膜屑反沾8問題層別我們將顯像後的製品烘乾，用顯微鏡觀察發(fā)現(xiàn)，有大量膜屑沾附。9觀察顯像後水洗槽的濾網(wǎng)，發(fā)現(xiàn)大量膜屑被帶出。10我們?nèi)?月份週保前後各5LOTs做比對資料來源:ERP週保前日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9日FS05539505-00565073.50%

9505-00566132.00%

9505-00567031.50%

9505-00568031.50%

9505-00569343.50%5月14日FS05939505-02722070.29%

9505-02723030.13%

9505-027240100.42%

9505-02725830.46%

9505-02726040.17%5月21日FS05539505-07155031.50%

9505-07156132.00%

9505-07157222.00%

9505-07158021.00%

9505-07159121.50%

平均LOT不良率:

1.43%11單位:Pcs週保後日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9日FS02829505-01335030.03%

9505-01336060.06%

9505-01337000.00%

9505-01338120.03%

9505-01339030.03%5月14日FS06969505-04280020.10%

9505-04281000.00%

9505-04282020.10%

9505-05265040.20%

9505-05266020.10%5月21日FS06339504-15837000.00%

9504-15838000.00%

9504-15839000.00%

9504-15840010.01%

9504-15841000.00%

平均LOT不良率:

0.04%12故我們假設(shè)呵斥短路LOT不良率差異的緣由為:1.濾袋更換，提高過濾效果。2.藥水更新，提高顯像才干。3.滾輪清潔、降低反沾機(jī)率。13要因分析:膜屑反沾人濾網(wǎng)清洗未落實，濾袋更換未落實。機(jī)過濾效果不佳，滾輪排列設(shè)計不佳。料濾袋、濾網(wǎng)網(wǎng)目過大，法藥水老化，自動定量效果不佳。14對策:1.變更滾輪陳列，減少實心滾輪運用2.添加顯像藥液、濾心濾袋更換頻度3.建浴室建浴程序標(biāo)準(zhǔn)化4.調(diào)整自動添加系統(tǒng)，維持藥水穩(wěn)定15變更滾輪陳列變更前變更後將原有放置於顯像槽與水洗槽間之實心滾輪，變更為輪片式滾輪，減少滾輪與製品接觸面積，降低異物反沾之機(jī)率。將水質(zhì)PH值控制於7.5以上，防止弱酸水質(zhì)與帶出的顯影液再反應(yīng)。16資料來源:ERP單位:Pcs對策前對策後製番批號短路銅殘LOT不良率製番批號短路銅殘LOT不良率9505-099471400.88%9506-00795100.63%9505-099483302.06%9506-00803130.81%9505-09949991.13%9506-0079880.50%9505-099501030.81%9506-00804110.69%9505-099542601.63%9506-0079690.56%9505-099532311.50%9506-00801140.88%9505-099581000.63%9506-03239100.63%9505-09961400.25%9506-03240110.69%9505-099621500.94%9506-03241130.81%9505-099632081.75%9506-0324670.44%9505-099651701.06%9506-03251130.81%9505-0996712111.44%9506-0325370.44%LOT不良率平均:1.17%LOT不良率平均:0.66%總投入:19200pcs總投入:19200pcs我們測試了12LOTS，並與測試前做比對。17變更濾網(wǎng)網(wǎng)目我們將顯像後水洗槽本來運用25網(wǎng)目的濾罐更換為48網(wǎng)目，藉以提高過濾效果。18濾網(wǎng)變更後，仍有大量膜屑帶出分析藥水老化與溶膜量19顯像藥液:DOWN槽後，追蹤其葯液變化發(fā)現(xiàn)，自動添加系統(tǒng)無法維持穩(wěn)定的作業(yè)濃度。取樣時間2006/8/1113:002006/8/1118:30PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.420.96%10.810.84%雙面顯影槽10.530.89%10.850.87%取樣時間2006/8/1207:302006/8/1213:10PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.880.87%10.850.87%雙面顯影槽10.680.83%

週保養(yǎng)取樣時間2006/8/1508:202006/8/1512:30PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.990.96%110.97%雙面顯影槽10.970.99%10.980.92%取樣時間2006/8/1608:502006/8/1615:20PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽11.040.98%11.120.91%雙面顯影槽11.031.00%11.090.89%20根據(jù)DRYFILM供應(yīng)商華立的建議:25um厚度的DRYFLIM藥水實際溶膜量(S)要<0.4m2/L20um厚度的DRYFLIM藥水實際溶膜量(S)要<0.5m2/L依廠內(nèi)生產(chǎn)品目去做估算:0.25m*0.3m*30%(被溶蝕率)*100(張數(shù))=2.25m2/lot1000(槽體積)*0.5=500m21000(槽體積)*0.4=400m2500/2.25=222lots20um厚DRYFILM(單面板)400/2.25=177lots25um厚DRYFILM(雙面板)再導(dǎo)入每班產(chǎn)出量:單面板:70lots/班222/70=3.17班(約1.5天)雙面板:40lots/班177/40=4.43班(約2.5天)21我們依據(jù)華立提供的滴定方法，量測單面板機(jī)臺顯影槽DOWN槽前、後實際溶膜量。

DOWN槽前一日(12:00)取樣滴定S=0.37789DOWN槽後(09:00)取樣滴定S=0.13966DOWN槽後一日(10:00)取樣滴定S=0.31217DOWN槽後一日(16:00)取樣滴定S=0.39432單面蝕刻機(jī)(S<0.5)22添加DOWN槽頻度、濾袋更換頻度。1.先開立暫定條件，添加DOWN槽頻度，提高藥水溶膜才干。2.添加濾袋更換頻度，添加顯像槽過濾才干。23設(shè)定補(bǔ)充秒數(shù)設(shè)定間隔秒數(shù)實際補(bǔ)充秒數(shù)實際間隔秒數(shù)CYCLETIME實際補(bǔ)充量預(yù)估每日補(bǔ)充量中繼次數(shù)1030106070625ml771.43L123420302060801250ml1350L108030303060901980ml1900.8L9601010104050625ml1080L17281020105060625ml900L14401030106070625ml771.43L1234單面蝕刻機(jī)顯象中繼槽作動測試24設(shè)定補(bǔ)充秒數(shù)設(shè)定間隔秒數(shù)實際補(bǔ)充秒數(shù)實際間隔秒數(shù)CYCLETIME實際補(bǔ)充量預(yù)估每日補(bǔ)充量中繼次數(shù)1030106070475ml586.29L12342030206080980ml1058.40L108030303060901450ml1566L9601010104050475ml820.8L17281020105060475ml640L14401030106070475ml586.29L1234雙面蝕刻機(jī)顯象中繼槽作動測試25建浴室:在自動添加的測試中發(fā)現(xiàn)建浴室顯像藥水的調(diào)配程序未被標(biāo)準(zhǔn)化，影響測試的準(zhǔn)確性。26在調(diào)整自動添加量的過程，我們導(dǎo)入了PH值作為顯像藥水老化與否的斷定依據(jù)。條件一、自動添加設(shè)定10秒，間隔10秒單面機(jī)臺:每次補(bǔ)充量625ml，平均PH值為10.57雙面機(jī)臺:每次補(bǔ)充量475ml，平均PH值為10.49條件二、自動添加設(shè)定30秒，間隔30秒單面機(jī)臺:每次補(bǔ)充量1980ml，平均PH值為11.12雙面機(jī)臺:每次補(bǔ)充量1450ml，平均PH值為11.09藥水商給的建議是在PH11以上，而參考旗勝的控制點是設(shè)在PH10.5以上27FD0475LOT不良率資料來源:ERP月份4月5月6月7月8月銅殘1.43820.41120.26980.10110短路0.36441.21180.79960.17290銅殘+短路(Q版)000.09960.5390.6294LOT不良率(合計)1.80261.6231.1690.8130.6294改善效益:28FS0512LOT不良率資料來源:ERP月份4月5月6月7月8月銅殘0.040460.20790.05361.69640.0047短路4.68919.14693.95324.59880.4638銅殘+短路(Q版)000.506402.2325LOT不良率(合計)4.729569.35484.51326.29522.70129八月導(dǎo)入全品目後:TARGET:0.37資料來源:ERP擷取自10月24日止月份4月5月6月7月8月9月10月銅殘0.150.210.10.070.0100短路0.490.670.420.18000銅殘+短路(新制)000.070.390.750.720.59LOT不良率(合計)0.640.880.590.640.760.720.5930蝕刻不淨(jìng)31要因分析:蝕刻不淨(jìng)人蝕刻速度過快未在作業(yè)前做測速動作品目切換未接PET作間隔，直接調(diào)整速度機(jī)平行度平行度未校正，導(dǎo)致製品均勻性不佳擺動機(jī)構(gòu)異常，噴嘴藥液噴灑無法涵蓋製品噴嘴、噴管阻塞或破裂料來料異常銅厚不均法線寬間距DRYFILMDRYFILM與乾膜厚度搭配不佳設(shè)計補(bǔ)正值32平行度校正導(dǎo)入:將平行度校正步驟標(biāo)準(zhǔn)化，並由製技人員測試完成後，再