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超純水行業(yè)相關(guān)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中國國家電子超純水規(guī)格GB/T1146.1-1997級(jí)別EW-ⅠEW-ⅡEW-ⅢEW-Ⅳ電阻率

MΩ·cm（25℃）18

(95%時(shí)間)

不低于1715

(95%時(shí)間)

不低于1312.00.5全硅最大值ug/L210501000>1um微粒數(shù)，最大值個(gè)/ml0.1510500細(xì)菌數(shù)，最大值，個(gè)/mL0.010.110100銅，最大值ug/L0.212500鋅，最大值ug/L0.212500鎳，最大值ug/L0.112500鈉，最大值ug/L0.5251000鉀，最大值ug/L0.525500氯，最大值ug/L11101000硝酸根，最大值ug/L1110500磷酸根，最大值ug/L1110500硫酸根，最大值ug/L1110500總有機(jī)碳，最大值ug/L201002001000美國純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

（美國計(jì)量測(cè)試學(xué)會(huì)ASTM純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)，1983）

序號(hào)水質(zhì)項(xiàng)目單位E-ⅠE-ⅡE-ⅢE-Ⅳ1電阻率，25℃MΩ.cm181520.52二氧化硅（全）μg/l51010010003微粒（粒徑≥1μm）個(gè)/ml251005004微生物個(gè)/ml110501005有機(jī)物TOCμg/l50200100050006銅Cuμg/l21010010007氯Clμg/l2101005008鉀Kμg/l11020010009鈉Naμg/l110200100010鋅Znμg/l52020050011總固體μg/l1050美國半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)

項(xiàng)目Ⅰ級(jí)Ⅱ級(jí)Ⅲ級(jí)Ⅳ級(jí)殘?jiān)?，mg/L0.10.30.30.5TOC，mg/L0.020.050.100.40顆粒，粒/L500100025005000細(xì)菌數(shù)，個(gè)100mL061050活性硅SiO2，μg/L351040電阻率MΩ·cm18.317.917.517.0陽離子，μg/L0.22.05.0*鋁Al3+0.22.05.0*銨NH4+0.30.30.5*鉻Cr6+0.020.10.5*鐵Fe3+0.020.10.2*銅Cu2+0.020.10.5*錳Mn2+0.050.51.0*鉀K+0.10.31.04.0鈉Na+0.050.21.05.0鋅Zn2+0.030.10.5*陰離子，μg/L0.10.10.3*溴Br-0.10.10.3*氯Cl-0.050.20.8*亞硝酸根NO2-0.050.10.3*硝酸根NO3-0.10.10.5*磷酸根

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