ERT基礎(chǔ)-ERT概論課件

Sep2006ERT(緊急應(yīng)變小組）

概論——ERT基礎(chǔ)課程緊急應(yīng)變訓(xùn)練課程種類1.ERT基礎(chǔ)訓(xùn)練ERT概論ERC介紹危害物認(rèn)知火災(zāi)原理與消防系統(tǒng)2.ERT進(jìn)階訓(xùn)練意外事故指揮系統(tǒng)醫(yī)護(hù)急救訓(xùn)練緊急應(yīng)變器材介紹沙盤推演緊急應(yīng)變訓(xùn)練課程種類3.ERT指揮系統(tǒng)訓(xùn)練緊急應(yīng)變組織與程序事故指揮官系統(tǒng)ERC介紹沙盤推演ERT概論主要危害Significantriskandhazard芯片制造廠的火災(zāi)危害高資產(chǎn)、高產(chǎn)能；危險集中使用種類繁多的溶劑、化學(xué)品與危險性氣體大量的塑料制品大量的電氣與加熱設(shè)備氧氣供應(yīng)快速充裕

寬闊的密閉式空間

潔凈室的火災(zāi)特性與潛在危險局部性的小火災(zāi)或意外事故可能全面性的導(dǎo)致潔凈室嚴(yán)重的污染與巨額的財產(chǎn)、營業(yè)中斷損失Flammable/PyrophoricGasorChemicalFlammable/Pyrophoricgas:

CH4DCSH2,SiH4，Si2H6Combustiblechemical:

IPADeveloperAcetone

EKC光阻液etc.案例日月光大火13:47發(fā)生大火第一時間：死亡4人；2人受傷（最后澄清為6人受輕傷，1人受重傷）直接損失2.5億人民幣，間接損失可能達(dá)25億人民幣；財務(wù)長與總經(jīng)理出來對事故說明自身的損失顧客產(chǎn)品的損失違法罰款民眾求償復(fù)工沒有時間表Case2:法國PhilipsFAB火災(zāi)防火區(qū)劃3rdFloor（保持一開一閉）2ndFloor（保持常閉）Fab區(qū)域2F/3F分別為一個防火區(qū)劃火警警報系統(tǒng)

火警探測器室內(nèi)消火栓火警監(jiān)視器火警探測器的警報airsamplesmokeultraviolet

infraredheatsprinklerIncipientfireVisibleSmokeFlamesIntensiveHeatSMOKEDENSITY芯片制造廠的危害特性(二）有害氣體ExamplesofGasCategoryInertroom:0.5%O2/He20%O2/N2C2F6CF4CO21.2%Kr/Ne30%O2/HeC4F8CHF3SF6Toxic/Flammable:4%H2/N2CH3FN2ONOCH2F2

CH4/ArNF3DCSCorrosive:Cl2F2/Kr/NeHClSiF4ClF3HBrNH3Pyrophoric:1%PH3/N2CO5%PH3/N2SiH4FAB2F:BCl3WF6C5F8HFF2\N2氣體供應(yīng)系統(tǒng)特殊氣體Specialgas大宗氣體Bulkgas毒性/可燃?xì)怏w：ClF3/CH4腐蝕性氣體：HCl、NH3自燃性氣體：SiH4、PH3低蒸汽壓氣體：WF6、C5F8惰性氣體：C4F8、CHF3氧氣O2氮氣N2氬氣Ar氫氣H2氦氣HeCDA、HPCDASpecialgas特殊氣體供應(yīng)流程簡圖FAB1FRaisedfloorValveBox制程機(jī)臺VMB/P氣瓶柜

ExhaustPumpLocalscrubberFAB2FFAB3Fgasroom氣體偵測系統(tǒng)氣體采樣氣體泄漏信號氣體分析氣體可能泄漏源（1）GasCabinet采樣點氣體可能泄漏源(3)機(jī)臺GasBox采樣點其他氣體可能泄漏源(4)Pipes/TubesPumpToolsGasroom、CW2與高架地板下有環(huán)境采樣點芯片制造廠的危害特性（三）液態(tài)化學(xué)品ChemicalPropertiesFab11FPOUVMB0.05umfilter12000LFab12FFab13FPUMPFlowChart(CDS)ofChemicalSupply12000L300L300LN2Tool可能泄漏源(1)ChemicalTank泄漏偵測器可能泄漏源(2)CleanUnit泄漏偵測器可能泄漏源(3)VMB泄漏偵測器其他可能泄漏源Chemicalpipes雙套管芯片制造廠的危害特性（四）危害物質(zhì)不易排除氣體可能泄漏源（2）VMBVMP/非有害氣體采樣點

Clean-roomairreturnsystemMUAMixedstationFFUpartitionMUA

FFU

FFURaisedfloorTOOLTOOLTOOLTOOLfloorCeilingDrycoolingcoilClean-roomSub-FAB法律法規(guī)的要求---緊急應(yīng)變中國安全生產(chǎn)法第五章生產(chǎn)安全事故的應(yīng)急救援與調(diào)查處理規(guī)定第六十九條危險物品的生產(chǎn)、經(jīng)營、儲存單位以及礦山、建筑施工單位應(yīng)當(dāng)建立應(yīng)急救援組織；FM7-7中2.3.2要求半導(dǎo)體廠在每一班都應(yīng)有ERT人員,ERT人員應(yīng)按期訓(xùn)練包括火災(zāi),氣體泄漏,化學(xué)品事故緊急應(yīng)變,

ERT人員應(yīng)熟悉各系統(tǒng)緊急狀況處理方法,并能對如地震,洪水等事故做好應(yīng)變準(zhǔn)備。

緊急應(yīng)變政策1.生命保護(hù)

2.環(huán)境保護(hù)

3.資產(chǎn)保護(hù)

4.生產(chǎn)復(fù)原事件氣體警報火警警報化學(xué)品泄漏異味停電地震其它策略救援防止曝露圍堵排除危害換氣

監(jiān)測復(fù)原資源

軟件硬件

ERT

ERC

廠務(wù)小組氣體偵測處理小組緊急空調(diào)

疏散小組火警系統(tǒng)

急救小組地震保護(hù)

搜巡小組個人防護(hù)

全球半導(dǎo)體工廠1977-1997安全事故統(tǒng)計爆炸5%其他26%氣體外泄22%火災(zāi)47%意外事故等級判斷標(biāo)準(zhǔn)★此等級劃分僅用來作為成立緊急應(yīng)變指揮系統(tǒng)層級的判定標(biāo)準(zhǔn)。緊急應(yīng)變組織(保安人員)1.若數(shù)種意外事故同時發(fā)生,則依火災(zāi)

氣體外泄

化學(xué)品泄漏

電力中斷次序，以較前者認(rèn)定事故指揮官。2.虛線框內(nèi)表一、二級意外事故的最大應(yīng)變組織；全圖表示三、四級意外事故的最大應(yīng)變組織。(FAC)(財務(wù)處)(工安單位)二級以下意外事件財務(wù)人員計劃人員(健康中心)事故指揮官ERC救災(zāi)小組廠務(wù)小組急救小組疏散小組管制小組公關(guān)人員總負(fù)責(zé)人(FAB區(qū)域:MFG部經(jīng)理)(權(quán)責(zé)單位及支持單位工程人員)(工安環(huán)保單位及相關(guān)單位)(指揮官直屬主管)(事故責(zé)任區(qū)單位主管)三、四級意外事件各類意外事件等級判定標(biāo)準(zhǔn)-火災(zāi)

等級狀況判定標(biāo)準(zhǔn)1燒焦味或火警警報2a.冒煙起火且初判可以在短時間(<5分鐘)內(nèi)控制b.單一機(jī)臺或設(shè)備起火,且所產(chǎn)生之煙熱在人員未穿著防護(hù)具下,初判短時間(<5分鐘)內(nèi)可以忍受c.小面積或局限區(qū)域(<2平方公尺)之起火,火勢尚未蔓延擴(kuò)散,且所產(chǎn)生之煙熱在人員未穿著防護(hù)具下,初判短時間(<5分鐘)內(nèi)可以忍受3a.二個以上機(jī)臺或設(shè)備起火或大面積(>2平方公尺)起火,火勢正蔓延擴(kuò)散,但所產(chǎn)生之煙熱在人員穿著防護(hù)具下,ERT人員可以安全進(jìn)入現(xiàn)場救災(zāi)b.二級狀況處置10分鐘后仍未受到有效控制c.一人(含)以上受傷且需送醫(yī)治療4a.大面積起火且火勢已蔓延擴(kuò)散,且所產(chǎn)生之煙熱在人員穿著防護(hù)具下,ERT人員進(jìn)入現(xiàn)場救災(zāi)有困難或有危險b.三級狀況處置15分鐘后仍未受到有效控制c.罹災(zāi)人數(shù)三人(含)以上,經(jīng)醫(yī)務(wù)室判定需送醫(yī)急救d.發(fā)生死亡災(zāi)害各類意外事件等級判定標(biāo)準(zhǔn)-氣體泄漏

等級狀況判定標(biāo)準(zhǔn)1a.異味或類似有害氣體之異味b.氣體警報濃度介于第一段和第二段警報值之間c.惰氣氣體泄漏,1小時內(nèi)可有效控制漏源，并未造成生產(chǎn)中斷2a.氣體警報濃度達(dá)到第二段警報值,1小時內(nèi)可確認(rèn)警報原因并有效控制漏源b.惰氣氣體泄漏,1小時內(nèi)無法有效控制漏源，或造成生產(chǎn)中斷3a.氣體警報濃度達(dá)到第二段警報值,1小時內(nèi)無法確認(rèn)警報原因或有效控制漏源b.有害氣體管路松脫或斷掉，造成大量泄漏c.一人(含)以上受傷且需送醫(yī)治療4a.危害性氣體警報濃度達(dá)到第二段警報值,無法立即控制,且有泄漏至廠外之慮b.罹災(zāi)人數(shù)三人(含)以上,經(jīng)醫(yī)務(wù)室判定需送醫(yī)急救,或發(fā)生死亡災(zāi)害TLV的概念：ThresholdLimitedValue（恕限值、恕限量），空氣中的物質(zhì)濃度，在此情況下認(rèn)為大多數(shù)勞工每天呼吸8小時，每周五天，終其一生不至有健康危害或不可逆生理反應(yīng)。針對SMIC使用的健康危險制程物質(zhì)：氣體泄漏警報設(shè)定原則Level1warningLevel2alarm環(huán)境點或氣瓶柜0.5TLV1TLVVMB或機(jī)臺Valvebox1TLV2TLV各類意外事件等級判定標(biāo)準(zhǔn)-化學(xué)品泄漏

等級狀況判定標(biāo)準(zhǔn)1

a.異味(類似酸或溶劑味)

b.小于IPA溶劑偵測值的第二階段警報值

c.化學(xué)品泄漏或翻灑，未造成生產(chǎn)中斷2

a.非易燃性化學(xué)品大量泄漏，現(xiàn)場人員無法繼續(xù)工作

b.強(qiáng)烈異味導(dǎo)致人員無法忍受，或達(dá)到IPA溶劑第二階段警報值

c.員工受傷需送至醫(yī)務(wù)室治療3

a.易燃性化學(xué)品管路松脫、斷管或大量泄漏

b.一人(含)以上受傷且需送醫(yī)院治療4

a.因化學(xué)品外泄造成一人以上住院治療

b.罹災(zāi)人數(shù)三人(含)以上,經(jīng)醫(yī)務(wù)室判定需送醫(yī)急救

c.發(fā)生死亡災(zāi)害各類意外事件等級判定標(biāo)準(zhǔn)-其他

狀況判定標(biāo)準(zhǔn)a.安全系統(tǒng)運(yùn)作停止6小時以上b.三人以上受傷且需送醫(yī)院治療c.員工意外死亡d.地震,震度在六級以上

4無預(yù)警之電力失效，在10分鐘以上安全系統(tǒng)運(yùn)作停止，6小時以內(nèi)可恢復(fù)系統(tǒng)運(yùn)作b.員工意外受傷且需送醫(yī)院治療d.地震,震度在五至六級(含)3a.無預(yù)警之電力失效，在10分鐘以內(nèi)恢復(fù)b.安全系統(tǒng)運(yùn)作停止，2小時以內(nèi)可恢復(fù)系統(tǒng)運(yùn)作c.大量漏水,20分鐘內(nèi)無法控制漏源，或造成生產(chǎn)中斷e.地震,震度在四至五級(含)2a.無預(yù)警之電力失效，在3秒鐘以內(nèi)立即恢復(fù)b.安全系統(tǒng)運(yùn)作停止，3分鐘以內(nèi)可恢復(fù)系統(tǒng)運(yùn)作c.大量漏水,20分鐘內(nèi)可控制漏源且未造成生產(chǎn)中斷d.地震,震度在四級(含)以下1等級氣體偵測系統(tǒng)警報指示燈

GasSensor