工業(yè)行業(yè)專題研究：XR產業(yè)鏈機械設備新機遇

免責聲明和披露以及分析師聲明是報告的一部分，請務必一起閱讀。工業(yè)XR產業(yè)鏈機械設備新機遇工業(yè)XR產業(yè)鏈機械設備新機遇華泰研究專題研究2024年1月05日│中國內地專題研究蘋果VisionPro發(fā)售在即，XR產品迭代有望催生機械設備新機遇XR市場當前已初具規(guī)模，消費者形成一定產品認知，蘋果即將發(fā)售的VisionPro產品性能行業(yè)領先，厚積薄發(fā)有望引領XR行業(yè)發(fā)展。VisionPro作為蘋果在XR領域中的重磅產品，其硬件不斷迭代或催生機械相關設備新機遇。分環(huán)節(jié)來看，微顯示屏制備過程所需設備主要為Micro-OLED制備用到的光刻/刻蝕設備、蒸鍍設備、貼合綁定設備、檢測設備等；光學模組部分加工設備主要包括3PPancake制備過程中的貼膜設備及檢測設備；交互方面主要涉及攝像頭檢測設備及瞳距調節(jié)的機械結構；集成部分涉及整機組裝環(huán)節(jié)所需的自動化組裝設備。顯示屏：國產蒸鍍機不斷突破，檢測設備國產供應鏈成熟VisionPro搭載Micro-OLED屏幕，Micro-OLED采用集成電路CMOS工藝結合OLED技術，其制程包括：1）陽極制造及陽極圖案化：需金屬濺射成膜設備，晶圓清洗設備、光刻膠涂覆設備、曝光設備、顯影去膠設備、烘烤等設備，國內廠商尚在技術突破；2）有機發(fā)光層制備：核心環(huán)節(jié)為蒸鍍工藝，佳能Tokki等外資企業(yè)壟斷蒸鍍機市場。Micro-OLED發(fā)展為小型蒸鍍機帶來機會，有助于國產企業(yè)彎道超車；3）模組過程：Bonding設備和貼合設備目前國內技術方案已較為成熟；4）檢測設備：貫穿Micro-OLED制備各環(huán)節(jié)，模組段檢測設備國產化程度較高。機械設備專用設備機械設備專用設備研究員研究員SACNo.S0570522100004SFCNo.BTM566研究員nizhengyang@+(86)2128972228SACNo.S0570522110002SFCNo.BTM901shijunqi@+(86)2128972228行業(yè)走勢圖專用設備(%)機械設備專用設備(%)滬深3005(2)(9)(16)Aug-23May-23DecAug-23May-23Dec-23資料來源：Wind，華泰研究光學模組：Pancake制備過程中貼膜設備與檢測設備為核心VisionPro搭載3PPancake光學模組，實現(xiàn)輕量化及更優(yōu)質的成像質量。Pancake制備的核心難點在于鏡頭和折疊光路復合光學膜（半透半反膜、四分之一波片(QWP)和反射偏振膜(RP)）的貼合。根據蘋果專利，3PPancake制備需曲面貼膜，工藝難度較大，容易邊緣褶皺和翹起，良率較低。高精度貼膜設備起到關鍵的效率和良率提升作用。檢測設備為光學模組品控關鍵，MR生產線配備Pancake鏡片功能檢測設備和外觀檢測設備，光學性能檢測設備需廠商在光學設計、視覺算法及運動控制等領域多年技術積累；外觀檢測方案目前已較成熟，以AOI方式為主。眼動追蹤需標定檢測，瞳距調節(jié)依賴機械傳動，F(xiàn)ATP設備國產化率較高VisionPro使用紅外相機+LED泛光源支撐眼動追蹤、虹膜識別、Eyesight功能。眼動追蹤攝像頭標定檢測難度較大，眼動追蹤普及有望帶動相關標定測試設備需求。瞳距調節(jié)帶來更清晰的視覺體驗，未來電驅自動雙目獨立無極調節(jié)有望成為各產品標配。根據蘋果瞳距調節(jié)相關專利，其調節(jié)模組由微型電機/導軌/滑塊組成，可完成雙目獨立電動無極調節(jié)。MR頭顯設備構成要素眾多，F(xiàn)ATP（FinalAssemblyTest&Package）環(huán)節(jié)需在輕薄化要求下集成更多零部件，檢測和組裝需求嚴格，目前國內組裝檢測設備已獲大客戶認可。風險提示：技術路徑仍不確定，VisionPro產品銷量不及預期。本研報中涉及到未覆蓋個股內容，均系對其客觀公開信息的整理，并不代表本研究團隊對該公司、該股票的推薦或覆蓋。免責聲明和披露以及分析師聲明是報告的一部分，請務必一起閱讀。XR有望開啟空間計算新時代，產品迭代或催生機械設備新機遇 3蘋果VisionPro發(fā)售在即，有望助推XR開啟空間計算新時代 3XR產業(yè)鏈相關設備迎來新機遇，Micro-OLED/光學模組加工設備有望受益 5顯示屏：國產蒸鍍機不斷突破，檢測設備國產供應鏈成熟 6陽極像素點制備：硅基襯底提升難度，光刻機與刻蝕機亟待突破 7有機發(fā)光層制備：蒸鍍設備為核心，國產蒸鍍機不斷突破 8模組過程：Bonding設備和貼合設備目前國內技術方案已較為成熟 檢測設備：貫穿Micro-OLED制備各環(huán)節(jié)，模組段檢測設備國產化程度高 12光學模組：Pancake制備過程中貼膜設備與檢測設備為核心 14鍍膜/貼膜設備：光學膜片疊加貼覆為Pancake制備難點 15Pancake檢測設備：光學性能檢測算法較復雜，外觀檢測方案較成熟 17傳感系統(tǒng)：眼動追蹤需標定檢測，瞳距調節(jié)模組依賴機械傳動 19傳感器檢測設備需求多維，眼動追蹤需攝像頭配合且標定檢測決定精度 19瞳距調節(jié)依賴傳感器及位移機械結構 20FATP設備國產化率較高，激光/機床等加工設備有望迎來新增量 22報告提及公司 23風險提示 23XR有望開啟空間計算新時代，產品迭代或催生機械設備新機遇XR市場初具規(guī)模且消費者形成一定認知，蘋果厚積薄發(fā)有望引領XR行業(yè)發(fā)展。擴展現(xiàn)實技術（ExtendedReality，XR）泛指通過計算機制作、顯示與交互技術等軟硬件條件，所創(chuàng)作的一個真實與虛擬結合、可人機交互的環(huán)境，包括VR、AR及MR。從2012年Oculus推出首款VR產品RiftDK1開始，各大公司陸續(xù)推出相應的VR產品，但因為硬件效果不及預期，內容生態(tài)受限等原因，普及率仍然較低，但大眾消費者對VR產品認知逐漸提升，逐漸明確需求方向。蘋果在此期間充分積累，十年間積累多項虛擬技術專利，收購多家動作捕捉、眼球追蹤、增強現(xiàn)實、混合現(xiàn)實等領域的創(chuàng)業(yè)公司，在硬件配置、操作系統(tǒng)和內容應用等領域取得顯著優(yōu)勢。圖表1：XR市場初具規(guī)模且消費者形成一定認知資料來源：各公司官網，華泰研究VisionPro產品力目前行業(yè)領先。根據蘋果WWDC2023，VisionPro硬件方面配置領先行業(yè)其他競品。芯片方面，VisionPro預計將搭載自研雙芯片，采用M2+定制R1芯片的組合；屏幕方面，采取內置Micro-OLED+外置弧形OLED配置。內置主顯示屏采用Micro-OLED，單眼分辨率達到4K，為目前市場上首次出現(xiàn)的使用Micro-OLED實現(xiàn)雙目8K效果的產品，達到極致清晰顯示；外置采用OLED屏幕，可實時顯示用戶的眼神與神態(tài)；光學模組方面，采用3PPancake方案，兼具高清晰度、通透度和輕重量，提供最佳平衡的光學體驗與佩戴體驗；交互方面，個）、5個傳感器、6個麥克風，支持眼動+手部追蹤，可實現(xiàn)空中打字、虹膜掃描等功能。免責聲明和披露以及分析師聲明是報告的一部分，請務必一起閱讀。器XR2+Gen1刷新率案超短焦視場角105°直110°105°-140°557案饋振動等觸覺反饋視蹤蹤蹤性量節(jié)資料來源：各公司官網，VR陀螺公眾號，新浪VR，華泰研究Visionpro一代發(fā)售在即且預計二代2025年問世，有望引領XR設備接棒智能手機開啟消費電子新時代。據《科創(chuàng)板日報》報道，蘋果公司在2023年12月正式量產第一代VisionPro，首批備貨40萬臺左右，2024年的銷量目標100萬臺，第三年達到1000萬臺；蘋果VisionPro中國內地供應鏈比例已經大幅度提高至60%左右。第二代VisionPro將于2024年二季度開始打樣，最快有望于2025年下半年問世，或將推出平價版設備。VisionPro有望開啟3C新周期，遠期市場空間可期。資料來源：蘋果WWDC2023，華泰研究資料來源：蘋果WWDC2023，華泰研究XR產業(yè)鏈相關設備迎來新機遇，Micro-OLED/光學模組加工設備有望受益以VisionPro為代表的XR設備硬件部分主要包括芯片、微顯示屏、光學模組、傳感器等部分，加工過程設備需求多樣。VisionPro作為蘋果在XR領域中的重磅產品，其硬件不斷迭代或催生機械相關設備新機遇。分環(huán)節(jié)來看，微顯示屏部分所需設備主要為Micro-OLED制備過程中用到的光刻/刻蝕設備、蒸鍍設備、貼合綁定設備、檢測設備等；光學模組加工設備主要包括3PPancake制備過程中的貼膜設備及檢測設備；交互方面，硬件設備主要涉及攝像頭標定檢測設備以及瞳距調節(jié)的機械結構；最后為整機組裝環(huán)節(jié)所需的自動化組裝設備。產業(yè)鏈相關公司包括：奧來德(蒸發(fā)源設備）、華興源創(chuàng)(面板檢測設備)、易天股份(硅基OLED貼合設備)、杰普特(Pancake功能檢測)、榮旗科技(Pancake鏡片外觀檢測設備)、智立方(攝像頭等傳感器檢測)、科瑞技術(眼球追蹤標定測試設備)、博眾精工(組裝設備)、視涯科技(硅基OLED屏幕，未上市)等。資料來源：各公司官網，華泰研究顯示屏：國產蒸鍍機不斷突破，檢測設備國產供應鏈成熟蘋果VisionPro搭載Micro-OLED屏幕實現(xiàn)高精度顯示效果。蘋果VisionPro的外屏為柔性AMOLED，內屏搭載兩塊1.42英寸MicroOLED顯示屏。內屏的MicroOLED顯示屏為產品亮點，為沉浸式體驗提供基礎。據蘋果官方的數據，VisionPro搭載的一組Micro-OLED顯示屏像素密度約為3400PPI，擁有2300萬像素，是目前業(yè)界量產產品能達到的最高水平。相較于其他技術路徑，Micro-OLED顯示屏具有自發(fā)光、能耗低和體積小等特性，可實現(xiàn)更高色域、分辨率及發(fā)光效率等優(yōu)勢，天然適配于近眼顯示設備。索尼Micro-OLED研發(fā)時間較早，技術成熟；國內廠商方面，視涯科技在12寸Micro-OLED屏幕上處于領先地位，據TheInformation報道，蘋果公司目前正在測試其產品。Fast-LCDMicroOLEDMicroLED光源實現(xiàn)需要背光源體積大小小分辨率<1,500dpi1,500-3,000dpi3,000dpi反應速度RT<5msRT<0.1msRT:ns對比度200:110000:1100000:1一般好好亮度3,000nits1000-6000nits100000nits光源利用率低高高工作溫度0-60度-50-70度-100-120度壽命長中長功耗高低低成熟度高低成本低中高資料來源：《硅基有機電致發(fā)光微顯示關鍵技術研究》(徐洪光，2013)，MicroDisplay公眾號，radiantvisionsystems，華泰研究Micro-OLED是CMOS技術與OLED技術的緊密結合，生產工藝較復雜。Micro-OLED（硅基OLED）采用集成電路CMOS工藝結合OLED技術，是一種以單晶硅半導體為襯底，集成千萬個晶體管構成CMOS驅動電路，在CMOS驅動電路上蒸鍍OLED有機材料，可實現(xiàn)高分辨率和微小尺寸的主動式有機發(fā)光二極管顯示器件。其中CMOS技術使用光刻工藝、CMP工藝等，濕法制成較多，而OLED技術則主要采用真空蒸鍍技術工藝，以干法制程為主。兩者皆專業(yè)且復雜，將兩者集成于同一器件之中，對于工藝技術要求非常嚴苛。Micro-OLED器件制造主要包含以下步驟實現(xiàn)：（1）硅基背板設計與制造：IC設計廠商負責設計芯片，面板廠商負責設計像素電路，最后交于晶圓代工廠進行集成制造；（2）陽極像素點制備：首先將金屬陽極層制備于基板上，包括陽極材料的成膜及其圖案化，涉及較多濕法制程；（3）有機發(fā)光器件制作+薄膜封裝：有機發(fā)光層制備需要完成空穴注入/傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸/注入層的蒸鍍過程，最后制作透明陰電極；之后利用PECVD或者ALD工藝在發(fā)光模塊上制備致密薄膜，避免其與空氣中的水氧接觸而變質；（4）彩色化與封裝：通過涂膠、曝光、顯影等步驟制作MicroOLED需要的R、G、B三原色圖形，并與玻璃蓋貼合完成封裝；（5）模組工藝：將完成上述流程的器件切片、測試并與顯示系統(tǒng)綁定貼合形成模組。資料來源：《超還原硅基有機發(fā)光微顯示器研究》（季淵，2012），華泰研究設計和制作硅基OLED微顯示器的關鍵技術之一是處于CMOS工藝和OLED工藝結合處的像素圖案化工藝。硅基微顯示器CMOS電路頂層為像素圖形導電層，一般采用化學機械拋光（CMP）等金屬鏡面化工藝加強其表面平整度，然后在該層上制作像素陽極介質層，完成陽極像素點制作，制備過程主要包括金屬鍍膜、光刻等工序。金屬鍍膜工序指金屬陽極濺射成膜形成陽極圖形導電層，起到連接硅片驅動電路和OLED有機發(fā)光層的作用。硅基OLED微型顯示器像素點尺寸及像素間距較小，對于顯示器像素點的制作工藝有較高要求，硅基OLED像素點制作以光刻為主要技術手段，光刻工序將顯示器像素圖形從掩膜版轉移到硅片上，確定顯示器尺寸大小和對位標記。光刻技術直接影響到顯示器的像素點結構和質量，進而影響硅基OLED微型顯示器的光電特性和壽命。資料來源：《超還原硅基有機發(fā)光微顯示器研究》（季淵，2012），華泰研究像素陽極制程中相關設備壁壘高，國內廠商尚在技術突破中。硅基OLED陽極制造需要金屬濺射成膜設備，陽極圖案化則涉及晶圓清洗設備、光刻膠涂覆設備、曝光設備、顯影去膠設備、烘烤等設備。其中核心設備光刻機、刻蝕機等，主要被ULVAC、東京電子、AKT（應用材料子公司）、尼康、佳能等日本和美國的半導體設備供應商所壟斷，目前國內相關設備技術仍有待提高，當前主要依賴進口，國產化率較低。真空濺射鍍膜與真空蒸發(fā)鍍膜、真空離子鍍膜都屬于PVD(物理氣相沉積)技術。真空濺射鍍膜機可以濺射大部分材料，尤其是高熔點、低蒸氣壓元素和化合物。國內多種技術路線的濺射設備仍在不斷突破中。資料來源：ASML官網，華泰研究資料來源：廣東振華科技股份有限公司公眾號，華泰研究有機發(fā)光層制備是OLED特有環(huán)節(jié)，核心環(huán)節(jié)為蒸鍍工藝。有機發(fā)光層包含空穴注入/傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸/注入層，在外電場作用下，空穴和電子相向運動形成激子，激子經過弛豫、擴散等過程發(fā)出光。有機發(fā)光層使得OLED可直接產生光，無需背光源。有機發(fā)光層制備的核心為蒸鍍工藝，蒸鍍工藝將多層有機發(fā)光材料依次蒸鍍至驅動背板晶圓，即在制作完陽極的硅片上蒸鍍空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層、陰極層在內的多層有機發(fā)光材料薄膜，從而得到能夠自發(fā)光的OLED器件結構，過程中有機發(fā)光材料的選擇、蒸鍍膜厚、結構的搭配直接決定了硅基OLED產品的亮度、色域、畫面的均勻性等性能指標。有機發(fā)光層制備主要包括三個環(huán)節(jié)：1）有機材料蒸鍍：有機發(fā)光層蒸鍍指在高真空的環(huán)境下通過電流加熱的方法將有機材料氣化，氣化后的分子或者原子碰撞到基片表面凝結形成薄膜。2）陰極金屬層蒸鍍：采用與有機材料蒸鍍同樣的設備（一個蒸鍍設備不同腔體）和類似工藝，被蒸發(fā)的材料為Mg、Ag等。3）薄膜封裝：OLED器件薄膜封裝是對制作電極和各有機薄膜功能層后的基片進行蓋板封裝，在OLED器件上加一個后蓋板，有效防止OLED的各功能模塊與空氣中的水氧等成分發(fā)生反應。資料來源：奧來德招股說明書，華泰研究資料來源：MicroDisplay公眾號，華泰研究蒸鍍設備為OLED有機發(fā)光層制備的核心設備，直接影響產品良率和質量。OLED有機發(fā)光層及輔助功能層的制備方法主要有真空蒸鍍法和噴墨打印法，前者是目前中小尺寸面板量產使用的主要技術，后者技術尚未成熟、未形成產業(yè)化。真空蒸鍍法需蒸鍍機創(chuàng)建真空環(huán)境并對有機發(fā)光材料加熱，使之氣化變成氣態(tài)分子，穿過FMM(精細金屬掩模版)而沉積在硅基片上，形成圖案化的有機薄膜，從而實現(xiàn)屏幕的發(fā)光效果。一般AMOLED面板需蒸鍍十余層有機材料，蒸鍍厚度和均勻度需控制在納米級精度，直接決定OLED面板發(fā)光效率、顯示顏色、良品率等。因此蒸鍍機是OLED屏幕生產的核心設備，也是影響OLED屏幕品質的關鍵因素。蒸發(fā)源為蒸鍍機核心配件。OLED真空蒸鍍設備通常由蒸發(fā)源、真空腔體、真空抽氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、基板夾持裝置等組件構成，其中真空抽氣系統(tǒng)由（超）高真空泵、低真空泵、排氣管道和閥門等組成，真空腔體由蒸發(fā)源、晶振片及掩膜板等組成。真空腔體內設有多個放置有機材料的蒸發(fā)源并左右移動，用來加熱有機材料使之氣化蒸發(fā)并沉積至基板上成薄膜。蒸發(fā)源作為進行蒸鍍的核心組件，其性能決定蒸鍍過程中的鍍膜厚度和均勻度，可視作蒸鍍設備的“心臟”。蒸發(fā)源根據形狀不同可以分為點源、線源、面源，其中點源一般用于實驗室制備器件，面源工藝尚未規(guī)模產業(yè)化，線源工藝是目前OLED面板制造的主流設備工藝。資料來源：iVacuum真空聚焦，華泰研究圖表14：蒸發(fā)源可視作蒸鍍設備的“心臟”資料來源：奧來德招股說明書，華泰研究佳能Tokki等外資企業(yè)壟斷蒸鍍機市場，國內企業(yè)積極布局。全球OLED蒸鍍機主要生產企業(yè)包括日本佳能特機株式會社（CanonTokki）、韓國SunicSystem公司、美國RGBMicro公司等。日本佳能Tokki為全球最大OLED蒸鍍機生產商，2018年蒸鍍機市場市占率達90%，業(yè)界普遍采用CanonTokki蒸鍍機作為6代線量產設備，包括三星、京東方、LG、維信諾等大型面板廠商。中國企業(yè)OLED蒸鍍機規(guī)?；a能力尚不成熟，但已有產品研發(fā)成功。合肥欣奕華科技有限公司2019年成功研發(fā)OLED屏幕蒸鍍機，蒸鍍誤差控制在1.5微米以內，且可在不更換零件條件下連續(xù)工作數千小時。奧來德研發(fā)生產蒸發(fā)源設備，公司蒸發(fā)源設備為目前國內唯一能夠適配Tokki蒸鍍機的產品。設備類型設備類型主要企業(yè)主要企業(yè)20182018年市場占有率OLED蒸鍍設備佳能Tokki90%曝光機佳能、尼康90%薄膜沉積設備美國Anelva、應用材料70%AOIAOI設備以色列以色列奧寶科技奧寶科技50%50%資料來源：奧來德招股說明書，華泰研究蒸發(fā)源設備銷售3.02.52.00.50.020182019202020212022資料來源：奧來德公司公告，華泰研究Micro-OLED發(fā)展為小型蒸鍍機帶來機會，有助于國產企業(yè)彎道超車。Micro-OLED蒸鍍工藝主要集中在8英寸和12英寸硅晶圓上，蒸鍍面積小，Micro-OLED相對OLED所需蒸鍍機更小，200mm×200mm的OLED蒸鍍封裝設備即可滿足制造要求，無需追求高世代產線。中國企業(yè)集中于中小型OLED蒸鍍機的研發(fā)及生產，奧來德布局小型蒸鍍機/硅基OLED蒸鍍機等設備，合肥欣奕華、蘇州方昇光電股份有限公司都已研發(fā)出G1代OLED蒸鍍機（基板尺寸200mmX200mm或8英寸硅片）。根據方昇光電官方公眾號，其G1代OLED蒸鍍機與進口裝備相比可為企業(yè)節(jié)約30-50%的成本。國產蒸鍍機企業(yè)有望憑借性價比優(yōu)勢切入Micro-OLED生產線。蒸鍍機技術壁壘高單機價值量較大，小型蒸鍍機大型產品價格差距較大。根據OLEDindustry，三星顯示和Canontokki2023年商談面向IT的第8代OLED蒸鍍機的價格為9700億韓元（約合人民幣53.6億元單機價值量較大；而根據SunicSystem于6月19日公告，其與視涯科技簽訂了提供Micro-OLED蒸鍍設備的合同，訂單金額為2515萬美元（約合人民幣1.8億元相較用于傳統(tǒng)OLED蒸鍍機價格明顯下降。資料來源：方昇光電官方公眾號，華泰研究資料來源：合肥工會，華泰研究模組過程：Bonding設備和貼合設備目前國內技術方案已較為成熟模組段技術壁壘相對較低，綁定和貼合為模組段制程中的核心設備。傳統(tǒng)AMOLED器件在完成封裝后，需先經過切片、清洗、干燥等基礎流程，接著進行面板點亮測試，測試通過后依次與ACF導電膠膜、驅動IC、FPC進行貼合綁定，隨后進行模組老化與點亮測試，通過后進行最終裝配并包裝入庫。MicroOLED器件由于不需要外接驅動芯片，可直接完成晶圓顯示偏光片貼附和PCB電路板綁定等過程、涂保護膠烘烤成品，接著進行模組老化和光電性能檢測，最終篩選出合格商品并包裝入庫。資料來源：MicroDisplay，和輝光電官網，華泰研究Bonding設備與偏貼設備國內產業(yè)鏈較為成熟。模組段設備國產替代率相對較高，部分國產模組設備的技術和制造水平己接近國際先進企業(yè)，質量滿足目前主流模組生產工藝需求，逐漸打破國外設備在中國高端全自動模組設備領域的壟斷。綁定類設備供應商主要為韓國的ATS、SFA、Finetek，國內主要為天通吉成，聯(lián)得裝備和鑫三力正在逐步突破。貼合設備海外廠商主要包括韓國SHINDO，TOPTEC以及LDK，國內聯(lián)得裝備已有貼合設備產品，易天股份在MR顯示設備領域提供Micro-OLED制備所需的晶圓顯示偏光片貼附設備、OCA貼合設備等設備。資料來源：聯(lián)得裝備官網，華泰研究資料來源：易天股份官網，華泰研究檢測設備：貫穿Micro-OLED制備各環(huán)節(jié)，模組段檢測設新型顯示技術MicroOLED對檢測設備需求更大。Micro-OLED作為新一代顯示面板的工藝更復雜，良率提升難度更高，對平板顯示檢測設備的投資需求更大。檢測工藝貫穿面板生產全過程，主要對面板的光學、信號、電性能等各種功能進行檢測，從而保證各段生產制程的可靠性和穩(wěn)定性，提升良品率。對于傳統(tǒng)OLED器件，主要檢測項目包括陽極制作后的線寬檢測、缺陷檢測（AOI機臺，以色列產品為主）和Cell/Module段制程光學、平整度、老化、像素缺陷檢測。Micro-OLED具有更高的解析度、刷新率、信號傳輸速度，檢測設備需具有更高的技術性能、集成度和檢測效率。檢測項目設備圖示設備簡介晶圓缺陷檢測設備結合明場暗場成像能力，采用單色或白光應對不同類型缺陷，單色光可檢出分辨率0.5um，芯片制造過程中檢查，應用于光刻與刻蝕后的缺陷檢查，芯片制造完成后出貨檢查，芯片封測前后表面宏觀檢查面板信號本產品可以同時驅動1至7片8K超高分辨率模組，最高支持16K超高分辨率，同時具備5G無線通信功能，以及可以靈活更換不同規(guī)格的信號板卡TSP電容參數本產品可以測試24寸以下矩陣電容屏的TSP參數，包括自容、互容、線電阻和絕緣電阻等，單點電容值測試時間5ms，相對精度0.02pF，應用于中小尺寸面板廠家的TSP測試觸控層電性能平板顯示觸控檢測設備，測試產品觸控功能和電性能參數。通過測試pad壓接產品表面，運行專門的測試軟件，對不同畫面下各種參數數據的監(jiān)控和記錄，實現(xiàn)產品品質的管理亮度、均勻度、色坐標、屏幕閃爍度適時采集待測產品測試點的光學數據，如色坐標、亮度，屏幕閃爍度等，設備可以單機使用，也可以與上位機聯(lián)網使用，用于GAMMA調整和測試以及FLICK調整，體積小，精度高，自動零校準，更適應于自動化設備使用GAMMA、Mura參數該設備為行業(yè)領先的Gamma+Demura自動化測試整合方案，綜合檢出率：97%，具有便利的靈活性可單獨或組合使用，百級潔凈度的特點圖像缺陷利用先進的子像素級光學成像技術和分層檢測技術實現(xiàn)圖像缺陷的檢測，圖像缺陷檢出率99.5%以上老化測試該設備是針對MicroOLED產品進行高溫固化制程及電性檢測的半自動設備；通過專用的測試軟件控制產品進行自動老化流程及電性檢測；設備分9個抽屜90通道設計，最大能同時承載90個產品進行高溫老化，通道間可單獨控制，可根據產能進行靈活調整；老化時能實時讀取產品溫度，通過外圍器件及算控制實現(xiàn)產品溫度恒定在高精度范圍外觀檢測光學AOI檢測設備，基于深度學習的微孔微裂紋和彩虹紋檢測設備，主要用于檢測和分類激光切割時不均和不穩(wěn)定造成0.5微米級微裂紋、彩虹紋等不良，包含有高速對焦，運行，圖像采集等硬系統(tǒng)，也包含AI算法，軟件控制等軟系統(tǒng)PCBA工藝缺陷資料來源：華興源創(chuàng)2022年度報告，華泰研究模組段檢測設備國產化程度高，華興源創(chuàng)為國內面板檢測龍頭公司，產品覆蓋面廣。國內檢測設備主要集中在模組段檢測，華興源創(chuàng)MicroOLED系列檢測設備已獲得訂單。公司積極研發(fā)布局，技術不斷突破，已獲得多個硅基OLED核心專利。公司MiniLED、Micro-LED及Micro-OLED等新一代顯示檢測技術儲備不斷升級，Micro-OLED系列檢測設備已獲得終端客戶試做線訂單，是終端客戶在Micro-OLED系列產品檢測設備領域的唯一供應商公司在技術及市場兩個維度均保持領先。核心技術名稱技術簡介技術先進性一種應用于Micro-OLED產品領域的高精度控溫技術實現(xiàn)MicroOLED產品在Gamma，Demura等受溫度影響較高的檢測項目中，克服產品自發(fā)熱特性，達到在極短的響應時間內使產品實現(xiàn)溫度恒定在高精度范圍內，并可實現(xiàn)單套系統(tǒng)加熱，冷卻雙向切換的解決方案。根據MicroOLED產品點亮會有自發(fā)熱特性，會影響Gamma，Demura等檢測項目的數據采集，導致產品調節(jié)不到最佳狀態(tài)，本技術采用半導體控溫技術，達到在極短的響應時間內使產品實現(xiàn)溫度恒定在±0.5℃范圍內。該技術還保證在不同目標溫度需求條件下，可實現(xiàn)同套系統(tǒng)加熱，冷卻功能任意切換，極大提升產品檢測指標精確性與檢測功能穩(wěn)定性，同時大大縮短了產品測試時間，技術遠超同行業(yè)水平。Micro-OLEDTP劃傷AI檢測技術利用在已有的人工智能技術上，融合AI的深度學習的基本原理，開發(fā)microoled屏上的TP因為激光切割造成的邊緣劃傷檢測技術，通過gpu的batchsize和graph概念開發(fā)高效率高效果的微裂紋AI檢測算法并且已經用于量產設備。能夠通過AI算法對在復雜環(huán)境中的TP劃傷在深度學習后，進行智能檢出，除了人為對不良標注外，后期幾乎不用人員操作，檢出效果達到99%，并低于2%的過檢，且計算時間采用batchsize，單張時間少于50ms。Micro-OLED的高精度壓接技術公司基于MicroLED顯示器件分辨率高、體積小等特點，從相機對位、算法等維度進行技術提升，研制一種高精度壓接系統(tǒng)，目前可實現(xiàn)355根檢測探針與測試中設備（DUT）的測試點同步壓接，且滿足單個測試點寬度為35um、相鄰測試點的直線距離為70um的要求。該技術能夠實現(xiàn)355根檢測探針與測試中設備（DUT）的測試點同步壓接，且滿足單個測試點寬度為35um、相鄰測試點的直線距離為70um的要求。Micro-LED/OLED近眼顯示器的光學特性及缺陷檢測方法MicroLED/OLED等新型微顯示技術具有超高分辨率的特點，能夠滿足AR/VR等近眼顯示器對分辨率的高要求，目前在近眼顯示器的研發(fā)生產中已得到一定應用。公司針對MicroLED/OLED近眼顯示器研制一款檢測鏡頭，能夠模擬人眼瞳孔，對近眼顯示器的亮度、色度、對比度、調制傳遞函數（MTF）、圖像失真等進行檢測。該檢測鏡頭采用大小為3.6mm的外置光圈模擬人眼瞳孔，視場達到144度，并且在測量近眼顯示器時可以保證定位到其出瞳位置，從而解決常規(guī)鏡頭無法實現(xiàn)全視場、入出瞳位置不符合人眼觀測等問題。資料來源：華興源創(chuàng)2023年半年度報告，華泰研究光學模組：Pancake制備過程中貼膜設備與檢測設備為核心Pancake光學模組已成趨勢，蘋果3PPancake行業(yè)領先。隨著VR設備進一步普及，消費者對VR的輕薄度、成像質量、佩戴體驗提出了更高的要求。超短焦折疊光路（Pancake）方案憑借大視場角，光學模組小型化、輕薄化、輕量化等優(yōu)勢成為主流方案，今年已發(fā)布和待發(fā)布的創(chuàng)維VR、MetaQuest3、索尼PSVR2、松下MeganeX等產品都選用了Pancake解決方案。XR光學透鏡發(fā)展路徑主要的演化過程為：非球面透鏡——菲涅爾透鏡——Pancake折疊光路。Pancake較之菲涅爾透鏡，更加輕薄化，成像效果更好。而相比于1P、2PPancake，3PPancake可實現(xiàn)清晰度更高、畸變/鬼影更低、色差更小非球面透鏡菲涅爾透鏡折疊光路Pancake異構微透鏡陣列液晶偏振全息超表面/超透鏡90-18090-12070-10080-100150-18060-10080-150鏡頭總長40-5040-5015-2040-4520-305-10量產價格5-1015-20120-18050-100---優(yōu)點邊緣成像好、便宜較輕薄、便宜輕薄、成像質量好有利于眼動器件布局超薄、實施變焦超薄、光路定制缺點厚重偽影、畸變偽影、光損、昂貴畸變、厚重、昂貴---發(fā)展階段淡出市場主流選擇即將大規(guī)模應用小眾市場前沿研究前沿研究前沿研究代表產品VR盒子、PSVR等Quest2、Piconeo3等華為VRGlass、蘋果VisionPro等Lynx---主要制造工藝注塑成型注塑成型貼膜工藝為核心----資料來源：維深WellsennXR《VR光學研究專題報告：從菲涅爾透鏡到pancake》，華泰研究資料來源：維深WellsennXR，華泰研究Pancake加工核心環(huán)節(jié)為貼膜，檢測設備為品控關鍵。Pancake光學模組生產包括六個流程：光學設計、透鏡加工、透鏡貼膜、組裝、檢驗和封裝。其中反射偏振膜和1/4相位延時片的質量，以及貼膜的工藝是影響成像質量的關鍵因素。檢驗設備同樣為光機成像的品控關鍵，主要負責檢測光學模組的光學性能及外觀。資料來源：維深WellsennXR，華泰研究Pancake光學模組貼膜工藝難度高，為模組制備核心環(huán)節(jié)。Pancake光學模組制備的核心難點在于鏡頭和折疊光路復合光學膜的貼合，Pancake的折疊光路中最重要的是三層膜，分別是半透半反膜、四分之一波片(QWP)和反射偏振膜(RP)，Pancake以偏振光原理為基礎，利用反射偏振膜對于不同偏振光選擇性反射和投射的特性，配合1/4相位延時片調整偏振光形態(tài)，實現(xiàn)光線在半透半反鏡和反射偏振膜之間的來回反射，并最終從反射偏振膜透射出去。多層高精密光學膜片疊加貼覆需要考慮精度、雜散光、光軸對準調焦、臟污等問題，每一層膜片都有精準的貼合要求。資料來源：AR圈公眾號，華泰研究曲面貼膜較平面貼膜難度更高，高精度設備在Pancake貼膜過程中起到關鍵的效率和良率提升作用。光學模組貼膜的方式主要包括曲面貼膜和平面貼膜兩種，平面貼膜技術難度較低，但會犧牲部分光學性能和成像質量。曲面貼膜工藝將事先制備的平面膜層通過熱彎成型技術轉化為特定的二維曲面，貼于透鏡表面。曲面貼膜可以帶來更大的FOV和更優(yōu)質的成像質量，但曲面貼膜工藝難度較大，容易邊緣褶皺和翹起，良率較低。高精度設備可提升Pancake貼膜的效率和良率。蘋果3PPancake對曲面貼膜要求較高。曲貼的設計涉及將四分之一波片和反射偏振膜與鏡頭精確貼合，Pancake鏡頭設計成大弧度的球面可擁有更大的冗余度，但會增大上述兩層膜的貼合難度。因為四分之一波片和反射偏振膜材質較硬，且在貼合弧形球面鏡頭時，要求在360度的每個方向上都不能出現(xiàn)褶皺。Hypervision指出，WWDC2023視頻展示的蘋果Pancake光學元件與其他Pancake光學元件的一個重要區(qū)別是，四分之一波片（QWP）緩變器必須是曲面，如圖表28所示，四分之一波片28介于透鏡元件32的圓柱形表面S6和透鏡元件26的圓柱形表面S7之間，并且如Fig.8所示繞平行于Y軸的軸彎曲。因此蘋果3PPancake方案需要曲面貼膜，難度較大。資料來源：Hypervision，華泰研究國內較多貼膜設備企業(yè)不斷嘗試技術迭代及突破。深科達接受調研時表示，公司目前已能提供3DVR熱成型貼合設備、3DAA膠合設備以及IJP設備等，上述設備用于VR眼鏡Pancake光學模組生產端，主要客戶為國際一線知名客戶。廣東東莞鼎力科技擁有光學膜貼合線、光學膜鏡片真空貼合線、VR鏡片曲面貼膜方案等；深圳市承熹機電設備有限公司已成功生產CX-3D-0301雙工位旋轉式3D曲面貼合機(第3代)、CX-3D-0402雙工位CCD對位式、CX-3D-0301雙工位旋轉式3D曲面貼合機；希盟科技于2018年成功研發(fā)VR光學貼合自動化解決方案，并在2019年落地AR光波導高精度疊合、VR眼鏡光學貼合全自動產線。資料來源：鼎力科技官網，華泰研究Pancake檢測設備：光學性能檢測算法較復雜，外觀檢測方案Pancake檢測設備主要包括光學功能檢測和外觀檢測，為光機成像的品控關鍵。MR生產線配備Pancake鏡片功能檢測設備和外觀檢測設備，功能檢測內容包括成像畸變、瞳孔游移、鏡片焦距、成像清晰度、對比度、鬼影等；外觀檢測內容包括臟污、變形、線散、偏移、劃痕等。Pancake光學性能檢測算法及設備需要光學設計、視覺算法及運動控制等領域的多年技術積累。高端檢測pancake光學性能檢測主要包括MFT檢測、點亮檢測、氣密性檢測、VID檢測、Ghost檢測、偏振、光譜、色彩均勻性等。光學檢測技術相關設備需要光學設計、視覺算法及運動控制等領域的多年技術積累，滿足高準確度和高重復性的測試的需求。以Ghost鬼影檢測為例，在光學成像系統(tǒng)中，由雜散光在畫面中的某個位置形成的“像”被稱為“鬼影”(ghost)，會直接導致圖像質量的降低。Pancake方案因為光線多次折返，鬼影問題相比常規(guī)非球面/菲涅爾方案更為嚴重。根據舜宇光學2021年專利，現(xiàn)有鬼影檢測方法通常采用一幅正常曝光的圖像作為基準，然后修改相機的曝光參數使鬼影顯現(xiàn)，進而提取其區(qū)域計算強弱以實現(xiàn)檢測。存在需多次調整相機的曝光參數便捷性不夠，容易受到雜散光的影響檢測精度不高等問題，需要算法不斷優(yōu)化。資料來源：國知局，華泰研究根據深圳市光學光電子行業(yè)協(xié)會，杰普特XR光學檢測技術可用于自動化檢測VR/MR眼鏡產品相對人眼瞳孔成像缺陷的研發(fā)，內容包括：成像畸變、成像清晰度、屏幕缺陷、屏幕亮度差異、對比度、瞳孔游移、鏡片焦距、鬼影等。杰普特光學檢測技術亮點主要包括1）可根據不同VR透鏡的光學設計定制算法；2）高精度六足位移臺用于VR透鏡光軸校準及測試，光軸校準精度可達0.0167°;3）熒幕光學中心標定可精確至亞熒幕像素的精度；4）2D熱圖顯示畸變值分布可提供錐光儀鏡頭畸變校準服務。資料來源：深圳市光學光電子行業(yè)協(xié)會，華泰研究光學模組外觀檢測方案目前已比較成熟，主要為AOI方式。自動光學檢測(AOI)是一種基于光學原理，利用機器視覺替代人工目檢的外觀檢測技術，當前Pancake光學模組外觀檢測主要使用機器視覺的方法。目前，榮旗科技外觀檢測設備采用高精度（重復性精度可達±3μm）線性模組作為傳動機構，通過大靶面高景深多方向復合光源成像系統(tǒng)，實現(xiàn)對復雜檢測對象的高精度、高景深、多方位一體式成像，從而能夠對待檢產品的臟污、變形、線散、偏移、劃痕等人眼無法清楚識別的缺陷進行檢測，準確率≥99%。資料來源：榮旗科技官網，華泰研究資料來源：《光學鏡片外觀瑕疵視覺檢測方法》（朱宇棟,陳於學，2020），華泰研究傳感系統(tǒng)：眼動追蹤需標定檢測，瞳距調節(jié)模組依賴傳感器檢測設備需求多維，眼動追蹤需攝像頭配合且標定檢測決定精度MR傳感器校準與檢測需求多維，需多種傳感器檢測設備。相較于智能手機，VisionPro設備的傳感器更為復雜，蘋果MR搭載數量眾多的傳感器，包含12個攝像頭、深度傳感器、IMU慣導系統(tǒng)等。復雜的傳感系統(tǒng)對檢測設備提出了更高的要求，不同于智能手機只需對觸屏做傳感檢測，MR近眼顯示需要對圖像畸變、MTP時延、運動跟蹤精度等做好校準與檢測，因此MR制造過程中需新增較多傳感器檢測設備，完成多維感知檢測。資料來源：蘋果PatentNo.1181569《Head-mountedelectronicdevice》（2021艾邦AR/VR高峰論壇，華泰研究VisionPro使用紅外相機+LED泛光源支撐眼動追蹤、虹膜識別、Eyesight功能。VisionPro配置了4顆紅外相機，其中每只眼睛對應2顆紅外相機，其周邊分布多組LED泛光源。按照蘋果的官方表述，由LED泛光源和紅外相機組成的高性能眼動追蹤系統(tǒng)將不可見光模式投射到每只眼睛上，通過實時定位閃爍點與瞳孔的位置，借助模型估算出用戶的視線方向和落點。此外蘋果VisionPro的EyeSight功能（他人從外部可看到用戶的眼睛）也需基于內部紅外相機來實現(xiàn)，用戶眼睛及周圍面部信息由紅外相機采集而合成。內側紅外相機還提供全新識別解鎖模式，即OpticID（虹資料來源：第一工程機械網公眾號，華泰研究免責聲明和披露以及分析師聲明是報告的一部分，請務必一起閱讀。眼動追蹤攝像頭標定檢測難度較大，眼動追蹤普及或帶動標定測試設備需求。根據《眼動跟蹤研究進展與展望》（茍超等，2022基于模型的視線估計方法需要利用復雜的眼球結構模型,一般應用于頭戴式眼鏡或者實驗室環(huán)境下,需要進行相應的參數標定，標定求得參數過程難度較大。眼動追蹤的普及或帶動眼球追蹤標定測試設備的需求?？迫鸺夹g具備空間圖卡標定技術，可提升眼球追蹤設備標定的精度。智立方在可穿戴設備領域有光學識別、光學感應、姿態(tài)傳感、眼球追蹤等測試設備。資料來源：科瑞技術官網，華泰研究瞳距調節(jié)帶來更清晰的視覺體驗，未來電驅自動雙目獨立無極調節(jié)有望成為各產品標配。瞳距調節(jié)將瞳距與焦距均調節(jié)到合理位置，讓圖像準確落在視網膜上（尤其是焦距）獲得清晰視圖，防止重影。頭顯設備瞳距調節(jié)方式不斷進化，由手動分段逐漸進化至電驅無極，提升用戶的穿戴體驗，未來電驅/自動/雙目獨立/無極調節(jié)有望成為頭顯設備標配。資料來源：各公司官網，華泰研究蘋果IPD調節(jié)相關專利使用微型電機/導軌/滑塊組成調節(jié)模組完成雙目獨立電動無極調節(jié)。根據蘋果相關專利，我們推測VisionPro瞳距調節(jié)的方案為雙目獨立+電動無極調節(jié)，硬件基礎為眼動追蹤系統(tǒng)（LED光源+IR紅外攝像頭）和實現(xiàn)左右兩眼的Pancake模組位移的機械結構（電機+導軌+滑塊）。蘋果于2021年申請針對XR設備瞳距調節(jié)功能的專利（US20210011298專利顯示設備將有左右兩個定位器分別定位兩個鏡頭及其模塊，使用過程中傳感電路檢測左右鏡頭模塊與用戶鼻子表面之間的相對位置，控制電路利用用戶瞳距信息調整鏡頭模塊，從而使設備適應不同瞳距的用戶。在蘋果專利No.1181569《Head-mountedelectronicdevice》（2021）中，光學模塊（Pancake）被滑動安裝到導軌上，定位器可用于沿導軌將光學模塊彼此移近和遠離，以調整頭戴式設備以適應不同的用戶瞳距。免責聲明和披露以及分析師聲明是報告的一部分，請務必一起閱讀。資料來源：蘋果專利US20210011298，華泰研究資料來源：蘋果PatentNo.1181569《Head-mountedelectronicdevice》（2021），華泰研究國內目前已有電力驅動+機械傳動部件完成瞳距調節(jié)的方案。根據新浪VR，兆威VR眼鏡瞳距傳動解決方案的瞳距調節(jié)機構采用微型對焦電機的往復直線運動進行動態(tài)變焦的伸縮齒輪箱結構帶動偏心輪轉動，偏心輪使頭顯框架產生振動，電機通過齒輪箱結構智能調節(jié)VR眼鏡的兩組透鏡組件的間距，直至與使用者的瞳距相匹配，當用戶再次戴上眼鏡之后，VR眼鏡內置傳感器會將數據轉換為電力驅動裝置，將微型電機的旋轉運動轉變?yōu)橥茥U的直線運動，從而帶動VR眼鏡的前后兩層鏡片根據適合用戶的聚焦度數來進行自動對焦，智能控制鏡片到屏幕的距離，完成視覺清晰成像的目的。資料來源：新浪VR，華泰研究免責聲明和披露以及分析師聲明是報告的一部分，請務必一起閱讀。MR設備零部件眾多自動化組裝為剛需，F(xiàn)ATP國產化率較高。MR頭顯設備構成要素眾多，包括光學模組、顯示模組、傳感器、揚聲器模組、通信模組、散熱模組、芯片等，而隨VisionProVST、手勢交互、面部交互等新功能的加入，F(xiàn)ATP（FinalAssemblyTest&Package）環(huán)節(jié)檢測和組裝需求愈發(fā)嚴格。國內組裝檢測設備企業(yè)已獲國際大客戶認可，根據博眾精工公開交流信息，公司第一代MR組裝線主要做鏡片及整機的組裝，目前已交付。MR第二代線暫未打樣，但業(yè)務上與大客戶有所對接。博眾精工消費類電子制造裝備包含高精密點膠、高精密組裝、高精密Bonding、精密量測/檢測、氣密性測試等制程設備，全自動柔性生產線，配套工裝載治具配套物流系統(tǒng)等，是蘋果在FATP環(huán)節(jié)國內銷售規(guī)模最大的自動化組裝設備供應商之一。資料來源：鴻展自動化官網，華泰研究資料來源：博眾精工2022公司年報，華泰研究刀具/機床/激光等通用設備有望借助MR迎來3C領域新增量。切削技術和刀具是裝備制造業(yè)的基礎工藝和裝備，以VisionPro為代表的XR設備所需的精密功能件及結構件與傳統(tǒng)手機所需零部件有一定區(qū)別，應用于3C領域的刀具、機床有望迎來新增量。目前多家國產機床刀具廠商進入蘋果代工廠，如華銳精密、歐科億、沃爾德、創(chuàng)世紀等。部分廠商已布局XR相關產品，例如創(chuàng)世紀2023年12月28日在互動平臺表示，公司拳頭產品鉆攻機可用于MR、VR等智能穿戴產品結構件的加工。激光加工設備方面，激光切割、激光焊接、激光打標都可用于MR頭顯設備制程，大族激光2023年12月26日在互動平臺表示公司持續(xù)配合行業(yè)重要客戶進行MR相關加工設備的研發(fā)，產品目前已實現(xiàn)批量銷售。免責聲明和披露以及分析師聲明是報告的一部分，請務必一起閱讀。報告提及公司股票代碼簡稱股票代碼簡稱股票代碼簡稱301312CH智立方301360CH榮旗科技GOOGUS谷歌002957CH科瑞技術688025CH杰普特METAUSMeta688001CH華興源創(chuàng)688328CH深科達AAPLUS蘋果Apple688378CH奧來德300951CH博碩科技SONYUS索尼300812CH易天股份000725CH京東方A7731JP尼康688097CH博眾精工未上市視涯科技CAJPYUS佳能603283CH賽騰股份未上市合肥欣奕華科技有限公司6728JP愛發(fā)科301512CH智信精密未上市方昇光電TOELYUS東京電子430425CH樂創(chuàng)技術未上市天通吉成171090KSSunicSystem003021CH兆威機電未上市鑫三力005935KS三星688059CH華銳精密未上市廣東東莞鼎力科技688308CH歐科億未上市深圳市承熹機電688028CH沃爾德未上市希盟科技300083CH創(chuàng)世紀002008CH大族激光資料來源：Wind，華泰研究技術路徑仍不確定：VisionPro相關技術如硅基OLED制備、Pancake貼膜等仍處在發(fā)展前期，多種技術路徑尚未完全清晰，若生產良率提升不及預期，或將影響產品生產成本及客戶采購意愿，導致技術路徑更迭；此外，蘋果二代MR尚未發(fā)布，相關技術同樣存在不確定性。VisionPro產品銷量不及預期：MR產業(yè)鏈企業(yè)業(yè)務發(fā)展受下游出貨量影響較大，若終端廠商出貨不及預期，或將導致市場規(guī)模低于預期，從而影響行業(yè)內相關公司的發(fā)展空間。免責聲明和披露以及分析師聲明是報告的一部分，請務必一起閱讀。分析師聲明本人，倪正洋、史俊奇，茲證明本報告所表達的觀點準確地反映了分析師對標的證券或發(fā)行人的個人意見；彼以往、現(xiàn)在或未來并無就其研究報告所提供的具體建議或所表迖的意見直接或間接收取任何報酬。一般聲明及披露本報告由華泰證券股份有限公司（已具備中國證監(jiān)會批準的證券投資咨詢業(yè)務資格，以下簡稱“本公司”）制作。本報告所載資料是僅供接收人的嚴格保密資料。本報告僅供本公司及其客戶和其關聯(lián)機構使用。本公司不因接收人收到本報告而視其為客戶。本報告基于本公司認為可靠的、已公開的信息編制，但本公司及其關聯(lián)機構(以下統(tǒng)稱為“華泰”)對該等信息的準確性及完整性不作任何保證。本報告所載的意見、評估及預測僅反映報告發(fā)布當日的觀點和判斷。在不同時期，華泰可能會發(fā)出與本報告所載意見、評估及預測不一致的研究報告。同時，本報告所指的證券或投資標的的價格、價值及投資收入可能會波動。以往表現(xiàn)并不能指引未來，未來回報并不能得到保證，并存在損失本金的可能。華泰不保證本報告所含信息保持在最新狀態(tài)。華泰對本報告所含信息可在不發(fā)出通知的情形下做出修改，投資者應當自行關注相應的更新或修改。本公司不是FINRA的注冊會員，其研究分析師亦沒有注冊為FINRA的研究分析師/不具有FINRA分析師的注冊資華泰力求報告內容客觀、公正，但本報告所載的觀點、結論和建議僅供參考，不構成購買或出售所述證券的要約或招攬。該等觀點、建議并未考慮到個別投資者的具體投資目的、財務狀況以及特定需求，在任何時候均不構成對客戶私人投資建議。投資者應當充分考慮自身特定狀況，并完整理解和使用本報告內容，不應視本報告為做出投資決策的唯一因素。對依據或者使用本報告所造成的一切后果，華泰及作者均不承擔任何法律責任。任何形式的分享證券投資收益或者分擔證券投資損失的書面或口頭承諾均為無效。除非另行說明，本報告中所引用的關于業(yè)績的數據代表過往表現(xiàn)，過往的業(yè)績表現(xiàn)不應作為日后回報的預示。華泰不承諾也不保證任何預示的回報會得以實現(xiàn)，分析中所做的預測可能是基于相應的假設，任何假設的變化可能會顯著影響所預測的回報。華泰及作者在自身所知情的范圍內，與本報告所指的證券或投資標的不存在法律禁止的利害關系。在法律許可的情況下，華泰可能會持有報告中提到的公司所發(fā)行的證券頭寸并進行交易，為該公司提供投資銀行、財務顧問或者金融產品等相關服務或向該公司招攬業(yè)務。華泰的銷售人員、交易人員或其他專業(yè)人士可能會依據不同假設和標準、采用不同的分析方法而口頭或書面發(fā)表與本報告意見及建議不一致的市場評論和/或交易觀點。華泰沒有將此意見及建議向報告所有接收者進行更新的義務。華泰的資產管理部門、自營部門以及其他投資業(yè)務部門可能獨立做出與本報告中的意見或建議不一致的投資決策。投資者應當考慮到華泰及/或其相關人員