集成電路產(chǎn)業(yè)鏈安全生產(chǎn)指導(dǎo)服務(wù)手冊(cè)（2023版）

鹽城市重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈

安全生產(chǎn)指導(dǎo)服務(wù)手冊(cè)

集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

鹽城市安委會(huì)辦公室

2022年12月

集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

序

近年來，市安委辦以習(xí)近平新時(shí)代中國特色社會(huì)主義思想為指導(dǎo)，緊扣

黨的二十大提出的“堅(jiān)持安全第一、預(yù)防為主，建立大安全大應(yīng)急框架，完

善公共安全體系，推動(dòng)公共安全治理模式向事前預(yù)防轉(zhuǎn)型。推進(jìn)安全生產(chǎn)風(fēng)

險(xiǎn)專項(xiàng)整治，加強(qiáng)重點(diǎn)行業(yè)、重點(diǎn)領(lǐng)域安全監(jiān)管”重大要求，全面落實(shí)市委

八屆四次全會(huì)精神，圍繞“奮力譜寫中國式現(xiàn)代化鹽城新篇章”和“建設(shè)四

個(gè)綠色之城”的戰(zhàn)略定位，將服務(wù)全市23條重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈安全發(fā)展作為安全生

產(chǎn)工作的重中之重，深入開展重點(diǎn)行業(yè)領(lǐng)域安全生產(chǎn)專項(xiàng)整治，組織專家團(tuán)

隊(duì)指導(dǎo)服務(wù)，扎實(shí)推進(jìn)安全體系和能力現(xiàn)代化，努力以新安全格局保障新發(fā)

展格局。

在服務(wù)過程中，市安委辦建立了“重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈安全指導(dǎo)服務(wù)”掛揭榜工

作機(jī)制，通過市級(jí)公開掛榜、縣級(jí)主動(dòng)揭榜，實(shí)現(xiàn)市縣聯(lián)動(dòng)、部門參與、分

類推進(jìn)、攻堅(jiān)克難，激發(fā)工作活力、增強(qiáng)工作動(dòng)力。各縣（市、區(qū)）成立工

作專班，聘請(qǐng)安全專家、專業(yè)技術(shù)人員參與，廣泛開展調(diào)研，走進(jìn)企業(yè)、深

入現(xiàn)場(chǎng)，摸清本地重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)的現(xiàn)狀；從企業(yè)原輔材料、設(shè)施設(shè)備、生

產(chǎn)工藝、作業(yè)場(chǎng)所和安全管理等方面，多角度、多層次深入剖析，總結(jié)提煉

重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈安全特點(diǎn)、固有風(fēng)險(xiǎn)及安全管理重點(diǎn)難點(diǎn)堵點(diǎn)問題；針對(duì)易發(fā)事

故的生產(chǎn)場(chǎng)所、作業(yè)環(huán)節(jié)和作業(yè)行為，依據(jù)國家法律、法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范要求，

提出產(chǎn)業(yè)鏈危險(xiǎn)有害因素辨識(shí)內(nèi)容及其防范措施。在此基礎(chǔ)上，市安委辦多

次召開會(huì)議研究討論，組織相關(guān)行業(yè)領(lǐng)域的省市安全專家進(jìn)行市級(jí)審核、專

家評(píng)審，形成了《鹽城市重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈安全生產(chǎn)指導(dǎo)服務(wù)手冊(cè)》。

本手冊(cè)主要包括概述篇、產(chǎn)業(yè)鏈上中下游篇、制度篇、通用管理篇、展

望篇和附則篇等。概述篇主要介紹產(chǎn)業(yè)鏈歷史沿革、產(chǎn)業(yè)分布、產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀等；

鹽城市重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈安全生產(chǎn)指導(dǎo)服務(wù)手冊(cè)

產(chǎn)業(yè)鏈上中下游篇主要介紹產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)主要工藝和關(guān)鍵設(shè)備簡(jiǎn)介、危險(xiǎn)有害

因素分析、常見問題和隱患等；制度篇主要介紹產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)適用的行業(yè)法律

法規(guī)及相關(guān)規(guī)章制度等；通用管理篇主要介紹產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)常見通用設(shè)備設(shè)施

安全技術(shù)要點(diǎn)、人機(jī)料物環(huán)定制化管理相關(guān)內(nèi)容等；展望篇主要介紹產(chǎn)業(yè)鏈

生產(chǎn)安全面臨的機(jī)遇與挑戰(zhàn)以及未來行業(yè)安全發(fā)展趨勢(shì)等；附則篇主要介紹

產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)典型生產(chǎn)安全事故案例剖析、適用的法律法規(guī)和援引的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

等。

本手冊(cè)采用圖文并茂的形式，深入淺出，力求內(nèi)容全面、通俗易懂，便

于企業(yè)在實(shí)踐中借鑒和部門在監(jiān)管中參考。本手冊(cè)將隨著我市經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展

和重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)安全管理等情況，不斷進(jìn)行完善提升。

集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

刖百

集成電路產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)工序有簡(jiǎn)有繁、上下游企業(yè)點(diǎn)多線長、危險(xiǎn)因素相對(duì)

較多，涉及金屬設(shè)備制作、工程塑料設(shè)備制作、儀器儀表制造、危險(xiǎn)化學(xué)品

使用等生產(chǎn)工藝，同時(shí)還涉及設(shè)備的運(yùn)輸、安裝、檢維修過程中，存在機(jī)械

傷害、起重傷害、高處墜落、觸電等多種風(fēng)險(xiǎn)，安全難點(diǎn)難以統(tǒng)一管控。

集成電路產(chǎn)業(yè)作為鹽城市重點(diǎn)發(fā)展產(chǎn)業(yè)鏈，由于起步時(shí)間較晚、企業(yè)主

體責(zé)任重視程度不夠、安全監(jiān)管歷史欠賬較多等原因，產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)安全保障

能力的發(fā)展還滯后于行業(yè)發(fā)展的總體要求。

為進(jìn)一步強(qiáng)化集成電路產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)安全生產(chǎn)基礎(chǔ)能力建設(shè)，提升本質(zhì)安

全水平，有效預(yù)防與遏制各類事故的發(fā)生，市安委辦組織編寫了《鹽城市重

點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈安全生產(chǎn)指導(dǎo)服務(wù)手冊(cè)（集成電路產(chǎn)業(yè)鏈）》。

該手冊(cè)結(jié)合集成電路企業(yè)的安全特點(diǎn)，針對(duì)易發(fā)事故的生產(chǎn)作業(yè)場(chǎng)所、

環(huán)節(jié)、部位和作業(yè)行為，依據(jù)國家法律、行業(yè)法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)規(guī)范，提出

了大氣污染防治設(shè)備危險(xiǎn)、有害因素辨識(shí)的主要內(nèi)容及其防范措施，手冊(cè)同

時(shí)系統(tǒng)總結(jié)了生產(chǎn)中安全檢查的要點(diǎn)，常見隱患的排查及整改相關(guān)措施，并

提出了相應(yīng)法律規(guī)范援引，供相關(guān)企業(yè)、安全監(jiān)管部門、政府招商引資、項(xiàng)

目投資人在實(shí)踐中借鑒參考。

由于集成電路行業(yè)門類眾多，企業(yè)差別較大，加之編寫時(shí)間和水平所限,

本手冊(cè)中難免存在不足之處，歡迎大家在參考使用的同時(shí)，多提寶貴意見，

以便于及時(shí)改進(jìn)完善。

本手冊(cè)編制工作，得到鹽都區(qū)安委辦的大力支持和積極配合，在此表示

感謝！

集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

目錄

產(chǎn)業(yè)鏈一概述篇........................................................1

1集成電路產(chǎn)業(yè)相關(guān)定義與概述..........................................2

1.1集成電路(IntegratedCircuit)...................................................................................2

1.2集成電路產(chǎn)業(yè)(ICindustry).....................................................................................2

1.3集成電路產(chǎn)業(yè)全景圖..............................................2

1.4集成電路產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展與分布現(xiàn)狀....................................3

1.5集成電路產(chǎn)業(yè)鏈主要工藝過程......................................4

1.6集成電路產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)安全生產(chǎn)現(xiàn)狀..................................4

1.7集成電路產(chǎn)業(yè)鏈主要危險(xiǎn)、有害因素................................5

1.8鹽城市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈較大以上安全風(fēng)險(xiǎn)...........................11

產(chǎn)業(yè)鏈上游一半導(dǎo)體材料及設(shè)備篇.......................................13

2半導(dǎo)體生產(chǎn)制造.....................................................14

2.1特種氣體安全管理要點(diǎn)...........................................14

2.2危險(xiǎn)化學(xué)品試劑安全管理要點(diǎn).....................................16

產(chǎn)業(yè)鏈中游一集成電路設(shè)計(jì)、制造篇.....................................17

3集成電路設(shè)計(jì)、制造.................................................18

產(chǎn)業(yè)鏈下游一集成電路應(yīng)用篇...........................................19

4集成電路的應(yīng)用.....................................................20

4.1機(jī)動(dòng)車輛安全管理要點(diǎn)...........................................20

4.2叉車作業(yè)安全管理要點(diǎn)...........................................20

4.3人工裝卸作業(yè)安全管理要點(diǎn).......................................21

產(chǎn)業(yè)鏈安全管理一制度篇..............................................23

5集成電路產(chǎn)業(yè)鏈安全管理體系.........................................24

5.1推進(jìn)安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)化建設(shè)..........................................24

鹽城市重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈安全生產(chǎn)指導(dǎo)服務(wù)手冊(cè)

5.2安全生產(chǎn)組織體系...............................................28

5.3安全生產(chǎn)目標(biāo)和責(zé)任體系.........................................28

5.4安全生產(chǎn)規(guī)章制度體系...........................................28

5.5組織制定并實(shí)施本單位安全生產(chǎn)操作規(guī)程...........................30

5.6安全生產(chǎn)教育培訓(xùn)體系...........................................31

5.7安全生產(chǎn)投入...................................................32

5.8安全生產(chǎn)文化體系...............................................33

5.9安全風(fēng)險(xiǎn)分級(jí)管控和隱患排查治理雙重預(yù)防工作機(jī)制.................33

5.10工業(yè)企業(yè)安全生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)報(bào)告......................................35

5.11建設(shè)項(xiàng)目安全設(shè)施“三同時(shí)”......................................37

產(chǎn)業(yè)鏈安全生產(chǎn)一通用管理篇..........................................39

6集成電路產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)場(chǎng)安全管理.........................................40

6.1消防設(shè)施及器材安全管理.........................................40

6.2應(yīng)急疏散安全管理...............................................40

6.3現(xiàn)場(chǎng)電氣安全管理...............................................41

6.4高處作業(yè)安全管理...............................................43

6.5吊裝作業(yè)安全管理...............................................43

6.6動(dòng)火作業(yè)安全管理...............................................44

6.7危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理.............................................46

6.8有限空間安全管理...............................................47

6.9集成電路產(chǎn)業(yè)鏈應(yīng)急管理.........................................48

6.10集成電路產(chǎn)業(yè)鏈隱患排查和治理..................................49

產(chǎn)業(yè)鏈管理一附則篇..................................................65

7事故案例...........................................................66

8行業(yè)涉及的主要法律法規(guī)與安全標(biāo)準(zhǔn)...................................74

8.1法律、法規(guī)依據(jù).................................................74

8.2標(biāo)準(zhǔn)、技術(shù)規(guī)范依據(jù).............................................76

集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

集成電路產(chǎn)業(yè)安全生產(chǎn)管理

產(chǎn)業(yè)鏈一概述篇

-1—

鹽城市重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈安全生產(chǎn)指導(dǎo)服務(wù)手冊(cè)

1集成電路產(chǎn)業(yè)相關(guān)定義與概述

1.1集成電路(IntegratedCircuit)

集成電路或稱微電路(microcircuit)、微芯片(microchip)、芯片(chip),

是一種微型電子器件或部件，是采用一定的工藝，將電路中所需的晶體管、電阻、

電容和電感等元件及布線互連一起，制作成一小塊或幾小塊半導(dǎo)體晶片或介質(zhì)基

片，然后封裝在一個(gè)管殼內(nèi)，成為具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu)，可使電子元件在

小型化、低功耗、智能化和可靠性等方面更進(jìn)了一步，在電路中用字母“IC”表示。

1.2集成電路產(chǎn)業(yè)(ICindustry)

集成電路產(chǎn)業(yè)作為信息產(chǎn)業(yè)的核心與基礎(chǔ)，是關(guān)系國民經(jīng)濟(jì)的和社會(huì)發(fā)展全局

的基礎(chǔ)性、先導(dǎo)性和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。隨著產(chǎn)業(yè)分工的不斷細(xì)化，集成電路產(chǎn)業(yè)鏈通常

由芯片設(shè)計(jì)制造、芯片分銷以及終端電子產(chǎn)品涉及制造等環(huán)節(jié)組成。

1.3集成電路產(chǎn)業(yè)全景圖

近幾年，我國集成電路產(chǎn)業(yè)得到快速發(fā)展，以人工智能、智能制造、汽車電子、

物聯(lián)網(wǎng)、5G為代表的新興產(chǎn)業(yè)正在快速崛起。特別是國家重大科技專項(xiàng)和集成電

路產(chǎn)業(yè)發(fā)展實(shí)施綱要的出臺(tái)，對(duì)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起到了很大的促進(jìn)作用。

嘉成電路設(shè)計(jì)

臬成電路設(shè)計(jì)CAD設(shè)計(jì)除證

集成電路制造

高于拉入

擴(kuò)散電平

光陽去除

集成電路封裝

晶囪點(diǎn)測(cè)

封裝打線

CM*匕材料

WAFER消試

圖1.3-1集成電路產(chǎn)業(yè)全景示意圖

2—

集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上游主要為半導(dǎo)體材料及設(shè)備，包括硅片、光刻膠、靶材、檢

測(cè)設(shè)備等；中游包括集成電路設(shè)計(jì)、集成電路制造、集成電路封測(cè)；下游為集成電

路的應(yīng)用，包括通訊、消費(fèi)電子、計(jì)算機(jī)、汽車電子、醫(yī)療器械、新能源等。

1.4集成電路產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展與分布現(xiàn)狀

集成電路產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)袌?chǎng)前景好、成長空間巨大，是鹽城重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈培育行動(dòng)計(jì)劃

中極具發(fā)展?jié)摿Φ囊粭l產(chǎn)業(yè)鏈。全市現(xiàn)有集成電路產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)26家，其中鹽都10

家、東臺(tái)3家、建湖9家、濱海3家、市開發(fā)區(qū)1家。2021年全市集成電路產(chǎn)業(yè)

鏈實(shí)現(xiàn)銷售37.04億元，其中鹽都15.42億元、建湖7.72億元、東臺(tái)6.72億元、

濱海5.93億元、開發(fā)區(qū)1.25億元。全市共有規(guī)上企業(yè)19家，其中鹽都7家。

鹽城市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈主要集中在上游關(guān)鍵部件及生產(chǎn)設(shè)備制造環(huán)節(jié)，主要產(chǎn)

品有芯片、功率半導(dǎo)體、通訊模組及存儲(chǔ)器、芯片涉及、芯片封裝測(cè)試等。產(chǎn)業(yè)鏈

企業(yè)主要分布于鹽城市鹽龍街道、張莊鎮(zhèn)及秦南鎮(zhèn)。

建湖縣集成電路總體處于產(chǎn)業(yè)鏈的下游，以芯片組裝和部分終端電子產(chǎn)品的制

造為主。

圖1.4-1鹽城市主要集成電路產(chǎn)業(yè)集群分布示意圖

-3-

鹽城市重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈安全生產(chǎn)指導(dǎo)服務(wù)手冊(cè)

濱?？h產(chǎn)集成電路產(chǎn)業(yè)基本處于集成電路產(chǎn)業(yè)的中游和下游環(huán)節(jié)，主要從事集

成電路芯片、電子元器件的制造和集成電路的封測(cè)。

東臺(tái)市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈主要集中在上游關(guān)鍵部件及生產(chǎn)設(shè)備制造環(huán)節(jié)。重點(diǎn)發(fā)

展IC封裝基板、集成電路設(shè)計(jì)和封測(cè)等細(xì)分領(lǐng)域。已梳理集成電路產(chǎn)業(yè)鏈頭部企

業(yè)17家，其中上游材料企業(yè)3家，中游制造企業(yè)8家，下游封測(cè)企業(yè)6家，主要

代表企業(yè)有：深南電路、士蘭微電子、長電科技、華達(dá)微電子等。

1.5集成電路產(chǎn)業(yè)鏈主要工藝過程

集成電路工藝(integratedcircuittechnique),就是把電路所需要的晶體管、

二極管、電阻器和電容器等元件用一定工藝方式制作在一小塊硅片、玻璃或陶瓷襯

底上，再用話當(dāng)?shù)墓に囘M(jìn)行互連，然后封裝在一個(gè)管殼內(nèi)，使整個(gè)電路的體積大大

縮小，引出線和性接點(diǎn)的數(shù)目也大為減少，集成電路的設(shè)想出現(xiàn)在50年代末和60

年代初，是采用硅平面技術(shù)和薄膜與廈膜技術(shù)來實(shí)現(xiàn)的，電子集成技術(shù)按工藝方法

分為以硅平面工藝為基礎(chǔ)的單片集成電路，以薄膜技術(shù)為基礎(chǔ)的薄膜集成電路和以

絲網(wǎng)印刷技術(shù)為基礎(chǔ)的厚膜集成電路。

利用研磨、拋光、氧化、擴(kuò)散、光刻、外延生長、蒸發(fā)等一整套平面工藝技術(shù),

在一小塊硅單晶片上同時(shí)制造晶體管、二極管、電阻和電容等元件，并采用一定的

隔離技術(shù)使各元件在電性能上互相隔離，然后在硅片表面蒸發(fā)鋁層并用光刻技術(shù)刻

蝕成互連圖形，使元件按需要互連成完整電路，制成半導(dǎo)體單片集成電路。主要工

藝流程圖如下：

圖1.5-1生產(chǎn)工藝流程框圖

1.6集成電路產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)安全生產(chǎn)現(xiàn)狀

自安全生產(chǎn)專項(xiàng)整治行動(dòng)以來，產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)進(jìn)一步強(qiáng)化安全紅線意識(shí)和底線思

維，加大源頭管控、標(biāo)本兼治，著力依法推動(dòng)安全生產(chǎn)主體責(zé)任落實(shí)和全市安全生

產(chǎn)形勢(shì)持續(xù)穩(wěn)定向好。

4-

集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

從工藝流程分析，企業(yè)的安全風(fēng)險(xiǎn)和一般工貿(mào)行業(yè)企業(yè)相差不大，主要的工藝

流程壓鑄、組裝、機(jī)械加工，部分企業(yè)涉及到危險(xiǎn)化學(xué)品的使用、受限空間、特種

作業(yè)等較大安全風(fēng)險(xiǎn)。

1.7集成電路產(chǎn)業(yè)鏈主要危險(xiǎn)、有害因素

根據(jù)《生產(chǎn)過程危險(xiǎn)和有害因素分類與代碼》(GB/T13861-2022)以及《企業(yè)

職工傷亡事故分類標(biāo)準(zhǔn)》(GB6441-1986)辨識(shí)，各主營產(chǎn)品生產(chǎn)過程存在著火災(zāi)、

其他爆炸、容器爆炸、機(jī)械傷害、觸電、車輛傷害、物體打擊、起重傷害、高處墜

落、中毒和窒息、淹溺、灼燙、人的失誤、自然災(zāi)害等危險(xiǎn)、有害因素。

1.7.1火災(zāi)、其他爆炸

①操作人員在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)吸煙或其他火種，引燃可燃物，造成火災(zāi)事故。

②可燃、易燃原輔材料遇明火引起火災(zāi)事故。

③防雷、防靜電設(shè)施存在缺陷，建構(gòu)筑物遭遇雷擊引起火災(zāi)事故。

④各種設(shè)備均由電氣操作，電氣設(shè)備、線路選型錯(cuò)誤、短路、超負(fù)荷、接觸不

良，會(huì)產(chǎn)生電火花，引起火災(zāi)事故。

⑤檢修動(dòng)火作業(yè)時(shí)，未嚴(yán)格執(zhí)行檢修管理制度，未視風(fēng)險(xiǎn)情況進(jìn)行動(dòng)火作業(yè)審

批，作業(yè)時(shí)現(xiàn)場(chǎng)缺少安全管理人員，存在動(dòng)火作業(yè)引燃附近電纜的危險(xiǎn)。

⑥若滅火器配置不足或者失效，發(fā)生著火事故時(shí)不能及時(shí)滅火，極易造成火災(zāi)

蔓延的危險(xiǎn)。

1.7.2容器爆炸

①壓力容器、空氣管道超負(fù)荷致容器超壓有可能發(fā)生爆炸。

②壓力容器、管道超期運(yùn)行，過期未檢測(cè)，有可能發(fā)生爆炸。

③壓力容器安全附件未定期檢測(cè)、失靈等，致空壓機(jī)超壓，有可能發(fā)生容器爆

炸。

④壓力容器超出使用年限未及時(shí)更換，年久失修，可能會(huì)發(fā)生容器爆炸事故。

1.7.3機(jī)械傷害

機(jī)械傷害指設(shè)備運(yùn)動(dòng)(靜止)部件、工具、加工件、直接與人體接觸引起的夾

擊、碰撞、剪切、卷入、絞、割、刺等傷害，不包括車輛、起重機(jī)械引起的機(jī)械傷害。

易造成機(jī)械傷害事故發(fā)生的因素主要有：

①機(jī)械設(shè)備的轉(zhuǎn)動(dòng)部位或外露的鋒利部位未做防護(hù)，無安全保險(xiǎn)裝置、無安全

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標(biāo)志、無護(hù)欄或者護(hù)欄損壞等，被人體接觸，機(jī)械設(shè)備的切割部位、突出部位及尖

銳部位會(huì)對(duì)人體造成直接傷害；其轉(zhuǎn)動(dòng)位置會(huì)將人的四肢、衣服、頭發(fā)卷入設(shè)備內(nèi)

造成人員的機(jī)械傷害。

②高速旋轉(zhuǎn)的設(shè)備，如果設(shè)施密封不嚴(yán)或者管道、門體和密封膠條等破損，會(huì)

帶來粉塵飛濺傷人事故。

③檢修、檢查機(jī)械時(shí)忽視安全措施。如檢修機(jī)械設(shè)備時(shí)，未切斷電源，未掛警

示牌，未設(shè)專人監(jiān)護(hù)等易造成機(jī)械傷害。

④設(shè)備的電源開關(guān)布局不合理。一旦遇有緊急情況不能做到立即停車，或者是

幾臺(tái)機(jī)械開關(guān)設(shè)在一起，均可能造成誤啟動(dòng)機(jī)械引發(fā)人機(jī)傷害。

⑤機(jī)械的檢修、保養(yǎng)未在停機(jī)狀態(tài)下進(jìn)行。在設(shè)備檢修、保養(yǎng)時(shí)其危險(xiǎn)部件往

往處于外露狀態(tài)，如果違章作業(yè)或監(jiān)管不當(dāng)，特別是在動(dòng)態(tài)檢查、調(diào)整、調(diào)試時(shí)，

易發(fā)生機(jī)械傷害。

⑥機(jī)械的控制參數(shù)出錯(cuò)，轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械速度過快，有造成機(jī)械故障的可能，有可能

傷及附近操作人員造成機(jī)械傷害事故。

⑦易發(fā)生危險(xiǎn)的設(shè)備或設(shè)備危險(xiǎn)部位未設(shè)置安全警示標(biāo)志，操作人員操作失

誤，有造成機(jī)械傷害的危險(xiǎn)。

⑧教育培訓(xùn)不到位，未經(jīng)過培訓(xùn)上崗，操作者業(yè)務(wù)素質(zhì)低，缺乏安全知識(shí)和自

我保護(hù)能力，不懂得安全操作技術(shù)，操作技能不高，工作時(shí)注意力不集中，對(duì)工作

馬虎大意，責(zé)任心不強(qiáng)，受外界影響而情緒波動(dòng)，不遵守操作規(guī)程，都是發(fā)生機(jī)械

傷害事故的間接原因。

1.7.4觸電

各企業(yè)生產(chǎn)設(shè)備設(shè)施均采用電氣化進(jìn)行，其配備的電氣設(shè)施在生產(chǎn)運(yùn)行中出現(xiàn)

故障時(shí)，容易造成觸電事故，導(dǎo)致人員傷害?？赡茉斐扇藛T觸電的情況有：

①電氣設(shè)備的絕緣不符合相應(yīng)的電壓等級(jí)要求，或者因遇到各種機(jī)械性的擠、

壓、砸等因素而使絕緣損壞。

②電氣設(shè)備的安全距離不夠；更換廠房照明、臨時(shí)接線等作業(yè)時(shí)未執(zhí)行停電確

認(rèn)制度；對(duì)變壓器進(jìn)行清掃、接頭緊固和實(shí)驗(yàn)時(shí)未執(zhí)行停電、驗(yàn)電、掛牌等制度。

③電氣設(shè)備和線路未按規(guī)定要求設(shè)置漏電保護(hù)裝置；電氣設(shè)備和線路未按規(guī)定

位置配置準(zhǔn)確、統(tǒng)一的安全標(biāo)志。

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集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

④電氣設(shè)備無過流保護(hù)或過流保護(hù)不當(dāng)，電動(dòng)機(jī)無過載保護(hù)或過載保護(hù)不當(dāng)。

⑤電氣設(shè)備產(chǎn)生靜電引起的電擊危險(xiǎn)。

⑥操作過程中未按規(guī)定穿戴配電專用的勞動(dòng)防護(hù)用品、地面未鋪設(shè)絕緣墊板、

違規(guī)操作等引起的觸電傷亡事故。

1.7.5車輛傷害

車輛傷害是指企業(yè)機(jī)動(dòng)車輛在行駛中引起的人體墜落、物體倒塌、下落、擠壓

等傷亡事故，不包括因機(jī)械設(shè)備提升、牽引車輛和車輛停駛時(shí)發(fā)生的事故。

使用叉車、托盤堆垛車及外來車輛運(yùn)輸，可能發(fā)生車輛傷害。車輛傷害事故發(fā)

生的方式主要有擠、撞、壓人和物料滾落傷人等。

①車間內(nèi)設(shè)置人行路線和叉車行駛路線，設(shè)置警示牌與指示標(biāo)志，指示叉車的

安全行駛，如果叉車不按照路線行駛或者制動(dòng)失靈、轉(zhuǎn)向失靈，均容易導(dǎo)致車輛傷

害的發(fā)生，造成人員傷亡或財(cái)產(chǎn)損失。

②叉車屬于特種設(shè)備，若駕駛?cè)藛T未取得特種作業(yè)證書，無證操作，叉車未定

期進(jìn)行檢測(cè)檢驗(yàn)，容易發(fā)生車輛傷害事故。

③叉車司機(jī)不按安全操作規(guī)程作業(yè)，可造成車輛傷害的危險(xiǎn)。疲勞駕駛、酒后

駕駛也是導(dǎo)致車輛事故的直接原因。

④使用叉車運(yùn)輸貨物時(shí)，因?yàn)樨浳镏匦牟环€(wěn)，或者未采取固定措施，當(dāng)時(shí)運(yùn)輸

時(shí)貨物脫落，若附近存在作業(yè)人員，可造成物體打擊事故。

1.7.6物體打擊

機(jī)械設(shè)備在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中機(jī)械部件、工件等脫落、飛出，引起物體打擊；生產(chǎn)車

間內(nèi)部分設(shè)備位置比較高，在維修時(shí)存在工具、附件、零部件等物件失落、飛落而

導(dǎo)致物體打擊，不僅會(huì)造成人員傷亡、財(cái)產(chǎn)損失，還會(huì)造成二次事故。具體危害如下:

①高處物體未被固定受碰撞、風(fēng)吹、振動(dòng)等墜落，可能造成物體打擊。

②無防范措施從高處拋擲物品，可能造成物體打擊。

③搬動(dòng)物品時(shí)由于疏忽大意，可能造成物體打擊。

④選用工具不當(dāng)造成翻倒、擠壓，可能造成物體打擊。

⑤設(shè)施受損倒坍以及碎片飛濺等都有可能對(duì)人員造成物體打擊傷害。

⑥檢修作業(yè)中違章作業(yè)，易造成物體打擊事故。

⑦動(dòng)力設(shè)備運(yùn)行過程中存在電器故障、電擊，可能造成物體打擊等二次事故。

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⑧在貨物的搬運(yùn)、裝卸等作業(yè)過程中，容易造成物體打擊事故。

⑨檢修作業(yè)中違章作業(yè)，易造成物體打擊事故。

1.7.7起重傷害

升降機(jī)、電動(dòng)葫蘆等起重設(shè)備本身存在缺陷或缺乏必要的安全防護(hù)；設(shè)備轉(zhuǎn)運(yùn)

時(shí)吊索斷裂；在作業(yè)時(shí)信號(hào)缺陷，標(biāo)志缺陷，操作失誤和監(jiān)護(hù)失誤、違反操作規(guī)程、

違章指揮，都易造成碰撞、物體墜落等起重傷害事故。具體危害如下：

①操作工人被軋?jiān)谶\(yùn)動(dòng)機(jī)件與固定物件之間或被墜落重物擊傷。

②安裝或拆卸起重機(jī)的工人從高處墜落。

③操作人員或其他人員接觸到架空電線或其它帶電導(dǎo)體。

④起重機(jī)超載致使起重物墜落而造成傷害。

⑤起重機(jī)械有發(fā)生電氣火災(zāi)的危險(xiǎn)。

⑥操作人員或其他人員在作業(yè)時(shí)站位不準(zhǔn)確（如在吊物等位置）有物體打擊的

危險(xiǎn)。

1.7.8高處墜落

工業(yè)生產(chǎn)中主要登高裝置有直梯、斜梯、活梯、活動(dòng)架、腳手架（通用的或塔

式的）、吊籠、吊椅，升降工作平臺(tái)、動(dòng)力工作平臺(tái)等。凡高度在基準(zhǔn)面2m以上的

高處作業(yè)稱為高處作業(yè)。有少許設(shè)備、設(shè)施的高度在2m以上，如屋頂消防檢查維

修、電梯（井）維護(hù)保養(yǎng)等，存在高處作業(yè)。造成高處墜落傷害發(fā)生的因素主要有:

①設(shè)備、設(shè)施工作平臺(tái)欄桿損壞，或者設(shè)計(jì)不符合有關(guān)規(guī)范。

②作業(yè)人員身體狀況差，不符合高處作業(yè)的安全要求；安全防護(hù)設(shè)施有缺陷，

沒有醒目的警示標(biāo)志。

③未實(shí)行危險(xiǎn)作業(yè)審批制度，高處作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)無安全監(jiān)管人員在場(chǎng)，勞動(dòng)防護(hù)用

品穿戴不到位等，都有可能發(fā)生高處墜落事故。

1.7.9中毒和窒息

經(jīng)辨識(shí)為有限空間的各個(gè)除塵器、消防水箱、攪拌釜、尾氣處理設(shè)施、冷卻循

環(huán)水池、污水池等的清理、檢維修作業(yè)為有限空間作業(yè)，有可能因作業(yè)前通風(fēng)不足、

違章作業(yè)等發(fā)生中毒和窒息事故。

生產(chǎn)過程中使用的甲、乙類危險(xiǎn)化學(xué)品可能造成中毒事故。

1.7.10淹溺

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集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

消防水箱、冷卻循環(huán)水池，如未設(shè)“當(dāng)心淹溺”、“有限空間禁止入內(nèi)”等安全

警示標(biāo)志，容易造成人員不幸溺水乃至死亡。

1.7.11灼燙

灼燙指火焰燒傷、高溫物體燙傷、化學(xué)灼傷（酸、堿、鹽、有機(jī)物引起的體內(nèi)

外灼傷、物理灼傷（光、放射性物質(zhì)引起的體內(nèi)外灼傷、不包括電灼傷和火災(zāi)引起

的燒傷）。

灼燙主要包括高溫液體、濺出、高溫、設(shè)備表面。

具體表現(xiàn)如下：

①違章作業(yè)；

②未正確穿戴防護(hù)用品：a,防護(hù)用品缺乏；b.因故未戴防護(hù)用品，缺乏防范知

識(shí)和意識(shí)；

③防護(hù)用品失效：a.防護(hù)用品破損；b.防護(hù)用品質(zhì)量不合格；c.選型不當(dāng)；d.

泄漏應(yīng)急不當(dāng)；e.防護(hù)用品使用不當(dāng)；

④高溫作業(yè)人員受環(huán)境熱負(fù)荷的影響，作業(yè)能力隨溫度的升高而明顯下降。研

究資料表明，環(huán)境溫度達(dá)到28C時(shí)，人的反應(yīng)速度、運(yùn)算能力、感覺靈敏性及感

覺運(yùn)動(dòng)協(xié)調(diào)功能都明顯下降。35c時(shí)僅為一般情況下的70%左右；極重體力勞動(dòng)作

業(yè)能力，30℃時(shí)只有一般情況下的50%-70%,35c時(shí)僅有30%左右。使勞動(dòng)效率降

低，增加操作失誤率。高溫環(huán)境會(huì)引起中暑，長期高溫作業(yè)可出現(xiàn)高血壓、心肌受

損和消化功能障礙病癥。

1.7.12噪聲

在生產(chǎn)過程會(huì)產(chǎn)生噪聲，長期接觸噪聲會(huì)對(duì)人體和環(huán)境產(chǎn)生危害，其危害程度

主要取決于噪聲強(qiáng)度（聲壓）的大小、頻率的高低和接觸時(shí)間的長短。止匕外，危害

程度與噪聲的特性、接觸方式和個(gè)體敏感性有關(guān)。

其對(duì)人體的危害主要有以下幾個(gè)方面：

①聽力和吸覺器官的損傷：人聽覺器官的適應(yīng)性是有一定的限度的，長期在強(qiáng)

噪聲的作用下，聽力逐漸減弱，引起聽覺疲勞。若長年累月在強(qiáng)烈噪聲的反復(fù)作用

下，可能導(dǎo)致內(nèi)耳器官發(fā)生了器質(zhì)性病變，引起噪聲性耳聾。

②引起心血管系統(tǒng)的病癥和神經(jīng)衰弱：噪聲可以使交感神經(jīng)緊張，表現(xiàn)為心跳

加快，心律不齊，血壓有波動(dòng)，心電圖陽性率增高，噪聲引起神經(jīng)衰弱，如頭痛、

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頭暈、失眠、多夢(mèng)、乏力、記憶力衰退、心悸、惡心等。神經(jīng)衰弱的陽性率隨噪聲

聲級(jí)的增設(shè)而增高。

③對(duì)內(nèi)分泌系統(tǒng)的影響：噪聲可導(dǎo)至交感神經(jīng)活性增加，腎激素分泌增加，尿

中兒茶酚胺排出量增加，性腺功能發(fā)生變化，周期紊亂，月經(jīng)失調(diào)，生殖能力下降。

④對(duì)消化系統(tǒng)的影響：噪聲可導(dǎo)至胃腸功能紊亂，消化功能減弱，有消化道潰

瘍報(bào)道。

⑤對(duì)心理精神影響影響：長期接噪，影響工作效率，干擾談話，妨礙休息，健

忘厭煩苦惱，情緒壞。

1.7.13人的失誤

作業(yè)過程存在個(gè)人失誤或集體失誤的可能，如違章作業(yè)、違章指揮、違反勞動(dòng)

紀(jì)律、決策失誤、信息交流失誤等。操作人員安全意識(shí)不強(qiáng)、習(xí)慣性違章。如：檢

查、檢修設(shè)備時(shí)不停機(jī)。

1.7.14自然災(zāi)害

自然環(huán)境條件中對(duì)生產(chǎn)裝置及其相關(guān)設(shè)施可以造成危險(xiǎn)的因素主要包括地震、

雷擊、氣溫、風(fēng)、暴雨等。

①地震

地震是一種能產(chǎn)生巨大破壞作用的自然現(xiàn)象，尤其對(duì)建構(gòu)筑物的破壞作用明

顯，嚴(yán)重威脅建筑、設(shè)備和人員的安全，地震還可進(jìn)一步引發(fā)火災(zāi)、爆炸等事故。

鹽城市的地震動(dòng)峰值加速度為0.05g(相當(dāng)于六度，城市生命線工程要高一等

級(jí)設(shè)防。根據(jù)《中國地震動(dòng)參數(shù)區(qū)劃圖》(GB18306-2015)和《建筑抗震設(shè)計(jì)規(guī)范》

(GB50011-2010,2016版)，工程建筑抗震設(shè)防類別為丙類，抗震設(shè)防烈度為6度，

設(shè)計(jì)基本地震加速度為0.05g,場(chǎng)地類別IV類。

②雷擊

建筑及設(shè)備缺少防雷電設(shè)施就有可能遭受雷電侵襲破壞，電器設(shè)備火災(zāi)爆炸、

人身傷害等。

缺少避雷設(shè)施或避雷設(shè)施接地不良，放靜電接地電阻過大，都可能遭到雷擊或

雷電感應(yīng)放電。

①雷電可直接造成人員傷亡，建筑物損毀、設(shè)備損壞。

②雷電還可能衍生火災(zāi)、停電等其他事故，造成人員傷亡、財(cái)產(chǎn)損失。

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集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

③氣溫

1）本地極端最高氣溫可達(dá)38.75C,高溫使作業(yè)環(huán)節(jié)的危險(xiǎn)性增大，噴漆設(shè)

備，焊接、切割使用的氣瓶等，長時(shí)間受高溫影響，管道等易發(fā)生膨脹，管道、閥

門和泵等設(shè)備連接處也易滲漏。在高溫環(huán)境下，生產(chǎn)人員在高溫環(huán)境中易出現(xiàn)操作

失誤。異常高溫期間可能發(fā)生的事故分析在異常高溫天氣。在夏季高溫期間，在通

風(fēng)較差的室內(nèi)由于通風(fēng)條件差、局部濕度大及高溫，極易造成人員缺氧中暑或休克。

高溫還會(huì)增加人的疲勞與懈怠程度，致使作業(yè)人員反應(yīng)遲鈍，容易出現(xiàn)差錯(cuò)，增加

事故發(fā)生的可能性。

2）所在地極端最低氣溫為-11.8℃,冬季會(huì)受到低溫危害。在低溫氣象條件下,

循環(huán)水管可能會(huì)堵塞，嚴(yán)寒有可能導(dǎo)致設(shè)備、管道、閥門凍壞破裂，并造成物質(zhì)泄

漏和人員凍傷。體溫下降，操作能力降低，注意力不集中，作業(yè)失誤率增高。另外

冰凍地面還易引起滑倒摔傷。

④強(qiáng)風(fēng)

區(qū)域年平均風(fēng)速：3m/s,不是很大，但會(huì)短時(shí)間出現(xiàn)強(qiáng)風(fēng)現(xiàn)象，風(fēng)速最大為

23m/so建、構(gòu)筑物或設(shè)備設(shè)施等若受風(fēng)載荷能力不足，有坍塌的危險(xiǎn)。室外高大

設(shè)施，如電線桿若基礎(chǔ)固定不牢靠等因素，人員作業(yè)時(shí)受到危害。

⑤暴雨

夏季時(shí)節(jié)，往往伴有暴雨，若場(chǎng)區(qū)防洪及排水設(shè)施不良，會(huì)對(duì)臨時(shí)儲(chǔ)存區(qū)、生

產(chǎn)區(qū)等造成影響。

1）雨天車輛駕駛員視線不清，地面積水不利于車輛制動(dòng)，易造成車輛傷害事故。

2）雨天地面摩擦系數(shù)降低，作業(yè)人員易滑倒?？赡茉斐筛咛帀嬄浠蚵渌湍?。

3）雨天易造成電氣短路或引發(fā)觸電事故。

4）暴雨天如排水不暢，影響安全作業(yè)。

⑥地質(zhì)條件

項(xiàng)目所在地地質(zhì)條件良好，斷裂構(gòu)造不發(fā)育，不會(huì)對(duì)項(xiàng)目建設(shè)和安全運(yùn)行造成

大的影響。

1.8鹽城市集成電路產(chǎn)業(yè)鏈較大以上安全風(fēng)險(xiǎn)

根據(jù)各企業(yè)申報(bào)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，產(chǎn)業(yè)鏈主要存在2類較大以上安全風(fēng)險(xiǎn)，分別為：0301

項(xiàng)有限空間作業(yè)、0309項(xiàng)儲(chǔ)存場(chǎng)所易燃、可燃、有毒物料泄漏、燃燒，詳見下表。

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鹽城市重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈安全生產(chǎn)指導(dǎo)服務(wù)手冊(cè)

全

安

險(xiǎn)

風(fēng)險(xiǎn)代碼/風(fēng)可能導(dǎo)致的事故風(fēng)

序號(hào)危險(xiǎn)因素名稱主要防控措施

級(jí)

險(xiǎn)名稱類型及其后果等

1.未開展有限空間辨識(shí)，未設(shè)管理措施：

置明顯安全警示標(biāo)志；1.開展有限空間辨識(shí)，并設(shè)置明顯安全警示標(biāo)志；

2.未嚴(yán)格執(zhí)行有限空間作業(yè)管2.嚴(yán)格執(zhí)行有限空間作業(yè)管理制度和操作規(guī)程；履行作業(yè)許可手續(xù)；

理制度和操作規(guī)程，未履行作3.對(duì)有限空間作業(yè)相關(guān)人員進(jìn)行專項(xiàng)安全培訓(xùn)教育。

業(yè)許可手續(xù)；技術(shù)措施：

3.未對(duì)有限空間作業(yè)相關(guān)人員1.作業(yè)前，先通風(fēng)，現(xiàn)場(chǎng)作業(yè)人員在佩戴好空氣呼吸器、全身式安全

較

進(jìn)行專項(xiàng)安全培訓(xùn)教育；帶等防護(hù)用品的前提下，排凈閥門井內(nèi)的積水：再檢測(cè)，對(duì)其氧氣含大

安

0301/有限空4.未為作業(yè)人員配備防護(hù)用窒息（人員傷亡、量檢測(cè)合格后方可作業(yè)：作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)至少設(shè)有兩人進(jìn)行監(jiān)護(hù)；全

1風(fēng)

間作業(yè)品，并監(jiān)督正確穿戴、使用；財(cái)產(chǎn)損失2.進(jìn)入自然通風(fēng)換氣效果不良的有限空間，采用機(jī)械通風(fēng)，作業(yè)時(shí)，險(xiǎn)

5.未加強(qiáng)作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)管理，未嚴(yán)操作人員所需的適宜新風(fēng)量應(yīng)為30?50nf/h；

格執(zhí)行先通風(fēng)、再檢測(cè)、后作3.作業(yè)中斷時(shí)間超過30min時(shí)，必須重新進(jìn)行氣體檢測(cè)；

業(yè)；4.作業(yè)結(jié)束后，清理干凈工具、雜物，作業(yè)和監(jiān)護(hù)人員簽字保存記錄。

乍業(yè)現(xiàn)場(chǎng)未安排監(jiān)護(hù)人，未

6.i個(gè)體防護(hù)措施：為有限空間作業(yè)相關(guān)人員配備安全繩、呼吸器等防護(hù)

配備急救援物資；用品，并督促正確穿戴、使用。

7.通風(fēng)不良，易造成氧含量不應(yīng)急措施：制定有限空間專項(xiàng)應(yīng)急預(yù)案；配備安全繩、全身式安全帶、

足。呼吸器等救援器材，定期組織應(yīng)急演練等。

管理措施：

1.違章操作；1.嚴(yán)格執(zhí)行規(guī)章制度、操作規(guī)程、責(zé)任制，組織員工安全教育培訓(xùn)，

.違章動(dòng)火:違章吸煙等外來

2并考核合格上崗；

火種；2.嚴(yán)禁違章動(dòng)火或外來火種進(jìn)入成品儲(chǔ)存區(qū)。

較

0309/儲(chǔ)存場(chǎng)3.電氣線路短路產(chǎn)生電氣火火災(zāi)、其他爆炸技術(shù)措施：大

安

所易燃、可花；（人員傷亡、財(cái)產(chǎn)1.儲(chǔ)存區(qū)物料堆放按照“五距”規(guī)定存放；全

風(fēng)

2險(xiǎn)

燃、有毒物料4.物料未按照“五距”要求堆損失）2.按規(guī)定安裝防雷裝置，并定期檢測(cè)合格；

泄漏、燃燒放；3.儲(chǔ)存區(qū)張貼“嚴(yán)禁煙火”等警示標(biāo)識(shí)。

最配置消防器材；

5.個(gè)人防護(hù)措施：為員工配備防煙面罩等應(yīng)急防護(hù)用品，并指導(dǎo)正確穿

6.未設(shè)置安全警示標(biāo)識(shí)；O

7.廠房未定期進(jìn)行防雷檢測(cè)。應(yīng)急措施：定期組織應(yīng)急預(yù)案演練，配備齊全有效的應(yīng)急器材，并定

期維護(hù)保養(yǎng)。

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集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

集成電路產(chǎn)業(yè)安全生產(chǎn)管理

產(chǎn)業(yè)鏈上游一半導(dǎo)體材料及設(shè)備篇

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鹽城市重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈安全生產(chǎn)指導(dǎo)服務(wù)手冊(cè)

2半導(dǎo)體生產(chǎn)制造

半導(dǎo)體企業(yè)特別是高端芯片制造企業(yè)在我國屬于新興的高新技術(shù)企業(yè)。半導(dǎo)體

制造需保證穩(wěn)定的原料供給，便利的運(yùn)輸條件，充足的水源和大量的勞動(dòng)力投入。

在其生產(chǎn)過程中需要保證各項(xiàng)氣體環(huán)境，因而涉及到多種特種氣體，其中多種

氣體為易燃易爆氣體，如氫氣、氯氣、氨氣等。另外，特殊材料氣體所具有的危害

性是非常多的，包括毒性、自燃性、助燃性、自行分解性、窒息性、腐蝕性等，特

別是其毒性一般都是非常強(qiáng)的，在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的半導(dǎo)體晶圓代工廠的制

造過程中，全部工藝步驟超過450道，其中大約要使用50種不同種類的氣體。

除此之外，生產(chǎn)過程中也會(huì)涉及雙氧水、硫酸、氫氟酸等危化品試劑作為清洗

液、化學(xué)蝕刻劑。

2.1特種氣體安全管理要點(diǎn)

根據(jù)所使用的不同類別氣體，大致可以分為五大類：

一、易燃性氣體

自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。

如常溫下的SiH,氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定情況下，

PH：,與B2H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃。

可燃易燃?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即爆炸上、下限值范圍。此范圍

越大的氣體引起爆炸燃燒危險(xiǎn)性就越高，如B2H6的爆炸上限為98%,爆炸下限為

0.9%0屬于易燃?xì)怏w有上、NL、PH、DCS、CIF3等等。

二、毒性氣體

半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都為有害、有毒氣體。其中又以As?。、B2H6、

PL等氣體的毒性最大。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸

送以及使用的過程中都要求特別的小心。

一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。NO、CF6等都屬于毒性

氣體。

三、腐蝕性氣體

半導(dǎo)體制造業(yè)的腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀

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集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示很強(qiáng)的腐蝕性，如HC1、HF、

CIF3等。

四、惰性氣體

惰性氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對(duì)于安全

上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有室息特性，在密閉空間若發(fā)生泄

漏會(huì)使人室息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2F6、CF,等。

這些氣體具有多種用途，有些會(huì)蝕刻電子零件，而另一些會(huì)在上面沉積材料。

氮?dú)庥糜诖祾呤痔紫浠虬雽?dǎo)體室，以確保環(huán)境的純度。由于氮?dú)獗瓤諝庵兀鼘?/p>

空氣推出環(huán)境，從而形成缺氧狀態(tài)。這對(duì)半導(dǎo)體制造是有益的，因?yàn)樗梢源_保環(huán)

境無菌并防止某些材料與氧氣相互作用。

五、氧化性氣體

顧名思義，這類氣體具有較強(qiáng)的氧化性，一般同時(shí)具有其它特性，如毒性或腐

蝕性等。屬于這類的氣體有CIF3、NF：,等。

1）應(yīng)在使用前對(duì)各種危險(xiǎn)氣體的安全數(shù)據(jù)加以了解，并應(yīng)該知道如何應(yīng)對(duì)這

些氣體外泄時(shí)的緊急處理程序。

2）安裝眼鏡閥（與密封蝶閥或閘閥并用）、盲板、葉形插板閥、一道開閉器加

一道水封等可靠隔斷裝置，形成有效切斷的安全裝置。

3）檢修時(shí)，作業(yè)人員必須攜帶相應(yīng)報(bào)警儀、設(shè)專人進(jìn)行監(jiān)護(hù)。

4）嚴(yán)格執(zhí)行動(dòng)火制度。在設(shè)備、管道動(dòng)火時(shí)，氧氣含量必須控制在23%以下;

在生產(chǎn)區(qū)域或容器內(nèi)動(dòng)火時(shí)，應(yīng)控制氧氣含量在19.5-23%o

5）人員不應(yīng)穿化纖工作服與帶釘鞋，嚴(yán)禁帶入火種。

6）工作中中不準(zhǔn)隨意敲擊設(shè)備，檢修人員應(yīng)使用銅質(zhì)工具，不準(zhǔn)隨意觸動(dòng)運(yùn)

行設(shè)備，檢修設(shè)備與運(yùn)行設(shè)備間應(yīng)采取隔離措施。

7）各種氣、液體管道按規(guī)范設(shè)施清楚的色標(biāo)、介質(zhì)名稱。

8）特氣運(yùn)行管理人員必須取得危險(xiǎn)化學(xué)品管理安全資質(zhì)、壓力容器及壓力管

道作業(yè)資質(zhì)，另外相關(guān)人員還需要經(jīng)過專業(yè)的特氣設(shè)備操作維護(hù)運(yùn)行及異常處理的

專業(yè)培訓(xùn)后方可上崗作業(yè)。

9）運(yùn)行人員每天需對(duì)特氣系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)次點(diǎn)檢和巡檢。特氣系統(tǒng)狀態(tài)及儀表的

數(shù)值是點(diǎn)檢及巡檢的重要內(nèi)容，如壓力、溫度、重量等，還包括所有氣體偵測(cè)器的

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檢測(cè)數(shù)值。在標(biāo)準(zhǔn)的點(diǎn)檢表中，特氣儀表數(shù)值都有一個(gè)管理值。運(yùn)行人員在點(diǎn)檢過

程中察看各個(gè)數(shù)值是否在管理值范圍內(nèi)，如超出管理值，則必須馬上查找原因。

2.2危險(xiǎn)化學(xué)品試劑安全管理要點(diǎn)

1）操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。

2）操作人員需佩戴過濾式防毒面具（活性炭面罩），戴安全防護(hù)眼鏡，穿防靜電

工作服，戴橡膠耐油手套（或手指套）。

3）危險(xiǎn)化學(xué)品試劑使用場(chǎng)所需遠(yuǎn)離火種、熱源工作場(chǎng)所嚴(yán)禁吸煙。

4）搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸，防止包裝及容器損壞。

5）工作場(chǎng)所應(yīng)配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

6）倒空的容器可能殘留有害物不可隨意拋棄。

7）廢棄處理物要用合適方法處理。

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集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

集成電路產(chǎn)業(yè)安全生產(chǎn)管理

產(chǎn)業(yè)鏈中游一集成電路設(shè)計(jì)、制造篇

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3集成電路設(shè)計(jì)、制造

集成電路設(shè)計(jì)、制造生產(chǎn)企業(yè)使用各類高精密度高性能機(jī)床如自動(dòng)精密研磨拋

光機(jī)、加熱平臺(tái)、清洗化銀自動(dòng)線、煜料蝕刻、顯影蝕刻連退膜機(jī)等，從工藝流程

分析，企業(yè)的安全風(fēng)險(xiǎn)和一般機(jī)械行業(yè)企業(yè)相差不大。

1）精密機(jī)床必需嚴(yán)格定人定機(jī)并保持較長時(shí)間的相對(duì)穩(wěn)定。

2）操作者必需經(jīng)過考試合格，持有本機(jī)床的《設(shè)備操作證》，方可操作本機(jī)床。

3）操作者須熟識(shí)本機(jī)床的結(jié)構(gòu)、性能、加工規(guī)范、操作程序方法和維護(hù)保養(yǎng)

規(guī)程。

4）操作者應(yīng)保持本機(jī)床及全部附件的完正與良好，對(duì)本機(jī)床的技術(shù)狀態(tài)負(fù)責(zé)。

5）精密機(jī)床所使用的工具，需為專用的工具。

6）操作者應(yīng)保持工作間的干凈，不堆放與工作無關(guān)的工件和什物。

7）內(nèi)貯有壓力的受壓容器上，不得進(jìn)行修理工作，避免由于噴出蒸汽、氣體

和其他的物質(zhì)作用，而發(fā)生不幸事故。

8）一切人員若發(fā)現(xiàn)有危險(xiǎn)象征時(shí)，應(yīng)立即報(bào)告有關(guān)人員，以便及時(shí)采取措施

進(jìn)行消除。

9）車間內(nèi)的一切電器設(shè)備不得任意拆卸和安裝，若工作需要時(shí)，須經(jīng)有關(guān)部

門批準(zhǔn)并在保證安全的情況下方可拆卸和安裝。

10）正確的利用一切防護(hù)保險(xiǎn)裝置，對(duì)機(jī)器設(shè)備上的保險(xiǎn)、防護(hù)裝置不得任意

拆卸。

11）機(jī)修部門拆卸、安裝及修理電氣設(shè)備時(shí)，應(yīng)首先切斷電源，確認(rèn)無電后再

進(jìn)行工作。特殊情況下，允許帶電修理低壓設(shè)備，但必須采取可靠的防護(hù)措施（在

特別潮濕、有導(dǎo)電粉塵、化學(xué)活動(dòng)性大及有火災(zāi)和爆炸危險(xiǎn)的場(chǎng)所，絕對(duì)禁止帶電

作業(yè)）。

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集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

集成電路產(chǎn)業(yè)安全生產(chǎn)管理

產(chǎn)業(yè)鏈下游一集成電路應(yīng)用篇

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4集成電路的應(yīng)用

主要安全風(fēng)險(xiǎn)點(diǎn)在于機(jī)動(dòng)車輛作業(yè)、叉車作業(yè)、人工搬運(yùn)作業(yè)。

4.1機(jī)動(dòng)車輛安全管理要點(diǎn)

車輛物流運(yùn)輸時(shí)，禁止超速駕駛、禁止疲勞駕駛、禁止酒后駕駛，可有效避免

人為事故的發(fā)生。

進(jìn)出作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)或行駛途中，要注意上空有無障礙物，非緊急情況下，不得急轉(zhuǎn)

彎和急剎車。

4.2叉車作業(yè)安全管理要點(diǎn)

1）叉車駕駛員必須經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn)，通過安全生產(chǎn)監(jiān)督部門的考核，取得特種

設(shè)備培訓(xùn)合格證，并經(jīng)企業(yè)同意后方能駕駛，嚴(yán)禁無證操作；

2）嚴(yán)禁酒后駕駛，行駛中不得飲食、閑談、使用手機(jī)或?qū)χv機(jī)等行為；

3）車輛啟動(dòng)前，應(yīng)檢查車輛的音響信號(hào)、電瓶電路、運(yùn)轉(zhuǎn)、制動(dòng)性能、貨叉、

輪胎，確認(rèn)處于完好狀態(tài)，起步前要查看周圍有無人員和障礙物，然后鳴笛起步；

4）叉車在載物起步時(shí)，駕駛員應(yīng)先確認(rèn)所載貨物平穩(wěn)可靠，起步時(shí)須緩慢平

穩(wěn)起步，叉車在行駛時(shí)嚴(yán)禁任何人攀爬與乘坐，貨叉嚴(yán)禁站人；

5）除裝卸貨物外，必須靠右側(cè)行駛；

6）空載時(shí)貨叉距離地面50-150毫米:載貨行駛時(shí)貨架離地高度不得大于500

毫米，起升門架須后傾到上限位置；

7）除會(huì)車，其余情況下叉車行駛應(yīng)于其他叉車保持10米左右安全距離；

8）叉車在運(yùn)行途中若遇交叉路口或狹窄路口，應(yīng)按喇叭減速慢行，并隨時(shí)準(zhǔn)

備停車；

9）進(jìn)出作業(yè)現(xiàn)場(chǎng)或行駛途中，要注意上空有無障礙物，非緊急情況下，不得

急轉(zhuǎn)彎和急剎車；

10）載貨上坡應(yīng)正向行駛，載貨下坡應(yīng)倒退行駛，確保重心落在前輪；任何情

況下都不允許在斜坡上調(diào)頭或停車；

11）叉車行駛時(shí)原則上不得超車，如需要超越停駛車輛時(shí)，應(yīng)鳴號(hào)減速，注意

觀察，防止該車突然起步或有人從車上跳下；

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集成電路產(chǎn)業(yè)鏈

12）嚴(yán)禁超載、偏載行駛，裝卸貨物時(shí)，即貨叉承重開始至承重平穩(wěn)，必須啟

動(dòng)剎車；

13）作業(yè)速度需緩慢，作業(yè)結(jié)束后禁止將貨物懸停于空中，卸貨后應(yīng)先將貨叉

降至正常位置后再行駛；

14）叉載物品時(shí)，貨物重量應(yīng)平均分擔(dān)在兩貨叉上，貨物不得偏斜，叉車所載

物品不得遮擋駕駛員視線，如出現(xiàn)遮擋駕駛品視線或貨物易滑時(shí)，應(yīng)倒車緩慍行駛;

15）裝卸貨物時(shí)，貨叉應(yīng)緩慢接近或撤離物品，注意車輪不要碾壓物品及托盤

等；

16）叉車在起重升降或行駛時(shí)，禁止任何人員站在貨叉上把持物件或起平衡作

用、叉車叉物升降時(shí)，貨叉半徑1米范圍內(nèi)禁止站人；

17）運(yùn)貨上貨柜車前，應(yīng)先觀察貨柜車與裝卸平臺(tái)是否靠緊，車廂里是否有人,

檢查貨車的承重能力和貨車與踏板的傾斜度，確認(rèn)安全后再進(jìn)行裝卸；

18）叉車不得停放在坡度大于30度的路段上，不能將叉車停靠在緊急通道、

出入口、消防設(shè)施等地方；

19）嚴(yán)禁在叉車啟動(dòng)的情況下進(jìn)行維修、裝拆零部件，嚴(yán)禁自行維修叉車和裝

拆零部件；

20）遵守叉車作業(yè)“七不準(zhǔn)”：

不準(zhǔn)將貨物升高后做長距離行駛（高度大于500毫米）；

不準(zhǔn)用貨叉挑翻貨盤和利用制動(dòng)慣性溜放的方法卸貨；

不準(zhǔn)叉一托盤貨物頂撞另外貨物或頂撞其他物品；

不準(zhǔn)將叉車交給無駕駛證人員操作；

不準(zhǔn)直接鏟運(yùn)危險(xiǎn)品；

不準(zhǔn)用貨叉載人作業(yè)，貨叉升起后下方嚴(yán)禁站人和進(jìn)行維修工作；

不準(zhǔn)用叉車拖拽其他車輛，如確實(shí)需要叉車牽引，需經(jīng)過負(fù)責(zé)人同意。

4.3人工裝卸作業(yè)安全管理要點(diǎn)

1）平臺(tái)必須由指定的操作人員負(fù)責(zé)操作，其他人不得擅自啟動(dòng)。

2）操作人品在升降平臺(tái)時(shí)，必須告知他人遠(yuǎn)離升降平臺(tái)，站在安全區(qū)域。

3）車輛未安全?？吭谡九_(tái)時(shí)，操作人員不得啟動(dòng)裝卸平臺(tái)。

4）裝卸平臺(tái)出現(xiàn)故障或損壞時(shí)，操作人員不得強(qiáng)行啟動(dòng)裝卸平臺(tái)。

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鹽城市重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)鏈安全生產(chǎn)指導(dǎo)服務(wù)手冊(cè)

5）裝卸平臺(tái)的搭接板至少搭接在車廂板上100毫米處。

6）裝卸貨物時(shí)，不得將裝卸平臺(tái)緊急停止按鈕轉(zhuǎn)到停止位置。

7）裝卸平臺(tái)工作時(shí)，應(yīng)關(guān)閉電源，防止誤操作。

8）作業(yè)結(jié)束后，操作人員要將裝卸平臺(tái)恢復(fù)到原位置，隨即關(guān)閉電源。

9）維修人員每月按要求對(duì)裝卸平臺(tái)進(jìn)行保養(yǎng)，并做好記錄。

10）平臺(tái)發(fā)生故障應(yīng)及時(shí)設(shè)立“停止使用”或“正在維修”的安全