士蘭集昕微年產(chǎn) 36 萬片 12 英寸芯片生產(chǎn)線項目建設項目環(huán)境影響報告表

1 14 72 85 105 107 108 141 1731 /0本項目排放氯氣且廠界是本項目廢水經(jīng)預處理達否有毒有害和易燃易爆危險物質存本項目有毒有害和易燃易爆危險物質存儲量超是冬場和洄游通道的新增河道取水本項目所在地取水口下否2直接向海排放污染物的海洋工程本項目不涉及直接向海否小鎮(zhèn)作為大學城、大學生、大眾創(chuàng)業(yè)首選地根據(jù)杭州大創(chuàng)小鎮(zhèn)用地規(guī)劃圖，本項目位于大創(chuàng)小鎮(zhèn)產(chǎn)業(yè)規(guī)劃布局3本次規(guī)劃實施后，規(guī)劃定位與城市總體規(guī)劃、土地利用規(guī)劃、環(huán)境功能區(qū)劃等上位規(guī)劃的定位要求基本一致，規(guī)劃目標與當前環(huán)保要已配套建設；大氣環(huán)境容量存在短板，規(guī)劃實施后污染物總量表1-2項目所在區(qū)塊生態(tài)空間管控要求類別生產(chǎn)空間2、新建二類工業(yè)項目污染物排放水平需達到4表1-3項目所在區(qū)塊環(huán)境準入條件清單區(qū)涉及化學反應電子專用材料刷量高于杭州市上年度平均指標的《杭州市區(qū)（六城《杭州市產(chǎn)業(yè)發(fā)展導向目錄與產(chǎn)業(yè)平/////項目實施后，項目廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理設施預處理后納入杭州市七格污水處理廠處理達標后排放；酸性廢氣經(jīng)堿液噴淋吸收項目“三廢”經(jīng)采取適當?shù)奈廴痉乐未胧┖竽軌蜻_到規(guī)劃環(huán)評中提出的相應污染物排放5表1-4管控單元生態(tài)環(huán)境準入清單符合性一覽表根據(jù)產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)塊的功能定位，建立分區(qū)差別化的產(chǎn)業(yè)準入強化工業(yè)集聚區(qū)企業(yè)環(huán)境風險防范設施設備建設和正常運行//本項目與《浙江省“十四五”揮發(fā)性有機物綜合治理方案》符合性分析詳表1-5《浙江省“十四五”揮發(fā)性有機物綜合治理方案》符合性分析限制高VOCs排放化工類建設項目，禁止建項目不涉及使用VOCs含量限值不符合國單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》中的相關要‘氣經(jīng)過沸石濃縮轉輪焚燒系統(tǒng)處理后高空全面推行工業(yè)涂裝企業(yè)使用低VOCs含量原輔材料。嚴格執(zhí)行《中華人民共和國大十六條規(guī)定，選用粉末涂料、水性涂料、無溶劑涂料、輻射固化涂料等環(huán)境友好（高固體分）溶劑型涂料。工業(yè)涂裝企業(yè)所使用的水性涂VOCs物料儲存、轉移和輸送、設備與管線組件泄漏、敞開液面逸散以及工藝應間排風系統(tǒng)接至相應的廢氣排氣筒后有 7項目有機廢氣經(jīng)過沸石濃縮轉輪焚燒系統(tǒng)處理后高空排放，綜合去除效率可以達到要求企業(yè)在后續(xù)生產(chǎn)過程中加強治理設施8預處理后納管排入杭州七格污水處理廠集中處理達標后排放，對附近水體無影9（試行，2022年版浙江省實施細則》相關要求。表1-7建設項目環(huán)境保護管理條例重點要求（四性五不批）符合性分析四性環(huán)境規(guī)劃、總量控制原則及環(huán)境質量要求性根據(jù)《建設項目環(huán)境影響報告表編制技術均可得到有效控制并能做到達標排放或者綜合考慮建設項目實施后對各種環(huán)境因素五不批規(guī)模等不符合環(huán)境保護法律法項目選址符合《杭州大創(chuàng)小鎮(zhèn)綜合發(fā)展規(guī)策；項目運營過程中各類污染物均能得到和達標排放原則，不會對環(huán)境造成不良影所在區(qū)域環(huán)境質量未達到國家項目擬采取的措施不能滿足區(qū)項目所在區(qū)域聲環(huán)境質量和地表水環(huán)境質量均達標，大氣環(huán)境質量現(xiàn)狀中臭氧濃度氣質量將會逐步好轉，同時本項目廢氣中不含影響臭氧濃度的污染因子，且項目廢境功能區(qū)的質量，項目實施不會改變所在建設項目采取的污染防治措施無法確保污染物排放達到國家實各項污染防治措施，各類污染物均可得到有效控制并能做到達標排放或者不對外針對項目原有環(huán)境污染和生態(tài)本項目屬于擴建項目，環(huán)評中對企業(yè)原有項目的環(huán)境管理措施等提出了進一步要境影響報告表的基礎資料數(shù)據(jù)本評價基礎資料數(shù)據(jù)具有真實性，內容不工藝技術、慣性傳感器-MEMS陀螺儀等核心技術方面實現(xiàn)了產(chǎn)品的批量產(chǎn)出。本工程使用水冷離心式空壓機和變頻螺桿式空壓機用于設備氣動以及吹掃1電2水3////一步提高這部分水的利用率。如將部分RO濃④編制生產(chǎn)工藝單和作業(yè)指導書，生產(chǎn)過程的控制需按照生產(chǎn)計劃有序進由于清潔不是絕對的，建議公司在今后的發(fā)展過程中，按照質量管理體系建設內容///站低溫供給能力為2400冷噸，中溫供給現(xiàn)有純水系統(tǒng)處理能力為200m3/h，采用預處理-反滲透-MB等處理工處理站處理達標后排入周邊市政污水管網(wǎng)送杭州市七格污水處理廠處50m3/h水處理站，內設含氟廢水系統(tǒng)1套（60m3/h）、酸堿廢水系統(tǒng)1套個風口（15000m3/h企業(yè)剩余吸風口/11213131片0203MEMS傳感器芯片04片05060根據(jù)企業(yè)提供的可研報告，本項目新增設備清序號根據(jù)企業(yè)提供的可研報告，項目主要原輔材料消耗2.1.6勞動定員及生產(chǎn)時間建設內容序號1建設內容站、廢水站、應急水池、變電站及輔助用房北側由西向東分別為污水處理站、危廢暫存區(qū)為兩層。南側生產(chǎn)輔助區(qū)設置人員主入口、更衣、吹淋用圖2-1本次擴建項目水平衡圖（t/d）圖2-2擴建后全廠水平衡圖（t/d）化裝置及酸性廢氣洗滌塔排水進入含氟廢水處理系③離子注入工序主要用到BF3，廢氣主要為未反應的廢氣，產(chǎn)生的工藝尾氣全部排入堿性廢氣洗滌塔處理。堿性廢氣處理系統(tǒng)排③濕法刻蝕工序：主要用到刻蝕液（氟化銨少量進入廢氣，廢水收集后一并進入含氟廢水處理系統(tǒng)處理后在進入綜合酸堿廢水處理系統(tǒng)進④C2H2Cl2、C2H4Cl2用于熱氧化，反應生成HCl等工藝尾氣，全部進入“燃燒+水洗建設內容丙酮等。涉及有機溶劑的工序主要為：光刻涂膠工序、光刻去膠工序、干燥工序、光⑤清洗工序：NMP用于濕法刻蝕清洗工序，少量NMP將揮發(fā)進入廢氣，少部分進入廢水，剩余進入廢NMP溶劑作為危廢處置。劑NMP甲基氫氧化銨8工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)集成電路是通過一定的工藝技術，將一些元器件（如晶體管、電阻、電容等）包括硅片投入、芯片前、中段工序加工、芯片測試等工序。本項目工藝流程和企2.3.1清洗工序簡介及產(chǎn)污節(jié)點分析清洗槽，用純水反復清洗，將其表面粘附的藥液清洗干凈后進入下一道劑有氨水、過氧化氫等；清洗中使用的有機藥劑為清洗水回收系統(tǒng)廢水處理系統(tǒng)清洗槽芯片移動后段清洗排水廢液收集系統(tǒng)前段清洗排水廢液收集系統(tǒng)2.3.2化學薄膜沉積相關工序簡介及產(chǎn)污節(jié)點分析蒸汽引入反應室，在襯底表面發(fā)生化學反應并在襯底表面淀積表2-8化學氣相沉積（CVD）相關工序簡介。。2圖2-10二氧化硅沉積工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-11氮化硅沉積工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-12氮化鈦沉積工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-13金屬鎢沉積工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖硅外延生長是指在具有一定晶向的硅單晶襯底上生長一層具有和襯底相同晶向的電阻表2-9硅外延生長工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖2.3.3物理氣相沉積（PVD）相關工序簡介及產(chǎn)污節(jié)點分析①從原材料中發(fā)射粒子（通過蒸發(fā)、升華、濺射和分解等蒸鍍工序無工藝尾氣及廢水產(chǎn)生，該工序僅會產(chǎn)生一定量真空濺射鍍膜是在真空室中，利用荷能粒子轟擊靶材表面，使表面原子獲得動能而脫離表面最終在基片上沉積形成薄膜的技術。真空濺射鍍膜示意金屬層沉積過程中除添加的靶材不一致外，其余的生產(chǎn)工藝及產(chǎn)污環(huán)節(jié)均一致，化物層以氮化鈦為例、金屬層沉積以金屬Al層制備為例來進行介紹。項目真表2-10真空濺射鍍膜相關工序簡介不同類型濺射層（氮化鈦層、金屬層）生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖2-16氮化鈦沉積工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-17金屬鋁沉積工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖表2-11涂膠、曝光、顯影工序簡介圖2-18涂膠、曝光和顯影等工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖本項目濕法刻蝕相關工序簡介見表2-12，其工藝流程及產(chǎn)圖2-19多晶硅濕法刻蝕工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-20二氧化硅濕法刻蝕工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-21氮化硅濕法刻蝕工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-22濕法刻蝕清洗工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖表2-13干法刻蝕相關工序簡介圖2-23多晶硅干法刻蝕工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-24二氧化硅干法刻蝕工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-25氮化硅干法刻蝕工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-26金屬鋁干法刻蝕工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-27金屬鈦干法刻蝕工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-28氮化鈦干法刻蝕工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖2.3.5摻雜相關工序簡介及產(chǎn)污節(jié)點分析圖2-30磷烷擴散工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-31離子注入磷工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖圖2-32離子注入硼工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖2.3.6化學機械研磨相關工序簡介及產(chǎn)污節(jié)點分析圖2-33化學機械研磨工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)圖表2-18項目主要污染工序及污染因子匯總氮水與項目有關的原有環(huán)境污染問題2.4.1現(xiàn)有工程履行環(huán)境影響評價、竣工環(huán)境保護驗收、排污許可手續(xù)等情況表2-19現(xiàn)有工程環(huán)評審批、驗收、排污許可手續(xù)等情況現(xiàn)有工程產(chǎn)品及產(chǎn)能情況2021年實際產(chǎn)能1/2/3MEMS傳感器芯片/現(xiàn)有工程生產(chǎn)設備配置情況根據(jù)《新增年產(chǎn)43.2萬片8英寸芯片技術改造項目竣工環(huán)境保護驗收監(jiān)測報告表》（2022.7結合現(xiàn)場踏勘，現(xiàn)有工程生產(chǎn)設備配置情況詳見表2表2-21現(xiàn)有工程主要生產(chǎn)設備配置情況1現(xiàn)有工程原輔材料消耗情況根據(jù)企業(yè)提供的物料消耗臺賬，2021年原輔材料消表2-22現(xiàn)有工程原輔材料消耗情況表現(xiàn)有工程污染防治措施落實情況（2022.7結合現(xiàn)場踏勘，企業(yè)現(xiàn)有工程環(huán)保措施具體落實情況詳見表2表2-23現(xiàn)有工程污染防治措施落實情況一覽表廢氣裝置配置的風機風量不變（均為變頻風機但廢氣的收集處理方式是“三進設置一套沸石濃縮轉輪焚燒系統(tǒng)處理有機廢氣，風量廢水與環(huán)評一致。根據(jù)調查，2021年企業(yè)酸堿廢水中和處理系統(tǒng)廢水處理量約為174.2t/h，現(xiàn)有廢水處理站水收集后經(jīng)該處理系統(tǒng)處理后送至酸堿廢水中和處理系統(tǒng)污水處理廠處理達《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標準》與環(huán)評一致。根據(jù)調查，2021年企業(yè)含氟廢水處理站含氟廢水處理系統(tǒng)完全經(jīng)該系統(tǒng)預處理后送至酸堿廢水中和處理系統(tǒng)進一步處理與環(huán)評一致。根據(jù)調查，2021年企業(yè)研磨廢水處理理站研磨廢水處理系統(tǒng)完過程中產(chǎn)生的較為清潔的后段清洗廢水收集后進入該系統(tǒng)生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的較為清潔的后段清洗廢水收集后處理后的水回用于廢氣噴廢水回用水系統(tǒng)可完全接水的回用去向與原環(huán)評不固廢廢水處理產(chǎn)生的污泥委托杭州立佳環(huán)境服務有限公司清運危險廢物委托有資質的危生產(chǎn)過程中還產(chǎn)生了純水該部分危廢杭州立佳環(huán)境項目達產(chǎn)后，廢水總量為257.928萬t/a、VOC排放量為萬t/a、VOCs排放量為1.006t/a、NOx排放量為0.754t/a，均小于原環(huán)評確根據(jù)《新增年產(chǎn)43.2萬片8英寸芯片技術改造項目竣工環(huán)境保護驗收監(jiān)測報告表》（2022.7現(xiàn)有工程污染物達標排放情況如pHGB39731-/根據(jù)驗收監(jiān)測，現(xiàn)有項目廠區(qū)污水總排口水質符合《電子工業(yè)水污染物排放標準》（GB39731-2020）中間接排放限值，其中氨氮濃度符合杭州市七格污水處理廠納管控制值表2-25酸性廢氣排放監(jiān)測一覽表（1）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9kg/hkg/h/kg/hkg/hNOx排放濃度NOx排放速率kg/h表2-26酸性廢氣排放監(jiān)測一覽表（2）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9kg/hkg/h/kg/hkg/hNOx排放濃度NOx排放速率kg/h表2-27酸性廢氣排放監(jiān)測一覽表（3）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9kg/hkg/hkg/hkg/hNOx排放濃度NOx排放速率kg/h/kg/h表2-28酸性廢氣排放監(jiān)測一覽表（4）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9kg/hkg/hkg/hkg/hNOx排放濃度NOx排放速率kg/h/kg/h表2-29酸性廢氣排放監(jiān)測一覽表（5）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9kg/hkg/h/kg/hkg/hNOx排放濃度NOx排放速率kg/h表2-30酸性廢氣排放監(jiān)測一覽表（6）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9kg/hkg/h/kg/hkg/hNOx排放濃度NOx排放速率kg/h表2-31堿性廢氣排放監(jiān)測結果一覽表（1）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9/kg/h表2-32堿性廢氣排放監(jiān)測結果一覽表（2）1//2/3%4m5℃678N.d.m3/h9/kg/h表2-33RTO裝置有機廢氣排放監(jiān)測結果一覽表（1）1//2/3%4m5℃67量8N.d.m3/h9/kg/h/表2-34RTO凈化裝置有機廢氣排放監(jiān)測結果一覽表（2）1//2/3%4m5℃67量8N.d.m3/h9/kg/h/氧化物、氯氣、非甲烷總烴的排放速率和排放濃度均達到《大氣污染物綜合排放標準》表2-35無組織廢氣監(jiān)測結果一覽表ug/m3333333氨33333333ug/m3333333氨33333333ug/m3333333氨33333333ug/m3333333氨33333333序號況由監(jiān)測結果可知，項目廠界晝間噪聲監(jiān)測值為56.9～60dB、夜間噪聲監(jiān)測值為49.4~項目廢水主要包括工藝酸堿廢水、含氨廢水、含氟/根據(jù)原環(huán)評資料，企業(yè)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的廢水總量為9979t/d，其中后段清/////5表2-39現(xiàn)有工程廢水實際排放情況/////5表2-40原環(huán)評計算得到的廢氣污染物排放情況1234氨56789根據(jù)《新增年產(chǎn)43.2萬片8英寸芯片技術改造項目竣工環(huán)境保護驗收監(jiān)測報告表》表2-41現(xiàn)有工程廢氣實際排放情況1234氨567本次現(xiàn)有工程廢氣核算依據(jù)為竣工驗收監(jiān)測數(shù)據(jù)，驗收監(jiān)測期硫酸霧濃度為2.25~根據(jù)現(xiàn)有物料中氫氟酸和氨的含量，對比原環(huán)評廢氣計算時物料中的氫氟酸和氨的含廢試劑容器、廢棄的電子元件及生活垃圾等。固廢產(chǎn)生及處置情況表2-42現(xiàn)有工程固廢產(chǎn)生及處置情況1料/2/3456895/////2.4.5現(xiàn)有工程主要環(huán)境問題及整改措施對設備部分參數(shù)以及工藝程序設置的拉偏、優(yōu)化，重復測試不同條件下清洗機水樣的電減少清洗次數(shù)后，企業(yè)廢水產(chǎn)生變化情況詳表2-43現(xiàn)有工程“以新帶老”削減后廢水實際產(chǎn)生情況///“以新帶老”削減量123NH3-N區(qū)域環(huán)境質量現(xiàn)狀ug/m3NO24ug/m3NOX7氨ug/m3氯1pH7283945砷6銅項目所在區(qū)域不采用地下水作為日常飲水，也不采用地下水作為農(nóng)業(yè)和工業(yè)用水。項1pHpH>9.023456789項目所在地土壤執(zhí)行《環(huán)境質量標準建設用地土壤污染風險管控標準（試行）》序號1砷2鎘34銅5鉛6汞87鎳89953956155575苯14苯2-氯酚?萘為了解項目所在區(qū)域環(huán)境質量達標情況，本次評價收集了浙江政服務網(wǎng)發(fā)布的《2021年杭州市生態(tài)環(huán)境狀況公報》相關數(shù)據(jù)和結論，具2.5、NO2氨小時濃度值為0.05～0.08mg/m3，最大占標率為40%；硫酸小時濃度值為<0.02~度值為0.008～0.009mg/m3、最大綜上所述，項目所在區(qū)域設點監(jiān)測得到的環(huán)境空氣質量現(xiàn)狀數(shù)據(jù)滿足相應標準限值，表3-6地表水水環(huán)境質量現(xiàn)狀監(jiān)測方案NWCODCr、BOD5、氨NE表3-7地表水環(huán)境質量現(xiàn)狀監(jiān)測評價結果一覽表水溫(℃)/為了解項目擬建地聲環(huán)境質量現(xiàn)狀，本次評價特委托浙江鴻博環(huán)境檢測有限公司于主要利用現(xiàn)有廠房進行擴建，無新增用地且用地范圍內無生態(tài)環(huán)境保護目標，結合《建設本項目不涉及廣播電臺、差轉臺、電視塔臺、衛(wèi)星地球上行站、雷達等電磁輻射類項3.2.6地下水、土壤環(huán)境常生產(chǎn)情況下，不存在土壤、地下水環(huán)境污染途徑，根據(jù)《建設項目環(huán)境影響報告表編制環(huán)境保護目環(huán)境空氣保護目標為廠界外2.5km范圍內的學校、醫(yī)院、居住區(qū)等，按功標本項目廠界外500m范圍內不存在地下水集中式飲用水水源和熱水、礦泉水、溫泉等表3-9項目主要環(huán)境保護目標一覽表大氣環(huán)境NW約85mE約840mSW約1000mNE約810mE約1535mE約1895mSE約1540mSE約1700mSE約1595mSE約1805mNW約1248mNW約1115mNW約1823mNW約1680mNE約2095mNE約2015mNW約1435mNW約2120mNW約2245mNW約1285mN、NW約2070mN約1265mNENENENENENENWNW學NENENE校NWNW地表水WNS項目建設場地不涉及生活供水水源地準保護區(qū)、生活供水污染3.3.1廢氣物排放控制標準氨/94廠區(qū)內VOCs無組織排放監(jiān)控點濃度應符合《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標準》表3-12廠區(qū)內VOCs無組織排放限值NMHC63.3.2廢水本項目生產(chǎn)廢水和生活污水經(jīng)廠內預處理達到接管標準后接入管網(wǎng)，送杭州市七格污水處理廠處理后排入環(huán)境，企業(yè)廢水處理站出水水質執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排1pH23456789NH3-N5（8）*3相關要求和《中華人民共和國固體廢物污染環(huán)境防治法》及《浙江省固體廢物污染環(huán)境防總量控制指標3.4.1總量控制指標3.4.2現(xiàn)有總量指標3.4.3總量替代分析表3-17擴建后全廠主要污染物變化情況（t/a）“以新帶NOx003.4.4總量平衡方案型////NOx項目需按照規(guī)定進行區(qū)域替代削減和排污權交易，具體總量指標由杭州市生態(tài)環(huán)境局施工期環(huán)境保護措施4.1.1施工期大氣環(huán)境保護措施4.1.2施工期廢水防治措施4.1.3施工期噪聲防治措施交通噪聲。在這些施工噪聲中對聲環(huán)境影響最大的是（4）建設工程應使用商品混凝土，采用混凝土灌注樁（5）對交通車輛造成的噪聲影響需要加強管理，運輸車輛盡量采用較低噪聲級的喇對受施工干擾的單位應在作業(yè)前予以通知，求得大家的4.1.4施工期固廢防治措施kg/d。建議施工單位及時清理施工現(xiàn)場的生活垃圾，在施工現(xiàn)場建立生活垃圾定點收集制度，并定時將收集的生活垃圾交由環(huán)衛(wèi)部門4.1.5施工期生態(tài)環(huán)境保護措施廢水污染源強分析水W2-2含氨清洗廢水W6-2POU洗滌塔排水W6-3堿性廢氣洗滌塔排水磷W7純水站再生廢水W8冷卻塔排水////處理系統(tǒng)進行處理。生活污水經(jīng)化糞池處理后進入污水管網(wǎng)。經(jīng)處理后的生產(chǎn)廢水和生活污水一起經(jīng)廠區(qū)廢水總排口排入市政污水管網(wǎng)、送杭州市七間生量率pH調節(jié)+混凝是是pH調節(jié)+混凝是應是水/池是/////5表4-4項目廢水間接排放口基本情況表序號1物間接排放限值》（DB33/887-2013）表4-5本項目廢水污染物排放濃度情況表pH運營期環(huán)境影響和保護措施表4-6各廢水處理系統(tǒng)設計處理能力與廢水處理需求匹配情況序號目目133水處理站作為備用，若現(xiàn)有污水處理系統(tǒng)發(fā)生故障需暫停使用時，則開啟新建污水處理系表4-7排污單位廢水污染防治推薦可行技術符合性分析//他根據(jù)“浙江省排污單位執(zhí)法監(jiān)測信息公開平臺”2021年監(jiān)測數(shù)據(jù)，杭州市七格污圖4-4三期工程廢水處理工藝流程圖表4-8杭州市七格污水處理廠出水水質監(jiān)測情況NH3-N76951根據(jù)浙江省污染源自動監(jiān)控信息管理平臺相關信息，杭州市七格污水處理廠三期工程本項目所在區(qū)域位于杭州市七格污水處理廠污水收集范圍內，區(qū)域污水管網(wǎng)已建成并項目廢水經(jīng)廠內污水處理設施處理后各污染物排放濃度均滿足《污水綜合排放標準》項目所采取的水污染控制和水環(huán)境影響減緩措施有效，項目廢水納管排放到杭州市七/NH3-N本次評價主要考慮噪聲級較高的環(huán)保設備及動力設備。項目噪聲污染源源強核算結果及相測廠界噪聲達標情況時需疊加現(xiàn)狀背景值，具體預測結表4-10工業(yè)企業(yè)噪聲源強調查清單（室外聲源）XYZ1232表4-11工業(yè)企業(yè)噪聲源強調查清單（室內源強）XYZ2聲///表4-14本項目固體廢物產(chǎn)生量核算表123456789/一般固廢類向件/固//固//固//固/液液液液液液液T液固等有毒有害物質固固5T固T固T固液//固/運營期環(huán)境影響和保護措施表4-16達產(chǎn)后全廠危廢產(chǎn)生情況液裝////項目達產(chǎn)后，全廠其余危險廢物均收集后暫存在危廢暫存間內，危廢暫存間面積約200m2。危廢均桶裝或袋裝放置在危廢暫存間內，最大暫存周期為一個月。廢顯影液桶裝分類堆放區(qū)域的醒目位置須設置該類廢物的標志牌，地下水、土壤污染源、污染物類型和污染途徑表4-17地下水、土壤污染源、污染物類型和污染途徑識別表點表4-18地下水、土壤分區(qū)防滲及技術要求等效黏土防滲層厚≥1.5m，滲透系數(shù)≤1.跟蹤監(jiān)測要求表4-19周邊土壤及地下水環(huán)境質量影響監(jiān)測要求pH、銅、鋅、硫化物、氰化物、氟化物、砷HCl、H2SO4、化物、氯經(jīng)設備尾端本地處理凈化裝性廢氣處理系統(tǒng)，最終由排HCl、H2SO4、等車間為潔凈車間，生產(chǎn)時全密閉且相關的產(chǎn)生廢氣的工藝設備正常運行時采用密閉廠區(qū)現(xiàn)有廢水預處理設施，主要包括：中和處理系統(tǒng)收集進入污水處理站相應的廢水處理系統(tǒng)進行處理后進入綜合中和處理池，再次中本項目建成達產(chǎn)后，全廠各股廢水產(chǎn)生量均小于企業(yè)現(xiàn)有相應廢水處理系統(tǒng)設計處理規(guī)模，能滿足全廠廢水處理需求，可做到全部收集進入現(xiàn)有廢水處理站（新建污水處理站作為備用，若現(xiàn)有污水處理系統(tǒng)發(fā)生故障需暫停使用時，則開啟新建污水通過廠區(qū)現(xiàn)有的一個污水排放后接入周邊市政污水管////施/統(tǒng)和事故應急池；4、企業(yè)制定突發(fā)環(huán)境事件應急預案并配策要求，符合《杭州市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》等相關規(guī)劃要求；項目未涉態(tài)保護紅線；項目排放的污染物能符合國家、省規(guī)定的污染物排放標準，排放污染物總量過區(qū)域調劑解決，項目實施后造成的環(huán)境影響符合項目所在地環(huán)境功能區(qū)劃確定的環(huán)境質的資源利用上線；項目采取必要的風險防范對策和應急措施后，項目環(huán)境風險能夠控制在受范圍內。建設單位在項目實施過程中須嚴格執(zhí)行“三同時”要求，認真執(zhí)行本環(huán)評提為了解項目所在區(qū)域環(huán)境質量達標情況，本次評價收集了浙江政服務網(wǎng)發(fā)布的態(tài)環(huán)境主管部門公開發(fā)布的評價基準年環(huán)境質量公告或環(huán)境質量報告中的數(shù)據(jù)或結論”時期，杭州市持續(xù)深化“五氣共治”，實現(xiàn)全市大氣主要污染物排放總量持續(xù)減少目為進一步了解建設項目所在地環(huán)境空氣質量現(xiàn)狀，本次評價委托浙江鴻博環(huán)境檢序號1NE目選擇在廠址下風向約1.14km處的文海實驗學校與杭四中之間設點進行環(huán)境空氣質根據(jù)環(huán)境空氣質量現(xiàn)狀監(jiān)測結果，采用單因子比值法對該區(qū)域的大氣環(huán)境現(xiàn)狀進表1-2環(huán)境空氣質量現(xiàn)狀監(jiān)測統(tǒng)計評位ug/m3數(shù)況7777氯7NMHCNH3均濃度值為0.06～0.12ug/m3、最大占標率為0.6%，均滿足《環(huán)境空氣質量標準》綜上所述，項目所在區(qū)域設點監(jiān)測得到的環(huán)境空氣質量現(xiàn)狀數(shù)據(jù)滿足相應標準限項目生產(chǎn)在超潔凈室內進行，每道工序均在獨立機臺內進行全封閉式操作，各機臺均配備相應的氣體供應裝置、抽排裝置及管道。潔凈室溫度控制在22～23℃,相對潔凈車間吊頂上的高效空氣過濾送風口進入各潔凈室，潔凈室內可能排出各種有害物項目各機臺產(chǎn)生的工藝尾氣經(jīng)抽排裝置將其從密閉的腔體抽出后，分別通過相應企業(yè)在建廠時已按照整體設計、分期實施的原則考慮廢氣收集風量的設計。主廠71121111酸性廢氣主要來源于生產(chǎn)工藝過程中的光刻工序中的酸洗、濕法刻蝕工段。本項凈化裝置+酸性廢氣處理系統(tǒng)”處理后，經(jīng)1根25m高的排氣筒排放（排氣筒編號堿性廢氣產(chǎn)生于芯片生產(chǎn)廠房，主要來源于光刻工序中的濕法刻蝕清洗、顯影以及化學氣相沉積工段，主要成分為氨氣。清洗工序的堿性廢氣主要來源于未參與反應顯影工序的堿性廢氣主要來源于四甲基氫氧化銨的揮發(fā)，該物質是一種有機化合物，有機廢氣產(chǎn)生于芯片生產(chǎn)廠房，主要來源于光刻工序中的涂膠、前烘、曝光后烘根據(jù)電子企業(yè)生產(chǎn)車間的潔凈度要求，生產(chǎn)時全密閉且相關的產(chǎn)生廢氣的工藝設時間打開隔板；同時生產(chǎn)所需的化學溶劑皆為入廠時已配制好，以瓶裝或桶裝形式儲于生產(chǎn)車間呈微正壓狀態(tài)運行，生產(chǎn)備產(chǎn)生的廢氣密閉集氣收集，本項目基本不存在項目廢水處理站內污水處理過程中會有少量惡臭廢氣產(chǎn)生，主要污染物為氨、硫氨氨氨燒////////延本項目同一性質的廢氣從不同工段通過相應的管道進入對應排氣筒，排氣筒主管XYmmkg/h氨1氨1氨1氨氨根據(jù)上表可知，本項目生產(chǎn)過程中廢氣排放濃度和排放速率均可達到《大氣污染類型m℃點源氨點源類型m℃氨點源氨點源氨表1-10項目擴建后全廠排氣筒XYmmkg/h氨1氨1氨1氨氨根據(jù)上表可知，本項目擴建后，全廠生產(chǎn)過程中廢氣排放濃度和排放速率均可達排放量極低，且《環(huán)境空氣質量標準》無相關標準濃度限值NH3氯最高環(huán)境溫度(℃)最低環(huán)境溫度(℃)是//岸線方向(°)/序號NOX|D10(m)1DA001酸性廢氣2DA002酸性廢氣3DA003酸性廢氣4DA004酸性廢氣5DA005堿性廢氣6DA006有機廢氣7表1-14擴建項目大氣污染物有組織123456789氨氨氨氨氨氨氨123456789號次氨氨氨氨表1-17擴建后全廠大氣污染物有組織123456789氨氨氨氨氨氨氨12/3456789本項目涉及的含氯廢氣主要包括干法蝕刻使用的Cl2氯塑料的焚燒過程中，焚燒溫度低于800℃,含氯垃圾不完全燃燒，極易生成二噁英。表1-19二噁英產(chǎn)生必要條件及與本項目對比（2）有銅/鐵催化況①本項目使用鹽酸等進行酸洗時，揮發(fā)產(chǎn)生含氯酸性廢氣，經(jīng)二級堿液噴淋吸收②本項目干刻、熱氧化及硅外延工序均產(chǎn)生含氯廢氣，其中干刻工序的氯化硼廢燒+水洗式處理+二級堿液噴淋吸收，燃燒室反應溫度不低于700℃,持續(xù)時間達2s以二噁英在合成反應和前驅物異相催化反應中，即使有足夠的碳源和氯化物，也需有機廢氣主要來源于清洗、光刻等工序大量使用的有機溶劑揮發(fā)，本項目有機廢以最不利情況考慮，假設廢氣中含氮有機物完全轉化為氮氧化物，則二次污染物是我國新時期推進區(qū)域大氣污染防治聯(lián)防聯(lián)控的重點污染物。本項目通過采用高效的圍量查價網(wǎng)絡模型其他預測因子()濃度疊加值況k≤-20%k>-20%監(jiān)測點位數(shù)()NOX6.672）t/a沸石濃縮轉輪沸石濃縮轉輪大氣濕式洗滌器廢水處理POU凈化裝置（PointOfUse裝置）濕式洗滌器堿性廢氣有機廢氣酸性廢氣工藝尾氣達標排放POU凈化裝置工藝尾氣子解離） 不含砷風機工藝尾氣子解離）蝕NF3蝕式通過天然氣燃燒、電加熱或電離等方式在反應腔內產(chǎn)生高溫（700~1000℃),使工藝尾氣在反應腔內高溫燃燒，產(chǎn)生固體廢物式化學反應通常是在氧化條件下將有害物質氧化為氧化物被吸附劑及擴散工序產(chǎn)生的工藝尾氣。這部分工藝尾氣以易燃氣體為主，燃燒后的產(chǎn)物大多溶氟廢氣能與堿土金屬氫氧化物發(fā)生化學反應，并與活性炭發(fā)生物理吸附從而去除。如2BF3+3Ca(OH)2→3CaF2+B2O3情況確定是否對濾芯進行更換。當指示劑顯示吸附劑已達吸附飽和狀態(tài)，即自動切換以易燃氣體為主，解離后的產(chǎn)物大多溶于水或成為粉塵，可通過后續(xù)的水洗去除。此本項目采用的工藝尾氣處理方式為目前半導體工廠普遍采用的方法，也是士蘭集本項目設置堿液噴淋洗滌塔用于處理酸性廢氣，處理后由排氣筒有組織排放。酸NaOH堿液噴淋吸收塔風機酸性廢氣/工藝尾氣達標排放NaOH堿液噴淋吸收塔風機酸性廢氣/工藝尾氣排排氣筒吸收液吸收吸收液吸收該系統(tǒng)對各類污染物的處理效果參考國內同類工程的經(jīng)驗數(shù)據(jù)以及企業(yè)現(xiàn)有項目表1-23酸性廢氣處理系統(tǒng)污染廢氣種類目目目酸性廢氣塔NDND~2.69ND~2.8/ND~1.4NOxND~3由上表可知，本項目酸性廢氣采用堿液噴淋塔處理后，廢氣排放口處的污染物排放濃度與國內同類工程及企業(yè)現(xiàn)有項目處于同一水平。根據(jù)工程分析可知，項目酸性本項目設置酸液噴淋洗滌塔用于處理堿性廢氣，處理后由排氣筒有組織排放。堿排排氣筒收液吸收液吸收液吸收液吸工藝堿性廢氣主要污染物為氨，采用硫酸進行噴淋，處理過程發(fā)生如下反應：該系統(tǒng)對各類污染物的處理效果參考國內同類工表1-24堿性廢氣處理系統(tǒng)污染物目目目NH3ND~2.35本項目采用的沸石轉輪濃縮燃燒系統(tǒng)的特點是可以進行動態(tài)吸附和解吸，不存在沸石轉輪濃縮燃燒技術為通用、成熟，目前國內大部分電子廠均采用沸石轉輪技術處表1-25有機廢氣處理系統(tǒng)污染類目氣根據(jù)工程分析可知，項目有機廢氣排氣筒排放的非甲烷總烴可達到《大氣污染物本項目生產(chǎn)在超潔凈密閉生產(chǎn)車間內進行，物料輸送均為密閉全自動操作，杜絕跑冒滴漏無組織排放現(xiàn)象。設備各反應腔、氣體物料儲存及輸送的管道及法蘭通過設本項目無組織排放主要產(chǎn)生于化學品庫儲存的化學品揮發(fā)，以及廢水處理站的少量溢采用鋼質高壓容器，工藝中所使用化學品的儲存全部采用不銹鋼、或不銹鋼聚已烯內將裝有特氣的密閉鋼瓶使用叉車轉運到對應的使用車間特氣暫存間，放置于特氣柜中和使用過程中均安裝在特氣柜中，當特氣供應時管路連接完成后方可開啟鋼瓶閥，基液態(tài)危險化學品根據(jù)化學品的性質分類儲存在化學品庫中的對應隔間內，由于液組織排放。通過供應間排風系統(tǒng)接至相應的廢氣排氣筒后有組織排放，可消除生產(chǎn)車項目除少量化學品直接運送至生產(chǎn)車間內機臺使用點外，其余均在生產(chǎn)廠房內的化學品供應間內進行供應。化學品供應間設置有排風系統(tǒng)，根據(jù)供應化學品的性質將排風與廠區(qū)酸性和有機排風系統(tǒng)連接。將化學品供應過程中散逸的廢氣排入相應的廢項目廢水處理站內污水處理過程中會有少量惡臭廢氣產(chǎn)生，主要污染物為氨、硫為了防止無組織廢氣的產(chǎn)生，企業(yè)擬采用以下管控措施：特氣供應采用密閉管道供應到各使用機臺，特氣在貯存和使用過程中均安裝在特氣柜中，當特氣供應時管路連接完成后方可開啟鋼瓶閥；氫氣和氮氣通過密閉管道輸送到純化間內純化后，經(jīng)密儲存在化學品庫中的對應隔間內，通過供應間排風系統(tǒng)接至相應的廢氣排氣筒后有組抽送到對應的廢氣處理系統(tǒng)處理，再通過對應排氣筒排放；污水處理站各廢水處理系DA001酸性廢氣處理系統(tǒng)排放口DA002酸性廢氣處理系統(tǒng)排放口DA003酸性廢氣處理系統(tǒng)排放口DA004酸性廢氣處理系統(tǒng)排放口DA005堿性廢氣處理系統(tǒng)排放口氨DA006有機廢氣處理系統(tǒng)排放口2.1.1建設項目風險源調查12硝酸、鹽酸、硫酸、磷酸、氟化氫、氨、氯化氫、六氟化3砷化氫、磷化氫、硅烷、氯氣、丙酮、乙醇、雙氧水、異丙456廢酸、廢有機溶劑、廢潤滑油、廢棄的感光材料號）及《關于公布第二批重點監(jiān)管危險化工工藝目錄和調整首批重點監(jiān)管危險化工工2.1.2環(huán)境敏感目標調查1234NE5E6E789NWNWNWNWNENENWNESNWNWNWNWNWNWWWNWNWNWNWNWNWNWNWNWNWNNENENENENENENWNWNENENENWWNWWNWNWNENENWNWW>1000人>5萬人1/1無///1無/2.2環(huán)境風險潛勢初判2.2.1危險物質及工藝系統(tǒng)危險性（當同一廠區(qū)內只涉及一種危險物質時，計算該物質的總量與其臨界量比值，即為Q。當存在多種危險物質為時，則按式（1）計算物質總量Q=q1+q2+…+qnQ11231456475891155155//50000氣05a高溫指工藝溫度≥300℃,高壓指壓力容器的設計壓力（P）≥10.0MPa；表2-5危險物質及工藝系統(tǒng)危險性等級（P）判定2.2.2環(huán)境敏感程度（E）的確定根據(jù)危險物質在事故情況下的環(huán)境影響途徑，結合大氣、地表水及地下水環(huán)境的本項目所在區(qū)域無飲用水源及相關其他保護區(qū)，地下水環(huán)境敏感性屬于不敏感2.2.3環(huán)境風險潛勢判定ⅣⅢⅢⅣⅢⅢⅡⅢⅢⅡⅠ綜合上述分析，本項目危險性等級為P4，大氣環(huán)境敏感程度均為E1（高度敏感2.2.4評價工作等級環(huán)境風險潛勢+ⅢⅡⅠ評價工作等級一二三簡單分析aa：是相對詳細評價工作內容而言，在描述危險物質、環(huán)境影響途徑、環(huán)境危害后果、風險防范措施等方面給出定性的說明。見附錄A。項目大氣環(huán)境風險潛勢為Ⅲ,地表水和地下水環(huán)境風險潛勢為Ⅰ,風險潛勢綜合2.3.1物質危險性識別環(huán)節(jié)，若因管理不當，有可能會造成泄漏等危險，2.3.2生產(chǎn)系統(tǒng)危險性識別根據(jù)導則中的定義，功能單元是指至少應包括一個（套）危險物質的主要生產(chǎn)裝序號℃℃℃1氣///MAC：22氣//甲3氣/甲//4氣//乙MAC：15液////6液甲7液///8液///9液////液甲/液甲//氨氣//氣////液///液////序號℃℃℃液///液乙/氣甲氣/////氣////液/////氣/甲//1磷酸、氫氟酸、硝酸、鹽酸、硫酸、氨水、三溴化硼、乙醇、丙酮、異丙醇、硅烷、三氯氫硅、三氯化2345678磷酸、氫氟酸、硫酸、鹽酸、丙酮、異丙醇、氨水、乙醇、氯化氫、硅烷、三氯氫硅、三氟化硼、磷烷、三9廢酸、廢有機溶劑、廢潤滑油、廢棄的感光材料本項目化學品運輸均由社會專業(yè)運輸公司運輸或者供應方運輸，運輸過程的風險事故主要來自于交通事故。危險品的運輸車輛如果在途中發(fā)生比較嚴重的交通事故，硝酸等物料的泄漏；甲類化學品倉庫存在的環(huán)境風險主要是包裝破損導致丙酮、異丙泄露；特氣儲罐區(qū)存在的環(huán)境風險主要是氫氣泄露。存在的影響主要為泄漏物質揮發(fā)化學品泄漏與毒氣擴散、火災爆炸以及中毒等事故是緊密聯(lián)系在一起的，如泄漏足夠大時，將造成暴露人員中毒?；瘜W品倉庫和特氣室的火災事故危害預測屬于安全評價范圍，并且火災主要發(fā)生在廠區(qū)之內，發(fā)生火災爆炸時產(chǎn)生的環(huán)境危害主要是震環(huán)境，對近距離范圍內的建筑物和人員造成嚴重傷害。通過提高生產(chǎn)區(qū)和化學品儲存粉塵，濃度范圍在數(shù)十至數(shù)百毫克/立方米之間，對于下風向的環(huán)境空氣質量在短本事故引起的二次水體污染是指在事故中有毒有害物質直接泄漏至水體或在處理事故時有毒有害物質隨消防水通過清下水、雨水管道等途徑進入環(huán)境水體而造成環(huán)境收集后，進入廠內污水處理站處理，因消防水排放而發(fā)生周圍水體污染事故的可能性生產(chǎn)過程中可能存在環(huán)境風險的部位主要是刻蝕、酸洗、堿洗、有機洗、CMP、CVD、離子注入和擴散等工藝裝置，以及相應的管道和泵，一旦發(fā)生事故可能會導致企業(yè)所有生產(chǎn)線均設置在車間內，因裝置、管道或閥門損壞而泄漏的蝕刻液等將通過地面沖洗水收集系統(tǒng)進入地面沖洗水收集池。泄漏的廢液中污染物濃度較高，進入廢水后采用常規(guī)的處理方法較難達標，企業(yè)采取分批處理的方法進行處理，逐步將泄漏的廢液處理完畢。泄漏的廢液經(jīng)廢水預處理裝置處理達標后排入市政污水管網(wǎng)，廢水處理站可能存在風險的部位主要是中和池、絮凝沉淀池故障或加藥系統(tǒng)出現(xiàn)故障，廢水未經(jīng)過處理直接排放或者超標排放。廠區(qū)廢水排放口中的有毒有害污染物最高瞬時排放濃度將超過七格處理廠的接管標準，對污水處理廠的處理系統(tǒng)將產(chǎn)生沖污染防控緊急措施設計導則”：企業(yè)應設置能夠儲存事故排水的儲存設施，儲存設施V1——收集系統(tǒng)范圍內發(fā)生事故的一個罐組或一套裝置的物料量。儲存相同物料廠事故廢水儲存。企業(yè)事故廢水應急池在事故狀態(tài)下可以順利收集消防廢水、污染雨因跑冒滴漏情況不可避免，若廠區(qū)廢水處理設施所在基礎設施發(fā)生沉降，或者地廢氣處理裝置可能存在的風險是處理設施發(fā)生故障，造成廢氣的事故排放，大量2.3.4風險識別結果序號1234562.4風險事故情形分析風險事故情形設定是在風險識別的基礎上，選擇對環(huán)境影響較大并具有代表性的2.4.1主要事故及概率2.4.2環(huán)境風險事故情形設定根據(jù)對杭州士蘭集昕微電子有限公司現(xiàn)有實際情況的調查以及與同類企業(yè)類比，泄漏引發(fā)的火災爆炸事故；其次為丙酮、異丙醇等易燃液體泄漏引發(fā)引起火災事故導該企業(yè)涉及的化學品種類較多，主要有液態(tài)和氣態(tài)兩種類型，其中液態(tài)原料主要本項目所有有毒有害氣體均由廠家發(fā)售的鋼瓶包裝，無大型儲罐，密閉性和安全全燃燒的危險物質在高溫下迅速揮發(fā)至大氣以及燃燒過程中產(chǎn)生的伴生/次生污染環(huán)境的影響，產(chǎn)生的水環(huán)境風險主要為有毒有害物質直接泄漏至水體或在處理事故中有毒有害物質隨消防水通過清下水、雨水管道等途徑進入環(huán)境水體而造成環(huán)境污染。2.5.1物質泄露量計算液氯泄漏量計算采用《建設項目環(huán)境風險評價 LdρQ=CAρ2(P?P0)+Ldρd表2-12液氯等泄露相關參數(shù)及計算結果APρkg/m3hmCdkg/sGCO=2330qCQCqQ2.6風險預測與評價2.6.1大氣環(huán)境風險預測表2-14項目危險物質泄露方式參數(shù)計算表表2-15大氣環(huán)境風險源預測模型選擇情況表/////F/否/下風向不同距離處磷化氫的最大濃度及對應半寬見表2-17，下風向最大濃度為表2-17下風向不同距離處磷化氫的最大濃度及對應半寬序號1//2//3//4//5//6//7//8//9//////////////////////////////////////大氣5////////下風向不同距離處氯氣的最大濃度及對應半寬見表2-19，下風向最大濃度為表2-19下風向不同距離處氯氣的最大濃度及對應半寬序號123/4/5/6/7/8/9/////////////////////////////大氣////下風向不同距離處液氨的最大濃度及對應半寬見表2-21，下風向最大濃度為表2-21下風向不同距離處氨氣的最大濃度序號1234/5/6/7/8/9////////////////////////////濃度（mg/m3）0