浙江里陽(yáng)半導(dǎo)體有限公司年產(chǎn)瞬態(tài)抑制二極管TVS 5寸晶圓180萬(wàn)片項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表_第1頁(yè)
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建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表(污染影響類(lèi))項(xiàng)目名稱(chēng):年產(chǎn)180萬(wàn)片瞬態(tài)抑制二極管TVS5寸晶圓生產(chǎn)線技改項(xiàng)目中華人民共和國(guó)生態(tài)環(huán)境部制建設(shè)項(xiàng)目名稱(chēng)年產(chǎn)180萬(wàn)片瞬態(tài)抑制二極管TVS5寸晶圓生產(chǎn)線技改項(xiàng)目項(xiàng)目代碼2103-331083-07-02-274360建設(shè)單位聯(lián)系人聯(lián)系方式建設(shè)地點(diǎn)玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門(mén)工業(yè)區(qū)老鷹窩98號(hào)地理坐標(biāo)121度16分23.960秒,28度10分57.950秒國(guó)民經(jīng)濟(jì)行業(yè)類(lèi)別C3972半導(dǎo)體分立器件制造建設(shè)項(xiàng)目行業(yè)類(lèi)別36_080電子器件制造建設(shè)性質(zhì)新建(遷建)改建擴(kuò)建技術(shù)改造建設(shè)項(xiàng)目申報(bào)情形首次申報(bào)項(xiàng)目不予批準(zhǔn)后再次申報(bào)項(xiàng)目超五年重新審核項(xiàng)目重大變動(dòng)重新報(bào)批項(xiàng)目項(xiàng)目審批(核準(zhǔn)/玉環(huán)市經(jīng)濟(jì)和信息化局項(xiàng)目審批(核準(zhǔn)/備案)文號(hào)(選填)2103-331083-07-02-274360總投資(萬(wàn)元)6000環(huán)保投資(萬(wàn)元)環(huán)保投資占比(%)施工工期3個(gè)月是否開(kāi)工建設(shè)否是用地(用海)面積(m2)/專(zhuān)項(xiàng)評(píng)價(jià)設(shè)置情況專(zhuān)項(xiàng)評(píng)價(jià)名稱(chēng):大氣專(zhuān)項(xiàng)評(píng)價(jià);設(shè)置理由:本項(xiàng)目排放廢氣含有氯氣排放且廠界外500m范圍內(nèi)有環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)。專(zhuān)項(xiàng)評(píng)價(jià)名稱(chēng):風(fēng)險(xiǎn)專(zhuān)項(xiàng)評(píng)價(jià);設(shè)置理由:本項(xiàng)目有毒有害和易燃易爆危險(xiǎn)物質(zhì)存儲(chǔ)量超過(guò)臨界量,Q=6.16>1。規(guī)劃情況無(wú)規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)價(jià)情況無(wú)規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)價(jià)符合性分析無(wú)其他符合性分析“三線一單”符合性分析(1)生態(tài)保護(hù)紅線企業(yè)位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門(mén)工業(yè)區(qū)老鷹窩98號(hào),租用浙江環(huán)力煙機(jī)有限公司廠房,用地性質(zhì)為工業(yè)用地,本次擴(kuò)建項(xiàng)目在原有生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)實(shí)施。項(xiàng)目不其他符合性分析在當(dāng)?shù)仫嬘盟?、風(fēng)景區(qū)、自然保護(hù)區(qū)等生態(tài)保護(hù)區(qū)內(nèi),根據(jù)《玉環(huán)市生態(tài)保護(hù)紅線劃定技術(shù)報(bào)告》,不在劃定的生態(tài)保護(hù)紅線內(nèi),滿足生態(tài)保護(hù)紅線要求。(2)環(huán)境質(zhì)量底線本項(xiàng)目所在區(qū)域的環(huán)境質(zhì)量底線目標(biāo)為:環(huán)境空氣質(zhì)量目標(biāo)為《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及其修改單(生態(tài)環(huán)境部公告公告2018年第29號(hào)水環(huán)境質(zhì)量目標(biāo)為《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838-2002)Ⅳ類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)。項(xiàng)目所在地區(qū)域環(huán)境空氣環(huán)境質(zhì)量良好,基本污染物能達(dá)到《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及其修改單(生態(tài)環(huán)境部公告公告2018年第29號(hào)),其他相關(guān)特征因子均能達(dá)到相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)限值要求;附近地表水體總體評(píng)價(jià)水質(zhì)滿足Ⅳ類(lèi)水功能區(qū)要求。企業(yè)廢水經(jīng)廠內(nèi)廢水處理設(shè)施預(yù)處理后,納入玉環(huán)市污水處理有限公司處理達(dá)標(biāo)后排放,不直接排放附近水體,故不會(huì)對(duì)周?chē)乇硭h(huán)境產(chǎn)生明顯影響。采取本環(huán)評(píng)提出的相關(guān)防治措施后,企業(yè)排放的污染物不會(huì)對(duì)周邊環(huán)境造成明顯影響,不會(huì)突破區(qū)域環(huán)境質(zhì)量底線。(3)資源利用上線企業(yè)能源采用電,用水來(lái)自市政供水管網(wǎng),本次擴(kuò)建項(xiàng)目新增新鮮水用量138315t/a(461t/d)。玉環(huán)市亞海水淡化(一期)抗旱應(yīng)急工程總投資約1.3億元,占地約40畝,通過(guò)在漩門(mén)二期圍墾區(qū)建設(shè)亞海水淡化系統(tǒng),采用膜法水處理技術(shù)把亞海水經(jīng)絮凝沉淀、過(guò)濾等預(yù)處理環(huán)節(jié)后,再通過(guò)超濾、反滲透脫鹽處理變成可飲用淡水。一期工程日產(chǎn)水量可達(dá)3萬(wàn)立方米。該工程已于2019年10月底通水。臺(tái)州市南部灣區(qū)引水工程,以黃巖院橋?yàn)槠瘘c(diǎn),接入臺(tái)州市引水工程原水管線,經(jīng)溫嶺,到玉環(huán)。該項(xiàng)目總投資18.43億元,近期設(shè)計(jì)供水規(guī)模每天15萬(wàn)立方米,輸水線路總長(zhǎng)約40.56公里。南部灣區(qū)引水工程計(jì)劃于2022年6月建成通水。屆時(shí),臺(tái)州南片將形成“三縱三橫”以及南北互備供水格局,將極大滿足臺(tái)州灣區(qū)建設(shè)與發(fā)展的用水需求,徹底解決溫嶺、玉環(huán)等地供水緊缺問(wèn)題,全面提升臺(tái)州南片區(qū)域安全、可靠的供水保障能力。上述兩項(xiàng)工程的建成可有效緩解玉環(huán)市當(dāng)前水資源緊張的現(xiàn)狀。本項(xiàng)目建成運(yùn)行后通過(guò)內(nèi)部管理、設(shè)備選擇、原輔材料的選用和管理、重復(fù)用水、中水回用、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施,以“節(jié)能、節(jié)水、降耗、減污”為目標(biāo),有效地控制污染,符合能源資源利用上線和水資源利用上線要求。企業(yè)位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門(mén)工業(yè)區(qū)老鷹窩98號(hào),租用浙江環(huán)力煙機(jī)有限公司廠房,用地性質(zhì)為工業(yè)用地,本次擴(kuò)建項(xiàng)目在原有生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)實(shí)施。本項(xiàng)目其他符合性分析不涉及基本農(nóng)田、林地等,滿足土地資源利用上線要求。綜上所述,本項(xiàng)目的建設(shè)不會(huì)突破區(qū)域的資源利用上線。(4)生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單企業(yè)位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門(mén)工業(yè)區(qū)老鷹窩98號(hào),租用浙江環(huán)力煙機(jī)有限公司廠房,用地性質(zhì)為工業(yè)用地,本次擴(kuò)建項(xiàng)目在原有生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)實(shí)施。根據(jù)《玉環(huán)市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》,屬于“ZH33108320104臺(tái)州市玉環(huán)市玉環(huán)玉城-坎門(mén)街道環(huán)境優(yōu)化準(zhǔn)入?yún)^(qū)重點(diǎn)管控區(qū)”,本項(xiàng)目的建設(shè)符合該管控單元的環(huán)境準(zhǔn)入清單要求,具體符合性分析見(jiàn)表1-1。表1-1生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單符合性分析一覽表“三線一單”生態(tài)環(huán)境準(zhǔn)入清單要求企業(yè)位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩江環(huán)力煙機(jī)有限公司廠房,用地性質(zhì)為工業(yè)用地,本次擴(kuò)建項(xiàng)目在原有生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)實(shí)施。本項(xiàng)目生產(chǎn)瞬態(tài)抑制二極管清洗、熱氧化、擴(kuò)散、光刻、刻蝕、化學(xué)鍍鎳(金)、電鍍屬于《玉環(huán)市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》附件中規(guī)定的二類(lèi)工業(yè)項(xiàng)目。最近居民點(diǎn)為東側(cè)35m處的漩門(mén)村是控嚴(yán)格實(shí)施污染物總量控制制度,根據(jù)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善目標(biāo),削減污加強(qiáng)污水處理廠建設(shè)及提升改造,推進(jìn)工業(yè)園區(qū)(工業(yè)企業(yè))“污水零直排區(qū)”建設(shè),所有企業(yè)實(shí)現(xiàn)雨嚴(yán)格重污染行業(yè)重金屬和高濃度難降解廢水預(yù)處理和分質(zhì)處理,加強(qiáng)對(duì)納管企業(yè)總氮、鹽分、重金屬和其他有毒有害污染物的管控,強(qiáng)化企業(yè)污染治理設(shè)施運(yùn)行維護(hù)管理。全面推進(jìn)汽摩配重點(diǎn)行業(yè)VOCs治理和工業(yè)廢氣清潔排放改造,強(qiáng)化工業(yè)企業(yè)無(wú)組織排放管控。二氧化硫、氮氧化物、顆粒物、揮發(fā)性有機(jī)物全面執(zhí)行國(guó)家排企業(yè)廠區(qū)實(shí)現(xiàn)雨污分流,本次擴(kuò)建項(xiàng)目生產(chǎn)廢水依托企業(yè)現(xiàn)有廢水處理站,工藝廢水經(jīng)預(yù)處理達(dá)標(biāo)后納管進(jìn)入玉環(huán)市污水處理有限公司處理達(dá)標(biāo)后排放,廢氣經(jīng)收集處理后達(dá)標(biāo)排放,各污染物排放均能滿足相關(guān)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn),污染物排放水平可達(dá)到同行業(yè)國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。本項(xiàng)目實(shí)施后,污染總鎳、氮氧化物、VOCs排放是其他符合性分析放標(biāo)準(zhǔn)大氣污染物特別排放限值,深入推進(jìn)工業(yè)燃煤鍋爐煙氣清潔排放改造。加強(qiáng)土壤和地下水污染防治與修定期評(píng)估沿江河湖庫(kù)工業(yè)企業(yè)、工業(yè)集聚區(qū)環(huán)境和健康風(fēng)險(xiǎn),落實(shí)防控措施。相關(guān)企業(yè)按規(guī)定編制環(huán)境突發(fā)事件應(yīng)急預(yù)案,重點(diǎn)加強(qiáng)事故廢水應(yīng)急池建設(shè),以及應(yīng)急物資的儲(chǔ)備和應(yīng)急演練。強(qiáng)化工業(yè)集聚區(qū)企業(yè)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范設(shè)施設(shè)備建設(shè)和正常運(yùn)行監(jiān)管,落實(shí)產(chǎn)業(yè)園區(qū)應(yīng)急預(yù)案,加強(qiáng)風(fēng)險(xiǎn)防控體系建設(shè),建立常態(tài)化的企業(yè)本次擴(kuò)建項(xiàng)目實(shí)施后,企業(yè)應(yīng)及時(shí)按規(guī)定更新和落實(shí)環(huán)境突發(fā)事件應(yīng)急預(yù)案,符合環(huán)境風(fēng)是企業(yè)能源采用電,用水來(lái)自市政供水管網(wǎng),生產(chǎn)過(guò)程中加強(qiáng)節(jié)水管理,工藝清洗廢水部分重復(fù)利用,減少新鮮水用是建設(shè)內(nèi)容1、項(xiàng)目報(bào)告類(lèi)別判定本項(xiàng)目主要生產(chǎn)瞬態(tài)抑制二極管TVS5寸晶圓,主要生產(chǎn)工藝為清洗、熱氧化、擴(kuò)散、光刻、刻蝕、化學(xué)鍍鎳(金)、電鍍錫等,為半導(dǎo)體分立器件制造,屬于《國(guó)民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類(lèi)》(GB/T4754—2017,2019年修訂)及其注釋中的C3972半導(dǎo)體分立器件制造。對(duì)照《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響評(píng)價(jià)分類(lèi)管理名錄》(2021年版),本項(xiàng)目評(píng)價(jià)類(lèi)別為報(bào)告表,具體見(jiàn)表2-1。表2-1名錄對(duì)應(yīng)類(lèi)別//表2-2本項(xiàng)目基本情況表主體工程企業(yè)擬在原來(lái)可控硅項(xiàng)目及廠房的基礎(chǔ)上,將原來(lái)生產(chǎn)車(chē)間3樓的封裝車(chē)間改建為氧化、擴(kuò)散、光刻、刻蝕、化學(xué)鍍鎳(金)、電鍍錫(依托現(xiàn)有生產(chǎn)線或外協(xié))等工藝,公用工程廠區(qū)雨污分流,廢水經(jīng)廠內(nèi)污水處理站預(yù)處理達(dá)標(biāo)后納入市政管網(wǎng),進(jìn)玉環(huán)市污水處環(huán)保工程統(tǒng)廢液委外處置,清液達(dá)標(biāo)排放。對(duì)現(xiàn)有含氟磷廢水預(yù)處理系統(tǒng)進(jìn)行改造,新增高濃廢液預(yù)處理系統(tǒng),增加一套石灰加藥系統(tǒng),并在二級(jí)沉淀后增加砂濾裝置。對(duì)現(xiàn)有氨氮廢水預(yù)處理系統(tǒng)進(jìn)行改造,新增高濃廢液預(yù)處理系統(tǒng)。含金廢水利用現(xiàn)有含鎳廢水序批式處理設(shè)施與含鎳廢水交替使用。企業(yè)含氟磷廢水設(shè)計(jì)能力為12.5t/h,運(yùn)行時(shí)間24h。企業(yè)工藝廢水經(jīng)廠區(qū)廢水處理站處理達(dá)標(biāo)后,與經(jīng)化糞池預(yù)處理的生活污統(tǒng)擴(kuò)建項(xiàng)目酸性廢氣依托企業(yè)現(xiàn)有酸性廢氣處理設(shè)施的基礎(chǔ)上,對(duì)廢氣處理設(shè)施工藝進(jìn)僅留工人操作面開(kāi)口,設(shè)置槽邊吸風(fēng)系統(tǒng),廢氣經(jīng)槽邊排風(fēng)抽出后經(jīng)機(jī)臺(tái)頂部設(shè)置的管道分類(lèi)收集進(jìn)入對(duì)應(yīng)的廢氣處理設(shè)施。各酸洗槽等配有密封蓋,不工作時(shí)蓋上以防止酸霧揮磷擴(kuò)散尾氣經(jīng)設(shè)備收集管道收集。各類(lèi)酸性廢氣收集后進(jìn)酸性廢氣處理設(shè)施,采用二級(jí)堿液噴淋(采用10%碳酸鈉+氫氧化鈉溶液)工藝,廢氣經(jīng)處運(yùn)行時(shí)基本密閉,僅在打開(kāi)的情況下會(huì)有少量廢氣散發(fā);顯影臺(tái)采用通風(fēng)柜結(jié)構(gòu),僅留工人操作面開(kāi)口,設(shè)置槽邊吸風(fēng)系統(tǒng),廢氣經(jīng)槽邊排風(fēng)抽出后經(jīng)機(jī)臺(tái)頂部設(shè)置的管道分類(lèi)收設(shè)置槽邊吸風(fēng)及頂部吸風(fēng)。各類(lèi)有機(jī)廢氣經(jīng)收集后進(jìn)入有機(jī)廢氣處理設(shè)施,采用活性炭吸附脫附+催化燃燒工藝,處理后的有機(jī)廢氣經(jīng)一根33m高排氣筒(DA003)高空排放,設(shè)要求企業(yè)對(duì)各塑封壓機(jī)壓鑄點(diǎn)設(shè)置側(cè)吸集氣罩,并對(duì)固化烘箱設(shè)置尾氣收集管,將塑封、固化過(guò)程產(chǎn)生的有機(jī)廢氣收集后經(jīng)活性炭吸附設(shè)施處理后,通過(guò)一根30m高排氣筒建設(shè)內(nèi)容依托工程已建危廢倉(cāng)庫(kù)兩座,分別位于生產(chǎn)車(chē)間北側(cè)和辦公樓北側(cè)。其中危廢倉(cāng)庫(kù)1面積約潔凈車(chē)間情況介紹:企業(yè)各生產(chǎn)車(chē)間均為潔凈車(chē)間,潔凈度要求分別為100-1000級(jí)。目前2F生產(chǎn)車(chē)間設(shè)新風(fēng)系統(tǒng)1套(18000m3/h),本次擴(kuò)建項(xiàng)目擬增加1套用于3F生產(chǎn)車(chē)間(12000m3/h)。新風(fēng)系統(tǒng)具體工藝參數(shù)情況見(jiàn)表2-3。具體工藝圖見(jiàn)附圖10。表2-3新風(fēng)系統(tǒng)工藝參數(shù)表建設(shè)內(nèi)容/車(chē)間為正壓送風(fēng),壓力控制比外環(huán)境高5pa,企業(yè)車(chē)間空氣經(jīng)新風(fēng)系統(tǒng)出風(fēng)口排出,經(jīng)排風(fēng)通道排放至生產(chǎn)車(chē)間外環(huán)境。3、主要產(chǎn)品及產(chǎn)能擴(kuò)建項(xiàng)目主要產(chǎn)品方案見(jiàn)表2-4。表2-4擴(kuò)建項(xiàng)目產(chǎn)品方案表12擴(kuò)建項(xiàng)目實(shí)施后,企業(yè)全廠產(chǎn)品方案如下:表2-5企業(yè)全廠產(chǎn)品方案一覽表12管品3品4品建設(shè)內(nèi)容56品78品圖2-1瞬態(tài)抑制二極管產(chǎn)品示意4、主要生產(chǎn)設(shè)施表2-6擴(kuò)建項(xiàng)目主要生產(chǎn)設(shè)施一覽表(本次新增)建設(shè)內(nèi)容表2-7擴(kuò)建項(xiàng)目實(shí)施前后企業(yè)生產(chǎn)設(shè)備一覽表單位:臺(tái)建設(shè)內(nèi)容建設(shè)內(nèi)容4、主要原輔材料及能源表2-8擴(kuò)建項(xiàng)目原輔材料及能源消耗情況表建設(shè)內(nèi)容表2-9擴(kuò)建項(xiàng)目實(shí)施前后企業(yè)原輔材料消耗一覽表單位:t/a建設(shè)內(nèi)容建設(shè)內(nèi)容注:原環(huán)評(píng)未考慮劃片工序金剛石刀片消耗,根據(jù)6、元素平衡和水平衡(1)元素平衡鎳元素平衡見(jiàn)表2-10。表2-10鎳元素平衡擴(kuò)建項(xiàng)目涉及到氟元素的物料主要為混合酸(含氫氟酸)、BOE腐蝕液(含氫氟酸、氟化銨)、氫氟酸,氟元素物料平衡具體如下。表2-11氟元素平衡擴(kuò)建項(xiàng)目涉及到磷元素的物料主要為三氯氧磷、次亞磷酸鈉。磷元素物料平衡具體如下。表2-12磷元素平衡擴(kuò)建項(xiàng)目涉及到氮的物料主要為混合酸(含硝酸)、硝酸、BOE腐蝕液、氨水等,氮元素物料平衡具體如下。表2-13氮元素平衡建設(shè)內(nèi)容擴(kuò)建項(xiàng)目涉及到氯的物料主要為三氯氧磷、鹽酸、BOE、氯化鎳、氯化銨、氯化金等,氯元素物料平衡具體如下。表2-14氯元素平衡水?dāng)U建項(xiàng)目涉及到的VOCs物料主要為光刻膠、二甲苯、顯影漂洗液、硼乳膠源等。主要VOCs物料平衡如下。表2-15VOCs平衡VOCs(t/a)VOCs(t/a)(2)水平衡本項(xiàng)目水平衡圖見(jiàn)圖2-2。建設(shè)內(nèi)容圖2-2擴(kuò)建項(xiàng)目水平衡圖單位:t/a建設(shè)內(nèi)容圖2-3擴(kuò)建項(xiàng)目實(shí)施后全廠水平衡圖單位:t/a7、勞動(dòng)定員及工作制度建設(shè)內(nèi)容本項(xiàng)目新增勞動(dòng)定員200人,年工作時(shí)間300天,實(shí)行24h/d三班制。8、廠區(qū)平面布置浙江里陽(yáng)半導(dǎo)體有限公司廠區(qū)共設(shè)置1幢生產(chǎn)車(chē)間(共3F)、1幢辦公樓(共5F),其中物流入口位于廠區(qū)南側(cè)。本次擴(kuò)建項(xiàng)目主要在現(xiàn)有生產(chǎn)車(chē)間3F實(shí)施,各功能布局情況具體見(jiàn)表表2-16項(xiàng)目廠區(qū)平面布置情況一覽表焊接車(chē)間(現(xiàn)有)、濕法車(chē)間(新增)、擴(kuò)散車(chē)間(新增)、電鍍車(chē)間(已批未建設(shè))、鍵合車(chē)間(已批工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)1、工藝流程簡(jiǎn)述(1)芯片生產(chǎn)圖2-4擴(kuò)建項(xiàng)目芯片生產(chǎn)工藝流程圖工藝流程說(shuō)明:(2)TVS成品圖2-6TVS塑封成品制造工藝流程圖(3)電鍍錫(依托一期項(xiàng)目,部分外協(xié))圖2-7電鍍錫工藝流程圖(4)純水工藝(依托一期項(xiàng)目)圖2-8純水站設(shè)計(jì)水量平衡圖圖2-9純水工藝一覽表2、工藝設(shè)備先進(jìn)性分析本項(xiàng)目設(shè)備工藝先進(jìn)性主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:(1)本項(xiàng)目為芯片及TVS成品制造,項(xiàng)目生產(chǎn)車(chē)間均為潔凈車(chē)間。濕法車(chē)間各清洗機(jī)均采用通風(fēng)柜結(jié)構(gòu),僅留工人操作面開(kāi)口,設(shè)置槽邊吸風(fēng)系統(tǒng),廢氣經(jīng)槽邊排風(fēng)抽出后經(jīng)機(jī)臺(tái)頂部設(shè)置的管道分類(lèi)收集進(jìn)入對(duì)應(yīng)的廢氣處理設(shè)施。各酸洗槽等配有密封蓋,不工作時(shí)蓋上以防止酸霧揮發(fā)。項(xiàng)目槽液配置均在通風(fēng)柜內(nèi)進(jìn)行。(2)本項(xiàng)目濕法工藝采用重復(fù)用水、廢酸再用等手段有效減少?gòu)U酸、廢水排放,可減輕廢酸處理系統(tǒng)的運(yùn)行負(fù)荷,減少污染物排放。(3)光刻機(jī)、擴(kuò)散爐等設(shè)備運(yùn)行時(shí)基本密閉,設(shè)備設(shè)置尾氣收集系統(tǒng),收集效率較高。(4)項(xiàng)目電鍍生產(chǎn)線整體密閉,設(shè)置槽邊吸風(fēng)及頂部吸風(fēng),廢氣收集率較高;采用逆流清洗工序,電鍍車(chē)間部分生產(chǎn)廢水采用純水制備產(chǎn)生的濃水。(5)擴(kuò)散車(chē)間配有有毒有害氣體泄漏報(bào)警裝置。工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)(6)項(xiàng)目純水制備產(chǎn)生的二級(jí)RO濃水和EDI濃水回用于純水系統(tǒng)制水,一級(jí)RO濃水回用于項(xiàng)目冷卻塔補(bǔ)水、生化沖廁用水和景觀綠化用水,可有效減少項(xiàng)目廢水外排量。3、產(chǎn)排污環(huán)節(jié)分析表2-22本項(xiàng)目產(chǎn)排污環(huán)節(jié)匯總表pH、CODCrpH、CODCr/與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題1、現(xiàn)有項(xiàng)目概況浙江里陽(yáng)半導(dǎo)體有限公司成立于2018年,是一家專(zhuān)業(yè)從事功率半導(dǎo)體芯片及分立器件生產(chǎn)的電子企業(yè)。企業(yè)位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門(mén)工業(yè)區(qū),租賃浙江環(huán)力煙機(jī)有限公司部分廠房進(jìn)行生產(chǎn)。企業(yè)于2018年11月委托浙江泰誠(chéng)環(huán)境科技有限公司編制了《浙江里陽(yáng)半導(dǎo)體有限公司年產(chǎn)60萬(wàn)片功率半導(dǎo)體芯片及分立器件制造生產(chǎn)線技改項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書(shū)》,并通過(guò)原臺(tái)州市環(huán)境保護(hù)局的審批(臺(tái)環(huán)建[2018]48號(hào)),審批規(guī)模為年產(chǎn)60萬(wàn)片功率半導(dǎo)體芯片及分立器件制造。企業(yè)于2019年取得了排污許可證(證書(shū)編號(hào)91331021MA2ANXHM3J001V)。目前,該項(xiàng)目濕法車(chē)間、焊接車(chē)間已投入生產(chǎn),并于2021年4月完成“三同時(shí)”竣工驗(yàn)收。2、企業(yè)現(xiàn)有生產(chǎn)規(guī)模調(diào)查目前,企業(yè)現(xiàn)有項(xiàng)目?jī)H濕法車(chē)間及相應(yīng)配套設(shè)施投運(yùn),封裝及電鍍工序暫未建設(shè)。根據(jù)原環(huán)評(píng)及企業(yè)建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告(臺(tái)州綠科2020(驗(yàn))字第069號(hào)),企業(yè)現(xiàn)有項(xiàng)目生產(chǎn)規(guī)模情況見(jiàn)下表。表2-23企業(yè)驗(yàn)收生產(chǎn)規(guī)模一覽表1/2/3/4萬(wàn)片+整流二極管芯片12萬(wàn)/5/6/表2-24企業(yè)現(xiàn)有生產(chǎn)規(guī)模一覽表例例3、企業(yè)現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備和原輔料調(diào)查根據(jù)原環(huán)評(píng)及企業(yè)建設(shè)項(xiàng)目竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告(臺(tái)州綠科2020(驗(yàn))字第069號(hào))以及現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查,企業(yè)現(xiàn)有項(xiàng)目生產(chǎn)設(shè)備情況見(jiàn)表2-19,原輔料消耗情況見(jiàn)表2-20。與項(xiàng)目有與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題表2-26現(xiàn)有項(xiàng)目動(dòng)力及輔助設(shè)備單位:臺(tái)/套根據(jù)調(diào)查可知,企業(yè)在實(shí)際建設(shè)過(guò)程中對(duì)設(shè)備進(jìn)行相應(yīng)調(diào)整,生產(chǎn)設(shè)備數(shù)量較環(huán)評(píng)少3臺(tái)(其中硅片磨蝕機(jī)多1臺(tái)、硼擴(kuò)爐管多1臺(tái)、玻璃鈍化少1臺(tái)、自動(dòng)涂膠機(jī)多3臺(tái)、雙面光刻少1臺(tái)、單面光刻少3臺(tái)、顯影臺(tái)少1臺(tái)、圖示儀多2臺(tái)、鋁蒸發(fā)臺(tái)多1臺(tái)、銀蒸發(fā)臺(tái)少2臺(tái)、與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題金屬化清洗機(jī)少1臺(tái)、貼膜機(jī)少1臺(tái)、砂輪劃片機(jī)多1臺(tái)、真空焊接爐少2臺(tái)),其余與環(huán)評(píng)一致。與驗(yàn)收時(shí)相比,除增加一臺(tái)硅片磨蝕機(jī)外其余均一致。企業(yè)增減設(shè)備主要目的為了應(yīng)急或根據(jù)客戶(hù)不同產(chǎn)品尺寸、大小、型號(hào)的不同要求而做出的調(diào)整,增減設(shè)備不改變主要污染物的產(chǎn)排情況,不新增污染物排放,產(chǎn)品產(chǎn)能基本保持不變。表2-27現(xiàn)有項(xiàng)目主要原輔料情況一覽表與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題注:本評(píng)價(jià)統(tǒng)計(jì)的是出庫(kù)量,與消耗量可能存在誤4、企業(yè)現(xiàn)有生產(chǎn)工藝調(diào)查目前,企業(yè)現(xiàn)有項(xiàng)目?jī)H濕法車(chē)間及相應(yīng)配套設(shè)施投運(yùn),封裝及電鍍工序暫未建設(shè)。根據(jù)原環(huán)評(píng)及現(xiàn)狀調(diào)查,企業(yè)現(xiàn)有項(xiàng)目生產(chǎn)工藝與原環(huán)評(píng)審批、竣工驗(yàn)收一致,具體工藝如下。與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題(1)芯片生產(chǎn)(2)封裝及電鍍工序(暫未建設(shè))A.電極芯片封裝制造工藝B.分立器件TO系列封裝制造工藝與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題(3)工藝說(shuō)明:5、企業(yè)現(xiàn)有污染源強(qiáng)調(diào)查(1)廢水根據(jù)企業(yè)原環(huán)評(píng)及現(xiàn)狀調(diào)查,現(xiàn)有廢水主要為生活污水和工藝廢水,其中工藝廢水分為氟磷廢水(包括含氟氨混合廢水、含氟廢水、含磷廢水)和氨氮廢水(包括酸堿廢水、含氨廢水、混合清洗廢水、廢氣噴淋廢水、純水制備廢水)。電鍍工序暫未投運(yùn),因此現(xiàn)有廢水不含電鍍車(chē)間工藝廢水(去毛刺清洗廢水、含錫廢水、去氧化廢水(含鎳廢水)、活化工序廢酸液、有機(jī)清洗廢水)。企業(yè)工藝廢水大部分采用純水,其中濃水產(chǎn)生量約為23732t/a(3.3t/h),根據(jù)現(xiàn)狀調(diào)查,純水制備的濃水均回用于冷卻塔補(bǔ)充用水。目前,企業(yè)設(shè)有4臺(tái)冷卻水塔,循環(huán)量共計(jì)850m3/h,平均補(bǔ)充水量按1%計(jì)(根據(jù)季節(jié)不同存在變化),約為8.5m3/h,純水制備產(chǎn)生的濃水可全部回用于冷卻塔補(bǔ)充用水。根據(jù)企業(yè)提供的廢水臺(tái)賬和在線監(jiān)控?cái)?shù)據(jù),2021年6月——11月的工藝廢水在線數(shù)據(jù)如下表。表2-31企業(yè)廢水在線監(jiān)測(cè)情況一覽表(2021年6月——11月)pH值1234596789與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題00與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題9967與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題7876與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題676606///根據(jù)企業(yè)在線監(jiān)控(2021年6月——11月),企業(yè)現(xiàn)有項(xiàng)目工藝廢水排放量為29993t,預(yù)計(jì)年排放量為59986t。另外,企業(yè)現(xiàn)有職工150人,年生活用水量約為4500t/a,排水量按用水量的85%計(jì),生活污水產(chǎn)生量為3825t/a。生活污水經(jīng)化糞池預(yù)處理后與經(jīng)預(yù)處理后的工藝廢水一起納管處理?,F(xiàn)有項(xiàng)目廢水污染物排放情況見(jiàn)表2-32。表2-32企業(yè)現(xiàn)有項(xiàng)目廢水排放源強(qiáng)一覽表與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題/////////由于企業(yè)投產(chǎn)不久,生產(chǎn)能力尚在爬坡期(即芯片投入量>產(chǎn)出量,芯片從進(jìn)入生產(chǎn)線生產(chǎn)至成品生產(chǎn)周期約45天左右因此濕法生產(chǎn)時(shí)投入芯片雖然未完全達(dá)到預(yù)計(jì)產(chǎn)能(設(shè)計(jì)量為25片/籃,每個(gè)清洗槽可同時(shí)清洗2-4籃但達(dá)產(chǎn)時(shí)廢水排放量基本不會(huì)增加。隨著產(chǎn)能的釋放,單片芯片廢水排放量會(huì)繼續(xù)降低。(2)廢氣根據(jù)企業(yè)原環(huán)評(píng)及現(xiàn)狀調(diào)查,現(xiàn)有廢氣主要為酸性氣體(鹽酸霧、硫酸霧、醋酸、磷酸、氮氧化物、甲基磺酸)、堿性氣體(氨氣、氫氧化鉀堿霧)、含氟氣體(氫氟酸)、有機(jī)廢氣(二甲苯、乙酸丁酯、甲醇、異丙醇、非甲烷總烴)、干法刻蝕工序排氣(CF4)、CVD排氣、磷擴(kuò)散尾氣、焊接廢氣,現(xiàn)有項(xiàng)目廢氣產(chǎn)排情況如下表。表2-33現(xiàn)有項(xiàng)目廢氣產(chǎn)排情況一覽表00000與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題020根據(jù)調(diào)查,企業(yè)產(chǎn)生的固廢已分類(lèi)收集、規(guī)范堆放。生活垃圾由環(huán)衛(wèi)部門(mén)統(tǒng)一收集處理;產(chǎn)生的危險(xiǎn)廢物為廢水處理污泥、氟化鈣渣、廢有機(jī)溶劑、廢鋁腐蝕液、廢有機(jī)剝離液、廢顯影液、廢光刻膠、廢硼源、廢?;钒b材料(含光刻膠沾染物)、實(shí)驗(yàn)廢液廢渣,廢樹(shù)脂、廢過(guò)濾膜、廢芯片、廢活性炭、鍍槽和退掛槽渣、廢固體吸附劑屬于危險(xiǎn)廢物,暫未產(chǎn)生。一般固廢包括廢銅框架、廢塑封料、廢石英砂,其中塑封車(chē)間未實(shí)施,廢銅框架、廢塑封料暫未產(chǎn)生;純水設(shè)備廢石英砂暫未更換,未產(chǎn)生。具體產(chǎn)生情況見(jiàn)下表。表2-34現(xiàn)有項(xiàng)目實(shí)際固廢產(chǎn)生情況一覽表審批月產(chǎn)生量6-11月臺(tái)賬統(tǒng)(t/a)1劑液液生1-4次2液酸、水液1生3-9次3面活性橡膠等液生1-4次4液危與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題等5劑固//6片等固//7鈣固/8固9固//渣固//膜固//脂固//固般固廢///固般固廢///固般/5//與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題砂固般固廢//固//(折合膠涂布甩膠過(guò)程會(huì)產(chǎn)生廢光收利用后庫(kù)源液//一次染料固2際部分無(wú)法回收的需要按危前暫存于另外光刻過(guò)程產(chǎn)生沾染廢光刻膠的紙計(jì)入其中液//原環(huán)評(píng)未目前企業(yè)產(chǎn)能尚在爬坡期,芯片投入量大于產(chǎn)出量,按投入量折算達(dá)產(chǎn)固廢產(chǎn)生量。其中,原環(huán)評(píng)未考慮廢光刻膠、廢硼源、實(shí)驗(yàn)廢液廢渣產(chǎn)生量,經(jīng)調(diào)查,廢光刻膠、廢硼源、實(shí)驗(yàn)廢與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題液廢渣目前暫存于危廢倉(cāng)庫(kù),今后將委托有資質(zhì)單位處置。原環(huán)評(píng)廢?;钒b材料均由相關(guān)廠家回收,實(shí)際部分無(wú)法回收的(硼乳膠源、顯影漂洗液、光刻膠(含光刻膠沾染物)等包裝瓶以及片堿(廢水處理藥劑)等塑料包裝袋)需要按危廢處置,目前暫存于危廢倉(cāng)庫(kù),今后將委托有資質(zhì)單位處置。(4)噪聲現(xiàn)有項(xiàng)目噪聲主要為各類(lèi)設(shè)備運(yùn)行的噪聲。6、企業(yè)現(xiàn)有污染防治設(shè)施及可達(dá)性調(diào)查(1)廢水污染防治措施1收集系統(tǒng)項(xiàng)目廠區(qū)建有雨水管網(wǎng)、污水管網(wǎng),可實(shí)現(xiàn)項(xiàng)目排水的雨污分流、清污分流、污污分流。表2-35企業(yè)現(xiàn)有廢水分類(lèi)收集情況1/2345洗機(jī)、硼擴(kuò)清洗機(jī)、磷擴(kuò)清洗機(jī)、金屬化清洗機(jī)、有機(jī)去膠機(jī)、劃片/2處理系統(tǒng)企業(yè)建有一座處理能力為300t/d的廢水處理設(shè)施,包括氟磷廢水預(yù)處理系統(tǒng)、含錫廢水預(yù)處理系統(tǒng)、含鎳廢水預(yù)處理系統(tǒng)、電鍍綜合廢水預(yù)處理系統(tǒng)、氨氮廢水預(yù)處理系統(tǒng)和綜合廢水生化系統(tǒng)。目前電鍍及封裝工序暫未建設(shè),因此含錫廢水、含鎳廢水、電鍍綜合廢水預(yù)處理系統(tǒng)暫未使用。各系統(tǒng)處理工藝具體如下。A.氟磷廢水氟磷廢水中含一定濃度的氟、磷、鋁等污染物,采用兩級(jí)物化沉淀工藝同步除氟、除磷、沉鋁。廢水提升后加堿調(diào)節(jié)pH值8-9,同時(shí)投加氯化鈣進(jìn)行反應(yīng),廢水中所含鋁在此pH條件與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題下形成氫氧化物去除,氟、磷與鈣反應(yīng)形成溶解度極低的鈣鹽。其反應(yīng)原理如下:氟磷廢水經(jīng)兩級(jí)物化處理后,進(jìn)入中間水池1,和氨氮預(yù)處理廢水混合后進(jìn)入生化處理。其處理工藝流程框圖如下:含氟氨混合廢水B.氨氮廢水酸堿廢水、含氨廢水、混合廢水調(diào)質(zhì)均化后采用物化沉淀+A/O/A生化處理工藝處理。廢水經(jīng)提升后,加酸堿調(diào)節(jié)pH,發(fā)生酸堿中和反應(yīng):同時(shí)投加PAC、PAM,在網(wǎng)捕、架橋、電中和、吸附等原理作用下,將廢水中懸浮物形成與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題大顆粒絮狀物而沉淀,上清液進(jìn)入pH調(diào)節(jié)槽,然后進(jìn)入生化系統(tǒng)。缺氧脫氮池后端好氧硝化后的廢水回流至缺氧生物池,在此處理過(guò)程中硝酸根被反硝化為N2,從而達(dá)到脫氮目的。其化學(xué)反應(yīng)式如下:好氧硝化池經(jīng)一級(jí)脫氮后的廢水進(jìn)入好氧硝化池,在硝化菌的作用下進(jìn)行硝化反應(yīng),其化學(xué)反應(yīng)式如經(jīng)物化沉淀——缺氧脫氮——好氧硝化——缺氧脫氮處理后的廢水,進(jìn)入二沉池,上清液過(guò)濾后,進(jìn)入放流池納管。本單元處理工藝如下:與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題3可達(dá)性分析根據(jù)企業(yè)驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告(臺(tái)州綠科2020(驗(yàn))字第069號(hào))和日常監(jiān)測(cè)(臺(tái)州綠科2021(綜)字第0291號(hào)),臺(tái)州市綠科檢測(cè)技術(shù)有限公司于2020年11月26日~11月27日和2021年12月7日對(duì)企業(yè)廢水進(jìn)行取樣監(jiān)測(cè),監(jiān)測(cè)結(jié)果見(jiàn)表2-27。與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題表2-36廢水污染物排放達(dá)標(biāo)分析單位:mg/L(除pH值外)日pH(無(wú)量綱)/6~9/8//////2監(jiān)測(cè)期間,企業(yè)廢水標(biāo)排口pH值范圍為6.85~7.10,污染物最大日均值分別為化學(xué)需氧量23.3mg/L、氨氮0.33mg/L、總磷1.12mg/L、總氮46.4mg/L、懸浮物<4mg/L、五日生化需氧量5.6mg/L、氟化物9.66mg/L。標(biāo)排口中廢水各污染物均符合玉環(huán)市污水處理有限公司進(jìn)管標(biāo)準(zhǔn);其中氨氮、總磷日均最大排放濃度符合《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》(DB33/887-2013)中間接排放限值;氟化物、總鋁最大排放濃度符合《電鍍污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB21900-2008)表3標(biāo)準(zhǔn)。另外,現(xiàn)有芯片車(chē)間產(chǎn)能為5英寸芯片60萬(wàn)片/年,現(xiàn)狀廢水量為59986t/a,對(duì)照《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020),現(xiàn)狀排水量為0.1m3/片可滿足基準(zhǔn)排水量(3.2m3/片)要求。(2)廢氣污染防治措施1收集系統(tǒng)現(xiàn)有項(xiàng)目根據(jù)廢氣污染物特性,共分為酸性氣體收集系統(tǒng)、堿性氣體收集系統(tǒng)、有機(jī)廢氣收集系統(tǒng),另外真空焊接爐尾氣經(jīng)設(shè)備管道收集后高空排放。車(chē)間為正壓送風(fēng),壓力控制比外環(huán)境高5pa,企業(yè)車(chē)間空氣經(jīng)新風(fēng)系統(tǒng)出風(fēng)口排出,經(jīng)排風(fēng)通道排放至生產(chǎn)車(chē)間外環(huán)境。與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題表2-37廢氣收集系統(tǒng)一覽表氣焊接廢氣由1根30m排氣筒樓頂直排,風(fēng)2處理系統(tǒng)A.酸性氣體現(xiàn)有項(xiàng)目設(shè)1套酸性氣體處理設(shè)施,采用二級(jí)堿液噴淋(添加硫代硫酸鈉)工藝,酸性氣體(包括含氟氣體)、干法刻蝕工序排氣、磷擴(kuò)散尾氣收集后接入酸性廢氣處理設(shè)施處理后經(jīng)位于車(chē)間樓頂?shù)?5m高排氣筒高空排放。排氣筒B.堿性氣體現(xiàn)有項(xiàng)目設(shè)1套堿性氣體處理設(shè)施,采用水噴淋工藝,堿性氣體收集后接入堿性廢氣處理設(shè)施處理后經(jīng)位于車(chē)間樓頂?shù)?1m高排氣筒高空排放。與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題排氣筒C.有機(jī)廢氣現(xiàn)有項(xiàng)目設(shè)1套有機(jī)廢氣處理設(shè)施,采用活性炭吸附濃縮+催化燃燒的組合工藝,有機(jī)廢氣收集后接入有機(jī)廢氣處理設(shè)施處理后經(jīng)位于車(chē)間樓頂33m高排氣筒高空排放。排氣筒3可達(dá)性分析根據(jù)臺(tái)州市綠科檢測(cè)技術(shù)有限公司提供的驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告(臺(tái)州綠科2020(驗(yàn))字第069號(hào),2021.4),各處理設(shè)施廢氣達(dá)標(biāo)分析如下。表2-38酸性廢氣監(jiān)測(cè)結(jié)果//煙溫(℃)4444123-2-31//2//3/////-3/-3123與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題-31//2//3//度1//2//53//7//4/-2/123-3-3-3-3表2-39堿性廢氣監(jiān)測(cè)結(jié)果//煙溫(℃)123-2-31//2//3//表2-40有機(jī)廢氣監(jiān)測(cè)結(jié)果//煙溫(℃)與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題123123-5-5123-5-5123-5-53123-21231//2//3//表2-41有組織廢氣總排放口達(dá)標(biāo)分析標(biāo)標(biāo)-3-3與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題1-34-3-3/////2氨/-3/////3-2/////4-2-2表2-42無(wú)組織廢氣監(jiān)測(cè)達(dá)標(biāo)分析1234非甲烷總烴mg/m3456789//非甲烷總烴mg/m36根據(jù)上表,現(xiàn)有項(xiàng)目各廢氣排放可滿足《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)二與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題級(jí)標(biāo)準(zhǔn)要求,其中乙酸丁酯、醋酸排放濃度滿足執(zhí)行中華人民共和國(guó)國(guó)家職業(yè)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)《工作場(chǎng)所有害因素職業(yè)接觸限值化學(xué)有害因素》(GBZ2.1-2019)的時(shí)間加權(quán)平均容許濃度,氨、臭氣濃度排放滿足《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)中的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)要求。(3)固廢污染防治措施根據(jù)調(diào)查,企業(yè)產(chǎn)生的固廢已分類(lèi)收集、規(guī)范堆放。生活垃圾由環(huán)衛(wèi)部門(mén)統(tǒng)一收集處理;危險(xiǎn)廢物為廢水處理污泥、廢樹(shù)脂(暫未產(chǎn)生)、廢固體吸附劑(暫未產(chǎn)生)、廢活性炭(調(diào)查期間未更換)、氟化鈣渣、廢過(guò)濾膜(暫未產(chǎn)生)、廢芯片(暫未產(chǎn)生)、廢有機(jī)溶劑、廢鋁腐蝕液、廢有機(jī)剝離液、廢顯影液、鍍槽和退掛槽渣(暫未建設(shè))、廢光刻膠、廢硼源、實(shí)驗(yàn)廢液廢渣、廢?;钒b材料(含光刻膠沾染物),均暫存于廠區(qū)東側(cè)的獨(dú)立危廢倉(cāng)庫(kù)內(nèi)。其中廢水處理污泥(包括氟化鈣渣)、廢有機(jī)溶劑、廢有機(jī)剝離液、廢顯影液、廢鋁腐蝕液、廢活性炭已委托相應(yīng)有資質(zhì)的單位進(jìn)行安全處置。原環(huán)評(píng)未考慮廢光刻膠、廢硼源、實(shí)驗(yàn)廢液廢渣產(chǎn)生量,經(jīng)調(diào)查,廢光刻膠、廢硼源、實(shí)驗(yàn)廢液廢渣目前暫存于危廢倉(cāng)庫(kù),今后將委托有資質(zhì)單位處置。原環(huán)評(píng)廢?;钒b材料均由相關(guān)廠家回收,實(shí)際部分無(wú)法回收的需要按危廢處置,目前暫存于危廢倉(cāng)庫(kù),今后將委托有資質(zhì)單位處置。企業(yè)已建危廢倉(cāng)庫(kù)兩座,分別位于生產(chǎn)車(chē)間北側(cè)和辦公樓北側(cè)。其中危廢倉(cāng)庫(kù)1面積約20m2,危廢倉(cāng)庫(kù)2面積約60m2,現(xiàn)有項(xiàng)目折算達(dá)產(chǎn)危廢產(chǎn)生量約為21.23t/a,暫存周期為1~3個(gè)月不等,可滿足現(xiàn)有項(xiàng)目危廢暫存要求。危廢倉(cāng)庫(kù)已做好防風(fēng)、防雨、防腐防滲,相應(yīng)標(biāo)識(shí)標(biāo)牌、臺(tái)賬、轉(zhuǎn)移聯(lián)單制度均已落實(shí)到位。(4)噪聲污染防治措施本項(xiàng)目的主要噪聲源為各設(shè)備運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的噪聲,環(huán)評(píng)中提出的噪聲防治措施如下:1在設(shè)計(jì)和設(shè)備采購(gòu)階段下,優(yōu)先選用低噪聲設(shè)備,從源頭上控制噪聲源強(qiáng)。加強(qiáng)設(shè)備的日常維護(hù)保養(yǎng),定期潤(rùn)滑傳動(dòng)設(shè)備,使其處于良好的工況,避免設(shè)備因不正常運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生的高噪現(xiàn)象。2優(yōu)化布局,對(duì)高噪聲設(shè)備采取集中放置,盡量布置于車(chē)間中間位置,不要設(shè)置在廠界附近,不得已而設(shè)置在廠界附近的,必須增加隔聲措施。3加強(qiáng)對(duì)高噪聲設(shè)備的隔聲降噪措施:如引風(fēng)機(jī)設(shè)置在車(chē)間內(nèi)且安裝整體隔聲罩,進(jìn)出口裝橡膠軟接頭;一般設(shè)備底部安裝橡膠減振墊。4生產(chǎn)車(chē)間靠近廠界一側(cè)盡量少設(shè)置可開(kāi)啟式窗戶(hù),生產(chǎn)時(shí)關(guān)閉門(mén)窗。5加強(qiáng)廠界綠化,種植喬木為主,輔以灌木等,減輕噪聲對(duì)廠外環(huán)境影響。6加強(qiáng)對(duì)職工的管理、培訓(xùn)和教育,提供文明生產(chǎn),防止人為高噪聲現(xiàn)象。本項(xiàng)目須做好噪聲防治工作,保證廠界噪聲達(dá)標(biāo)。與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查,針對(duì)噪聲企業(yè)已采取以下措施:1在空間布局上,噪聲較大的車(chē)間遠(yuǎn)離廠內(nèi)生活辦公區(qū),并避免布置在靠近敏感點(diǎn)的廠界,目前生產(chǎn)設(shè)備及其配套環(huán)保設(shè)備等均在生產(chǎn)廠房和周邊區(qū)域,主要生產(chǎn)設(shè)備位于廠區(qū)中央;噪聲較大的車(chē)間墻體采用隔音效果較好的建筑材料;冷卻塔布置在動(dòng)力廠房樓頂部;應(yīng)急發(fā)電機(jī)布置在配電站室內(nèi)。2高噪聲設(shè)備底座設(shè)置減振裝置;選用低噪的冷凍站、空壓站、水泵等設(shè)備,冷凍站、空壓站置于室內(nèi),水泵、風(fēng)機(jī)采用減震墊等。3加強(qiáng)機(jī)械設(shè)備的維護(hù)和檢修,避免因不正常運(yùn)行導(dǎo)致噪聲增大。4廠界砌筑圍墻,加強(qiáng)廠界綠化,可以有效隔音降噪。5廠區(qū)物料運(yùn)輸通道合理優(yōu)化,加強(qiáng)對(duì)運(yùn)輸車(chē)輛的管理和維護(hù),保持車(chē)況良好,要求機(jī)動(dòng)車(chē)駕駛?cè)藛T經(jīng)過(guò)噪聲敏感區(qū)地段限制車(chē)速,禁止鳴笛,避免夜間運(yùn)輸。通過(guò)以上降噪措施,減少噪聲影響,建設(shè)單位噪聲防治措施能符合環(huán)評(píng)要求。根據(jù)臺(tái)州市綠科檢測(cè)技術(shù)有限公司提供的驗(yàn)收監(jiān)測(cè)報(bào)告(臺(tái)州綠科2020(驗(yàn))字第069號(hào),2021.4),企業(yè)廠界噪聲監(jiān)測(cè)結(jié)果如下。表2-43噪聲監(jiān)測(cè)結(jié)果間由上表可知,監(jiān)測(cè)期間,里陽(yáng)公司廠界南側(cè)晝間噪聲值范圍為61.1~62.0dB(A)、夜間噪聲值范圍為52.3~52.9dB(A),滿足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)中的4類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)限值要求;其余各側(cè)根據(jù)晝間噪聲值范圍為53.8~58.6dB(A)、夜間噪聲值范圍為45.6~49.6dB(A其排放符合《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)2類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)限值要求。7、總量控制根據(jù)原環(huán)評(píng)及批復(fù)要求,企業(yè)現(xiàn)有總量控制情況如下。與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題表2-44本項(xiàng)目總量控制建議值單位:t/a量0根據(jù)現(xiàn)有污染源強(qiáng)調(diào)查,企業(yè)現(xiàn)有項(xiàng)目污染物排放總量在原審批總量控制范圍之內(nèi)。8、防護(hù)距離根據(jù)原環(huán)評(píng)要求,企業(yè)生產(chǎn)車(chē)間需設(shè)置100m衛(wèi)生防護(hù)距離。浙江里陽(yáng)半導(dǎo)體有限公司位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門(mén)工業(yè)區(qū),租用浙江環(huán)力煙機(jī)有限公司部分廠房。企業(yè)東側(cè)為漩門(mén)村居民區(qū),南側(cè)為S226省道,隔路為漩門(mén)工業(yè)城企業(yè)集聚區(qū),西側(cè)為蘆北大道,北側(cè)為山體。主要環(huán)境敏感點(diǎn)為:企業(yè)東北面35m(距離生產(chǎn)車(chē)間131m)處的漩門(mén)村居民點(diǎn);西南面280m(距離生產(chǎn)車(chē)間295m)處的海邊村居民點(diǎn)等,滿足衛(wèi)生防護(hù)距離要求。9、企業(yè)現(xiàn)有環(huán)境問(wèn)題及整改措施表2-45現(xiàn)有環(huán)境問(wèn)題及整改措施一覽表1由于原環(huán)評(píng)未核原環(huán)評(píng)廢危化品包裝材料均由相關(guān)廠盡快委托有資質(zhì)單位處置并嚴(yán)待本項(xiàng)目環(huán)評(píng)文件2對(duì)高濃度廢液進(jìn)行預(yù)處理后再與清的處理壓力;增加一套石灰加藥系溶液用于除氟,提高氟化物去除能與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題3現(xiàn)有廢氣處理設(shè)施效率未達(dá)到原環(huán)評(píng)進(jìn)一步加強(qiáng)廢氣的有效收集和擬將現(xiàn)有酸性廢氣設(shè)施的第一級(jí)旋流板塔改造為處理效果更好的采用高質(zhì)量的活性炭作為吸附4后再進(jìn)入調(diào)節(jié)池。企業(yè)已落實(shí)環(huán)境保護(hù)“三同時(shí)”制度,通過(guò)本次擴(kuò)建項(xiàng)目做好“以新帶老”環(huán)保措施,今后生產(chǎn)運(yùn)行中須進(jìn)一步加強(qiáng)環(huán)境管理,確保“三廢”治理設(shè)施的穩(wěn)定達(dá)標(biāo)運(yùn)行,做好固體廢物管理工作。區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀1、大氣環(huán)境年)》,項(xiàng)目所在區(qū)域環(huán)境空氣能滿足二類(lèi)功能區(qū)的要求,屬于環(huán)境空氣質(zhì)量達(dá)標(biāo)區(qū)。二甲苯、非甲烷總烴、乙酸丁酯、氟化物、氯化氫現(xiàn)狀參考浙江科達(dá)檢測(cè)有限公司于2020年9月在項(xiàng)目所在地南側(cè)600m處的監(jiān)測(cè)結(jié)果(報(bào)告編號(hào):浙科達(dá)檢(2020)綜字第0196號(hào)),硫酸霧、氯氣現(xiàn)狀參考浙江科達(dá)檢測(cè)有限公司于2021年6月在項(xiàng)目所在地南側(cè)600m處的監(jiān)測(cè)結(jié)果(報(bào)告編號(hào):浙科達(dá)檢(2021)綜字第0207號(hào))。根據(jù)監(jiān)測(cè)報(bào)告,氟化物監(jiān)測(cè)結(jié)果滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn),氯、氯化氫、硫酸霧、二甲苯監(jiān)測(cè)結(jié)果能滿足《環(huán)境影響評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)境》(HJ2.2-2018)附錄D參考限值,非甲烷總烴監(jiān)測(cè)結(jié)果滿足原環(huán)保部科技標(biāo)準(zhǔn)司《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)詳解》中的建議值,異丙醇監(jiān)測(cè)結(jié)果滿足美國(guó)EPA工業(yè)環(huán)境實(shí)驗(yàn)室的AMEG計(jì);乙酸丁酯監(jiān)測(cè)結(jié)果滿足《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)詳解》中的計(jì)算值。項(xiàng)目所在地環(huán)境空氣質(zhì)量良好。具體見(jiàn)大氣環(huán)境影響評(píng)價(jià)專(zhuān)題。2、地表水環(huán)境本項(xiàng)目所在地附近水體為人民塘河、城坎河,根據(jù)《浙江省水功能區(qū)水環(huán)境功能區(qū)劃分方案》,屬于椒江(溫黃平原)水系,編號(hào)113,水功能區(qū)為城坎河玉環(huán)工業(yè)、景觀娛樂(lè)用水區(qū),水環(huán)境功能區(qū)為工業(yè)、景觀娛樂(lè)用水區(qū),地表水環(huán)境質(zhì)量執(zhí)行《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838-2002)Ⅳ類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)。本項(xiàng)目所在區(qū)域地表水水質(zhì)現(xiàn)狀參考浙江省臺(tái)州生態(tài)環(huán)境監(jiān)測(cè)中心提供的2020年礁頭閘斷面(南面約6.7km處)的常規(guī)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),具體數(shù)據(jù)見(jiàn)表3-1。表3-1礁頭閘站位2020年常規(guī)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)單位:mg/L(pH除外)pH值BOD5NH3-N計(jì))銅IⅢⅢⅢIⅢII根據(jù)以上監(jiān)測(cè)結(jié)果,對(duì)照《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838-2002)有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)限值,礁頭總磷(以P計(jì))為Ⅲ類(lèi),總體評(píng)價(jià)該水體水質(zhì)為Ⅲ類(lèi),水體水質(zhì)能滿足Ⅳ類(lèi)水功能區(qū)要求。另外,本項(xiàng)目附近水體質(zhì)量現(xiàn)狀參考浙江科達(dá)監(jiān)測(cè)有限公司于2020年9月10日至9月12綜字第0196號(hào)),具體數(shù)據(jù)見(jiàn)表3-2。區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀表3-2人民塘河2020年補(bǔ)充監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)單位:mg/L(pH除外)pH值6.72203.70.045.626.745.826.745.69///ⅠⅡⅢⅢⅢⅠⅢ數(shù)銅鋅鎳鐵值//ⅢⅠⅠⅠⅠ//礁頭閘斷面礁頭閘斷面本項(xiàng)目所在本項(xiàng)目所在6.7km圖3-1地表水監(jiān)測(cè)斷面位置示意圖3、聲環(huán)境本項(xiàng)目所在地位于漩門(mén)工業(yè)區(qū),租用浙江環(huán)力煙機(jī)有限公司廠房,根據(jù)“玉環(huán)市人民政府辦公室抄告單玉辦第40號(hào)”(附件12),該地塊聲環(huán)境質(zhì)量執(zhí)行《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-2008)中的2類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí),根據(jù)《玉環(huán)市聲環(huán)境功能區(qū)劃方案》,項(xiàng)目所在地靠226區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀省道、蘆北大道一側(cè)(南廠界、西廠界)聲環(huán)境質(zhì)量執(zhí)行4a類(lèi)標(biāo)準(zhǔn);本項(xiàng)目廠界東側(cè)35m處敏感點(diǎn)漩門(mén)村位于《玉環(huán)市聲環(huán)境功能區(qū)劃方案》規(guī)定的“1083-3-15”區(qū)域,屬于1類(lèi)聲功能區(qū),聲環(huán)境質(zhì)量執(zhí)行《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-2008)中的1類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)“浙科達(dá)檢(2021)綜字第0207號(hào)”,廠界外50m范圍內(nèi)敏感點(diǎn)的聲環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)結(jié)果見(jiàn)表3-3、監(jiān)測(cè)點(diǎn)位見(jiàn)附圖6。表3-3聲環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀評(píng)價(jià)表單位:dB是由監(jiān)測(cè)結(jié)果可知,項(xiàng)目所在地廠界外50m范圍內(nèi)敏感點(diǎn)(漩門(mén)村)噪聲監(jiān)測(cè)值能滿足《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-2008)中的1類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)要求。項(xiàng)目所在區(qū)域聲環(huán)境質(zhì)量較好。4、生態(tài)環(huán)境項(xiàng)目位于玉環(huán)市漩門(mén)工業(yè)區(qū),無(wú)產(chǎn)業(yè)園區(qū)外新增用地。無(wú)需進(jìn)行生態(tài)現(xiàn)狀調(diào)查。本項(xiàng)目不屬于電磁輻射類(lèi)項(xiàng)目,無(wú)需開(kāi)展電磁輻射現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)。6、地下水廠區(qū)現(xiàn)狀地下水環(huán)境質(zhì)量參考浙江科達(dá)檢測(cè)有限公司于2021年6月17日對(duì)企業(yè)廠區(qū)地下水監(jiān)測(cè)結(jié)果(浙科達(dá)檢(2021)綜字第0207號(hào)),具體監(jiān)測(cè)結(jié)果見(jiàn)表3-4~表3-6,監(jiān)測(cè)點(diǎn)位見(jiàn)附圖6。表3-4地下水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)布點(diǎn)及監(jiān)測(cè)因子稱(chēng)#廠區(qū)氰化物、總硬度、六價(jià)鉻、氟化物、溶解性總固體、高錳酸鹽指數(shù)、硫酸鹽、氯化物、鐵、錳、鎳、銀、錫、銅、汞、砷、Na+、表3-5地下水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀陰陽(yáng)離子監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)單位:mol/L測(cè)項(xiàng)目Na+Mg2+計(jì)HCO3-計(jì)誤差#4.73×10-40區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀表3-6地下水環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)及評(píng)價(jià)結(jié)果地點(diǎn)//ⅠⅠⅢⅠⅠⅡ體鎘錫錳鐵ⅠⅢⅢⅠⅠ/ⅢⅠ地鉛鎳汞砷2Ⅰ/ⅠⅠⅠⅣⅣⅠ根據(jù)監(jiān)測(cè)結(jié)果,項(xiàng)目所在區(qū)域地下水水質(zhì)現(xiàn)狀為Ⅳ類(lèi)。7、土壤環(huán)境廠區(qū)現(xiàn)狀土壤環(huán)境質(zhì)量參考浙江科達(dá)檢測(cè)有限公司于2021年6月3日對(duì)企業(yè)廠區(qū)土壤監(jiān)測(cè)結(jié)果(浙科達(dá)檢(2021)綜字第0207號(hào)),具體監(jiān)測(cè)結(jié)果見(jiàn)表3-7~表3-8,監(jiān)測(cè)點(diǎn)位見(jiàn)附表3-7土壤環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)布點(diǎn)方案帶表3-8土壤環(huán)境質(zhì)量監(jiān)測(cè)結(jié)果(1)單位:mg/kg,標(biāo)注的除外值值值////六價(jià)鉻mg/kg否否否否否否否否否否否否否否否否否否否否否區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀性有機(jī)物否否否否否否否否否烯否否否否否否烷否否否否否否否否否烷否否否否否否苯4否否否烷5否否否否否否烷5否否否否否否烷否否否否否否否否否否否否否否否苯否否否否否否否否否否否否烷否否否否否否否否否物否否否否否否萘否否否否<0.1否否否<0.1否否蒽否否否蒽否<0.1否否芘否<0.1否否?否<0.1否否蒽否<0.1否否否否否從監(jiān)測(cè)結(jié)果看,項(xiàng)目所在地廠區(qū)內(nèi)各監(jiān)測(cè)點(diǎn)位的監(jiān)測(cè)結(jié)果均未超過(guò)《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)(試行)》(GB36600-2018)第二類(lèi)建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)篩選值,用地符合國(guó)家有關(guān)建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險(xiǎn)管控標(biāo)準(zhǔn)。環(huán)境保護(hù)目標(biāo)1、大氣環(huán)境項(xiàng)目廠界外500m范圍內(nèi)不存在自然保護(hù)區(qū)、風(fēng)景名勝區(qū)等保護(hù)目標(biāo),但廠界東面35m處有漩門(mén)村、西南面280m處有海邊村、北面452m處有道頭村等。2、聲環(huán)境項(xiàng)目廠界50m范圍內(nèi)聲環(huán)境敏感點(diǎn)為東面35m處的漩門(mén)村。3、地下水環(huán)境項(xiàng)目廠界外500m范圍內(nèi)不存在地下水集中式飲用水水源和熱水、礦泉水、溫泉等特殊地下水資源。4、生態(tài)環(huán)境項(xiàng)目位于玉環(huán)市漩門(mén)工業(yè)區(qū),無(wú)產(chǎn)業(yè)園區(qū)外新增用地。但企業(yè)廠區(qū)北側(cè)毗鄰山體,為公益林。西南側(cè)233m處為農(nóng)用地。本項(xiàng)目的主要環(huán)境保護(hù)目標(biāo)情況見(jiàn)表3-9、附圖5。表3-9環(huán)境保護(hù)目標(biāo)一覽表環(huán)境要素象/m/m環(huán)境空氣區(qū)EN聲E生態(tài)/N工藝廢氣排放執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB16297-1996)二級(jí)標(biāo)準(zhǔn),乙酸丁酯、醋酸排放濃度參照?qǐng)?zhí)行中華人民共和國(guó)國(guó)家職業(yè)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)《工作場(chǎng)所有害因素職業(yè)接觸限值污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)有害因素》(GBZ2.1-2019)的時(shí)間加權(quán)平均容許濃度,甲基磺酸的排放濃度參考美國(guó)環(huán)保局工業(yè)環(huán)境實(shí)驗(yàn)室的多介質(zhì)環(huán)境目標(biāo)值(MEG),以排放環(huán)境目標(biāo)值(DMEG)計(jì),上述特征因子的最高允許排放速率按照《制定地方大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)方法》(GB/T3840-91)的有關(guān)規(guī)定計(jì)算,具體見(jiàn)表3-10。表3-10工藝廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)值排氣筒(m)2污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)90.3842.88高排氣筒各因子最高允許排放速率分別為1.98kg/h、1.08kg/h、0.384kg③DMEGAH(μg/m3)=45×LD50,甲基磺酸的LD50=200mg/kg,則甲基磺酸的DMEGAH(μg/m3)(GB37822-2019)中的表A.1的特別排放限值,具體指標(biāo)見(jiàn)表3-11。表3-11廠區(qū)內(nèi)VOCs無(wú)組織排放限值(GB37822-2019)單位:mg/m362、廢水企業(yè)工藝廢水收集后由廠內(nèi)污水處理設(shè)施處理達(dá)標(biāo)后與經(jīng)化糞池預(yù)處理的生活污水一起納入市政管網(wǎng),進(jìn)入玉環(huán)市污水處理有限公司處理。目前玉環(huán)市污水處理廠出水執(zhí)行《臺(tái)州市城鎮(zhèn)污水處理廠出水指標(biāo)及標(biāo)準(zhǔn)限值表(試行)》(準(zhǔn)地表水Ⅳ類(lèi))。本項(xiàng)目為半導(dǎo)體分立器件制造,屬于電子工業(yè)。根據(jù)《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020),電子工業(yè)新建企業(yè)自2021年7月1日起,其水污染物排放控制按本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定執(zhí)行,不再執(zhí)行《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB8978-1996)和《電鍍污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB21900-2008)的相關(guān)規(guī)定。因此本項(xiàng)目廢水排放執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020)中規(guī)定的間接排放限值,其中CODCr、SS、總氮執(zhí)行玉環(huán)市污水處理有限公司進(jìn)水指標(biāo)要求,氨氮指標(biāo)執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》(DB33/887-2013)污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)限值,重金屬等指標(biāo)從嚴(yán)執(zhí)行浙江省地標(biāo)《電鍍水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB33/2260-2020),氟化物從嚴(yán)執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020)直接排放標(biāo)準(zhǔn),總鋁參照?qǐng)?zhí)行《電鍍污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB21900-2008)中表3排放限值,總錫排放濃度參照上海市《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》中的B級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。表3-12本項(xiàng)目廢水排放標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)1pH值230034CODCr40056357508889////2.0/////0.1//品控位置一致斑馬魚(yú)卵急性毒性(DB33/887-2013)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)限值。鑒于玉環(huán)市污水處理有限公司廢水處理工藝對(duì)氟化氟化物從嚴(yán)執(zhí)行《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB39731-2020)直接排放標(biāo)準(zhǔn)。重金屬等指標(biāo)從嚴(yán)執(zhí)行浙江省地標(biāo)《電鍍水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(DB33放要求審批,執(zhí)行表1規(guī)定的其他地區(qū)水污染物排放要求)?!峨娮庸I(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》污染物排放控制標(biāo)準(zhǔn)照?qǐng)?zhí)行《電鍍污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB21900-2008)中表3排放限值?!峨娮庸I(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》均未規(guī)定總錫排放濃度,總錫排放濃度參照企業(yè)一期項(xiàng)目審批標(biāo)準(zhǔn),即表3-13玉環(huán)市污水處理有限公司出水標(biāo)準(zhǔn)單位:mg/L(pH除外)pHCODCrBOD5NH3-N///65/3、噪聲本項(xiàng)目所在地位于漩門(mén)工業(yè)區(qū),租用浙江環(huán)力煙機(jī)有限公司廠房,根據(jù)“玉環(huán)市人民政府辦公室抄告單玉辦第40號(hào)”(附件12),該地塊聲環(huán)境質(zhì)量執(zhí)行《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3096-2008)中的2類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí),根據(jù)《玉環(huán)市聲環(huán)境功能區(qū)劃方案》,項(xiàng)目所在地靠226省道、蘆北大道一側(cè)(南廠界、西廠界)聲環(huán)境質(zhì)量執(zhí)行4a類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)。因此,企業(yè)廠界噪聲執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB12348-2008)2類(lèi)標(biāo)準(zhǔn),其中靠226省道、蘆北大道一側(cè)(南廠界、西廠界)執(zhí)行4類(lèi)標(biāo)準(zhǔn),具體標(biāo)準(zhǔn)限值見(jiàn)下表。表3-14工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)單位:dB244、固廢危險(xiǎn)廢物按照《國(guó)家危險(xiǎn)廢物名錄》(2021年版)分類(lèi),危險(xiǎn)廢物貯存應(yīng)符合《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》(GB18597-2001)及其標(biāo)準(zhǔn)修改單(環(huán)境保護(hù)部公告2013年第36號(hào))、《危險(xiǎn)廢物收集貯存運(yùn)輸技術(shù)規(guī)范》(HJ2025-2012)要求;一般工業(yè)固體廢物的貯存場(chǎng)所應(yīng)滿足防滲漏、防雨淋、防揚(yáng)塵等環(huán)境保護(hù)要求,按照《中華人民共和國(guó)固體廢物污染環(huán)境防治法》(2020年4月29日修訂)的工業(yè)固體廢物管理?xiàng)l款要求執(zhí)行。為控制環(huán)境污染的進(jìn)一步加劇,推行可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略,國(guó)家提出污染物排放總量控制的要求,并把總量控制目標(biāo)分解到省。根據(jù)《浙江省建設(shè)項(xiàng)目主要污染物總量準(zhǔn)入審核辦法(試行)》(浙環(huán)發(fā)[2012]10號(hào))要求,對(duì)化學(xué)需氧量、氨氮、二氧化硫和氮氧化物四種主要污染物實(shí)行排放總量控制;根據(jù)《國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)“十三五”生態(tài)環(huán)境保護(hù)規(guī)劃的通知》(國(guó)發(fā)[2016]65號(hào))文件,將重點(diǎn)地區(qū)的總磷、總氮和揮發(fā)性有機(jī)物作為排放總量控制指標(biāo)。同時(shí)根據(jù)《關(guān)于做好揮發(fā)性有機(jī)物總量控制工作的通知》(浙環(huán)發(fā)[2017]29號(hào))和《關(guān)于印發(fā)臺(tái)州市揮發(fā)性有總量控制指標(biāo)機(jī)物污染防治實(shí)施方案的通知》等要求,探索建立VOCs排放總量控制制度。根據(jù)項(xiàng)目特征,納入總量控制的是CODCr、氨氮、總氮、總磷、NOx、VOCs、總鎳。表3-15總量控制指標(biāo)單位:t/aCODCrNOx擴(kuò)建后,企業(yè)建議總量控制指標(biāo)值為:廢水量180726t/a、CODCr5.421t/a、氨氮0.271t/a、TN2.169t/a、TP0.054t/a、總鎳0.0026t/a、NOx0.691t/a、VOCs3.991t/a,具體值由當(dāng)?shù)厣鷳B(tài)環(huán)境主管部門(mén)確定。根據(jù)《浙江省建設(shè)項(xiàng)目主要污染物總量準(zhǔn)入審核辦法(試行)》(浙環(huán)發(fā)[2012]10號(hào))的要求:各級(jí)生態(tài)環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃及其他相關(guān)規(guī)劃明確主要污染物排放總量削減替代比例的地區(qū),按規(guī)劃要求執(zhí)行。其他未作明確規(guī)定的地區(qū),新增主要污染物排放量與削減替代量的比例不得低于1:1。新建、改建、擴(kuò)建項(xiàng)目同時(shí)排放生產(chǎn)廢水和生活污水且新增水主要污染物排放的,應(yīng)按規(guī)定的化學(xué)需氧量和氨氮替代削減比例要求執(zhí)行。根據(jù)《臺(tái)州市環(huán)境保護(hù)局關(guān)于進(jìn)一步規(guī)范建設(shè)項(xiàng)目主要污染物總量準(zhǔn)入審核工作的通知》(臺(tái)環(huán)保[2013]95號(hào))的要求:生態(tài)環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃及國(guó)家、省有關(guān)規(guī)定削減替代比例與本文件通知要求有出入的,按照較高削減替代比例要求執(zhí)行;未做明確規(guī)定的地區(qū),主要污染物新增排放量削減替代比例不得低于1:1。熔煉等重污染行業(yè)其主要污染物新增排放量的削減替代比例CODCr不得低于1:1.2,氨氮、二氧化硫、氮氧化物不得低于1:1.5。根據(jù)《浙江省“十四五”揮發(fā)性有機(jī)物綜合治理方案》(浙環(huán)發(fā)[2021]10號(hào)),2020年度臺(tái)州市屬于環(huán)境空氣質(zhì)量達(dá)標(biāo)區(qū),項(xiàng)目新增VOCs排放量實(shí)行等量削減,即VOCs排放量實(shí)施1:1削減替代。根據(jù)以上文件,本項(xiàng)目新增CODCr削減替代比例為1:1.2,新增氨氮、NOx的削減替代比例為1:1.5,新增VOCs的削減替代比例為1:1,則本項(xiàng)目CODCr削減替代量為3.598t/a,氨氮削減替代量為0.225t/a,NOx削減替代量為1.035t/a,VOCs削減替代量為3.451t/a。根據(jù)《關(guān)于進(jìn)一步推進(jìn)排污權(quán)有償使用和交易試點(diǎn)工作的指導(dǎo)意見(jiàn)》(國(guó)辦發(fā)[2014]38號(hào))、《浙江省人民政府關(guān)于開(kāi)展排污權(quán)有償使用和交易試點(diǎn)工作的指導(dǎo)意見(jiàn)》(浙政發(fā)[2009]47號(hào))、《浙江省排污權(quán)有償使用和交易試點(diǎn)工作暫行辦法》(浙政辦發(fā)[2010]132號(hào))、《臺(tái)州市主要污染物排污權(quán)交易辦法(試行)》(臺(tái)政發(fā)[2009]48號(hào))、《臺(tái)州市排污權(quán)交易實(shí)施細(xì)則(試總量控制指標(biāo)行)》相關(guān)規(guī)定,本項(xiàng)目新增CODCr、氨氮、氮氧化物排污權(quán)須在排污權(quán)交易平臺(tái)進(jìn)行競(jìng)拍交易。其中VOCs總量交易平臺(tái)目前尚未建立,本環(huán)評(píng)僅先提出總量控制值及削減替代量,待當(dāng)?shù)叵嚓P(guān)平臺(tái)建立后再另行調(diào)劑或交易。表3-16總量平衡一覽表CODCr氨氮NOxVOCs/施工期環(huán)境保護(hù)措施本項(xiàng)目位于玉環(huán)市蘆浦鎮(zhèn)漩門(mén)工業(yè)區(qū)浙江里陽(yáng)半導(dǎo)體有限公司現(xiàn)有廠區(qū),僅涉及設(shè)備安裝等,施工量較小。企業(yè)施工期環(huán)境影響主要為生活污水、施工噪聲等,其中生活污水經(jīng)廠內(nèi)化糞池處理后納管排放,不會(huì)對(duì)周?chē)h(huán)境產(chǎn)生明顯影響,要求企業(yè)加強(qiáng)施工期環(huán)境管理。運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施(1)源強(qiáng)分析本項(xiàng)目廢氣包括酸性氣體(濕法車(chē)間酸性氣體G1、擴(kuò)散廢氣G3、電鍍錫廢氣G8)、有機(jī)廢氣(硼乳膠源涂布廢氣G2、光刻膠甩膠廢氣G4、顯影廢氣G5、電鍍錫中和廢氣G9)、塑封廢氣G6、后固化廢氣G7、焊接廢氣G10、噴砂粉塵G11。1酸性氣體A.濕法車(chē)間酸性氣體G1擴(kuò)建項(xiàng)目產(chǎn)生的酸性氣體主要包括各類(lèi)酸洗產(chǎn)生的鹽酸霧、硫酸霧、氮氧化物、氟化物、醋酸等。各類(lèi)產(chǎn)污槽體設(shè)置情況見(jiàn)表4-1,污染物產(chǎn)生系數(shù)參考《污染源源強(qiáng)核算技術(shù)指南電鍍》(HJ984-2018)附錄B。表4-1槽體設(shè)置情況一覽表氣12NOx3/4H2SO45H2SO4678NOx9/H2SO4H2SO4H2SO4機(jī)膠鍍金機(jī)NOx/NOx運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施膠鍍金機(jī)H2SO4機(jī)H2SO4表4-2酸性氣體產(chǎn)生情況一覽表氣面積設(shè)計(jì)風(fēng)11213NOx114/1/5H2SO416H2SO41718191NOx11/1/H2SO41H2SO41H2SO4111液/////1液/////機(jī)2洗NOx11/1/NOx2運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施H2SO422機(jī)H2SO42NOx////////H2SO4////////////注:RCA自動(dòng)清洗機(jī)和二氧化硅蝕刻去玻璃去膠鍍金機(jī)單個(gè)槽側(cè)吸集氣面積約為0.5m×0.3m,其余清洗為356m3/h和190356m3/h。本項(xiàng)目混合酸消耗量74.45t/a(硝酸:氫氟酸:冰乙酸=2),擴(kuò)建項(xiàng)目濕法車(chē)間各清洗機(jī)均采用通風(fēng)柜結(jié)構(gòu),僅留工人操作面開(kāi)口,設(shè)置槽邊吸風(fēng)系統(tǒng),廢氣經(jīng)槽邊排風(fēng)抽出后經(jīng)機(jī)臺(tái)頂部設(shè)置的管道分類(lèi)收集進(jìn)入對(duì)應(yīng)的廢氣處理設(shè)施。各酸洗槽等配有密封蓋,不工作時(shí)蓋上以防止酸霧揮發(fā)。各清洗機(jī)酸性廢氣收集率按95%計(jì)。未收集的車(chē)間內(nèi)無(wú)組織廢氣經(jīng)新風(fēng)系統(tǒng)換風(fēng)排出。濕法車(chē)間酸性廢氣排風(fēng)量為7004m3/h,磷擴(kuò)散尾氣排風(fēng)量為500m3/h,電鍍錫生產(chǎn)線酸性廢氣排風(fēng)量為3851m3/h(活化槽0.2m×0.9m×0.6m/s,電鍍錫槽5×0.2m×0.9m×0.6m/s,退掛槽3×0.2m×0.9m×0.6m/s,調(diào)整系數(shù)取1.1),則擴(kuò)建項(xiàng)目酸性廢氣總風(fēng)量為11355m3/h。企業(yè)現(xiàn)有項(xiàng)目設(shè)1套酸性廢氣處理設(shè)施,采用二級(jí)堿液噴淋工藝(旋流板塔+填料塔),設(shè)計(jì)最大風(fēng)量28000m3/h(采用變頻風(fēng)機(jī),實(shí)際運(yùn)行風(fēng)量為12200~12600m3/h)。擴(kuò)建項(xiàng)目實(shí)施后,依托現(xiàn)有酸性廢氣處理設(shè)施的基礎(chǔ)上,對(duì)廢氣處理設(shè)施工藝進(jìn)行優(yōu)化,將第一級(jí)旋流板塔改造為填料塔,并添加10%碳酸鈉溶液。擴(kuò)建項(xiàng)目實(shí)施后,廢氣總風(fēng)量為23955m3/h,按24000m3/h計(jì)。擴(kuò)建項(xiàng)目酸性氣體收集后接入酸性廢氣處理設(shè)施(二級(jí)堿液噴淋,采用10%碳酸鈉+氫氧化鈉溶液)處理后經(jīng)35m高排氣筒(DA001)高空排放,去除效率按90%。則酸性廢氣排放情況見(jiàn)表4-3。表4-3擴(kuò)建項(xiàng)目酸性廢氣源強(qiáng)核算表NOxH2SO4運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施//酸表4-4擴(kuò)建后酸性廢氣有組織源強(qiáng)核算表號(hào)(kg/h)(kg/h)NOxH2SO4//酸B.擴(kuò)散廢氣G3磷擴(kuò)散工序采用POCl3液體作為源,具體反應(yīng)為4POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2,會(huì)產(chǎn)生氯氣。本項(xiàng)目POCl3消耗量為119kg/a,則氯氣產(chǎn)生量為82.6kg/a,磷擴(kuò)散尾氣經(jīng)設(shè)備收集管道收集后接入酸性廢氣處理設(shè)施處理后經(jīng)35m高排氣筒(DA005)高空排放,收集率按100%、處理效率按90%計(jì),具體見(jiàn)表4-3。C.電鍍錫廢氣G8企業(yè)電鍍錫生產(chǎn)線設(shè)1個(gè)活化槽(10%甲基磺酸溶液)、1個(gè)電鍍錫槽(150g/L甲基磺酸、20g/L甲基磺酸錫、20mL/L添加劑)以及3個(gè)電解退掛槽(甲基磺酸20-75%,按50%計(jì)會(huì)產(chǎn)生甲基磺酸廢氣,廢氣產(chǎn)生量按甲基磺酸使用量的5%計(jì)。擴(kuò)建項(xiàng)目新增甲基磺酸(70%)用量為0.5325t/a,電解退鍍液(甲基磺酸50%)用量為0.75t/a,則預(yù)計(jì)甲基磺酸廢氣產(chǎn)生量約為0.037t/a。電鍍線要求整體密閉,設(shè)置槽邊吸風(fēng)及頂部吸風(fēng),廢氣收集率按95%計(jì),電鍍錫廢氣收集后進(jìn)酸性廢氣處理設(shè)施處理,處理效率按90%計(jì),具體見(jiàn)表4-3。2有機(jī)廢氣A.硼乳膠源涂布廢氣G2N型硅片硼擴(kuò)散前,采用自動(dòng)涂漿機(jī)在硅片表面涂覆一層乳膠硼源,其中約20%芯片進(jìn)行單面硼擴(kuò),40%芯片進(jìn)行雙面硼擴(kuò),其他不進(jìn)行硼擴(kuò)。根據(jù)現(xiàn)狀調(diào)查類(lèi)比,涂布過(guò)程利用率為運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施70%,擴(kuò)建項(xiàng)目硼乳膠源用量為1.565t/a,則附著在芯片上的硼乳膠源為1.096/a(其中85%為乙二醇甲醚,在涂布過(guò)程揮發(fā),以非甲烷總烴計(jì)),其余未涂布的作為廢硼源處置。則硼乳膠源涂布廢氣產(chǎn)生量為0.932t/a。B.光刻膠甩膠廢氣G4光刻膠涂布過(guò)程中,約40%未附著的光刻膠形成廢光刻膠,60%附著在晶圓上,附著在晶圓上的光刻膠中的溶劑在固化過(guò)程中全部揮發(fā)。由于光刻膠價(jià)格昂貴,未附著的光刻膠采用二甲苯稀釋回收,回用于光刻膠涂布工序。最終約有10%光刻膠形成廢膠作固廢處置。根據(jù)企業(yè)提供的原輔料,光刻膠主要成分為二甲苯75-95%(取85%計(jì))、環(huán)化橡膠5-25%(取14.7%)、2,6-二(4-疊氮苯亞甲基)-4甲基環(huán)己酮0.2-0.5%(取0.3%,以非甲烷總烴計(jì)),年消耗量為11.95t/a;二甲苯消耗量為0.031t/a。則光刻甩膠廢氣產(chǎn)生情況見(jiàn)下表。表4-5甩膠工序有機(jī)廢氣產(chǎn)生情況一覽表光刻甩膠廢氣經(jīng)自動(dòng)涂膠機(jī)、烘箱自帶管路收集后,進(jìn)企業(yè)有機(jī)廢氣處理設(shè)施處理。具體源強(qiáng)核算見(jiàn)表4-5。C.顯影廢氣G5本項(xiàng)目采用顯影液對(duì)曝光后的光刻膠進(jìn)行去除,根據(jù)企業(yè)提供的原輔料,顯影液主要成分為乙酸丁酯50%、溶劑油(乙醇)50%(按非甲烷總烴計(jì)),年消耗量為23.1t/a。類(lèi)比現(xiàn)狀調(diào)查,廢顯影液產(chǎn)生量約占消耗量的60%,則顯影工序揮發(fā)的有機(jī)廢氣按顯影液用量的40%計(jì)算。則光刻顯影廢氣產(chǎn)生情況為:乙酸丁酯4.62t/a、非甲烷總烴4.62t/a。擴(kuò)建項(xiàng)目新增2臺(tái)自動(dòng)顯影機(jī),顯影廢氣經(jīng)設(shè)備管道收集后進(jìn)入有機(jī)廢氣處理設(shè)施處理。具體源強(qiáng)核算見(jiàn)表4-5。D.電鍍錫中和廢氣G9電鍍錫生產(chǎn)線中和工序采用10%異丙醇溶液,擴(kuò)建項(xiàng)目新增異丙醇使用量為0.07t/a。異丙醇溶于水,且本項(xiàng)目中和槽中異丙醇濃度較低,異丙醇揮發(fā)量按照使用量的5%計(jì),則擴(kuò)建項(xiàng)目異丙醇產(chǎn)生量為0.0035t/a,以非甲烷總烴計(jì)。E.小結(jié)目前,企業(yè)設(shè)有1套有機(jī)廢氣處理設(shè)施,采用活性炭吸附脫附+催化燃燒工藝,設(shè)計(jì)吸附風(fēng)量為15000m3/h,脫附風(fēng)量為3000m3/h,目前實(shí)際運(yùn)行風(fēng)量約8960-9260m3/h,處理后的有機(jī)廢氣經(jīng)一根33m高排氣筒(DA003)高空排放。擴(kuò)建項(xiàng)目有機(jī)廢氣依托現(xiàn)有有機(jī)廢氣處理設(shè)施。自動(dòng)涂漿機(jī)、自動(dòng)涂膠機(jī)和烘箱運(yùn)行時(shí)基本密閉,僅在打開(kāi)的情況下會(huì)有少量廢氣散發(fā),廢氣收集率按95%計(jì);顯影臺(tái)采用通風(fēng)柜結(jié)構(gòu),僅留工人操作面開(kāi)口,設(shè)置槽邊吸風(fēng)系統(tǒng),廢氣經(jīng)運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施槽邊排風(fēng)抽出后經(jīng)機(jī)臺(tái)頂部設(shè)置的管道分類(lèi)收集進(jìn)入對(duì)應(yīng)的廢氣處理設(shè)施,廢氣收集率按95%計(jì);企業(yè)電鍍車(chē)間采用全自動(dòng)電鍍生產(chǎn)線,電鍍線要求整體密閉,設(shè)置槽邊吸風(fēng)及頂部吸風(fēng),廢氣收集率按95%計(jì)?;钚蕴课叫拾?0%計(jì),催化燃燒效率按97%計(jì),則有機(jī)廢氣總?cè)コ始s87.3%,則擴(kuò)建項(xiàng)目有機(jī)廢氣源強(qiáng)核算情況見(jiàn)下表。表4-6擴(kuò)建項(xiàng)目有機(jī)廢氣源強(qiáng)核算表烴烴烴烴表4-7擴(kuò)建后有機(jī)廢氣有組織源強(qiáng)核算表號(hào)(kg/h)(kg/h)酯//3塑封廢氣G6、后固化廢氣G7擴(kuò)建項(xiàng)目使用環(huán)氧樹(shù)脂對(duì)芯片進(jìn)行塑封,少量產(chǎn)品使用環(huán)氧樹(shù)脂粉進(jìn)行涂裝,對(duì)芯片與框架進(jìn)行封裝保護(hù)與管腳的固定。塑封采用塑封壓機(jī),將壓焊完成的框架放在塑封模具內(nèi)并加入加熱的環(huán)氧樹(shù)脂進(jìn)行高壓壓鑄,該過(guò)程會(huì)產(chǎn)生少量有機(jī)廢氣,約占原料用量的0.5%。部分產(chǎn)品采用涂裝機(jī)涂裝環(huán)氧樹(shù)脂粉,涂裝機(jī)密閉操作,該過(guò)程會(huì)產(chǎn)生極少量粉塵。塑封后的工件送入烘箱進(jìn)行后固化。塑封固化工作溫度170℃,固化過(guò)程會(huì)有少量有機(jī)廢氣產(chǎn)生,產(chǎn)生量約占原運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施料用量的1%。一期項(xiàng)目(擬建)環(huán)氧樹(shù)脂用量為9t/a,擴(kuò)建項(xiàng)目環(huán)氧樹(shù)脂用量為24.15t/a,環(huán)氧樹(shù)脂粉用量為0.2t/a。目前,企業(yè)塑封車(chē)間未建設(shè),由于原有環(huán)評(píng)未計(jì)算塑封、固化廢氣產(chǎn)生量,且未要求處理,本次擴(kuò)建項(xiàng)目實(shí)施后一并考慮。企業(yè)共設(shè)8臺(tái)塑封壓機(jī)、10臺(tái)烘箱,要求企業(yè)對(duì)各塑封壓機(jī)壓鑄點(diǎn)設(shè)置側(cè)吸集氣罩,并對(duì)固化烘箱設(shè)置尾氣收集管,將塑封、固化過(guò)程產(chǎn)生的有機(jī)廢氣收集后經(jīng)活性炭吸附設(shè)施處理后,通過(guò)一根30m高排氣筒(DA005)高空排放,設(shè)計(jì)風(fēng)量按9000m3/h計(jì)(單臺(tái)塑封壓機(jī)、烘箱收集風(fēng)量按500m3/h),其中塑封壓機(jī)收集率按85%計(jì),烘箱收集率按100%計(jì),處理效率按75%計(jì)(由于塑封過(guò)程非甲烷總烴產(chǎn)生濃度小,處理效率相對(duì)較低),具體源強(qiáng)核算見(jiàn)下表。表4-8塑封、后固化廢氣源強(qiáng)核算表節(jié)號(hào)004焊接廢氣G10企業(yè)使用焊料的焊接工序采用真空焊接爐和隧道焊接爐,設(shè)備運(yùn)行時(shí)均密閉,擴(kuò)建項(xiàng)目焊料用量共2.88t/a,焊接產(chǎn)生的煙氣量極少,本評(píng)價(jià)不定量分析。企業(yè)目前焊接廢氣由1根30m高排氣筒(DA004)高空排放,風(fēng)量3000m3/h。要求擴(kuò)建項(xiàng)目焊接廢氣經(jīng)設(shè)備集氣管收集后通過(guò)同一根排氣筒(DA004)高空排放,則焊接煙塵不會(huì)對(duì)周?chē)h(huán)境產(chǎn)生明顯影響。5噴砂粉塵G11本項(xiàng)目采用噴砂機(jī)對(duì)部分單向產(chǎn)品背面進(jìn)行研磨減薄,約研磨掉1-10um表層,采用碳化硅砂,噴砂工序加工量較少,產(chǎn)生的粉塵不作定量分析,廢氣經(jīng)設(shè)備自帶的布袋除塵器處理后通過(guò)一根30m高排氣筒(DA006)高空排放,排放風(fēng)量按1500m3/h計(jì)。6非正常工況本項(xiàng)目以有機(jī)廢氣處理設(shè)施非正常運(yùn)行作為非正常工況考慮,按活性炭吸附接近飽和后未及時(shí)更換,導(dǎo)致有機(jī)廢氣處理設(shè)施吸附效率下降至45%計(jì)算。則非正常工況下有機(jī)廢氣排放源強(qiáng)見(jiàn)表4-9。表4-9污染源非正常排放量核算表1換234運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施7匯總表4-10擴(kuò)建項(xiàng)目廢氣源強(qiáng)匯總表號(hào)NOxH2SO4//布NOx//H2SO4///////////(2)防治措施1酸性廢氣處理設(shè)施企業(yè)現(xiàn)有項(xiàng)目設(shè)1套酸性廢氣處理設(shè)施,采用二級(jí)堿液噴淋工藝(旋流板塔+填料塔),設(shè)計(jì)風(fēng)量28000m3/h(實(shí)際運(yùn)行風(fēng)量為12200~12600m3/h)。擴(kuò)建項(xiàng)目實(shí)施后,依托現(xiàn)有酸性廢氣處理設(shè)施的基礎(chǔ)上,對(duì)廢氣處理設(shè)施工藝進(jìn)行優(yōu)化,將第一級(jí)旋流板塔改造為填料塔,并添加10%碳酸鈉溶液。擴(kuò)建項(xiàng)目實(shí)施后,廢氣總風(fēng)量為23955m3/h,按24000m3/h計(jì)。具體工藝流程見(jiàn)圖4-1。運(yùn)營(yíng)期環(huán)境影響和保護(hù)措施NaOH溶液NaOH溶液酸性氣體12600m3/h旋流板塔填料塔引風(fēng)機(jī)排氣筒圖4-1現(xiàn)有酸性廢氣處理設(shè)施流程圖10%NaCO3+NaOH溶液10%NaCO3+NaOH溶液酸性氣體24000m3/h填料塔24000m3/h填料塔填料塔由現(xiàn)有第一級(jí)旋流板塔改造成填料塔液堿根據(jù)pH值控制加藥泵的開(kāi)關(guān)引風(fēng)機(jī)排氣筒圖4-2改造后企業(yè)酸性廢氣處理設(shè)施流程圖工藝說(shuō)明:吸收塔以填料作為氣、液接觸和傳質(zhì)的基本構(gòu)件,液體在填料表面呈膜狀自上而下流動(dòng),氣體呈連續(xù)相自下而上與液體作遞向流動(dòng),并進(jìn)行氣、液兩相間的傳質(zhì)和傳熱。兩相的組分濃度和溫度沿塔高連續(xù)變化。填料塔屬于微分接觸型的氣、液傳質(zhì)設(shè)備。填料塔主要由圓柱形的塔體和堆放在塔內(nèi)的填料(各種形狀的固體物,用于增加兩相流體間的面積,增強(qiáng)兩相間的傳質(zhì))等組成。氣體從塔底送入,經(jīng)氣體分布裝置分布后,與液體呈逆流連續(xù)通過(guò)填料層的空隙,在填料表面上,氣液兩相密切接觸進(jìn)行傳質(zhì)。液體再分布裝置包括液體收集器和液體再分布器兩部分,上層填料流下的液體經(jīng)液體收集器收集后,送到液體再分布器,經(jīng)重新分布后噴淋到下層填料上。填料塔具有生產(chǎn)能力大,分離效率高,壓降小,持液量小,操作彈性大等優(yōu)點(diǎn)。表4-11填料塔設(shè)計(jì)參數(shù)一覽表12345678工藝可行

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