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Overview
KLABasicOperation121xxCapabilities23RunOverview4RunonewaferInspectionQueue56789StoppingtheInspection10DefectOverviewWhymonitordefects?
Toimproveproductionyields,defectsneedtobemonitoredandstatisticallyanalyzedateachstageofwaferproduction.11DefectSort1.False:Foundnothingafterreviewwithinspectiondata.2.Unkown:Defectswerefoundbutthereisnosuitabledefectcodetoassign.3.Fallonparticle:Particleonsurfaceofpatten.
4.Infilmparticle:Particlewascontainedinfilm,suchaspoly,HDP,metalandsoon.HDPPoly125.Scratch:Especiallyforscratchcausedbyrobot,othertoolpartsorman-made.Defectmap:Defectiamge:MicroMacro136.Discolor:Colordifference7.Masking：Shouldbeetchedbutstillremian(poly,SiN,spacer,metalandsoon).
Someconnectmorethantwolines,it’sbridge(killer).148.Ringlikedefect:SuchasdefectscausedbyARCsplash,usuallyrelatedtoPHOTO.PolyMetal9.Grapelikedefect:InducesbyPHOTOPU.1510.Residue：Alwayshappenafterwetstationclean.11.Pattenabnormal:Roughness,Defocus,Pattenshiftandsoon.RoughnessDefocusPattenshiftPattenAbnormal1612.Concave:COP（Crystalorientedpits）,OxideLoss，Pits.13.Peeling:Patternshiftormissing（Wplugisoneofpeeling,alwaysappearatwaferedge.）1714.Blind:CTorViahavenotbeenopened.15.Pattendamage:MetaldamagePolybrokenispattendamagetoo,alwayshappenduringHighImp.1816.WResidue:1).CausedbyOxideLoss;2).CausedbyCMP.NORMALABNORMAL17.Under_Pat：Underlayerpatternfailissue.1918.Salicide_abnormal:Salicidepoorformation.19.Grain:Includingpolyormetalgrain.2020.Slurry:
21.PR/Polymer_remain:PRhasnotbeenstrippedcompletely,typicallycontainsCarbon2122.Arcing:23.Lineopen:2224.Corrosion:Causedbyetchstripchamberorbadenvironment.
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