太陽電池及太陽電池用硅片光致發(fā)光缺陷檢測(cè)儀校準(zhǔn)規(guī)范

JJFXXXX－XXXX1太陽電池及太陽電池用硅片光致發(fā)光缺陷檢測(cè)儀校準(zhǔn)規(guī)范本規(guī)范適用于太陽電池片及太陽電池用硅片光JJF2063-2023光伏電池組件電致發(fā)光缺通過光致發(fā)光作用，在太陽電池和太陽電池采用能分辨的每毫米等間隔黑白線對(duì)數(shù)來表示間分辨率進(jìn)行測(cè)試，以rs表示測(cè)試結(jié)果，單位為“線對(duì)每毫米2量發(fā)出不同強(qiáng)度的光，使用相機(jī)進(jìn)行捕捉，經(jīng)過光致發(fā)光缺陷檢測(cè)儀的PL空間分辨率測(cè)量范圍為（0.2注：以上指標(biāo)不適用于合格性判別，僅供參考。JJFXXXX－XXXX3表1校準(zhǔn)項(xiàng)目123采用目測(cè)法檢查下述內(nèi)容：PL缺陷檢測(cè)儀的標(biāo)識(shí)成像鏡頭整體應(yīng)清潔，無裂痕、發(fā)暗、霉斑校準(zhǔn)環(huán)境應(yīng)滿足6.1要求，并參考用戶默認(rèn)環(huán)境，包括環(huán)境光源、顯示器設(shè)置、目視選擇一片太陽電池片或硅片作為輔助樣品，該JJFXXXX－XXXX4片或硅片表面，粘貼位置為成像區(qū)域的四角及中心（粘貼位置示意圖如圖3所示，可以同時(shí)粘貼并進(jìn)行校準(zhǔn)，也可以分別對(duì)各個(gè)測(cè)試位置單獨(dú)粘貼并校準(zhǔn)），5個(gè)線對(duì)區(qū)域最小外接矩形的面積應(yīng)不小于測(cè)量面積的80%，粘貼位置應(yīng)避開太陽電池片或硅片的缺陷硅片的類型、PL缺陷檢測(cè)儀曝光時(shí)間、PL缺陷檢測(cè)儀激發(fā)光源的功PL空間分辨率測(cè)試板經(jīng)過PL缺陷檢測(cè)儀拍攝后所得的圖案為連續(xù)排列的相同方向與寬度的黑白條紋線對(duì)，如圖4所示，圖中d為單個(gè)個(gè)線對(duì)。線對(duì)組采用等比數(shù)列排列，比例系數(shù)為100.05，范圍為（0.25~5.00）lp/mm。表1為PL空間分辨率測(cè)試板推薦的線對(duì)組成，PL空間分JJFXXXX－XXXX5表1PL空間分辨率測(cè)試板推薦的線對(duì)組成lp/mm0.250.280.320.350.400.450.500.560.630.71d(mm)0.890.790.70lp/mm0.790.892.002.27d(mm)0.630.560.500.440.400.350.310.280.250.22lp/mm2.52.783.133.573.854.555///d(mm)0.20.180.160.130.1///s2×dRs——空間分辨率，單位lp/mm；獲取PL原始圖像后，在顯示器上對(duì)PL空間分辨率圖像采用目視方式判別，參考GB/T2.對(duì)于一個(gè)線對(duì)圖像中的一條黑線，可識(shí)別出黑線的長(zhǎng)度占線對(duì)圖像總長(zhǎng)度的比例超過3.對(duì)于各個(gè)測(cè)試位置，由低PL空間分辨率向高PL空間分辨率逐一判別，直到找到該位置4.取所有位置PL空間分辨率最低值作為被校設(shè)備的PL將WPVS參考太陽電池放置于測(cè)試面中心，待測(cè)試信號(hào)穩(wěn)定之后記錄一定時(shí)間內(nèi)WPVS參考太陽短路電流信號(hào)（或轉(zhuǎn)換為等效電壓值信號(hào)），測(cè)試時(shí)間可根據(jù)實(shí)際使用需S——光源不穩(wěn)定度；JJFXXXX－XXXX6Imax,Imin——WPVS參考太陽電池短路電流（或等效電壓值）最大值與最小值，單位mA7.2.6測(cè)試面輻射照度不均勻度（僅將測(cè)試面根據(jù)WPVS參考太陽電池尺寸進(jìn)行區(qū)域劃分，劃分太陽電池逐一放置于各測(cè)試點(diǎn)中心，逐一記錄WPVS參考太I(xiàn)max——WPVS參考太陽電池短路電流（或等效電壓值）最大值，單位mA（mV）;Imin——WPVS參考太陽電池短路電流（或等效電壓值）最小值，單位mA（mV）。根據(jù)被檢儀器校準(zhǔn)結(jié)果出具校準(zhǔn)證書，校準(zhǔn)證h)如果與校準(zhǔn)結(jié)果的有效性應(yīng)用有關(guān)時(shí)，應(yīng)對(duì)被校準(zhǔn)樣品的抽n)校準(zhǔn)證書或校準(zhǔn)報(bào)告簽發(fā)人的簽名JJFXXXX－XXXX7p)未經(jīng)實(shí)驗(yàn)室書面批準(zhǔn)，不得部分復(fù)制證JJFXXXX－XXXX8采用經(jīng)過溯源的PL空間分辨率測(cè)試板測(cè)量缺陷檢測(cè)儀的空間分辨率，空間分辨率的1缺陷檢測(cè)儀進(jìn)行重復(fù)測(cè)量，再根據(jù)目視結(jié)果，記JJFXXXX－XXXX9表A1測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度最小目視可分辨線對(duì)條紋寬度(mm)0.250.220.220.220.220.250.220.220.220.22d0.226實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差s(d)0.013對(duì)于PL空間分辨率測(cè)試板，根據(jù)校準(zhǔn)證書提供的數(shù)據(jù)可知，校準(zhǔn)結(jié)果的擴(kuò)展不確定由目視判斷引入的不確定度分量小于由重復(fù)性引入JJFXXXX－XXXX表A2標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量計(jì)算列表不確定度分量ui類別ui來源ui的數(shù)值u1A測(cè)量重復(fù)性0.013u2BPL空間分辨率測(cè)試板校準(zhǔn)結(jié)果0.005u3B0cd===?9.79mm?2uRs=(cd·ud)2=0.14lp/mmk=2?JJFXXXX－XXXX采用經(jīng)過溯源的PL空間分辨率測(cè)試板測(cè)量缺陷檢測(cè)儀的空間分辨率，空間分辨率的S=Imax?Imin×100%Imax+IminImax,Imin——WPVS參考太陽電池短路電流（或等效電壓值）最大值與最小值，將WPVS參考太陽電池放置于高穩(wěn)定度光源下，待光源穩(wěn)定后，測(cè)量WPVS參考太I(xiàn)wpvS——WPVS參考太陽電池短路電流，單位mA。Ilig?t——光源回路電流，單位mA。JJFXXXX－XXXX計(jì)算所得WPVS參考太陽電池的不穩(wěn)定度為0.07%，假設(shè)為均勻分布，則由WPVSB.3.2測(cè)量?jī)x器分辨率引入的不確定度采用數(shù)字萬用表測(cè)量WPVS參考太陽電池短路電流，分辨率為0.01mA，不量結(jié)果中，Imax=127.63mA,Imin=121.75mA。則由測(cè)量?jī)x器分辨率引入的不確定度分表B1光源不穩(wěn)定度標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量計(jì)算列表不確定度分量ui類別ui來源ui的數(shù)值靈敏度系u1BWPVS參考太陽電池不穩(wěn)定度引入0.040%1u2B測(cè)量?jī)x器分辨率引入的不確定度0.002%1則短路電流標(biāo)準(zhǔn)合成不確定度為：uImax=uImin=(C1u1)2+(C2u2)2=0.040%Imax=?x=Imain2=0.0039mA?1，CImin=?x=In2=?0.0041mA?1。uImax=127.63×0.040%=0.051mA，uImin=121.75×0.040%=0.049mA。則光源不穩(wěn)定度測(cè)量合成不確定度為：us=(CImaxuImax)2+(CIminuImin)2=0.028%JJFXXXX－XXXXU=Imax?Imin×100%Imax+IminImax,Imin——WPVS參考太陽電池短路電流（或等效電壓值）最大值與最小值，WPVS參考太陽電池不穩(wěn)定度引入的不確定度C.3WPVS參考太陽電池短路電流測(cè)C.3.1重復(fù)性測(cè)量引入的不確定度分量JJFXXXX－XXXX表C1重復(fù)性測(cè)量結(jié)果短路電流最大位置短路短路電流最小位置短路123456則由重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分類u1=×100%=0.C.3.2WPVS參考太陽電池不穩(wěn)定度采用數(shù)字萬用表測(cè)量WPVS參考太陽電池短路電流，分辨率為0.01mA，不量結(jié)果中，Imax=125.89mA,Imin=123.95mA。則由測(cè)量?jī)x器分辨率引入的不確定度分表C2短路電流標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量計(jì)算列表不確定度分量ui類別“i來源ui的數(shù)值靈敏度系數(shù)ciu1A測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量0.021%1u2BWPVS參考太陽電池不穩(wěn)定度引入的不確定度分量0.040%1u3B測(cè)量?jī)x器分辨率引入的不確定度分量0.002%1則短路電流標(biāo)準(zhǔn)合成不確定度為：uImax=uImin=(c1u1)2+(c2u2)2++(c3u3)2=0.045%JJFXXXX－XXXXImax=?x=Imain2=0.0040mA?1，CImin=?x=In2=?0.0040mA?1。uImax=125.89×0.045%=0.057mA，uImin=123.95×0.045%=0.056mA。則光源不穩(wěn)定度測(cè)量合成不確定度為：us=(CImaxuImax)2+(CIminuImin)2=0.032%JJFXXXX－XXXX太陽電池及太陽電池用硅片光致發(fā)光缺陷檢測(cè)儀校準(zhǔn)記錄送檢單位和聯(lián)系信息流轉(zhuǎn)號(hào)記錄編號(hào)樣品名稱型號(hào)規(guī)格生產(chǎn)廠出廠編號(hào)標(biāo)準(zhǔn)器名稱型號(hào)規(guī)格儀器編號(hào)測(cè)量范圍溯源機(jī)構(gòu)/證書編號(hào)不確定度或準(zhǔn)確度等級(jí)或最大允差證書有效期至標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備/樣品檢查校準(zhǔn)前：□正常，□不正常校準(zhǔn)后：□正常，□不正常技術(shù)依據(jù)溫度℃校準(zhǔn)地點(diǎn)相對(duì)濕度%說明證書編號(hào)校準(zhǔn)員校準(zhǔn)日期核驗(yàn)員核驗(yàn)日期JJFXXXX－XXXX太陽電池及太陽電池用硅片光致發(fā)光缺陷檢測(cè)儀校準(zhǔn)記錄（續(xù)頁）被檢單位記錄編號(hào)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)/結(jié)果：1.PL空間分辨率被校設(shè)備水平方向PL空間分辨率為豎直方向PL空間分辨率為：2.光源不穩(wěn)定度圖1WPVS參考太陽電池信號(hào)曲線圖最大值（mA）最小值（mA）光源不穩(wěn)定度(%)3.測(cè)試面輻射照度不均勻度圖2測(cè)量面輻射照度不均勻度分布圖最大值（mA）最小值（mA）測(cè)試面輻射照度不均勻度(%)4.測(cè)量結(jié)果不確定度JJFXXXX－X