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文檔簡介

008—2021透明硬脆材料三維輪廓激光加工規(guī)程

processing

of

contour

of

transparent

hardbrittle

materials2021-10-08

發(fā)布 2021-10-10

實施武漢·中國光谷激光加工產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟武 漢 激 光 學(xué) 會

發(fā)布

3.1 3.2 3.3

4.1 4.2 4.3

6.1 6.2

6.4

本文件按照GB/T

1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則

第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起

ZL

202010671876.4II

部分：設(shè)備分類、要求

中界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1

激光脈沖持續(xù)時間在皮秒（103.2

3.3

4.1

透明硬脆材料可包括玻璃、藍寶石、硅片等。

4.2

4.3

圖1

6.1

激光加工系統(tǒng)組成應(yīng)包含但不限于超快激光器、擴束準(zhǔn)直鏡、顯微物鏡、

軸升降臺、

激光加工系統(tǒng)可采用以下工作方式：激光器的輸出端連接擴束準(zhǔn)直鏡的輸入端，擴束準(zhǔn)直鏡的

XY直線電機上方且與

直線電機同步運動，顯微物鏡與

軸升降臺連接，控制系統(tǒng)分別與激光器、

圖2

a)

1550nm～2500nm

b)

c)

XY

XY

6.2

采用具有

PSO

XY

圖3

根據(jù)加工深度調(diào)整激光加工能量，根據(jù)所述對應(yīng)關(guān)系針對不同的加工深度進行激光加工能量的

同時配合每層對應(yīng)的加工軌跡，調(diào)整

軸高度，使激光束從透明硬脆材料的下表面往上表面逐

6.3

a)

1min～2min

b)

c)

d)

最后，把透明硬脆材料從水中取出，透明硬脆材料三維輪廓與廢料分離，也可借助機械外力分

a)

b)

25%

HF

HF：HNO：HO=1：1：100

HF：HNO：Hc)

d)

e)

f)

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