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文檔簡介

29.045

82NXCL

T/NXCL

硅部件用柱狀多晶硅Columnar

polysilicon

silicon

parts 寧夏材料研究學會??發(fā)

布T/NXCL

0152022 本文件按照

1.12020《標準化工作導則

T/NXCL

0152022

columnar

polysilicon

inclusions可能出現(xiàn)在柱狀多晶硅中的氮化硅、碳化硅等雜質(zhì)。如圖所示，這些夾雜物在粗糙度約0.1

150

圖1

30

Sb1.0300.50.5Fe0.5Mg0.50.50.513T/NXCL

0152022

silicon

33%硅部件用柱狀多晶硅的化學成分應(yīng)符合表的規(guī)定，除硼摻雜劑和下表所列元素為外，硅錠的總純99.9999%表1

表1

0.01

Ω·cm

100

50

0.1

μm

1558

1557

柱狀多晶硅中的其他痕量元素測量按

T/NXCL

0152022

10

15

mm90

200

18

24

柱狀多晶硅應(yīng)由供方技術(shù)監(jiān)督部門進行檢驗，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件或訂貨單（合同）的規(guī)

需方應(yīng)對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進行檢驗，如檢驗結(jié)果與本文件或訂貨單（合同）的規(guī)定不符時，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起

30

天內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁，仲裁取樣按

6.4.2.1

電阻率檢驗試樣的采?。好颗a(chǎn)品中隨機抽取

，且不少于

件，或由供需雙方協(xié)商確定

1250

柱狀多晶硅的化學成分、物理性能的檢驗結(jié)果與本文件

4.34.4

4.5

a)

b)

c)

d)

T/NXCL

0152022e)

a)

b)

c)

d)

e)

f)

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