《高純金屬鐿靶材》預(yù)審稿編制說明

1根據(jù)《工業(yè)和信息化部辦公廳關(guān)于印發(fā)2023年第一批行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂和外文版項目計劃的通知》（工完成年限為2024年。本文件由全國稀土標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（SAC/TC229）提出并歸口，由有包頭稀土研究院、有研稀土新材料股份有限公司、呼和浩特融信新金屬冶煉有限公司、虔東稀土集團(tuán)股份有限公司、福建省長汀金龍稀土有限公司、國瑞科創(chuàng)稀土功能材料（贛州）有限公司、中稀(廣西)金源稀土新材料有限公司、湖南稀土金屬材料研究院有限責(zé)任公司、中國北方稀土（集團(tuán)）高科技股份有限公司、有研稀土高技術(shù)有限公司、廣西賀州金廣稀土新材料有限公司等多家生產(chǎn)單位共同修訂。標(biāo)準(zhǔn)牽頭起草單位包頭稀土研究院負(fù)責(zé)組織標(biāo)準(zhǔn)調(diào)研、驗證、標(biāo)準(zhǔn)起草、預(yù)審、審定報批工作。包頭稀土研究院目前是全國最大的綜合性稀土科技研發(fā)機(jī)構(gòu)，以稀土資源的綜合開發(fā)、利用為宗旨，以稀土冶金、環(huán)境保護(hù)、新型稀土功能材料及在高新技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用、稀土提升傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平、稀土分析檢測、稀土情報信息為研究重點(diǎn)的，多專業(yè)、多學(xué)科的綜合性研發(fā)機(jī)構(gòu)，下設(shè)資源與環(huán)境研究所、金屬材料研究所、磁性材料研究所、稀土功能材料研究所4個專業(yè)研究所和國內(nèi)最大的稀土新材料中試基地。建有國家級的“白云鄂博稀土資源研究與綜合利用全國重點(diǎn)實驗室”、“稀土冶金及功能材料國家工程研究中心”和“北方稀土行業(yè)生產(chǎn)力促進(jìn)中心”等多個研究平臺。建院50多年來，共承擔(dān)“863計劃”、“973計劃”等國家級科技項目、省部、地市級研發(fā)項目和為企業(yè)服務(wù)的各類項目1900多項，取得各類科研成果870多項，獲得國家發(fā)明獎和省部級以上各類科技成果獎260多項，獲得國家授權(quán)專利100多項。通過了質(zhì)量體系認(rèn)證、環(huán)境與職業(yè)健康安全管理體系認(rèn)證，為諸多國家重點(diǎn)工程研制生產(chǎn)了大量的關(guān)鍵材料和器件，為我國稀土產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和現(xiàn)代化建設(shè)做出了重大貢獻(xiàn)。標(biāo)準(zhǔn)參與起草由有研稀土新材料股份有限公司、呼和浩特融信新金屬冶煉有限公司、虔東稀土集團(tuán)股份有限公司、福建省長汀金龍稀土有限公司、國瑞科創(chuàng)稀土功能材料（贛州）有限公司、中稀(廣西)金源稀土新材料有限公司、湖南稀土金屬材料研究院有限責(zé)任公司、中國北方稀土（集團(tuán)）高科技股份有限公司、有研稀土高技術(shù)有限公司、廣西賀州金廣稀土新材料有限公司等多家單位組成，均為國內(nèi)高純金屬鐿靶材產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)，向標(biāo)準(zhǔn)牽頭制定單位提供各單位高純金屬鐿靶材產(chǎn)品生產(chǎn)情況或產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)情況，共同參與標(biāo)準(zhǔn)起草。本標(biāo)準(zhǔn)共同起草單位及參與標(biāo)準(zhǔn)制定人的情況見表1。表1主要起草人及工作職責(zé)單位名稱工作職責(zé)包頭稀土研究院（1）牽頭制定高純金屬鐿靶材標(biāo)準(zhǔn)，負(fù)責(zé)任務(wù)的落實、執(zhí)行；2（2）成立高純金屬鐿靶材編制修訂項目組，組織技術(shù)指標(biāo)討論；（3）收集匯總標(biāo)準(zhǔn)參與單位意見，負(fù)責(zé)編制高純金屬鐿靶材標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿、編制說明等文件；（4）調(diào)研高純金屬鐿靶材產(chǎn)品的應(yīng)用情況及其技術(shù)要有研稀土新材料股份有限公司、呼和浩特融信新金屬冶煉有限公司、虔東稀土集團(tuán)股份有限公司、福建省長汀金龍稀土有限公司、國瑞科創(chuàng)稀土功能材料（贛州）有限公司、中稀(廣西)金源稀土新材料有限公司、湖南稀土金屬材料研究院有限責(zé)任公司、中國北方稀土（集團(tuán)）高科技股份有限公司、有研稀土高技術(shù)有限公司、廣西賀州金廣稀土新材料有限公司（1）提供各單位有關(guān)高純金屬鐿靶材產(chǎn)品生產(chǎn)情況、技術(shù)指標(biāo)，以及產(chǎn)品的應(yīng)用情況；（2）參與征求意見稿的制定；（3）參與高純金屬鐿靶材產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域及其技術(shù)指標(biāo)的調(diào)研。高純金屬鐿靶材是蒸發(fā)工藝制備有機(jī)發(fā)光材料的鍍膜源，其純度直接影響著薄膜器件穩(wěn)定性和可靠性。同時高純金屬鐿靶材的純度、相對密度、組織結(jié)構(gòu)對濺射環(huán)境、膜層沉積速率、膜層厚度及均勻性等有顯著影響，進(jìn)而影響著金屬膜元器件的質(zhì)量和批次性能穩(wěn)定性。高純度靶材可以減少沉積薄膜的污染源，改善膜層均勻性。靶材相對密度的提高可以極大地減少靶材組織內(nèi)部的殘留孔隙，孔隙率的減少甚至消除能夠極大地提高成膜速率，降低工業(yè)化生產(chǎn)成本。靶材晶粒尺寸的細(xì)化有利于改善靶材內(nèi)部組織均勻化，提高靶材強(qiáng)度及硬度，延長靶材使用壽命。也就是說，高純度、高密度、高均勻性（組織及組分）靶材制備技術(shù)是金屬膜元器件持續(xù)穩(wěn)定呈現(xiàn)優(yōu)質(zhì)性能的重要保證。該項目屬于工信部《重點(diǎn)新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄》（2018版）支持的“超高純稀土金屬材料及制品”領(lǐng)域。項目實施意義在于通過高純金屬鐿靶材生產(chǎn)情況的系統(tǒng)研究，更加有效的激發(fā)高純金屬鐿靶材產(chǎn)品在OLED市場的需求，這對提升國產(chǎn)新型電子顯示產(chǎn)品裝備水平，推進(jìn)新型顯示產(chǎn)品更新?lián)Q代，增強(qiáng)產(chǎn)品國際市場競爭力，擺脫高性能電子器件受制于美、日、韓等先進(jìn)國家的現(xiàn)狀具有重要意義。所以，目前對高純金屬鐿靶材的成分、生產(chǎn)提出規(guī)范要求，有助于更好地引導(dǎo)、規(guī)范和監(jiān)督國內(nèi)外高純金屬鐿靶材產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷售，有利于促進(jìn)稀土產(chǎn)業(yè)的健康發(fā)展，有助于完善我國關(guān)鍵戰(zhàn)略型稀土材料標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)，推動建設(shè)制造強(qiáng)國、質(zhì)量強(qiáng)國。項目牽頭單位和參與單位涵蓋了國內(nèi)主要高純金屬鐿靶材生產(chǎn)單位，建立了高純金屬鐿靶材完整的生產(chǎn)工藝技術(shù)條件和相應(yīng)的分析檢測制度，為標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)指標(biāo)的合理設(shè)定提供了良好的基礎(chǔ)。此外，包頭稀土研究院作為全國最大的綜合性稀土科技研發(fā)機(jī)構(gòu)，一直積極參與標(biāo)準(zhǔn)的制修訂工作，牽頭/參與制定了《氟3化釓》等230多項稀土國際標(biāo)準(zhǔn)/國家標(biāo)準(zhǔn)/行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，具備承擔(dān)標(biāo)準(zhǔn)制修訂任務(wù)的能力。（四）主要工作過程1、起草階段根據(jù)任務(wù)落實會議精神，我院牽頭組建了高純金屬鐿靶材編制工作組，成員涵蓋項目牽頭單位和參與單位的生產(chǎn)、質(zhì)量監(jiān)督檢驗等部門的技術(shù)人員。主要進(jìn)行了如下工作。1）確立《高純金屬鐿靶材》行標(biāo)起草遵循的基本原則；2）對生產(chǎn)廠家進(jìn)行調(diào)研取樣、收集資料；3）查閱相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)；4）確定產(chǎn)品主要技術(shù)內(nèi)容；5）確定建立仲裁方法；6）對產(chǎn)品進(jìn)行分析測試；7）根據(jù)目前國內(nèi)高純金屬鐿靶材的具體情況，結(jié)合用戶的要求及應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展趨勢，力求做到標(biāo)準(zhǔn)的合理性、實用性，與時俱進(jìn)；8）編寫征求意見稿草案；9）電話咨詢高純金屬鐿靶材生產(chǎn)廠家，認(rèn)真聽取了用戶和專家對產(chǎn)品的意見，匯總后編寫征求意見稿。2、征求意見階段2024年2月，標(biāo)準(zhǔn)主撰寫人通過郵件形式廣泛征求稀土行業(yè)對《高純金屬鐿靶材》預(yù)審稿文本修改意見。本標(biāo)準(zhǔn)發(fā)送《征求意見稿》的單位數(shù)10個，回函的單位數(shù)10個，函并有建議或意見的單位數(shù)9個。專家提反饋的主要意見如下（詳見預(yù)審稿征求意見匯總（1）產(chǎn)品牌號中“當(dāng)產(chǎn)品稀土純度（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）等于或大于99%時”表述有問題，與后面產(chǎn)品的絕對純度不相符。（2）建議在產(chǎn)品牌號中補(bǔ)充能識別相對純度與絕對純度符號。（3）HT-Yb-4N牌號中稀土雜質(zhì)加和為28ppm，建議將稀土雜質(zhì)降為10ppm，至少使用相對純度為5N的金屬鐿做靶材，市面上相對純度5N的金屬鐿很多，才能控制總雜質(zhì)小于100ppm。其他牌號的金屬鐿相對純度建議都提高一檔。（4）除氣體雜質(zhì)外，HT-Yb-4N牌號中所有雜質(zhì)加和為148ppm，超過了100ppm,建議將稀土中不易帶入非稀土雜質(zhì)都降低為1ppm，例如：Zn、Pb、Cd、Cu、Mn、Ti。（5）產(chǎn)品牌號HT-Yb-4N中Ca和Mg含量建議分別小于0.002%。（6）O含量指標(biāo)偏高，影響使用性能，建議4N牌號改為200ppm、3N5牌號改為500ppm。（7）“高純金屬鐿靶材的Yb含量100%減去雜質(zhì)元素含量總和的余量”改為“高純金屬鐿靶材的Yb含量為100%減去雜質(zhì)含量總和”。（8）“產(chǎn)品平均晶粒尺寸不大于800μm”，電子信息用靶材晶粒度通常要求小于200μm，建議修改為“產(chǎn)品平均晶粒尺寸不大于200μm”。4（1）本標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分:標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》和GB/T20001.4-2015《標(biāo)準(zhǔn)編寫規(guī)則第4部分：試驗方法標(biāo)準(zhǔn)》的要求進(jìn)行編寫的；（2）充分滿足市場要求的原則；（3）劃繁就簡的原則；（4）有利于創(chuàng)新發(fā)展的原則。根據(jù)國內(nèi)外用戶需求及目前我國市場流通高純金屬鐿靶材產(chǎn)品實際情況制定了《高純金屬鐿靶材》標(biāo)準(zhǔn)，其主要內(nèi)容說明如下：高純金屬鐿靶材牌號共分3個層次，其中第一層次表示高純靶材，用高純靶材的英文首字母“HT”表示；第二層次表示產(chǎn)品金屬鐿，用元素符號“Yb”表示；第三層次表示絕對純度，當(dāng)產(chǎn)品稀土純度（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）不小于99%時，“X”表示質(zhì)量分?jǐn)?shù)中“9”的個數(shù)，“N”為數(shù)字9的英文首字母“Y”表示質(zhì)量分?jǐn)?shù)最后一位的值（當(dāng)值為0時省略“a”為absolute首字母，“Na”表示絕對純度。具體表示方法如下：本文件適用于真空熔鑄方法制備的高純金屬鐿錠，再經(jīng)熱處理、變形加工、機(jī)械加工等過程制得的高純金屬鐿靶材，主要用于電子信息和有機(jī)發(fā)光顯示等領(lǐng)域。產(chǎn)品的化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。需方如對產(chǎn)品有特殊要求，可由供需雙方協(xié)商確定。HT-Yb-4NHT-Yb-3N5HT-Yb-3N化學(xué)成5Y質(zhì)量CONS規(guī)定高純金屬鐿靶材致密度、平均晶粒尺寸、表面粗糙度等主要性能指標(biāo)。6明確高純金屬鐿靶材內(nèi)部質(zhì)量、外觀質(zhì)量、幾何尺寸和公差等要求。規(guī)定高純金屬鐿靶材的化學(xué)成分、致密度、平均晶粒尺寸、內(nèi)部質(zhì)量、表面粗糙度、幾何尺寸、公差及外觀質(zhì)量、焊接質(zhì)量試驗方法以及包裝、運(yùn)輸要求。明確高純金屬鐿靶材檢測項目、取樣及數(shù)量。本標(biāo)準(zhǔn)明確了高純金屬鐿靶材產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，有助于指導(dǎo)和規(guī)范我國高純鐿靶產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷售，加速推動我國稀土靶材產(chǎn)業(yè)的快速健康發(fā)展，為我國半導(dǎo)體、顯示等領(lǐng)域提供技術(shù)支撐，實現(xiàn)稀土的高質(zhì)量發(fā)展；有助于完善我國關(guān)鍵戰(zhàn)略型稀土材料標(biāo)準(zhǔn)體系建設(shè)，推動建設(shè)制造強(qiáng)國、質(zhì)量強(qiáng)國。此外，本標(biāo)準(zhǔn)制定將會帶來技術(shù)進(jìn)步的競爭局面，對國內(nèi)稀土靶材生產(chǎn)企業(yè)及相關(guān)行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步將產(chǎn)生積極的推動作用，對高純金屬鐿靶材產(chǎn)品的質(zhì)量指標(biāo)控制具有重要指導(dǎo)意義。另外，本標(biāo)準(zhǔn)制定還有利于規(guī)范我國高純金屬鐿靶材的生產(chǎn)和銷售，建立良性市場競爭環(huán)境，促進(jìn)我國稀土靶材檔次和附加值的升級，增強(qiáng)國內(nèi)稀土行業(yè)在全球的核心競爭力。目前，國外還沒有高純金屬鐿靶材相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)是根