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《Surfacechemicalanalysis-samplehandling,mounting-Part3:Biomate能譜(AES)和二次離子質(zhì)譜(SIMS)等表面敏感的分析技術(shù)至關(guān)重要。樣品操作可能影響表面敏感的這些分析技術(shù)的測(cè)量值。這些技術(shù)對(duì)幾個(gè)納米厚度的表面層敏感,這樣的薄層會(huì)因?qū)敕治鍪仪氨匾臉悠凡僮骰虮砻嫣幚聿划?dāng)會(huì)導(dǎo)致表面組成改變和數(shù)據(jù)不可靠,恰當(dāng)?shù)臉悠凡僮骱椭苽鋵?duì)于可靠的分析是特別關(guān)鍵。納米科技是高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的重要支撐,由于納米物體的特性,表面分析前樣品操作和制備對(duì)于可靠的分析是尤為關(guān)鍵析前樣品操作和制備對(duì)于可靠的分析是尤為關(guān)鍵。本文件指出關(guān)于樣品制備需要報(bào)告的用于表面分析的操作和制備工作的最低限度信息,以幫助確保從表面分析方法所得數(shù)據(jù)的可靠性和適用性,這對(duì)于促進(jìn)我國(guó)光電信息、能源及新材并提高我國(guó)表面分析整體水平,特別是為了芯片等國(guó)家重大戰(zhàn)略急需產(chǎn)業(yè)的需2021年便提出將國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO20579-3:2021等同轉(zhuǎn)化為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),其被列入國(guó)本標(biāo)準(zhǔn)起草單位廈門佳集悅網(wǎng)絡(luò)信息有限公司、清華大學(xué)和中科院化學(xué)所。前者從事網(wǎng)絡(luò)信息及電子器件等工作,公司擁有國(guó)際國(guó)內(nèi)一流的表面分析次離子質(zhì)譜儀)等幾百臺(tái)表面分析儀器。清華大學(xué)具有世界一流的化學(xué)學(xué)科,擁有世界一流的XPS、AES和SIMS,標(biāo)準(zhǔn)。三個(gè)單位在表面化學(xué)分析與標(biāo)準(zhǔn)化方面都具有豐富的經(jīng)驗(yàn)。此次共同承準(zhǔn)制定全過程技術(shù)內(nèi)容把關(guān),組織協(xié)調(diào)。姚文清和岑丹霞負(fù)責(zé)進(jìn)行ISO202021年,起草組按照ISO20579-3:2021發(fā)布版進(jìn)行翻譯,向SAC/TC38報(bào)提案稿,通過了SAC/TC38組織的標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)評(píng)審,向國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)提出本標(biāo)準(zhǔn)等同采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO20579-3:2021《Surfacechemicalanalysis–程序提供了具體建議,討論了樣品的來歷和先前對(duì)樣品分析等附加注意事項(xiàng),討論了樣品保存與時(shí)間、濕度和溫度的關(guān)系,強(qiáng)調(diào)樣品操作對(duì)測(cè)量信息的影響,討論了各種類型固體樣品的安裝程序,提供了減少樣品荷電的方法,強(qiáng)調(diào)了切片、溶劑和蝕刻的生物材料樣品制備技術(shù),討論了樣品的斷裂、劈裂和劃本標(biāo)準(zhǔn)等同采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO20579-3:2021。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO20579-3:2021制定時(shí)已經(jīng)過國(guó)際實(shí)驗(yàn)室間試驗(yàn)驗(yàn)證。幾年來廈門佳集悅網(wǎng)絡(luò)信息有限公司、清文件所述生物材料處理、制備和安裝方法進(jìn)行表面分析的數(shù)百臺(tái)在用的XPS、ISO20579-3:2021是當(dāng)前國(guó)際最
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