鍍膜機(jī)常見故障及分析解決預(yù)防措施

鍍膜機(jī)常見故障及分析解決預(yù)防措施一常見故障,問題及解決方法故障點(diǎn)故障現(xiàn)象故障緣由故障點(diǎn)故障現(xiàn)象故障緣由解決及預(yù)防措施備注1.高1.1.開槍有高壓，1.燈絲保險(xiǎn)燒斷1.檢查燈絲保險(xiǎn)，燒斷則更換立即束流無(wú)束流燈絲燒斷線遇到槍體底坐體.調(diào)整引線與槍體底坐的間距.在抽氣前檢查槍體.關(guān)壓高1.2.開高壓顯示跳動(dòng)幅度大，并有束流跳動(dòng)電位器未歸零槍體短路屏蔽遇到高壓引線造成短路電柜故障將燈絲電位器歸零線取下〔留意引線不能遇到機(jī)器應(yīng)懸空〕開高壓，正常則槍體或高壓電極保護(hù)罩或屏蔽短路造成放氣檢查電極保護(hù)罩或屏蔽檢修電柜立關(guān)壓即高1.3.開槍無(wú)高壓，無(wú)束流〔偏轉(zhuǎn).真空.柜門〕高壓電路出問題檢查相應(yīng)的高壓保護(hù)檢修高壓掌握電路1.4.鍍膜時(shí)高壓會(huì)1.真空繼電器燒壞1.更換真空繼電器4下跌2.高壓電路出問題2.檢修高壓電路號(hào)機(jī)1.5.鍍膜時(shí)燈絲突1.BT138可控硅被擊1.BT1384滿格)穿2.槍體短路2.檢查槍體號(hào)機(jī)1.6絲電流，無(wú)光斑柵極片短路線接反了整理槍體檢修掃描，正確連接掃描線達(dá)不到以前的水平以前的速率〕1

形燈絲被氧化松動(dòng)坩堝轉(zhuǎn)速太快材料被污染晶片被擋住電柜出問題

重安裝或更換燈絲.為了更好的對(duì)燈絲定形及延長(zhǎng)燈絲對(duì)燈絲進(jìn)展預(yù)熱處理電源開關(guān)擰緊各連接處.調(diào)整坩堝轉(zhuǎn)速材料調(diào)整晶片擋板位置.抽氣應(yīng)檢7.檢修電柜阻蒸電流調(diào)不1.蒸發(fā)舟燒斷或松掉上去 造成接觸不良空氣開關(guān)跳閘壞了板下的引線接觸不良速率不穩(wěn)定 1.晶片失效料面不好功率設(shè)置不合理掌握參數(shù)PID不合理化高壓打火

更換蒸發(fā)舟或擰緊螺釘.為了防止接觸不良，各電極和壓時(shí)應(yīng)將銅壓塊取下砂干凈再安裝蒸發(fā)舟翻開空氣開關(guān)更換電位器擰緊螺釘要匹配好習(xí)慣理(最大功率為略大于蒸發(fā)時(shí)所需功率〕PID緊固或更換燈絲解決打火現(xiàn)象1.10.高壓打火槍體各接線處未擰緊聚四氟套管太臟高壓電極太臟屏蔽不佳或未屏蔽描狀態(tài)不好8.2槍高壓干擾10.高壓打在10KV11.預(yù)熔不夠充分12.功率設(shè)置不合理整理槍體，在吹槍體時(shí)應(yīng)用不被落在槍體里好洗調(diào)整或更換陽(yáng)極，柵極片更換高壓電極調(diào)整屏蔽或加裝屏蔽調(diào)整好光斑，檢查掃描12材料〔中調(diào)整坩堝轉(zhuǎn)速時(shí))應(yīng)留意是否誤遇到高壓調(diào)整檔位預(yù)熔時(shí)間及加的束流應(yīng)合圈〕設(shè)置合理的功率,預(yù)熔功率相匹配,留意在第一套時(shí)速率較小時(shí)功率的設(shè)置22.描掃和2.1.光斑不能調(diào)整1.掃描引線或線圈短路1.檢查引線及線圈,引線間不光斑 2.整流橋擊穿引線或線圈斷路脫或電位器壞了2.2光斑及掃描狀1.燈絲變形態(tài)不好 2.極靴位置不正率不適宜短路條多或少了,位置不好高壓檔位不對(duì)掃描連接線有誤

線是否相互觸碰和松動(dòng)更換整流橋檢查引線及線圈接好連線或更換電位器更換燈絲時(shí)要做好記號(hào)避開安裝時(shí)位置不正調(diào)整適宜頻率,頻差和密度調(diào)整短路條的位置及數(shù)量調(diào)整正確的高壓檔位正確連接掃描線,修理時(shí)應(yīng)做好記號(hào)3.坩3.1坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)不靈1.坩堝周邊間隙太小堝和或不轉(zhuǎn) 2.坩堝間隙有材料(卡

調(diào)整坩堝周邊的間隙清理間隙中的材料.留意料工轉(zhuǎn)料)軸承銹死減速器出問題電機(jī)出問題(2連接鍵脫落順暢清洗或更換軸承.在清掃真空室及洗機(jī)時(shí)應(yīng)將坩堝下面的軸承的性能檢查減速器修理或更換電機(jī)調(diào)整好大門底板的位置(稍高于坩堝),關(guān)門時(shí)感到特別(如較尋常緊)應(yīng)檢查底板及防污板的位置重安裝好鍵3.2工轉(zhuǎn)噪音大晃動(dòng)大,電機(jī)軸承壞了降不好傳動(dòng)齒輪磨損更換電機(jī)軸承清洗或更換大軸承將電機(jī)與減速箱連接好更換齒輪3.3電機(jī)損壞鍵脫落或磨損傳動(dòng)的齒輪磨損單向器壞了電路出問題更換電機(jī)重裝或更換鍵更換齒輪更換或修理單向器(2樓)檢修電路33.4.工轉(zhuǎn)電壓調(diào)不跳動(dòng)大調(diào)整電位器損壞掌握器出問題工轉(zhuǎn)傳動(dòng)不穩(wěn)碳刷接觸不良電壓表有問題更換電位器檢修掌握器修理傳動(dòng)局部整理碳刷接觸面或更換修理或更換電壓表4.門閥4.1.閥門打不開氣壓不夠有問題閥門間互鎖調(diào)高氣壓到適當(dāng)位置修理或更換氣動(dòng)閥檢查與其互鎖的閥門.應(yīng)留意閥門指示燈顯示關(guān)閉但實(shí)際閥門并未關(guān)閉的現(xiàn)象閥門翻開后會(huì)1.氣壓不夠自動(dòng)關(guān)閉 2.氣動(dòng)閥閥芯內(nèi)的橡皮松脫1.高閥沒關(guān)到位氣閥打不開 2.放氣閥的氣動(dòng)閥有問題真5.1.在鍍膜過程中1.高閥,預(yù)閥等閥門自空度 真空度突然下跌 動(dòng)關(guān)閉集中泵斷相或跳閘造成漏氣5.2.低真空突然抽1.機(jī)械泵摻氣閥沒關(guān)不動(dòng) 空室門壓到東西并路閥(旁通閥),截止閥自動(dòng)關(guān)閉機(jī)械泵出問題羅茨泵出問題管道漏氣漏氣真空室漏氣5.3抽氣慢 1.真空室太臟,沒換防污板集中泵太久沒洗板被吸起機(jī)械泵沒摻氣準(zhǔn)機(jī)械泵,羅茨泵有問題4

調(diào)高氣壓到適宜位置更換閥芯或氣動(dòng)閥檢查高閥沒關(guān)到位的緣由,不能強(qiáng)行手動(dòng)關(guān)閉更換或修理氣動(dòng)閥檢查氣壓是否正常,正常則是相應(yīng)的閥門問題,一般為氣動(dòng)閥的閥芯松脫合上閘刀,斷相表現(xiàn)為三相指示燈有一或兩個(gè)燈不亮,更換電爐盤行轉(zhuǎn)坩關(guān)閉摻氣閥應(yīng)檢查大門是否壓到東西或密封圈上有雜物的氣動(dòng)閥和氣壓修理機(jī)械泵修理羅茨泵修理管道更換或修理機(jī)放閥5.4更換防污板或清洗真空室次)調(diào)整擋油板給機(jī)械泵摻氣或換油表檢修機(jī)械泵,羅茨泵真空室暴露在大氣真空室暴露在大氣干漏氣盡量削減敞大氣時(shí)間,玻片應(yīng)完全烘干5.4.真空度低真空表測(cè)量不準(zhǔn)百葉窗擋住真空室大門沒關(guān)好真空泵出問題管道漏氣動(dòng)密封如坩堝,工轉(zhuǎn),觀看窗,擋板等密封漏氣的部件或四周有松動(dòng)8.堵頭沒裝好通了水的如坩堝,工轉(zhuǎn),探頭等地方有漏點(diǎn)高閥,低閥氣缸漏氣金屬焊縫漏更換真空表關(guān)閉高閥,假設(shè)此時(shí)真空室真葉窗的位置度變化,如有變化則放氣整理真空室門密封修理或更換真空泵修理管道更換或重裝動(dòng)密封較大的變化,有則是該轉(zhuǎn)動(dòng)部動(dòng)密封有問題檢查動(dòng)過的部件及四周,確認(rèn)后緊固用酒精注射堵頭,假設(shè)真空度有變化則緊固或重裝該堵頭9.通過用高壓氣來(lái)沖水管看真空度是否有變化,有則檢查水路通過開關(guān)高閥,低閥或用酒精注射閥門確認(rèn)后更換閥體或密封圈用酒精注射各焊縫來(lái)確認(rèn)是否有漏,有則補(bǔ)焊焊縫6.膜題掉問6.1.掉膜1.真空室或玻片潮濕〕2.玻片沒洗干凈更換玻片,玻片上有油污真空度低打火嚴(yán)峻,造成膜厚不均勻引起應(yīng)力大真空室有油污蒸發(fā)速率過高脫膜劑鍍得過多閥蓋及冷井處有油污適當(dāng)用干凈的布清洗好玻片,清洗時(shí)應(yīng)認(rèn)真認(rèn)真先用洗潔精清洗干凈玻片,再用清水將玻片沖洗干凈檢漏解決打火現(xiàn)象清洗真空室降低速率到適宜位置削減脫膜劑的厚度擦洗高閥蓋及冷井.給集中906.2.周一掉膜嚴(yán)峻且膜質(zhì)不好粉塵在抽氣時(shí)飛到玻片上洗機(jī)時(shí)的潮氣及防污板的潮氣未干用酒精認(rèn)真擦干凈真空室底烘干后才裝入真空室7.質(zhì)膜7.1.膜質(zhì)發(fā)黑不亮澤1.U5時(shí)有銀灰色)2.2槍光斑能量太散(掃描頻率有問題)3.U3材料鍍多了(膜質(zhì)稀爛)4.2槍坩堝位置不適宜U5真空度低U5調(diào)整光斑和掃描頻率U32置更換料檢查真空度7.2.膜發(fā)銀U5跳程序或假速率造成U5材料沒鍍上或鍍少U3U5U5覺察時(shí)應(yīng)適當(dāng)加鍍一些U5,2.6此現(xiàn)象U3鍍完U35U5卷玻片太臟玻片外表光滑度差U31空室經(jīng)抽氣未使用應(yīng)更換或清室衛(wèi)生后再裝玻片,削減污染2.更換好的玻片3.U38.厚膜控8.1.晶片失效晶片使用壽命已到晶片壓簧損壞1清洗晶片時(shí)應(yīng)留意打晶片的時(shí)點(diǎn)接觸不良水溫過高探頭擋板遇到工間及方法,延長(zhǎng)晶片的使用壽命應(yīng)輕拿輕放整理各連接處285.調(diào)在探頭擋板與工轉(zhuǎn)的距離8.2.開頭鍍膜掌握儀無(wú)工作程序清零沒選擇到鍍膜程掌握儀時(shí)動(dòng)作不應(yīng)過快,掌握儀要有良好的接地選擇好鍍膜程序.在調(diào)程序時(shí)應(yīng)留意光標(biāo)是否在對(duì)應(yīng)的鍍膜程序上8.3.手動(dòng)遙控盒不受控沒接好遙控盒上的按鍵的接線脫焊接好接頭焊好接線.在用遙控時(shí)應(yīng)留意9.其9.1.開槍鍍膜時(shí)發(fā)1.晶片被擋住他 現(xiàn)膜厚儀上沒速率2.槍擋板未翻開顯示 3.高壓沒開6

查晶片是否被擋修理?yè)醢宸_高壓束流掌握調(diào)在手動(dòng) 4.將束流掌握調(diào)的自動(dòng)9.2.槍擋板打不開1.氣壓不夠 1.調(diào)高氣壓到適宜位置掌握擋板的氣動(dòng)閥 或更換氣動(dòng)閥壞了 裝上鍵或螺釘接鍵或螺釘脫落二.一些根底學(xué)問及留意事項(xiàng)和應(yīng)急措施1.膜厚掌握儀掌握參數(shù)1率2也稱預(yù)蒸鍍功率略小于最大功率最大功率DepRate 蒸發(fā)速率FinalThk----膜厚〔波長(zhǎng)〕Soaktime 預(yù)熔時(shí)間功率上升時(shí)間Density 材料密度檢測(cè)膜厚原理〔由于膜的蒸發(fā)轉(zhuǎn)變了其重量，所以其震驚頻率發(fā)生變化〕來(lái)厚的關(guān)系如小：探頭高了,測(cè)試得到的厚度<實(shí)際得到的膜厚(玻片上厚度)探頭低了,測(cè)試得到的厚度>實(shí)際得到的膜厚(玻片上厚度)(3).工具因數(shù)調(diào)高,相當(dāng)于探頭位置降低,所以膜厚要增加膜和材料間的關(guān)系色;沒鍍上,則為銀白U3SiO2U6均勻性徑向均勻性:同一玻片上部與下部的不均勻,與光斑的調(diào)整、材料的料面、坩堝轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)向、玻片的曲率有關(guān)整體均勻性:同一套膜四塊玻片上的均勻性,與光斑的穩(wěn)定性、工轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速和蒸發(fā)速率的匹配、真空度的凹凸、徑向均勻性有關(guān)燈絲問題放氣時(shí)要記住關(guān)燈絲電源,以免氧化燈絲初次使用或更換燈絲,應(yīng)進(jìn)展燈絲預(yù)熱定型處理,以防燈絲加熱過快變形.預(yù)熱時(shí),高15A3-5燈絲安裝燈絲不宜太高或太低:太高會(huì)造成光斑不行調(diào),簡(jiǎn)潔打爛柵極和陽(yáng)極片;太低會(huì)造成光斑能量太散,不易蒸發(fā)柵極片應(yīng)略低于陽(yáng)極片各個(gè)壓塊、引線的接觸面應(yīng)清洗干凈避開造成接觸不良打緊螺釘時(shí)應(yīng)松緊適當(dāng)，太松會(huì)接觸不良，太緊會(huì)造成“滑絲”轟擊4.0Pa8.0Pa:2030轟擊棒應(yīng)用240#砂紙砂干凈再用酒精擦一遍再裝入真空室6.換機(jī)械泵油將油放干凈,把出氣口的蓋板取下,然后取下?lián)跤桶?用布將機(jī)械泵油腔內(nèi)擦干凈(特別留意20次,洗干凈后即可加油.加油應(yīng)加到觀看油窗傷兩條紅線之間(油加少了會(huì)造成機(jī)械泵的抽氣性能下降,油加多了會(huì)造成抽氣時(shí)油噴出來(lái)).油加好后將擋油板,蓋板依次裝好.應(yīng)急措施突然停電首先將設(shè)備總電源開關(guān)關(guān)閉(防