標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 43965-2024 電子級正硅酸乙酯》是一項國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)范電子級正硅酸乙酯的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存等方面。該標(biāo)準(zhǔn)適用于集成電路制造過程中作為化學(xué)氣相沉積（CVD）源材料的正硅酸乙酯。

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容，首先明確了產(chǎn)品的分類與標(biāo)記方式，確保不同規(guī)格或等級的產(chǎn)品能夠被準(zhǔn)確區(qū)分。接著詳細(xì)規(guī)定了產(chǎn)品應(yīng)達(dá)到的各項物理化學(xué)性能指標(biāo)，包括但不限于純度、水分含量、金屬雜質(zhì)濃度等關(guān)鍵參數(shù)，這些都直接關(guān)系到其在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用效果及最終產(chǎn)品質(zhì)量。

對于如何驗證上述技術(shù)要求是否滿足，標(biāo)準(zhǔn)中列舉了一系列具體的檢測方法，并對每種方法的操作步驟、所需儀器設(shè)備及其精度要求進(jìn)行了說明。此外，還制定了嚴(yán)格的抽樣方案與合格評定準(zhǔn)則，以保證出廠批次間質(zhì)量的一致性。


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  • 2024-04-25 頒布
  • 2024-11-01 實(shí)施
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文檔簡介

ICS31030

CCSL.90

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T43965—2024

電子級正硅酸乙酯

Electronicgradeethylorthosilicate

2024-04-25發(fā)布2024-11-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T43965—2024

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位金宏氣體股份有限公司湖北新藍(lán)天新材料股份有限公司武漢新硅科技潛江有

:、、

限公司江蘇南大光電材料股份有限公司南大光電半導(dǎo)體材料有限公司中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

、、、、

浙江中寧硅業(yè)股份有限公司內(nèi)蒙古興洋科技股份有限公司洛陽中硅高科技有限公司江陰潤瑪電子

、、、

材料股份有限公司浙江衢州硅寶化工有限公司湖北江瀚新材料股份有限公司浙江開化合成材料有

、、、

限公司廣州賽西標(biāo)準(zhǔn)檢測研究院有限公司

、。

本文件主要起草人孫猛金向華趙俊莎肖俊平李楷東吳怡然曹可慰趙斌陶剛義孫明璐

:、、、、、、、、、、

陳德義馮瓊?cè)A向沖王成黃天次萬燁張園園郭樹虎戈士勇戈燁銘何珂李沖合甘俊陳道偉

、、、、、、、、、、、、、、

張明英

。

Ⅰ

GB/T43965—2024

電子級正硅酸乙酯

1范圍

本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)用電子級正硅酸乙酯的技術(shù)要求檢驗規(guī)則型式試驗標(biāo)志包裝運(yùn)輸

、、、、、

及貯存的要求描述了試驗方法分析方法與測定結(jié)果評價

,、。

本文件適用于沉積二氧化硅的電子級正硅酸乙酯

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險貨物包裝標(biāo)志

GB190

包裝儲運(yùn)圖示標(biāo)志

GB/T191

計數(shù)抽樣檢驗程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗抽樣計劃

GB/T2828.11:(AQL)

液體化學(xué)產(chǎn)品顏色測定法單位鉑鈷色號

GB/T3143(Hazen———-)

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

所有部分鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB/T5099()

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T7144

電子級水

GB/T11446.1

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T16804

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

GB/T25915.11:

庫侖法微量水分測定儀

GB/T26793

大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB/T33145

四極桿電感耦合等離子體質(zhì)譜方法通則

GB/T37837

電子化學(xué)品電感耦合等離子體質(zhì)譜法通則

SJ/T11637

電子化學(xué)品中顆粒的測試方法

SJ/T11638

氣瓶安全技術(shù)規(guī)程

TSG23

3術(shù)語和定義

本文件沒有需要界定的

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